JPS6033234A - 石英プリフォ−ムの表面欠陥補正方法 - Google Patents
石英プリフォ−ムの表面欠陥補正方法Info
- Publication number
- JPS6033234A JPS6033234A JP58138245A JP13824583A JPS6033234A JP S6033234 A JPS6033234 A JP S6033234A JP 58138245 A JP58138245 A JP 58138245A JP 13824583 A JP13824583 A JP 13824583A JP S6033234 A JPS6033234 A JP S6033234A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- preform
- quartz
- fiber
- flaws
- strength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01466—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はイメージガイド用石英細径ファイ/くを作るの
に適する石英プリフォームの表面欠陥補正方法に関する
。
に適する石英プリフォームの表面欠陥補正方法に関する
。
イメージガイド用バンドルファイバは、10〜30gm
φの極めて細いファイバ(細径ファイバ)を両端末で位
置関係が完全に対応するように数千〜数万木束ねて構成
されている。
φの極めて細いファイバ(細径ファイバ)を両端末で位
置関係が完全に対応するように数千〜数万木束ねて構成
されている。
従来、このイメージガイド用バンドルフフイIくには多
成分ガラスが使用されている。
成分ガラスが使用されている。
1^制寡旧キ憤11WLj云十ように、供給装置aから
コアガラス材すとクラッドガラス材Cとを白金製二重ル
ツボdに役人し、電気炉eで加熱溶融する。二重ルツボ
dの底部には、コ乙クラッドの塔径を制御するための孔
が形成されている。
コアガラス材すとクラッドガラス材Cとを白金製二重ル
ツボdに役人し、電気炉eで加熱溶融する。二重ルツボ
dの底部には、コ乙クラッドの塔径を制御するための孔
が形成されている。
溶融軟化して引出された細径ファイバfは巻取ドラムg
に数100〜数1000m/分の高速で引取られる。こ
のファイバfの断面を第2図に示す。第2図においてh
はコ乙 iはクラッドである。
に数100〜数1000m/分の高速で引取られる。こ
のファイバfの断面を第2図に示す。第2図においてh
はコ乙 iはクラッドである。
このファイバfは巻線法或は箔積み法によってバンドル
化され、シースを被せた後端末に口金をつけ、研磨して
イメージガイドの基本が構成される。
化され、シースを被せた後端末に口金をつけ、研磨して
イメージガイドの基本が構成される。
ここで問題になるのがファイバの強度と光学特性である
。
。
強度が弱いと各工程で断線の原因となり、最終的には画
素の欠落となって画像分解能に影響する。強度劣化の原
因は、線引条件:ファイバ中の気泡及びその表面欠陥に
依存する。
素の欠落となって画像分解能に影響する。強度劣化の原
因は、線引条件:ファイバ中の気泡及びその表面欠陥に
依存する。
このうち線引条件は現状の技術ではほぼ確立しているた
め、実際にはそれ以外のファイバ中の気泡及びその表面
欠陥が問題となる。
め、実際にはそれ以外のファイバ中の気泡及びその表面
欠陥が問題となる。
しかし気泡に関しては、ルツボ法で行う場合、その溶融
過程で脱泡処理が施されるため、はとんど影響が無く、
又表面欠陥についてもこの方法ではガラスの完全溶融状
態からルツボ孔を通してファイバに引落されるため、理
想的な表面状態を有していると思われるのでその存在は
無視できる。
過程で脱泡処理が施されるため、はとんど影響が無く、
又表面欠陥についてもこの方法ではガラスの完全溶融状
態からルツボ孔を通してファイバに引落されるため、理
想的な表面状態を有していると思われるのでその存在は
無視できる。
以上の理由から、多成分ガラスファイバでも現実には強
度の面では無欠陥のイメージガイドが得られ、医用に供
されている。
度の面では無欠陥のイメージガイドが得られ、医用に供
されている。
しかし後者の光学特性、特に光の透過率は通常200〜
500 dB/ kmもあり、材料によって波長特性が
異なるため、明るさ及び色収差が問題となる。このため
実用的な長さは一般に50cm〜3mに限られる。
500 dB/ kmもあり、材料によって波長特性が
異なるため、明るさ及び色収差が問題となる。このため
実用的な長さは一般に50cm〜3mに限られる。
そこで本件出願の発明者は、実用的な長さを長くするた
め、イメージガイド用バンドルファイバとして透過率の
極めて良い光通信用の石英系ファイバを利用することを
試みた。
め、イメージガイド用バンドルファイバとして透過率の
極めて良い光通信用の石英系ファイバを利用することを
試みた。
光通信用の石英系ファイバの製造に使用されるブリホー
ムの製造技術の進歩は目ざましく、可視域で5dB/k
m程度の損失を有するファイバが容易に得られるように
なった。
ムの製造技術の進歩は目ざましく、可視域で5dB/k
m程度の損失を有するファイバが容易に得られるように
なった。
しかし、第3図に示した装置を用いてプリフォームjか
ら30pmφのファイt<fを引落し、1万画素で長さ
inのイメージガイド用ファイバを試作した結果、50
0本(画素)が断線(断線率5%)し、実用に供し得な
かった。
ら30pmφのファイt<fを引落し、1万画素で長さ
inのイメージガイド用ファイバを試作した結果、50
0本(画素)が断線(断線率5%)し、実用に供し得な
かった。
この場合の強度劣化の要因を検討した結果、その一つに
プリフォームの表面の傷或は表面層の気泡が大きく影響
することがわかった。
プリフォームの表面の傷或は表面層の気泡が大きく影響
することがわかった。
プリフォームは最外層にシャケ−/ ト層として市販の
石英管を使用することがあり、その外表面に上記欠陥(
特に微細ひびをGriffithSフローと呼ぶ)が存
在することは明らかであり、更にプリフォームの製造工
程でそれらの欠陥がノ\ンドリング上発生することが十
分あり得る。
石英管を使用することがあり、その外表面に上記欠陥(
特に微細ひびをGriffithSフローと呼ぶ)が存
在することは明らかであり、更にプリフォームの製造工
程でそれらの欠陥がノ\ンドリング上発生することが十
分あり得る。
このような表面欠陥を有するプリフォームなファイバ化
した場合、プリフォームの長さ方向に於ける欠陥分布が
ファイバの引落し率に比例して長手方向に伸びるため、
その分ただけ見かけ上単位長さの強度が向上したように
見えるが、全長でみれば欠陥はそのま覧存在することに
なる。この欠陥がファイバ断線の原因になる。
した場合、プリフォームの長さ方向に於ける欠陥分布が
ファイバの引落し率に比例して長手方向に伸びるため、
その分ただけ見かけ上単位長さの強度が向上したように
見えるが、全長でみれば欠陥はそのま覧存在することに
なる。この欠陥がファイバ断線の原因になる。
一般に光通信用ファイバ(外形125ILmφ)では、
強度を上げるために線引後直ちにプライマリ−コートを
施している。
強度を上げるために線引後直ちにプライマリ−コートを
施している。
しかしイメージガイド用の細径ファイバではコア部分の
充填密度を上げて分解能を向上させるために光の透過し
ない部分(クラッド)をできるだけ小さくする必要があ
る。
充填密度を上げて分解能を向上させるために光の透過し
ない部分(クラッド)をできるだけ小さくする必要があ
る。
そのためコーティング層は分解能の低下をまねくため好
ましくなく、さらには現実問題として外形がlO〜30
11.mと、通信用に比して極めて細いファイ/へが毎
分数100−数1000mの高速で引取られている状態
でタンデムに均一にコートするのは極めて困難である。
ましくなく、さらには現実問題として外形がlO〜30
11.mと、通信用に比して極めて細いファイ/へが毎
分数100−数1000mの高速で引取られている状態
でタンデムに均一にコートするのは極めて困難である。
又、第4図に示すように、ファイバfの表面に傷等の欠
陥kがある場合、その欠陥kを外側にしてフ9イバfを
内側に曲げると外側に引っ張り力が作用し、内側に圧縮
力が作用する。この場合欠陥にの基底部が応力集中点と
なりファイバfはかなり低い応力で破壊される。この欠
点を解消するには一般には化学或は火炎研磨してその欠
陥を平滑化して応力集中を緩和している。
陥kがある場合、その欠陥kを外側にしてフ9イバfを
内側に曲げると外側に引っ張り力が作用し、内側に圧縮
力が作用する。この場合欠陥にの基底部が応力集中点と
なりファイバfはかなり低い応力で破壊される。この欠
点を解消するには一般には化学或は火炎研磨してその欠
陥を平滑化して応力集中を緩和している。
しかし、この方法はそれ程の成果は得られず、30pm
外形のファイバで1万画素、長さ1mのイメージガイド
で断線率は1〜2%程度である。
外形のファイバで1万画素、長さ1mのイメージガイド
で断線率は1〜2%程度である。
又、あまり長く研磨を行うとコア/クツラド比が変り、
光学特性上好ましくない、従って研磨方法による欠陥除
去には限界がある。
光学特性上好ましくない、従って研磨方法による欠陥除
去には限界がある。
そのため本発明では、プリフォームの表面に外付法によ
り合成石英層を形成することにより、その表面の傷とか
凹陥等の欠陥を除去したり、少なくしたりして、そのプ
リフォームにより製作される細径ファイバの強度を向上
させるようにしたものである。
り合成石英層を形成することにより、その表面の傷とか
凹陥等の欠陥を除去したり、少なくしたりして、そのプ
リフォームにより製作される細径ファイバの強度を向上
させるようにしたものである。
本発明の一例として第5図に示すものは、石英プリフォ
ーム1を、回転機能を有するガラスセンパン2に装着し
、軸方向に移動可能な火炎加水分解用バーナ3に四塩化
ケイ素と酸素、水素を導入して石英プリフォームlの表
面に二酸ケイ素のスートを均一に積層する。このスート
を電気炉或はバーナを用いてガラス化して、第6図に示
すように石英プリフォームlの外周面の欠陥部4を被覆
する合成石英層5を形成する。
ーム1を、回転機能を有するガラスセンパン2に装着し
、軸方向に移動可能な火炎加水分解用バーナ3に四塩化
ケイ素と酸素、水素を導入して石英プリフォームlの表
面に二酸ケイ素のスートを均一に積層する。このスート
を電気炉或はバーナを用いてガラス化して、第6図に示
すように石英プリフォームlの外周面の欠陥部4を被覆
する合成石英層5を形成する。
この場合プリフォームlが石英で形成されているためプ
リフォーム1と合成石英層5とが完全に一体化され、理
想的な密着性が得られる。
リフォーム1と合成石英層5とが完全に一体化され、理
想的な密着性が得られる。
このプリフォーム1により得られる細径ファイバの断面
は第7図のようになる。第7図において6はコア、7は
クラッドである。
は第7図のようになる。第7図において6はコア、7は
クラッドである。
本発明では石英プリフォーム1を化学研磨、火炎研磨等
の手段で研磨してから外周面に合成石英層5を形成する
ようにしてもよい。
の手段で研磨してから外周面に合成石英層5を形成する
ようにしてもよい。
次に本発明の実施例を示す。
実施例1
クラツド径6mm、長さ500mmのプリ7フオームに
、外付は法で合成石英層5を厚さ50pm積層し、これ
から第3図の線引装置で外形257Lmのファイバを2
400m線引し、このファイバを用いて1万画素、長さ
1mのイメージガイド用バンドルファイバを2条製作し
た。
、外付は法で合成石英層5を厚さ50pm積層し、これ
から第3図の線引装置で外形257Lmのファイバを2
400m線引し、このファイバを用いて1万画素、長さ
1mのイメージガイド用バンドルファイバを2条製作し
た。
各々の断線率は0.1及び0.95%で従来の5%に比
し良好であった。
し良好であった。
実施例2
クラツド径6mm、長さ500mmのプリフォームを、
フッ酸−硝酸の混液で化学研磨した後、酸素−水素炎で
火炎研磨し、その後外付は法で合成石英層5を厚さ11
00pL程度積層し、これから第3図の線引装置を用い
て外形20gmのファイバを38000m線引し、この
ファイバを用いて1万画素、長さ1.5mのイメージガ
イド用バンドルファイバを2条製作した。
フッ酸−硝酸の混液で化学研磨した後、酸素−水素炎で
火炎研磨し、その後外付は法で合成石英層5を厚さ11
00pL程度積層し、これから第3図の線引装置を用い
て外形20gmのファイバを38000m線引し、この
ファイバを用いて1万画素、長さ1.5mのイメージガ
イド用バンドルファイバを2条製作した。
各々の断線率は0.03及び0%で極めて良好であった
。
。
本発明は叙上のように、石英プリフォーム1の表面に合
成石英層5を形成して石英プリフォームlの表面の欠陥
部4を補正するようにしたものであるため、この石英プ
リフォーム1を用いて成形される細径光ファイバーは強
度の強いものとなる。ちなみに、本発明により補正した
石英プリフォームlを線引して成形される細径光ファイ
バーと従来の細径光ファイバーとの強度の比較を第8図
に示す。第8図においてAは本発明により補正した石英
プリフォーム1を線引して成形されるm径光ファイバー
、Bは従来の細径光ファイバーである。 “ 又、本発明の石英プリフォームlを用いて成形される細
径光ファイバーは透過率も良いため長いイメージガイド
を製作することもできる。
成石英層5を形成して石英プリフォームlの表面の欠陥
部4を補正するようにしたものであるため、この石英プ
リフォーム1を用いて成形される細径光ファイバーは強
度の強いものとなる。ちなみに、本発明により補正した
石英プリフォームlを線引して成形される細径光ファイ
バーと従来の細径光ファイバーとの強度の比較を第8図
に示す。第8図においてAは本発明により補正した石英
プリフォーム1を線引して成形されるm径光ファイバー
、Bは従来の細径光ファイバーである。 “ 又、本発明の石英プリフォームlを用いて成形される細
径光ファイバーは透過率も良いため長いイメージガイド
を製作することもできる。
第1図は多成分系ガラス線引装置の一例を示す説明図、
第2図は多成分系ガラスファイバの断面図、第3図は石
英ファイバ線引装置の一例を示す説明図、第4図は細径
光ファイバーの欠陥例を示−す側面図、第5図は本発明
の説明図、第6図は本発明の方法に係るプリフォームの
縦断側面図、第7図は本発明の方法に係るプリフォーム
で製作された細径光フアイバー縦断正面図、第8図は本
発明の方法に係るプリフォームを線引した細径光ファイ
バーと従来の細径光ファイバーとの強度の比較を示す説
明図である。 lはプリフォーム 2はガラスセンパン 3は火炎加水分解用バーナ 4は欠陥部 5は合成石英層 第1図 第3図 第6図 第7′ ファイバANCにg/mrn2)
第2図は多成分系ガラスファイバの断面図、第3図は石
英ファイバ線引装置の一例を示す説明図、第4図は細径
光ファイバーの欠陥例を示−す側面図、第5図は本発明
の説明図、第6図は本発明の方法に係るプリフォームの
縦断側面図、第7図は本発明の方法に係るプリフォーム
で製作された細径光フアイバー縦断正面図、第8図は本
発明の方法に係るプリフォームを線引した細径光ファイ
バーと従来の細径光ファイバーとの強度の比較を示す説
明図である。 lはプリフォーム 2はガラスセンパン 3は火炎加水分解用バーナ 4は欠陥部 5は合成石英層 第1図 第3図 第6図 第7′ ファイバANCにg/mrn2)
Claims (1)
- 石英プリフォームの表面に外付法により合成石英層を積
層して該表面の欠陥を被覆するようにしたことを特徴と
する石英プリフォームの表面欠陥補正方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138245A JPS6033234A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 石英プリフォ−ムの表面欠陥補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138245A JPS6033234A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 石英プリフォ−ムの表面欠陥補正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6033234A true JPS6033234A (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=15217460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58138245A Pending JPS6033234A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 石英プリフォ−ムの表面欠陥補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6033234A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7712333B2 (en) * | 2006-03-29 | 2010-05-11 | Asahi Glass Company, Limited | Method for smoothing a surface of a glass substrate for a reflective mask blank used in EUV lithography |
RU2649989C1 (ru) * | 2016-11-24 | 2018-04-06 | Акционерное общество "Научно-производственное объединение Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (АО "НПО ГОИ им. С.И. Вавилова") | Способ изготовления заготовки для вытягивания кварцевых волоконных световодов |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP58138245A patent/JPS6033234A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7712333B2 (en) * | 2006-03-29 | 2010-05-11 | Asahi Glass Company, Limited | Method for smoothing a surface of a glass substrate for a reflective mask blank used in EUV lithography |
RU2649989C1 (ru) * | 2016-11-24 | 2018-04-06 | Акционерное общество "Научно-производственное объединение Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (АО "НПО ГОИ им. С.И. Вавилова") | Способ изготовления заготовки для вытягивания кварцевых волоконных световодов |
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