JP2806448B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2806448B2 JP2806448B2 JP6285671A JP28567194A JP2806448B2 JP 2806448 B2 JP2806448 B2 JP 2806448B2 JP 6285671 A JP6285671 A JP 6285671A JP 28567194 A JP28567194 A JP 28567194A JP 2806448 B2 JP2806448 B2 JP 2806448B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- thin
- magnetic
- film magnetic
- film
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＶＴＲ、ＤＡＴ等の回転
ヘッド型磁気記録再生装置等に用いる薄膜磁気ヘッドに
関する。
ヘッド型磁気記録再生装置等に用いる薄膜磁気ヘッドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気テープとの接触による偏摩耗を防止
するため、磁気回路構成部の表面に保護基板（非磁性基
板）を接着した構造の薄膜磁気ヘッドが特開昭６３−１
１２８１４号公報に提案されている。
するため、磁気回路構成部の表面に保護基板（非磁性基
板）を接着した構造の薄膜磁気ヘッドが特開昭６３−１
１２８１４号公報に提案されている。
【０００３】薄膜磁気ヘッドにあっては磁気回路構成部
の磁気コイルと外部電極とを導体線で接続している。し
かしながら、上述したように磁気回路構成部の表面を保
護基板で覆うと、磁気コイルも保護基板で覆うことにな
る。このため、保護基板の一部を剥離して磁気コイルの
一部を露出させ、この露出した部分に導体線を接続しな
ければならず作業が面倒である。
の磁気コイルと外部電極とを導体線で接続している。し
かしながら、上述したように磁気回路構成部の表面を保
護基板で覆うと、磁気コイルも保護基板で覆うことにな
る。このため、保護基板の一部を剥離して磁気コイルの
一部を露出させ、この露出した部分に導体線を接続しな
ければならず作業が面倒である。
【０００４】そこで、特開平３−２０５６０９号公報
に、磁気コイルの端部を磁気回路構成部の素子形成面と
直交する面にまで形成し、この部分に導体線の端部を接
続する手段が開示されている。
に、磁気コイルの端部を磁気回路構成部の素子形成面と
直交する面にまで形成し、この部分に導体線の端部を接
続する手段が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した特開平３−２
０５６０９号公報に開示される薄膜磁気ヘッド側の端子
部は、平面的であるので、半田等によって導体線を接続
する際の位置決めが難しく、また接続後に外れやすい。
０５６０９号公報に開示される薄膜磁気ヘッド側の端子
部は、平面的であるので、半田等によって導体線を接続
する際の位置決めが難しく、また接続後に外れやすい。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る薄膜磁気ヘッドは、非磁性基板上に形成され
た磁気回路構成部を覆う保護基板の素子形成面に接合さ
れる面に、磁気回路構成部の一部をなす磁気コイルの端
部と対向する位置に切欠を形成し、この切欠にて前記素
子形成面と略直交する面に開口する端子穴を形成するよ
うにした。
発明に係る薄膜磁気ヘッドは、非磁性基板上に形成され
た磁気回路構成部を覆う保護基板の素子形成面に接合さ
れる面に、磁気回路構成部の一部をなす磁気コイルの端
部と対向する位置に切欠を形成し、この切欠にて前記素
子形成面と略直交する面に開口する端子穴を形成するよ
うにした。
【０００７】ここで、素子形成面に保護膜が形成されて
いる場合には、この保護膜のうち磁気コイルの端部を覆
う部分を剥離する。また切欠表面には導体層を形成して
もよい。
いる場合には、この保護膜のうち磁気コイルの端部を覆
う部分を剥離する。また切欠表面には導体層を形成して
もよい。
【０００８】
【作用】薄膜磁気ヘッドの素子形成面と略直交する面に
素子形成面と保護基板の切欠とで形成される端子穴が開
口しているので、この端子穴に導体線を差込み、半田等
によって固定する。
素子形成面と保護基板の切欠とで形成される端子穴が開
口しているので、この端子穴に導体線を差込み、半田等
によって固定する。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッド
の平面図、図２は同薄膜磁気ヘッドの上面図、図３は図
１のＡ−Ａ線断面図、図４は図１のＢ−Ｂ線断面図、図
５は図１のＣ−Ｃ線断面図である。
説明する。ここで、図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッド
の平面図、図２は同薄膜磁気ヘッドの上面図、図３は図
１のＡ−Ａ線断面図、図４は図１のＢ−Ｂ線断面図、図
５は図１のＣ−Ｃ線断面図である。
【００１０】薄膜磁気ヘッドは基板１上にスパッタリン
グや蒸着等の成膜技術によって磁気回路構成部２が形成
され、この磁気回路構成部２の素子形成面２ａ側に保護
基板３が接合されている。
グや蒸着等の成膜技術によって磁気回路構成部２が形成
され、この磁気回路構成部２の素子形成面２ａ側に保護
基板３が接合されている。
【００１１】前記磁気回路構成部２の先端部には磁性層
４，４と磁気ギャップ５が形成され、後方には図３に示
すように磁気コイル６が形成されている。また、保護基
板３の素子形成面２ａに接合される面には、磁気コイル
６に対向する部分に切欠（溝）７が形成されている。
４，４と磁気ギャップ５が形成され、後方には図３に示
すように磁気コイル６が形成されている。また、保護基
板３の素子形成面２ａに接合される面には、磁気コイル
６に対向する部分に切欠（溝）７が形成されている。
【００１２】そして、この切欠７と前記素子形成面２ａ
の磁気コイル６を形成した部分とで端子穴８が形成され
る。即ちこの端子穴８は素子形成面２ａと略直交する薄
膜磁気ヘッドの側面に開口している。
の磁気コイル６を形成した部分とで端子穴８が形成され
る。即ちこの端子穴８は素子形成面２ａと略直交する薄
膜磁気ヘッドの側面に開口している。
【００１３】而して、外部電極と磁気コイル６とを接続
するには図５に示すように端子穴８に導体線９を差込
み、半田１０を用いて接合する。
するには図５に示すように端子穴８に導体線９を差込
み、半田１０を用いて接合する。
【００１４】ここで、薄膜磁気ヘッドを製作するには、
図６に示すような多数の磁気回路構成部２が形成された
バー状の基板１と、図７に示すような長さ方向に切欠７
が形成された保護基板３をガラス等の無機物で溶着し、
ワイヤソーやダイシングマシン等で個々の薄膜磁気ヘッ
ドに切断する。
図６に示すような多数の磁気回路構成部２が形成された
バー状の基板１と、図７に示すような長さ方向に切欠７
が形成された保護基板３をガラス等の無機物で溶着し、
ワイヤソーやダイシングマシン等で個々の薄膜磁気ヘッ
ドに切断する。
【００１５】図８は基板の別実施例を示す斜視図であ
り、この実施例にあっては素子形成面２ａをＴiＯ2やＳ
iＯ2等の保護膜１１で覆っている。従ってこの実施例に
あっては保護膜１１の一部をエッチング等によって除去
し、磁気コイル６の端部を露出させる。
り、この実施例にあっては素子形成面２ａをＴiＯ2やＳ
iＯ2等の保護膜１１で覆っている。従ってこの実施例に
あっては保護膜１１の一部をエッチング等によって除去
し、磁気コイル６の端部を露出させる。
【００１６】そして、図９に示すように、端子穴８に挿
入した導体線９の先端部まで半田１０を用いて固定する
ことで、信頼性は更に向上する。
入した導体線９の先端部まで半田１０を用いて固定する
ことで、信頼性は更に向上する。
【００１７】図１０（ａ）乃至（ｄ）は別実施例に係る
保護基板の製造法を説明した図であり、この実施例にあ
っては同図（ａ）に示すような切欠７を形成したバー状
の保護基板３の切欠７を形成した表面に蒸着等の手段に
よって、同図（ｂ）に示すように銅等の導体層１２を形
成し、その後、同図（ｃ）に示すように切欠７表面以外
の導体層１２を除去し、次いで同図（ｄ）に示すように
個々の薄膜磁気ヘッド毎に切欠７と直交する方向に溝１
３を形成した後に切断する。
保護基板の製造法を説明した図であり、この実施例にあ
っては同図（ａ）に示すような切欠７を形成したバー状
の保護基板３の切欠７を形成した表面に蒸着等の手段に
よって、同図（ｂ）に示すように銅等の導体層１２を形
成し、その後、同図（ｃ）に示すように切欠７表面以外
の導体層１２を除去し、次いで同図（ｄ）に示すように
個々の薄膜磁気ヘッド毎に切欠７と直交する方向に溝１
３を形成した後に切断する。
【００１８】尚、図１０（ｂ）及び（ｃ）に示す工程を
とらずに、マスクを介して切欠７の表面にのみ導体層１
２を形成してもよい。
とらずに、マスクを介して切欠７の表面にのみ導体層１
２を形成してもよい。
【００１９】上記の如くして製作した保護基板３を基板
１に接合することで、図１１に示す薄膜磁気ヘッドが得
られる。この薄膜磁気ヘッドにあっては、溝１３が側面
に形成されるので、導体が露出することがなく、短絡を
防止することができ、またヘッドベースに固定する際の
接着剤の溜めにもなり、チップ剥がれの心配もなくなり
信頼性が向上する。
１に接合することで、図１１に示す薄膜磁気ヘッドが得
られる。この薄膜磁気ヘッドにあっては、溝１３が側面
に形成されるので、導体が露出することがなく、短絡を
防止することができ、またヘッドベースに固定する際の
接着剤の溜めにもなり、チップ剥がれの心配もなくなり
信頼性が向上する。
【００２０】図１２は上記の実施例を組合せたものであ
り、保護基板３の切欠７表面には導体層１２が形成さ
れ、更に導体が露出することを避ける溝１３が形成され
ている。
り、保護基板３の切欠７表面には導体層１２が形成さ
れ、更に導体が露出することを避ける溝１３が形成され
ている。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る薄膜
磁気ヘッドよれば、磁気回路構成部の素子形成面に接合
される保護基板の一面に、前記磁気回路構成部の一部を
なす磁気コイルの端部と対向する位置に切欠を形成し、
この切欠にて前記素子形成面と略直交する面に開口する
端子穴を形成したので、導体線を接続する際の位置決め
が容易で、しかも接合後に外れにくい。
磁気ヘッドよれば、磁気回路構成部の素子形成面に接合
される保護基板の一面に、前記磁気回路構成部の一部を
なす磁気コイルの端部と対向する位置に切欠を形成し、
この切欠にて前記素子形成面と略直交する面に開口する
端子穴を形成したので、導体線を接続する際の位置決め
が容易で、しかも接合後に外れにくい。
【００２２】また、素子形成面を保護膜で覆った場合で
あっても、保護膜の一部をエッチング等によって除去す
ることで磁気コイルの端部を露出させるようにすれば、
前記と同様の端子穴を形成することができ、更に、保護
基板に形成した切欠の表面に導体層を形成しておくこと
で、導体線との電気的な接続を確実に行うことができ
る。
あっても、保護膜の一部をエッチング等によって除去す
ることで磁気コイルの端部を露出させるようにすれば、
前記と同様の端子穴を形成することができ、更に、保護
基板に形成した切欠の表面に導体層を形成しておくこと
で、導体線との電気的な接続を確実に行うことができ
る。
【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの平面図
【図２】同薄膜磁気ヘッドの上面図
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図
【図４】図１のＢ−Ｂ線断面図
【図５】図１のＣ−Ｃ線断面図
【図６】基板の斜視図
【図７】保護基板の斜視図
【図８】基板の別実施例を示す斜視図
【図９】図８に示した別実施例の端子部の拡大断面図
【図１０】（ａ）乃至（ｄ）は別実施例に係る保護基板
の製造法を説明した図
の製造法を説明した図
【図１１】図１０に示した保護基板を用いた薄膜磁気ヘ
ッドの斜視図
ッドの斜視図
【図１２】別実施例に係る薄膜磁気ヘッドの端子部の拡
大断面図
大断面図
１・・・基板、２・・・磁気回路構成部、２ａ・・・素子形成
面、３・・・保護基板、６・・・磁気コイル、７・・・切欠、８・
・・端子穴、９・・・導体線、１０・・・半田、１１・・・保護
膜、１２・・・導体層、１３・・・溝。
面、３・・・保護基板、６・・・磁気コイル、７・・・切欠、８・
・・端子穴、９・・・導体線、１０・・・半田、１１・・・保護
膜、１２・・・導体層、１３・・・溝。
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性基板上に磁気回路構成部及び保護
基板を順次形成した薄膜磁気ヘッドにおいて、前記保護
基板の磁気回路構成部の素子形成面に接合される面に
は、前記磁気回路構成部の一部をなす磁気コイルの端部
と対向する位置に切欠が形成され、この切欠にて前記素
子形成面と略直交する面に開口する導体線を挿入する端
子穴が形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項２】 請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記素子形成面には保護膜が形成され、この保護膜
のうち磁気コイルの端部を覆う部分が剥離されているこ
とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記切欠表面には導体層が形成されていることを特
徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285671A JP2806448B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285671A JP2806448B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08147626A JPH08147626A (ja) | 1996-06-07 |
| JP2806448B2 true JP2806448B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17694551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6285671A Expired - Lifetime JP2806448B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2806448B2 (ja) |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP6285671A patent/JP2806448B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08147626A (ja) | 1996-06-07 |
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