JP2803677B2 - Liquid crystal display - Google Patents

Liquid crystal display

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JP2803677B2
JP2803677B2 JP1192607A JP19260789A JP2803677B2 JP 2803677 B2 JP2803677 B2 JP 2803677B2 JP 1192607 A JP1192607 A JP 1192607A JP 19260789 A JP19260789 A JP 19260789A JP 2803677 B2 JP2803677 B2 JP 2803677B2
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雅彦 鈴木
栄 染谷
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【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶表示装置に係り、特に、液晶表示装置
の液晶表示部と外部駆動回路との接続用端子および測定
用端子の構造に関する。 〔従来の技術〕 例えば、アクティブ・マトリックス方式の液晶表示装
置は、マトリクス状に配列された複数の画素電極の各々
に対応して非線形素子(スイッチング素子)を設けたも
のである。各画素における液晶は理論的には常時駆動
(デューティ比1.0)されているので、時分割駆動方式
を採用している、いわゆる単純マトリクス方式と比べて
アクティブ方式はコントラストが良く、特にカラーでは
欠かせない技術となりつつある。スイッチング素子とし
て代表的なものとしては薄膜トランジスタ(TFT)があ
る。 TFTと画素電極とを画素の一構成要素とする液晶表示
装置は、マトリックス状に複数の画素が配置された液晶
表示部(液晶表示パネル)を有している。液晶表示部の
各画素は、隣接する2本の走査信号線(ゲート信号線ま
たは水平信号線とも称す)と隣接する2本の映像信号線
(ドレイン信号線または垂直信号線とも称す)との交差
領域内に配置されている。走査信号線は、列方向(水平
方向)に延在し、かつ、行方向(垂直方向)に複数本配
列されている。一方、映像信号線は、走査信号線と交差
する行方向に延在し、かつ、列方向に複数本配列されて
いる。 液晶表示部は、薄膜トランジスタ、透明画素電極、薄
膜トランジスタの保護膜、配向膜が順次設けられた下部
透明ガラス基板と、カラーフィルタ、カラーフィルタの
保護膜、共通透明画素電極、配向膜が順次設けられた上
部透明ガラス基板と、両基板間に封入、封止された液晶
と、該液晶を封止するシール材とによって構成されてい
る。 なお、TFTを使用したアクティブ・マトリクス液晶表
示装置は、例えば「冗長構成を採用した12.5型アクティ
ブ・マトリクス方式カラー液晶ディスプレイ」、日経エ
レクトロニクス、193〜210頁、1986年12月15日、日経マ
グロウヒル社発行、で知られている。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の液晶表示装置では、下部透明ガラス基板上に形
成された走査信号線および映像信号線のうち、映像信号
線が下部透明ガラス基板の両側に引き出され、それらの
各端部に交互に接続用端子および配線抵抗や断線等をチ
ェックする測定用端子が設けられている。 第12図(A)、(B)は、それぞれ従来の端子の構造
を示す平面図および断面図である。第12図(C)は、信
号線が基板の両側に引き出され、交互に接続用端子およ
び測定用端子が設けられている様子を示す平面図であ
る。 SUB1は下部透明ガラス基板、SUB2は上部透明ガラス基
板、CTは接続用端子、MTは測定用端子、SLは液晶のシー
ル材、ECは電食発生場所である。また、(C)図におい
て、DLは映像信号線、GLは走査信号線である。 従来は、測定用端子MTを設けたことにより、端子間ピ
ッチ(CTとMEとのピッチ)が接続用端子間ピッチの1/2
となり、従って電界強度が2倍となる。また、フリッカ
レス駆動するため、隣り合う端子には位相が180度異な
る信号を加えている。これにより、隣り合う端子間の電
子差はさらに2倍となる。このような状況のもとで、従
来は、付着した水滴等に起因する端子間のリーク電流、
特に高温多湿の環境下におけるリーク電流による電食の
問題が配慮されておらず、電食による配線の断線という
問題があった。 本発明の目的は、端子間のリーク電流を抑制し、電食
を抑制することにある。 本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであ
ろう。 〔課題を解決するための手段〕 上記の課題を達成するために、本発明の液晶表示装置
は、所定の間隔を隔てて重ね合わせられた第1および第
2の透明基板と、上記両基板間の縁周囲に沿って設けら
れたシール材と、上記両基板間に封入され、上記シール
材により封止された液晶と、上記一方の基板上に複数本
配列された各画素の駆動用配線とを具備し、上記配線の
一端には接続用端子、他端には測定用端子が設けられ、
かつ上記測定用端子の先端部が上記シール材の内側に位
置していることを特徴とする。 また、上記測定用端子の先端部が保護膜で覆われ、か
つ上記保護膜の外縁部が上記シール材の内側に位置して
いることを特徴とする。 また、上記接続用端子と上記測定用端子とはその配線
の伸びる方向と直角の方向に交互に配置されていること
を特徴とする。 第1図(A)、(B)は、それぞれ本発明の構成の一
例を示す平面図および断面図である。 SUB1は下部透明ガラス基板、SUB2は上部透明ガラス基
板、CTは接続用端子、MTは測定用端子、SLは液晶のシー
ル材、PSV1は保護膜である。測定用端子MTの先端部がシ
ール材SLの内側にあり、保護膜PSV1の外縁部がシール材
SLの内側に位置し、保護膜PSV1が測定用端子MTの先端部
を覆っている。 〔作用〕 測定用端子の先端部が上記シール材の内側に位置して
いるので、電食を防止できる。また、測定用端子の先端
部がシール材の内側にあり、上部透明ガラス基板の外側
に出ていないので、外側に存在する端子間の距離が3倍
になり、電界強度が1/3になる。また、配線は1本毎に
極性を反転させた信号で駆動されるが、外側には接続用
端子しか存在せず、それらの電位は同極性電位となるの
で、さらに、電位差を低減できる。シール材は、測定用
端子の先端部を外部の湿度から遮断し、保護する。ま
た、電食に対し、最も弱い部分である保護膜の外縁部が
シール材の内側に位置し、この保護膜で測定用端子の先
端部を覆っているので、端子間のリーク電流をさらに低
減し、電食を抑制できる。なお、測定用端子を有するの
で、配線抵抗の測定も可能である。 〔実施例〕 以下、本発明の構成について、アクティブ・マトリク
ス方式のカラー液晶表示装置に本発明を適用した実施例
とともに説明する。 なお、実施例を説明するための全図において、同一機
能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明
は省略する。 第11図は、本発明が適用される液晶表示モジュールの
一部切断平面図である。 5は上シールドケース、6は下シールドケース、7は
上シールドケース5に設けられた液晶表示窓、1は液晶
表示窓7に取り付けられた液晶表示パネル、19は外部か
らの信号を入力するFPC(フレキシブル プリント配線
基板)、18は位置決め用穴、16はリベット、15はリベッ
ト用孔、17はリベット取り付け部のシールドケース5、
6に設けられた凹部である。上下2枚のシールドケース
5、6は組み合わされ、複数のリベット16および半田付
けによって固定されている。2は液晶表示パネル1を駆
動させるための駆動IC、3は駆動IC2が実装されたTAB
(テープ オートメイティド ボンディング)、4はTA
B3が実装されたプリント配線基板(PCB)、9は液晶表
示パネル1の接続用端子(入力端子)であり、TAB3の出
力端子と接続される。 第2A図は本発明が適用されるアクティブ・マトリクス
方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面
図であり、第2B図は第2A図のIIB−IIB切断線における断
面と表示パネルのシール部付近の断面を示す図であり、
第2C図は第2A図のIIC−IIC切断線における断面図であ
る。また、第3図(要部平面図)には、第2A図に示す画
素を複数配置したときの平面図を示す。 《画素配置》 第2A図に示すように、各画素は、隣接する2本の走査
信号線(ゲート信号線又は水平信号線)GLと、隣接する
2本の映像信号線(ドレイン信号線又は垂直信号線)DL
との交差領域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配
置されている。各画素は薄膜トランジスタTFT、画素電
極ITO1及び付加容量Caddを含む。走査信号線GLは、列方
向に延在し、行方向に複数本配置されている。映像信号
線DLは、行方向に延在し、列方向に複数本配置されてい
る。 《パネル断面全体構造》 第2B図に示すように、液晶層LCを基準に下部透明ガラ
ス基板SUB1側には薄膜トランジスタTFT及び透明画素電
極ITO1が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側には、カ
ラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリクスパターンB
Mが形成されている。下部透明ガラス基板SUB1側は、例
えば、1.1[mm]程度の厚さで構成されている。 第2B図の中央部は一画素部分の断面を示しているが、
左側は透明ガラス基板SUB1及びSUB2の左側縁部分を、右
側は、透明ガラス基板SUB1及びSUB2の右側縁部分を示
し、それぞ外部引出配線のうちの測定用端子が存在する
部分の断面を示している。 第2B図の左側、右側の夫々に示すシール材SLは、液晶
LCを封止するように構成されており、液晶封入口(図示
していない)を除く透明ガラス基板SUB1及びSUB2の縁周
囲全体に沿って形成されている。シール材SLは、例え
ば、エポキシ樹脂で形成されている。 下部透明ガラス基板SUB1上には映像信号線DLと走査信
号線GLが各画素に対応してそれぞれ縦横方向に複数本配
列されている(第8図の等価回路図参照)。各映像信号
線DLの一端には接続用端子(図示せず、第1図(A)参
照)、他端には配線抵抗の測定用端子MTが設けられ、接
続用端子と測定用端子MTとは映像信号線DLの伸びる方向
と直角の方向に交互に配置されている。測定用端子MTの
先端部は図示のようにシール材SLの内側に位置してお
り、上部透明ガラス基板SUB2の外側に出ていないので、
外側に存在する端子(接続用端子)間の距離が従来と比
較して3倍になり、電界強度が1/3になる。また、映像
信号線DLは、1本毎に極性を反転させた信号で駆動され
るが、外側には接続用端子しか存在せず、それらの電位
は同極性電位となるので、さらに電位差を低減できる。
シール材SLは、測定用端子MTの先端部を外部の湿度から
遮断し、保護する。また、電食に対し、最も弱い部分で
ある保護膜PSV1の外縁部がシール材SLの内側に位置し、
この保護膜PSV1で測定用端子MTの先端部を覆っているの
で、端子間のリーク電流をさらに低減できる。従って、
隣接する測定用端子間の電食が防止でき、また外側の接
続用端子間も同極性電位でかつ距離が大きいので電食を
抑制できる。なお、測定用端子MTを有するので、下部透
明ガラス基板SUB1と上部透明ガラス基板SUB2を組み立て
る前に映像信号線DLの配線抵抗の測定や断線のチェック
が可能である。 前記上部透明ガラス基板SUB2側の共通透明画素電極IT
O2は、少なくとも一個所において、銀ペースト材SILに
よって、下部透明ガラス基板SUB1側に形成された外部引
出配線に接続されている。この外部引出配線は、前述し
たゲート電極GT、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の夫
々と同一製造工程で形成される。 配向膜ORI1及びORI2、透明画素電極ITO、共通透明画
素電極ITO、保護膜PSV1及びPSV2、絶縁膜GIの夫々の層
は、シール材SLの内側に形成される。偏向板POLは、下
部透明ガラス基板SUB1、上部透明ガラス基板SUB2の夫々
の外側の表面に形成されている。 液晶LCは、液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI1
及び上部配向膜ORI2の間に封入され、シール部SLによっ
てシールされている。 下部配向膜ORI1は、下部透明ガラス基板SUB1側の保護
膜PSV1の上部に形成される。 上部透明ガラス基板SUB2の内側(液晶側)の表面に
は、遮光膜BM、カラーフィルタFIL、保護膜PSV2、共通
透明画素電極(COM)ITO2及び上部配向膜ORI2が順次積
層して設けられている。 この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板SUB1側、上
部透明ガラス基板SUB2側の夫々の層を別々に形成し、そ
の後、上下透明ガラス基板SUB1及びSUB2を重ね合せ、両
者間に液晶LCを封入することによって組み立てられる。 《薄膜トランジスタTFT》 薄膜トランジスタTFTは、ゲート電極GTに正のバイア
スを印加すると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が
小さくなり、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大
きくなるように動作する。 各画素の薄膜トランジスタTFTは、画素内において3
つ(複数)に分割され、薄膜トランジスタ(分割薄膜ト
ランジスタ)TFT1、TFT2及びTFT3で構成されている。薄
膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々は、実質的に同一サイ
ズ(チャンネル長と幅が同じ)で構成されている。この
分割された薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々は、主
に、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、intr
insic、導電型決定不純物がドープされていない)非晶
質Si半導体層AS、一対のソース電極SD1及びドレイン電
極SD2で構成されている。なお、ソース・ドレインは本
来その間のバイアス極性によって決まり、本表示装置の
回路ではその極性は動作中反転するので、ソース・ドレ
インは動作中入れ替わると理解されたい。しかし以下の
説明でも、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定
して表現する。 《ゲート電極GT》 ゲート電極GTは、第4図(第2A図の層g1、g2及びASの
みを描いた平面図)に詳細に示すように、走査信号線GL
から垂直方向(第2A図及び第4図において上方向)に突
出する形状で構成されている(T字形状に分岐されてい
る)。ゲート電極GTは、薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の
夫々の形成領域まで突出するように構成されている。薄
膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々のゲート電極GTは、一
体に(共通ゲート電極として)構成されており、走査信
号線GLに連続して形成されている。ゲート電極GTは、薄
膜トランジスタTFTの形成領域において大きい段差を作
らないように、単層の第1導電膜g1で構成する。第1導
電膜g1は、例えばスパッタで形成されたクロム(Cr)膜
を用い、1000[Å]程度の膜厚で形成する。 このゲート電極GTは、第2A図、第2B図及び第4図に示
されているように、半導体層ASを完全に覆うよう(下方
からみて)それより大き目に形成される。従って、基板
SUB1の下方に蛍光灯等のバックライトBLを取付けた場
合、この不透明のCrゲート電極GTが影となって、半導体
層ASにはバックライト光が当たらず、光照射による導電
現象すなわちTFTのオフ特性劣化は起きにくくなる。な
お、ゲート電極GTの本来の大きさは、ソース・ドレイン
電極SD1とSD2間をまたがるに最低限必要な(ゲート電極
とソース・ドレイン電極の位置合わせ余裕分も含めて)
幅を持ち、チャンネル幅Wを決めるその奥行き長さはソ
ース・ドレイン電極間の距離(チャンネル長(Lとの
比、即ち相互コンダクタンスgmを決定するファクタW/L
をいくつにするかによって決められる。 本実施例におけるゲート電極の大きさは勿論、上述し
た本来の大きさよりも大きくされる。 ゲート電極GTのゲート及び遮光の機能面からだけで考
えれば、ゲート電極及びその配線GLは単一の層で一体に
形成しても良く、この場合不透明導電材料としてSiを含
有させたAl、純Al、及びPdを含有させたAl等を選ぶこと
ができる。 《走査信号線GL》 前記走査信号線GLは、第1導電膜1及びその上部に設
けられた第2導電膜g2からなる複合膜で構成されてい
る。この走査信号線GLの第1導電線g1は、前記ゲート電
極GTの第1導電膜g1と同一製造工程で形成され、かつ一
体に構成されている。第2導電膜g2は、例えば、スパッ
タで形成されたアルミニウム(Al)膜を用い、2000〜40
00[Å]程度の膜厚で形成する。第2導電膜g2は、走査
信号線GLの抵抗値を低減し、信号伝達速度の高速比(画
素の情報の書込特性向上)を図ることができるように構
成されている。 また、走査信号線GLは、第1導電膜g1の幅寸法に比べ
て第2導電膜g2の幅寸法を小さく構成している。すなわ
ち、走査信号線GLは、その側壁の段差形状がゆるやかに
なっている。 《ゲート絶縁膜GI》 絶縁膜GIは、薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々のゲ
ート絶縁層として使用される。絶縁膜GIは、ゲート電極
GT及び走査信号線GLの上層に形成されている。絶縁膜GI
は、例えば、プラズマCVCで形成された窒化珪素膜を用
い、3000[Å]程度の膜厚で形成する。 《半導体層AS》 i型半導体層ASは、第4図に示すように、複数に分割
された薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々のチャネル形
成領域として使用される。i型半導体層ASは、アモーフ
ァスシリコン膜又は多結晶シリコン膜で形成し、約1800
[Å]程度の膜層で形成する。 このi型半導体層ASは、供給ガスの成分を変えてSi3N
4ゲート絶縁膜GIの形成に連続して、同じプラズマCVD装
置で、しかもその装置から外部に露出することなく形成
される。また、オーミックコンタクト用のPをドープし
たN+層d0(第2B図)も同様に連続して約400[Å]の厚
さに形成される。しかる後下側基板SUB1はCVD装置から
外に取り出され、写真処理技術により、N+層d0層ASは第
2A図、第2B図及び第4図に示すように独立した島にパタ
ーニングされる。 i型半導体層ASは、第2A図及び第4図に詳細に示すよ
うに、走査信号線GLと映像信号線DLとの交差部(クロス
オーバ部)の両者間にも設けられている。この交差部i
型半導体層ASは、交差部における走査信号線GLと映像信
号線DLとの短絡を低減するように構成されている。 《ソース・ドレイン電極SD1、SD2》 複数に分割された薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々
のソース電極SD1とドレイン電極SD2とは、第2A図、第2B
図及び第5図(第2A図の層d1〜d3のみを描いた平面図)
で詳細に示すように、半導体層AS上に夫々離隔して設け
られている。 ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の夫々は、N+型半導
体層d0に接触する下層側から、第1導電膜d1、第2導電
膜d2、第3導電膜d3を順次重ね合わせて構成されてい
る。ソース電極SD1の第1導電膜d1、第2導電膜d2及び
第3導電膜d3は、ドレイン電極SD2の夫々と同一製造工
程で形成される。 第1導電膜d1は、スパッタで形成したクロム膜を用
い、500〜1000[Å]の膜厚(本実施例では、600[Å]
程度の膜厚)で形成する。クロム膜は、膜厚を厚く形成
するとストレスが大きくなるので、2000[Å]程度の膜
厚を越えない範囲で形成する。クロム膜は、N+型半導体
層d0との接触が良好である。クロム膜は、後述する第2
導電膜d2のアルミニウムがN+型半導体層d0に拡散するこ
とを防止する、所謂バリア層を構成する。第1導電膜d1
としては、クロム膜の他に、高融点金属(Mo,Ti,Ta,W)
膜、高融点金属シリサイド(MoSi2,TiSi2,TaSi2,WSi
2)膜で形成してもよい。 第1導電膜d1を写真処理でパターニングした後、同じ
写真処理用マスクで或は第1導電膜d1をマスクとしてN+
層d0が除去される。つまり、i層AS上に残っていたN+
d0は第1導電膜d1以外の部分がセルフアラインで除去さ
れる。このとき、N+層d0はその厚さ分は全て除去される
ようエッチされるのでi層ASも若干その表面部分でエッ
チされるが、その程度はエッチ時間で制御すれば良い。 しかる後第2導電膜d2が、アルミニウムのスパッタリ
ングで3000〜4000[Å]の膜厚(本実施例では、3000
[Å]程度の膜厚)に形成される。アルミニウム膜は、
クロム膜に比べてストレスが小さく、厚い膜厚に形成す
ることが可能で、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2及び
映像信号線DLの抵抗値を低減するように構成されてい
る。第2導電膜d2としては、アルミニウム膜の他に、シ
リコン(Si)や銅(Cu)を添加物として含有させたアル
ミニウム膜で形成してもよい。 第2導電膜d2の写真処理技術によるパターニング後第
3導電膜d3が形成される。この第3導電膜3はスパッタ
リングで形成された透明導電膜(Induim−Tin−Oxide I
TO:ネサ膜)から成り、1000〜2000[Å]の膜厚(本実
施例では、1200[Å]程度の膜厚)で形成される。この
第3導電膜3は、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2及び
映像信号線DLを構成すると共に、透明画素電極ITO1を構
成するようになっている。 ソース電極SD1の第1導電膜1、ドレイン電極SD2の第
1導電膜d1の夫々は、上層の第2導電膜d2及び第3導電
膜d3に比べて内側に(チャンネル領域内に)大きく入り
込んでいる。つまり、これらの部分における第1導電膜
d1は、層d2、d3とは無関係に薄膜トランジスタTFTのゲ
ート長Lを規定できるように構成されている。 ソース電極SD1は、前記のように、透明画素電極ITO1
に接続されている。ソース電極SD1は、i型半導体層AS
の段差形状(第1導電膜g1の膜厚、N+層0の膜厚及び型
半導体層ASの膜厚とを加算した膜厚に相当する段差)に
沿って構成されている。具体的には、ソース電極SD1
は、i型半導体層ASの段差形状に沿って形成された第1
導電膜d1と、この第1導電膜d1の上部にそれに比べて透
明画素電極ITO1と接続される側を小さいサイズで形成し
た第2導電膜d2と、この第2導電膜から露出する第1導
電膜d1に接続された第3導電膜3とで構成されている。
ソース電極SD1の第2導電膜d2は、第1導電膜d1のクロ
ム膜がストレスの増大から厚く形成できず、i型半導体
層ASの段差形状を乗り越えられないので、このi型半導
体層ASを乗り越えるために構成されている。つまり、第
2導電膜d2は、厚く形成することでステップカバレッジ
を向上している。第2導電膜2は、厚く形成できるの
で、ソース電極SD1の抵抗値(ドレイン電極SD2や映像信
号線DLについても同様)の低減に大きく寄与している。
第3導電膜d3は、第2導電膜2のi型半導体層ASに起因
する段差形状を乗り越えることができないので、第2導
電膜d2のサイズを小さくすることで露出する第1の導電
膜d1に接続するように構成されている。第1導電膜d1と
第3導電膜d3とは、接続性が良好であるばかりか、両者
間の接続部の段差形状が小さいので、確実に接続するこ
とができる。 《画素電極ITO1》 前記透明画素電極ITO1は、各画素毎に設けられてお
り、液晶表示部の画素電極の一方を構成する。透明画素
電極ITO1は、画素の複数に分割された薄膜トランジスタ
TFT1〜TFT3の夫々に対応して3つの透明画素電極(分割
透明画素電極)E1、E2、E3に分割されている。透明画素
電極E1〜E3は、各々、薄膜トランジスタTFTのソース電
極SD1に接続されている。 透明画素電極E1〜E3の夫々は、実質的に同一面積とな
るようにパターニングされている。 このように、1画素の薄膜トランジスタTFTを複数の
薄膜トランジスタTFT1〜TFT3に分割し、この複数に分割
された薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の夫々に複数に分割
した透明画素電極E1〜E3の夫々を接続することにより、
分割された一部分(例えば、TFT1)が点欠陥になって
も、画素全体でみれば点欠陥でなくなる(TFT2及びTFT3
が欠陥でない)ので、点欠陥の確率を低減することがで
き、また欠陥を見にくくすることができる。 また、前記画素の分割された透明画素電極E1〜E3の夫
々を実質的に同一面積で構成することにより、透明画素
電極E1〜E3の夫々と共通透明画素電極ITO2とで構成され
る夫々の液晶容量(Cpix)を均一にすることができる。 《保護膜PSV1》 薄膜トランジスタTFT及び透明画素電極ITO1上には、
保護膜PSV1が設けられている。保護膜PSV1は、主に、薄
膜トランジスタTFTを湿気等から保護するために形成さ
れており、透明性が高くしかも耐湿性の良いものを使用
する。保護膜PSV1は、例えば、プラズマCVDで形成した
酸化珪素膜や窒化珪素膜で形成されており、8000[Å]
程度の膜厚で形成する。 《遮光膜BM》 上部基板SUB2側には、外部光(第2B図では上方からの
光)がチャネル形成領域として使用されるi型半導体層
ASに入射されないように、遮蔽膜BMが設けられ、第6図
のハッチングに示すようなパターンとされている。な
お、第6図は第2A図におけるITO膜層d3、フィルタ層FIL
及び遮蔽膜BMのみを描いた平面図である。遮蔽膜BMは、
光に対する遮蔽性が高い、例えば、アルミニウム膜やク
ロム膜等で形成されており、本実施例では、クロム膜が
スパッタリングで1300[Å]程度の膜厚に形成される。 従って、TFT1〜3の共通半導体層ASは上下にある遮光
膜BM及び大き目のゲート電極GTによってサンドイッチに
され、その部分は外部の自然光やバックライト光が当た
らなくなる。遮光膜BMは第6図のハッチング部分で示す
ように、画素の周囲に形成され、つまり遮光膜BMは格子
状に形成され(ブラックマトリクス)、この格子で1画
素の有効表示領域が仕切られている。従って、各画素の
輪郭が遮光膜BMによってはっきりとしコントラストが向
上する。つまり遮光膜BMは、半導体層ASに対する遮蔽と
ブラックマトリクスとの2つの機能をもつ。 なお、バックライトをSUB2側に取り付け、SUB1を観察
側(外部露出側)とすることもできる。 《共通電極ITO2》 共通透明画素電極ITO2は、下部透明ガラス基板SUB1側
に画素毎に設けられた透明画素電極ITO1に対向し、液晶
の光学的な状態は各画素電極ITO1と共通電極ITO2間の電
位差(電界)に応答して変化する。この共通透明画素電
極ITO2には、コモン電圧Vcomが印加されるように構成さ
れている。コモン電圧Vcomは、映像信号線DLに印加され
るロウレベルの駆動電圧V d minとハイレベルの駆動電
圧V d maxとの中間電位である。 《カラーフィルタFIL》 カラーフィルタFILは、アクリル樹脂等の樹脂材料で
形成される染色基材に染料を着色して構成されている。
カラーフィルタFILは、画素に対向する位置に各画素毎
にドット状に形成され(第7図)、染め分けられている
(第7図は第3図の第3導電膜層d3とカラーフィルタ層
FILのみを描いたもので、R,G,Bの各フィルターはそれぞ
れ、45°、135°、クロスのハッチを施してある)。カ
ラーフィルタFILは第6図に示すように画素電極ITO1(E
1〜E3)の全てを覆うように大き目に形成され、遮光膜B
MはカラーフィルタFIL及び画素電極ITO1のエッジ部分と
重なるよう画素電極ITO1の周縁部より内側に形成されて
いる。 カラーフィルタFILは、次のように形成することがで
きる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の表面に染色基材
を形成し、フォトリングラフィ技術で赤色フィルタ形成
領域以外の染色基材を除去する。この後、染色基材を赤
色材料で染め、固着処理を施し、赤色フィルタRを形成
する。次に、同様な工程を施すことによって、緑色フィ
ルタG、青色フィルタBを順次形成する。 保護膜PSV2は、前記カラーフィルタFILを異なる色に
染め分けた染料が液晶LCに漏れることを防止するために
設けられている。保護膜PSV2は、例えば、アクリル樹
脂,エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。 《画素配列》 前記液晶表示部の各画素は、第3図及び第7図に示す
ように、走査信号線GLが延在する方向と同一列方向に複
数配置され、画素列X1,X2,X3,X4,…の夫々を構成してい
る。各画素列X1,X2,X3,X4,…の夫々の画素は、薄膜トラ
ンジスタTFT1〜TFT3及び透明画素電極E1〜E3の配置位置
を同一に構成している。つまり、奇数画素列X1,X3,…の
夫々の画素は、薄膜トランジスタTFT1〜TFT3の配置位置
を左側、透明画素電極E1〜E3の配置位置を右側に構成し
ている。奇数画素列X1,X3,…の夫々の行方向の隣りの偶
数画素列X2,X4,…の夫々の画素は、奇数画素列X1,X3,…
の夫々の画素を前記映像信号線DLの延在方向を基準にし
て線対称でひっくり返した画素で構成されている。すな
わち、画素列X2,X4,…の夫々の画素は、薄膜トランジス
タTFT1〜TFT3の配置位置を右側、透明画素電極E1〜E3の
配置位置を左側に構成している。そして、画素列X2,X4,
…の夫々の画素は、画素列X1,X3,…の夫々の画素に対
し、列方向に半画素間隔移動させて(ずらして)配置さ
れている。つまり、画素列Xの各画素間隔を1.0(1.0ピ
ッチ)とすると、次段の画素列Xは、各画素間隔を1.0
とし、前段の画素列Xに対して列方向に0.5画素間隔
(0.5ピッチ)ずれている。各画素間を行方向に延在す
る映像信号線DLは、各画素列X間において、半画素間隔
分(0.5ピッチ分)列方向に延在するように構成されて
いる。 その結果、第7図に示すように、前段の画素列Xの所
定色フィルタが形成された画素(例えば、画素列X3の赤
色フィルタRが形成された画素)と次段の画素列Xの同
一色フィルタが形成された画素(例えば、画素列X4の赤
色フィルタRが形成された画素)とが1.5画素間隔(1.5
ピッチ)離隔され,また、RGBのカラーフィルタFILは三
角形配置となる。カラーフィルタFILのRGBの三角形配置
構造は、各色の混色を良くすることができるので、カラ
ー画像の解像度を向上することができる。 また、映像信号線DLは、各画素列X間において、半画
素間隔分しか列方向に延在しないので、隣接する映像信
号線DLと交差しなくなる。したがって、映像信号線DLの
引き回しをなくしその占有面積を低減することができ、
又映像信号線DLの迂回をなくし多層配線構造を廃止する
ことができる。 《表示パネル全体等価回路》 この液晶表示部装置の等価回路を第8図に示す。XiG,
Xi+1G,…は、緑色フィルタGが形成される画素に接続
された映像信号線DLである。XiB,Xi+1B,…は、青色フ
ィルタBが形成される画素に接続された映像信号線DLで
ある。Xi+1R,Xi+2R,…は、赤色フィルタRが形成され
る画素に接続された映像信号線DLである。これらの映像
信号線DLは、両側に交互に引き出され、2つの映像信号
駆動回路で選択される。Yiは第3図及び第7図に示す画
素列X1を選択する走査信号線GLである。同様に、Yi+1,
Yi+2,…の夫々は、画素列X2,X3,…の夫々を選択する走
査信号線GLである。これらの走査信号線GLは、垂直走査
回路に接続されている。Caddは付加容量を示し、Vcomは
共通電圧を示す。 《付加容量Caddの構造》 透明画素電極E1〜E3の夫々は、薄膜トランジスタTFT
と接続される端部と反対側の端部において、隣りの走査
信号線GLと重なるよう、L字状に屈折して形成されてい
る。この重ね合せは、第2C図からも明らかなように、透
明画素電極E1〜E3の夫々を一方の電極PL2とし、隣りの
走査信号線GLを他方の電極PL1とする保持容量素子(静
電容量素子)Caddを構成する。この保持容量素子Caddの
誘電体膜は、薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜とし
て使用される絶縁膜GIと同一層で構成されている。 保持容量Caddは、第4図からも明らかなように、ゲー
ト線GLの1層目1の幅を広げた部分に形成されている。
なお、ドレイン線DLと交差する部分の層g1はドレイン線
との短絡の確率を小さくするため細くされている。 保持容量素子Caddを構成するために重ね合わされる透
明画素電極E1〜E3の夫々と容量電極線(g1)との間の一
部には、前記ソース電極SD1と同様に、段差形状を乗り
越える際に透明画素電極ITO1が断線しないように、第1
導電膜d1及び第2導電膜d2で構成された島領域が設けら
れている。この島領域は、透明画素電極ITO1の面積(開
口率)を低下しないように、できる限り小さく構成す
る。 《付加容量Caddの等価回路とその動作》 第2A図に示される画素の等価回路を第9図に示す。第
9図において、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極
GT及びソース電極SD1間に形成される寄生容量である。
寄生容量Cgsの誘電体膜は絶縁膜GIである。Cpixは透明
画素電極ITO1(PIX)及び共通透明画素電極ITO2(COM)
間で形成される液晶容量である。液晶容量Cpixの誘電体
膜は液晶LC、保護膜PSV1及び配向膜ORI1,ORI2である。V
lcは中点電位である。 前記保持容量素子Caddは、TFTがスイッチングすると
き、中点電位(画素電極電位)Vlcに対するゲート電位
変化ΔVgの影響を低減するように働く。この様子を式で
表すと ΔVlc={(Cgs/(Cgs+Cadd+Cpix)}×ΔVg となる。ここでΔVlcはΔVgによる中点電位の変化分を
表わす。この変化分ΔVlcは液晶に加わる直流成分の原
因となるが、保持容量Caddを大きくすればする程その値
を小さくすることができる。また、保持容量Caddは放電
時間を長くする作用もあり、TFTがオフした後の映像情
報を長く蓄積する。液晶LCに印加される直流成分の低減
は、液晶LCの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時
に前の画像が残る所謂焼き付きを低減することができ
る。 前述したように、ゲート電極GTは半導体層ASを完全に
覆うよう大きくされている分、ソース・ドレイン電極SD
1、SD2とのオーバラップ面積が増え、従って寄生容量Cg
sが大きくなり中点電位Vlcはゲート(走査)信号Vgの影
響を受け易くなるという逆効果が生じる。しかし、保持
容量Caddを設けることによりこのデメリットも解消する
ことができる。 前記保持容量素子Caddの保持容量は、画素の書込特性
から、液晶容量Cpixに対して4〜8倍(4・Cpix<Cadd
<8・Cpix)、重ね合せ容量Cgsに対して8〜32倍(8
・Cgs<Cadd<32・Cgs)程度の値に設定する。 《付加容量Cadd電極線の結線方法》 容量電極線としてのみ使用される最終段の走査信号線
GL(又は初段の走査信号線GL)は、第8図に示すよう
に、共通透明画素電極(Vcom)ITO2に接続する。共通透
明画素電極ITO2は、第2B図に示すように、液晶表示装置
の周縁部において銀ペースト材SLによって外部引出配線
に接続されている。しかも、この外部引出配線の一部の
導電層(g1及びg2)は走査信号線GLと同一製造工程で構
成されている。この結果、最終段の容量電極線GLは、共
通透明画素電極ITO2に簡単に接続することができる。 又は、第8図の点線で示すように、最終段(初段)の
容量電極線GLを初段(最終段)の走査信号線GLに接続し
ても良い。なお、この接続は液晶表示部内の内部配線或
は外部引出配線によって行うことができる。 《付加容量Cadd走査信号による直流分相殺》 本液晶表示装置は、先に本願出願人によって出願され
た特願昭62−95125号に記載される直流相殺方式(DCキ
ャンセル方式)に基づき、第10図(タイムチャート)に
示すように、走査信号線DLの駆動電圧を制御することに
よってさらに液晶LCに加わる直流成分を低減することが
できる。第10図において、Viは任意の走査信号線GLの駆
動電圧、Vi+1はその次段の走査信号線GLの駆動電圧で
ある。Veeは走査信号線GLに印加されるロウレベルの駆
動電圧Vdmin、Vddは走査信号線GLに印加されるハイレベ
ルの駆動電圧Vdmaxである。各時刻t=t1〜t4における
中点電位Vlc(第9図参照)の電圧変化分ΔV1〜ΔV4
次のようになる。 t=t1:ΔV1=−(Cgs/C)・V2 t=t2:ΔV2=+(Cgs/C)・(V1+V2)−(Cadd/C)
・V2 t=t3:ΔV3=−(Cgs/C)・V1+(Cadd/C)・(V1+V
2) t=t4:ΔV4=−(Cgdd/C)・V1 だだし、画素の合計の容量:C=Cgs+Cpix+Cadd ここで、走査信号線GLに印加される駆動電圧が充分で
あれば(下記
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a structure of a connection terminal and a measurement terminal between a liquid crystal display unit of a liquid crystal display device and an external drive circuit. 2. Description of the Related Art For example, an active matrix type liquid crystal display device is provided with a non-linear element (switching element) corresponding to each of a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. Since the liquid crystal in each pixel is theoretically always driven (duty ratio 1.0), the active method has better contrast than the so-called simple matrix method that employs the time-division driving method. It is not a technology. A typical switching element is a thin film transistor (TFT). A liquid crystal display device in which a TFT and a pixel electrode constitute one pixel has a liquid crystal display unit (liquid crystal display panel) in which a plurality of pixels are arranged in a matrix. Each pixel of the liquid crystal display section has an intersection between two adjacent scanning signal lines (also called gate signal lines or horizontal signal lines) and two adjacent video signal lines (also called drain signal lines or vertical signal lines). It is located in the area. The scanning signal lines extend in the column direction (horizontal direction) and are arranged in a row direction (vertical direction). On the other hand, a plurality of video signal lines extend in a row direction intersecting with the scanning signal lines and are arranged in a plurality in a column direction. The liquid crystal display section was provided with a lower transparent glass substrate on which a thin film transistor, a transparent pixel electrode, a protective film for a thin film transistor, and an alignment film were sequentially provided, and a color filter, a protective film for a color filter, a common transparent pixel electrode, and an alignment film. It is composed of an upper transparent glass substrate, liquid crystal sealed and sealed between both substrates, and a sealing material for sealing the liquid crystal. Note that an active matrix liquid crystal display device using a TFT is, for example, "12.5 type active matrix color liquid crystal display employing a redundant configuration", Nikkei Electronics, pp. 193-210, December 15, 1986, Nikkei McGraw-Hill, Inc. Issued, known in. [Problems to be Solved by the Invention] In the conventional liquid crystal display device, among the scanning signal lines and the video signal lines formed on the lower transparent glass substrate, the video signal lines are drawn out to both sides of the lower transparent glass substrate, and A connection terminal and a measurement terminal for checking wiring resistance, disconnection, and the like are provided alternately at each of the ends. FIGS. 12A and 12B are a plan view and a cross-sectional view, respectively, showing the structure of a conventional terminal. FIG. 12 (C) is a plan view showing a state where signal lines are led out to both sides of the substrate and connection terminals and measurement terminals are provided alternately. SUB1 is a lower transparent glass substrate, SUB2 is an upper transparent glass substrate, CT is a connection terminal, MT is a measurement terminal, SL is a liquid crystal sealing material, and EC is a place where electrolytic corrosion occurs. In FIG. 3C, DL is a video signal line, and GL is a scanning signal line. Conventionally, by providing measurement terminals MT, the pitch between terminals (the pitch between CT and ME) is 1/2 of the pitch between connection terminals.
Therefore, the electric field intensity is doubled. Further, in order to perform flickerless driving, signals having phases different by 180 degrees are applied to adjacent terminals. This further doubles the electron difference between adjacent terminals. Under such circumstances, conventionally, a leak current between terminals caused by water droplets attached thereto,
In particular, the problem of electrolytic corrosion due to leak current in a high-temperature and high-humidity environment has not been considered, and there has been a problem of disconnection of wiring due to electrolytic corrosion. An object of the present invention is to suppress leakage current between terminals and suppress electrolytic corrosion. The above and other objects and novel features of the present invention are as follows.
It will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings. [Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, a liquid crystal display device of the present invention comprises a first and a second transparent substrate which are overlapped at a predetermined interval, A sealing material provided along the periphery of the substrate, a liquid crystal sealed between the two substrates, and sealed with the sealing material, and a plurality of driving wirings of pixels arranged on the one substrate. A connection terminal at one end of the wiring, a measurement terminal at the other end,
Further, a tip of the measuring terminal is located inside the sealing material. Further, the tip of the measuring terminal is covered with a protective film, and the outer edge of the protective film is located inside the seal material. Further, the connection terminals and the measurement terminals are alternately arranged in a direction perpendicular to a direction in which the wiring extends. 1 (A) and 1 (B) are a plan view and a sectional view, respectively, showing an example of the configuration of the present invention. SUB1 is a lower transparent glass substrate, SUB2 is an upper transparent glass substrate, CT is a connection terminal, MT is a measurement terminal, SL is a liquid crystal sealing material, and PSV1 is a protective film. The tip of the measuring terminal MT is inside the sealing material SL, and the outer edge of the protective film PSV1 is the sealing material.
The protection film PSV1 is located inside the SL and covers the tip of the measurement terminal MT. [Operation] Since the tip of the measuring terminal is located inside the sealing material, electrolytic corrosion can be prevented. In addition, since the tip of the measuring terminal is inside the sealing material and does not protrude outside the upper transparent glass substrate, the distance between the terminals existing outside is tripled, and the electric field intensity is reduced to 1/3. . Further, each wiring is driven by a signal whose polarity is inverted, but only the connection terminals are present outside, and the potentials thereof are the same polarity. Therefore, the potential difference can be further reduced. The sealing material shields and protects the tip of the measuring terminal from external humidity. In addition, the outer edge of the protective film, which is the weakest part against electrolytic corrosion, is located inside the sealing material, and this protective film covers the tip of the measuring terminal, further reducing leakage current between terminals And it can suppress electric erosion. In addition, since it has a measurement terminal, measurement of wiring resistance is also possible. Embodiment The configuration of the present invention will be described below together with an embodiment in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display device. In all the drawings for describing the embodiments, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and their repeated description will be omitted. FIG. 11 is a partially cut plan view of a liquid crystal display module to which the present invention is applied. 5 is an upper shield case, 6 is a lower shield case, 7 is a liquid crystal display window provided in the upper shield case 5, 1 is a liquid crystal display panel attached to the liquid crystal display window 7, and 19 is an FPC for inputting an external signal. (Flexible printed wiring board), 18 is a positioning hole, 16 is a rivet, 15 is a rivet hole, 17 is a shield case 5 of a rivet mounting part,
6 is a concave portion provided in FIG. The upper and lower two shield cases 5 and 6 are combined and fixed by a plurality of rivets 16 and soldering. 2 is a drive IC for driving the liquid crystal display panel 1, and 3 is a TAB on which the drive IC 2 is mounted.
(Tape automated bonding), 4 is TA
A printed wiring board (PCB) on which B3 is mounted, and 9 are connection terminals (input terminals) of the liquid crystal display panel 1 and are connected to output terminals of TAB3. FIG. 2A is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied and the periphery thereof, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line IIB-IIB of FIG. 2A and the display panel. It is a diagram showing a cross section near the seal portion,
FIG. 2C is a sectional view taken along the line IIC-IIC in FIG. 2A. FIG. 3 (main part plan view) shows a plan view when a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged. << Pixel Arrangement >> As shown in FIG. 2A, each pixel has two adjacent scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL and two adjacent video signal lines (drain signal lines or vertical signal lines). Signal line) DL
(In a region surrounded by four signal lines). Each pixel includes a thin film transistor TFT, a pixel electrode ITO1, and an additional capacitance Cadd. The scanning signal lines GL extend in the column direction, and a plurality of the scanning signal lines GL are arranged in the row direction. The video signal lines DL extend in the row direction and are arranged in a plurality in the column direction. << Overall Structure of Panel Section >> As shown in FIG. 2B, a thin film transistor TFT and a transparent pixel electrode ITO1 are formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side based on the liquid crystal layer LC, and a color filter is formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side. FIL, black matrix pattern B for shading
M is formed. The lower transparent glass substrate SUB1 has a thickness of, for example, about 1.1 [mm]. The center part of FIG. 2B shows a cross section of one pixel part,
The left side shows the left edge portions of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, and the right side shows the right edge portions of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2. I have. The sealing material SL shown on the left and right sides of FIG.
It is configured to seal the LC, and is formed along the entire periphery of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2 except for the liquid crystal sealing port (not shown). The sealing material SL is formed of, for example, an epoxy resin. On the lower transparent glass substrate SUB1, a plurality of video signal lines DL and a plurality of scanning signal lines GL are arranged in the vertical and horizontal directions corresponding to each pixel (see the equivalent circuit diagram in FIG. 8). One end of each video signal line DL is provided with a connection terminal (not shown, see FIG. 1 (A)), and the other end is provided with a wiring resistance measurement terminal MT. Are alternately arranged in the direction perpendicular to the direction in which the video signal lines DL extend. Since the tip of the measuring terminal MT is located inside the sealing material SL as shown in the figure and does not protrude outside the upper transparent glass substrate SUB2,
The distance between the terminals (connection terminals) existing outside is three times as large as the conventional one, and the electric field intensity is reduced to one third. In addition, the video signal lines DL are driven by signals whose polarity is inverted for each line, but there are only connection terminals on the outside, and their potentials have the same polarity, so the potential difference is further reduced. it can.
The sealing material SL shields and protects the tip of the measuring terminal MT from external humidity. In addition, the outer edge of the protective film PSV1, which is the weakest part against electrolytic corrosion, is located inside the sealing material SL,
Since the protective film PSV1 covers the tip of the measurement terminal MT, the leakage current between the terminals can be further reduced. Therefore,
Electrocorrosion between adjacent measurement terminals can be prevented, and the outer connection terminals have the same polarity potential and a large distance, so that electrolytic corrosion can be suppressed. Since the measurement terminal MT is provided, it is possible to measure the wiring resistance of the video signal line DL and check for disconnection before assembling the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2. The common transparent pixel electrode IT on the upper transparent glass substrate SUB2 side
O2 is connected to the external lead-out wiring formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side by the silver paste material SIL at at least one place. This external lead-out wiring is formed in the same manufacturing process as the above-described gate electrode GT, source electrode SD1, and drain electrode SD2. Each layer of the alignment films ORI1 and ORI2, the transparent pixel electrode ITO, the common transparent pixel electrode ITO, the protective films PSV1 and PSV2, and the insulating film GI is formed inside the sealing material SL. The deflection plate POL is formed on the outer surface of each of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2. The liquid crystal LC is a lower alignment film ORI1 that sets the orientation of the liquid crystal molecules.
And the upper alignment film ORI2, and is sealed by a seal portion SL. The lower alignment film ORI1 is formed above the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side. On the inner (liquid crystal side) surface of the upper transparent glass substrate SUB2, a light-shielding film BM, a color filter FIL, a protective film PSV2, a common transparent pixel electrode (COM) ITO2, and an upper alignment film ORI2 are sequentially laminated. . In this liquid crystal display device, the respective layers on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side are separately formed, then the upper and lower transparent glass substrates SUB1 and SUB2 are overlapped, and the liquid crystal LC is sealed between the two. Assembled by << Thin Film Transistor TFT >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is set to zero. The thin film transistor TFT of each pixel has 3
And a plurality of thin film transistors (divided thin film transistors) TFT1, TFT2 and TFT3. Each of the thin film transistors TFT1 to TFT3 has substantially the same size (the same channel length and width). Each of the divided thin film transistors TFT1 to TFT3 mainly includes a gate electrode GT, a gate insulating film GI, an i-type (intrinsic, intr
Insic, which is not doped with the conductivity type determining impurity), is composed of an amorphous Si semiconductor layer AS, a pair of source electrode SD1 and drain electrode SD2. It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and the polarity of the circuit of the present display device is inverted during the operation, so that the source and the drain are switched during the operation. However, also in the following description, for convenience, one is fixed as a source and the other is fixed as a drain. << Gate Electrode GT >> As shown in detail in FIG. 4 (a plan view depicting only the layers g1, g2, and AS in FIG. 2A), the gate electrode GT has a scanning signal line GL.
From the vertical direction (upward in FIGS. 2A and 4) (branched into a T-shape). The gate electrode GT is configured to protrude to each of the formation regions of the thin film transistors TFT1 to TFT3. The respective gate electrodes GT of the thin film transistors TFT1 to TFT3 are integrally formed (as a common gate electrode) and formed continuously with the scanning signal line GL. The gate electrode GT is formed of a single-layer first conductive film g1 so that a large step is not formed in a region where the thin film transistor TFT is formed. The first conductive film g1 is formed, for example, using a chromium (Cr) film formed by sputtering and having a thickness of about 1000 [Å]. As shown in FIGS. 2A, 2B and 4, the gate electrode GT is formed to be larger than that (as viewed from below) so as to completely cover the semiconductor layer AS. Therefore, the substrate
When a backlight BL such as a fluorescent lamp is mounted below SUB1, the opaque Cr gate electrode GT is shaded, and the semiconductor layer AS is not irradiated with the backlight, and the conductive phenomenon due to light irradiation, that is, the TFT is turned off. Characteristic degradation is less likely to occur. Note that the original size of the gate electrode GT is the minimum necessary to extend between the source / drain electrodes SD1 and SD2 (including the alignment margin between the gate electrode and the source / drain electrodes).
It has a width, and its depth that determines the channel width W is the distance between the source and drain electrodes (the channel length (ratio to L, ie, the factor W / L that determines the transconductance gm).
Is determined by how many. The size of the gate electrode in this embodiment is, of course, larger than the original size described above. Considering only the gate electrode GT and the light shielding function, the gate electrode and its wiring GL may be integrally formed in a single layer, in this case, Al containing Si as an opaque conductive material, pure Al or Pd-containing Al can be selected. << Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of a composite film including the first conductive film 1 and the second conductive film g2 provided thereon. The first conductive line g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the first conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally formed. The second conductive film g2 is, for example, an aluminum (Al) film formed by sputtering,
It is formed with a thickness of about 00 [Å]. The second conductive film g2 is configured so that the resistance value of the scanning signal line GL can be reduced and a high speed ratio of signal transmission speed (improvement of writing characteristics of pixel information) can be achieved. Further, the scanning signal line GL is configured such that the width of the second conductive film g2 is smaller than the width of the first conductive film g1. That is, the scanning signal line GL has a gentle step shape on the side wall. << Gate Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as each gate insulating layer of the thin film transistors TFT1 to TFT3. The insulating film GI is the gate electrode
It is formed above the GT and the scanning signal line GL. Insulating film GI
Is formed with a film thickness of about 3000 [Å] using, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVC. << Semiconductor Layer AS >> As shown in FIG. 4, the i-type semiconductor layer AS is used as a channel forming region of each of a plurality of divided thin film transistors TFT1 to TFT3. The i-type semiconductor layer AS is formed of an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film,
It is formed with a film layer of [Å] degree. This i-type semiconductor layer AS is made of Si 3 N
Fourth, following the formation of the gate insulating film GI, the gate insulating film GI is formed in the same plasma CVD apparatus without being exposed to the outside from the apparatus. Similarly, an N + layer do doped with P for ohmic contact (FIG. 2B) is formed continuously to a thickness of about 400 [400]. Thereafter, the lower substrate SUB1 is taken out of the CVD apparatus, and the N + layer d0 layer AS
As shown in FIGS. 2A, 2B and 4, the islands are patterned into independent islands. As shown in detail in FIGS. 2A and 4, the i-type semiconductor layer AS is also provided between both intersections (crossover portions) of the scanning signal lines GL and the video signal lines DL. This intersection i
The type semiconductor layer AS is configured to reduce a short circuit between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection. << Source / Drain Electrodes SD1, SD2 >> The source electrode SD1 and the drain electrode SD2 of each of the thin-film transistors TFT1 to TFT3 divided into a plurality are shown in FIGS. 2A and 2B.
FIG. 5 and FIG. 5 (a plan view showing only layers d1 to d3 in FIG. 2A)
As will be described in detail later, they are provided separately on the semiconductor layer AS. Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is configured by sequentially stacking a first conductive film d1, a second conductive film d2, and a third conductive film d3 from the lower layer side in contact with the N + type semiconductor layer d0. . The first conductive film d1, the second conductive film d2, and the third conductive film d3 of the source electrode SD1 are formed in the same manufacturing process as each of the drain electrode SD2. The first conductive film d1 uses a chromium film formed by sputtering and has a thickness of 500 to 1000 [Å] (in this embodiment, 600 [Å]).
(About the same thickness). The chromium film is formed in a range that does not exceed about 2000 [Å] because the stress increases when the chromium film is formed thick. The chromium film has good contact with the N + type semiconductor layer d0. The chromium film is formed by a second
It forms a so-called barrier layer that prevents aluminum of the conductive film d2 from diffusing into the N + type semiconductor layer d0. First conductive film d1
In addition to chromium film, refractory metals (Mo, Ti, Ta, W)
Film, refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi
2 ) It may be formed of a film. After patterning the first conductive film d1 by photo processing, the same photo processing mask or N +
Layer d0 is removed. That is, the N + layer remaining on the i-layer AS
As for d0, portions other than the first conductive film d1 are removed by self-alignment. At this time, since the N + layer d0 is etched so as to completely remove its thickness, the i layer AS is also slightly etched at its surface, but the degree may be controlled by the etching time. Thereafter, the second conductive film d2 is formed to a thickness of 3000 to 4000 [Å] by sputtering of aluminum (in this embodiment, 3000 to 4000 [Å]).
[Å]. The aluminum film is
The stress is smaller than that of the chromium film, it can be formed in a thick film, and the resistance value of the source electrode SD1, the drain electrode SD2 and the video signal line DL is reduced. The second conductive film d2 may be formed of an aluminum film containing silicon (Si) or copper (Cu) as an additive, in addition to the aluminum film. After patterning the second conductive film d2 by a photoprocessing technique, a third conductive film d3 is formed. The third conductive film 3 is a transparent conductive film (Induim-Tin-Oxide I) formed by sputtering.
TO: Nesa film) and is formed to a thickness of 1000 to 2000 [Å] (in this embodiment, a thickness of about 1200 [Å]). The third conductive film 3 forms the source electrode SD1, the drain electrode SD2, and the video signal line DL, and also forms the transparent pixel electrode ITO1. Each of the first conductive film 1 of the source electrode SD1 and the first conductive film d1 of the drain electrode SD2 largely penetrates inside (into the channel region) as compared with the upper second conductive film d2 and the third conductive film d3. I have. That is, the first conductive film in these portions
d1 is configured so that the gate length L of the thin film transistor TFT can be defined independently of the layers d2 and d3. The source electrode SD1 is, as described above, a transparent pixel electrode ITO1.
It is connected to the. The source electrode SD1 is an i-type semiconductor layer AS
(A step corresponding to the sum of the thickness of the first conductive film g1, the thickness of the N + layer 0, and the thickness of the mold semiconductor layer AS). Specifically, the source electrode SD1
Represents a first portion formed along the step shape of the i-type semiconductor layer AS.
A conductive film d1, a second conductive film d2 formed on the upper side of the first conductive film d1 and connected to the transparent pixel electrode ITO1 with a smaller size, and a first conductive film exposed from the second conductive film. And the third conductive film 3 connected to the film d1.
Since the second conductive film d2 of the source electrode SD1 cannot form a thick chrome film of the first conductive film d1 due to an increase in stress and cannot overcome the step of the i-type semiconductor layer AS, the second conductive film d2 is It is configured to get over. That is, the step coverage is improved by forming the second conductive film d2 to be thick. Since the second conductive film 2 can be formed thick, it greatly contributes to a reduction in the resistance value of the source electrode SD1 (the same applies to the drain electrode SD2 and the video signal line DL).
Since the third conductive film d3 cannot get over the stepped shape caused by the i-type semiconductor layer AS of the second conductive film 2, the first conductive film d1 exposed by reducing the size of the second conductive film d2. It is configured to be connected to. The first conductive film d1 and the third conductive film d3 not only have good connectivity but also have a small step at the connection between them, so that they can be reliably connected. << Pixel Electrode ITO1 >> The transparent pixel electrode ITO1 is provided for each pixel, and constitutes one of the pixel electrodes of the liquid crystal display unit. Transparent pixel electrode ITO1 is a thin-film transistor divided into multiple pixels
It is divided into three transparent pixel electrodes (divided transparent pixel electrodes) E1, E2, and E3 corresponding to each of TFT1 to TFT3. Each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is connected to a source electrode SD1 of the thin film transistor TFT. Each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is patterned so as to have substantially the same area. As described above, by dividing the thin film transistor TFT of one pixel into a plurality of thin film transistors TFT1 to TFT3, and connecting each of the plurality of divided transparent pixel electrodes E1 to E3 to each of the plurality of divided thin film transistors TFT1 to TFT3, ,
Even if the divided part (for example, TFT1) becomes a point defect, it is not a point defect in the whole pixel (TFT2 and TFT3).
Is not a defect), the probability of a point defect can be reduced, and the defect can be made difficult to see. Further, by configuring each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 of the pixel with substantially the same area, each of the liquid crystal composed of each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 and the common transparent pixel electrode ITO2 is formed. The capacity (Cpix) can be made uniform. << Protective film PSV1 >> On the thin film transistor TFT and the transparent pixel electrode ITO1,
A protective film PSV1 is provided. The protective film PSV1 is mainly formed to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a film having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by plasma CVD, and has a thickness of 8000 [Å].
It is formed with a film thickness of about. << Shading film BM >> On the upper substrate SUB2 side, an i-type semiconductor layer in which external light (light from above in FIG. 2B) is used as a channel formation region
A shielding film BM is provided so as not to enter the AS, and has a pattern as shown by hatching in FIG. FIG. 6 shows the ITO film layer d3 and the filter layer FIL in FIG. 2A.
FIG. 4 is a plan view illustrating only a shielding film BM. The shielding film BM is
It is formed of, for example, an aluminum film, a chromium film, or the like having a high light shielding property. In this embodiment, the chromium film is formed to a thickness of about 1300 [Å] by sputtering. Therefore, the common semiconductor layers AS of the TFTs 1 to 3 are sandwiched by the upper and lower light shielding films BM and the large gate electrodes GT, and the portions are not exposed to external natural light or backlight. The light-shielding film BM is formed around the pixel as shown by the hatched portion in FIG. 6, that is, the light-shielding film BM is formed in a lattice shape (black matrix), and the effective display area of one pixel is partitioned by the lattice. I have. Therefore, the contour of each pixel is clear by the light shielding film BM, and the contrast is improved. That is, the light shielding film BM has two functions of shielding the semiconductor layer AS and a black matrix. It should be noted that the backlight can be attached to the SUB2 side and the SUB1 can be the observation side (externally exposed side). << Common electrode ITO2 >> The common transparent pixel electrode ITO2 faces the transparent pixel electrode ITO1 provided for each pixel on the lower transparent glass substrate SUB1 side, and the optical state of the liquid crystal is between each pixel electrode ITO1 and the common electrode ITO2. It changes in response to a potential difference (electric field). The common transparent pixel electrode ITO2 is configured to apply a common voltage Vcom. The common voltage Vcom is an intermediate potential between the low-level drive voltage Vdmin and the high-level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL. << Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed by coloring a dye on a dye base material formed of a resin material such as an acrylic resin.
The color filter FIL is formed in a dot shape for each pixel at a position facing the pixel (FIG. 7) and is dyed separately (FIG. 7 shows the third conductive film layer d3 and the color filter layer of FIG. 3).
Only the FIL is drawn, and the R, G, and B filters are 45 °, 135 °, and cross hatched, respectively.) As shown in FIG. 6, the color filter FIL has a pixel electrode ITO1 (E
1 to E3) is formed to be large enough to cover all of
M is formed inside the periphery of the pixel electrode ITO1 so as to overlap the color filter FIL and the edge of the pixel electrode ITO1. The color filter FIL can be formed as follows. First, a dyed base material is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyed base material other than the red filter forming region is removed by a photolinography technique. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red material and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, by performing similar steps, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed. The protective film PSV2 is provided in order to prevent the dye obtained by dyeing the color filter FIL into different colors from leaking into the liquid crystal LC. The protective film PSV2 is formed of, for example, a transparent resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin. << Pixel Arrangement >> As shown in FIGS. 3 and 7, a plurality of pixels of the liquid crystal display section are arranged in the same column direction as the direction in which the scanning signal lines GL extend, and the pixel columns X1, X2, X3 , X4, ... respectively. Each pixel in each of the pixel rows X1, X2, X3, X4,... Has the same arrangement position of the thin film transistors TFT1 to TFT3 and the transparent pixel electrodes E1 to E3. That is, each pixel of the odd-numbered pixel rows X1, X3,... Has the thin film transistors TFT1 to TFT3 arranged on the left and the transparent pixel electrodes E1 to E3 arranged on the right. Each of the even-numbered pixel columns X2, X4,... Adjacent in the row direction of the odd-numbered pixel columns X1, X3,.
Are turned upside down in line symmetry with respect to the extending direction of the video signal line DL. That is, each pixel of the pixel rows X2, X4,... Has the thin film transistors TFT1 to TFT3 arranged on the right and the transparent pixel electrodes E1 to E3 arranged on the left. Then, pixel rows X2, X4,
Are arranged (moved) by a half pixel interval in the column direction with respect to the pixels of the pixel columns X1, X3,. That is, assuming that the pixel interval of the pixel row X is 1.0 (1.0 pitch), the pixel row X of the next stage has the pixel interval of 1.0 (1.0 pitch).
It is shifted by 0.5 pixel interval (0.5 pitch) in the column direction with respect to the preceding pixel column X. The video signal lines DL extending in the row direction between the pixels are configured to extend in the column direction by half pixel intervals (0.5 pitch) between the pixel columns X. As a result, as shown in FIG. 7, a pixel of a predetermined color filter of the preceding pixel row X are formed (e.g., pixels red filter R of the pixel column X 3 is formed) and the next pixel column X A pixel on which the same color filter is formed (for example, a pixel on which the red filter R of the pixel column X4 is formed) is spaced by 1.5 pixels (1.5 pixels).
Pitch), and the RGB color filters FIL are arranged in a triangle. The RGB triangular arrangement structure of the color filter FIL can improve the color mixture of each color, so that the resolution of a color image can be improved. In addition, since the video signal lines DL extend in the column direction only by half pixel intervals between the pixel columns X, they do not cross adjacent video signal lines DL. Therefore, it is possible to eliminate the routing of the video signal line DL and reduce the occupied area thereof,
In addition, the bypass of the video signal line DL can be eliminated, and the multilayer wiring structure can be eliminated. << Equivalent Circuit of Entire Display Panel >> FIG. 8 shows an equivalent circuit of the liquid crystal display unit. XiG,
Xi + 1G,... Are video signal lines DL connected to the pixels on which the green filter G is formed. XiB, Xi + 1B,... Are video signal lines DL connected to the pixels on which the blue filters B are formed. Xi + 1R, Xi + 2R,... Are video signal lines DL connected to pixels on which the red filter R is formed. These video signal lines DL are alternately drawn out on both sides and are selected by two video signal drive circuits. Yi is a scanning signal line GL for selecting the pixel column X1 shown in FIG. 3 and FIG. Similarly, Yi + 1,
Each of Yi + 2,... Is a scanning signal line GL for selecting each of the pixel columns X2, X3,. These scanning signal lines GL are connected to a vertical scanning circuit. Cadd indicates an additional capacity, and Vcom indicates a common voltage. << Structure of Additional Capacitor Cadd >> Each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is a thin film transistor TFT.
At the end opposite to the end connected to the scanning signal line GL, it is bent in an L-shape so as to overlap the adjacent scanning signal line GL. As is clear from FIG. 2C, this superposition is performed by using a storage capacitor (capacitance) in which each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is set as one electrode PL2 and the adjacent scanning signal line GL is set as the other electrode PL1. (Element) constitutes Cadd. The dielectric film of the storage capacitor Cadd is formed of the same layer as the insulating film GI used as the gate insulating film of the thin film transistor TFT. As is clear from FIG. 4, the storage capacitor Cadd is formed in a portion where the width of the first layer 1 of the gate line GL is increased.
Note that the portion of the layer g1 that intersects with the drain line DL is thinned in order to reduce the probability of a short circuit with the drain line. Like the source electrode SD1, a portion between each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 and the capacitor electrode line (g1) which are superimposed to form the storage capacitor Cadd, when climbing over a stepped shape, To prevent the transparent pixel electrode ITO1 from breaking,
An island region constituted by the conductive film d1 and the second conductive film d2 is provided. This island region is configured to be as small as possible so as not to reduce the area (opening ratio) of the transparent pixel electrode ITO1. << Equivalent Circuit of Additional Capacitor Cadd and Its Operation >> FIG. 9 shows an equivalent circuit of the pixel shown in FIG. 2A. In FIG. 9, Cgs is a gate electrode of the thin film transistor TFT.
This is a parasitic capacitance formed between GT and the source electrode SD1.
The dielectric film of the parasitic capacitance Cgs is the insulating film GI. Cpix is transparent pixel electrode ITO1 (PIX) and common transparent pixel electrode ITO2 (COM)
This is the liquid crystal capacitance formed between the two. The dielectric films of the liquid crystal capacitor Cpix are the liquid crystal LC, the protective film PSV1, and the alignment films ORI1, ORI2. V
lc is the midpoint potential. The holding capacitance element Cadd functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc when the TFT switches. Expressing this state as an equation, ΔVlc = {(Cgs / (Cgs + Cadd + Cpix)} × ΔVg, where ΔVlc represents a change in the midpoint potential due to ΔVg. However, as the storage capacitance Cadd is increased, the value can be reduced as the storage capacitance Cadd is increased, and the storage capacitance Cadd also has an effect of prolonging the discharge time, so that the video information after the TFT is turned off is accumulated for a long time. The reduction of the DC component applied to the LC can improve the life of the liquid crystal LC and reduce so-called burn-in in which the previous image remains when switching the liquid crystal display screen. The source / drain electrodes SD are enlarged to completely cover AS.
1.The area of overlap with SD2 increases, so the parasitic capacitance Cg
As s increases, the midpoint potential Vlc has an adverse effect of being easily affected by the gate (scan) signal Vg. However, this disadvantage can be eliminated by providing the storage capacitor Cadd. The storage capacitance of the storage capacitance element Cadd is 4 to 8 times the liquid crystal capacitance Cpix (4 · Cpix <Cadd) due to the writing characteristics of the pixel.
<8 · Cpix), 8 to 32 times (8
・ Set to a value of about Cgs <Cadd <32 · Cgs). << Connection method of additional capacitance Cadd electrode line >> Scan signal line of the last stage used only as capacitance electrode line
The GL (or the first-stage scanning signal line GL) is connected to the common transparent pixel electrode (Vcom) ITO2 as shown in FIG. As shown in FIG. 2B, the common transparent pixel electrode ITO2 is connected to an external lead-out line by a silver paste material SL at a peripheral portion of the liquid crystal display device. In addition, some of the conductive layers (g1 and g2) of the external lead wiring are formed in the same manufacturing process as the scanning signal line GL. As a result, the last stage capacitor electrode line GL can be easily connected to the common transparent pixel electrode ITO2. Alternatively, as shown by the dotted line in FIG. 8, the last (first) capacitor electrode line GL may be connected to the first (last) scanning signal line GL. This connection can be made by an internal wiring in the liquid crystal display unit or an external lead-out wiring. << DC Cancellation by Additional Capacitance Cadd Scanning Signal >> This liquid crystal display device is based on a DC cancellation system (DC cancellation system) described in Japanese Patent Application No. 62-95125 filed by the present applicant. As shown in the diagram (time chart), by controlling the drive voltage of the scanning signal line DL, the DC component applied to the liquid crystal LC can be further reduced. In FIG. 10, Vi is a drive voltage of an arbitrary scanning signal line GL, and Vi + 1 is a driving voltage of a scanning signal line GL at the next stage. Vee is a low-level driving voltage Vdmin applied to the scanning signal line GL, and Vdd is a high-level driving voltage Vdmax applied to the scanning signal line GL. Voltage changes ΔV 1 to ΔV 4 of the midpoint potential Vlc (see FIG. 9) at each time t = t 1 to t 4 are as follows. t = t 1: ΔV 1 = - (Cgs / C) · V2 t = t 2: ΔV 2 = + (Cgs / C) · (V1 + V2) - (Cadd / C)
・ V2 t = t 3 : ΔV 3 = − (Cgs / C) ・ V1 + (Cadd / C) ・ (V1 + V
2) t = t 4 : ΔV 4 = − (Cgdd / C) · V 1, and the total capacitance of the pixels: C = Cgs + Cpix + Cadd Here, if the driving voltage applied to the scanning signal line GL is sufficient (described below)

【注】参照)、液晶LCに加わる直流電圧
は、 ΔV3+ΔV4=(Cadd・V2−Cgs・V1)/C となるので、Cadd・V2=Cgs・V1とすると、液晶LCに加
わる直流電圧は0になる。
Note: The DC voltage applied to the liquid crystal LC is ΔV 3 + ΔV 4 = (Cadd · V2−Cgs · V1) / C. If Cadd · V2 = Cgs · V1, the DC voltage applied to the liquid crystal LC is calculated. Becomes 0.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、端子部の電食
を防止できるので、信頼性を向上できる。また、従来、
端子部洗浄工程や端子部保護のための樹脂塗布工程を省
略できるので、コスト低減の効果もある。
As described above, according to the present invention, since the electrolytic corrosion of the terminal portion can be prevented, the reliability can be improved. Conventionally,
Since the terminal portion cleaning step and the resin application step for protecting the terminal portion can be omitted, there is also an effect of cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図(A)、(B)は、それぞれ本発明の構成の一例
を示す平面図および断面図、 第2A図は、本発明の実施例Iであるアクティブ・マトリ
ックス方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素
を示す要部平面図、 第2B図は、前記第2A図のIIB−IIB切断線で切った部分と
シール部周辺部の断面図、 第2C図は、第2A図のIIC−IIC切断線における断面図、 第3図は、前記第2A図に示す画素を複数配置した液晶表
示部の要部平面図、 第4図乃至第6図は、前記第2A図に示す画素の所定の層
のみを描いた平面図、 第7図は、前記第3図に示す画素電極層とカラーフィル
タ層のみとを重ね合せた状態における要部平面図、 第8図はアクティブ・マトリックス方式のカラー液晶表
示装置の液晶表示部を示す等価回路図、 第9図は、第2A図に記載される画素の等価回路図、 第10図は、直流相殺方式による走査信号線の駆動電圧を
示すタイムチャート図、 第11図は、本発明が適用される液晶表示モジュールの一
部切断平面図、 第12図(A)、(B)は、それぞれ従来の端子の構造を
示す平面図および断面図、 第12図(C)は、信号線が基板の両側に引き出され、交
互に接続用端子および測定用端子が設けられている様子
を示す平面図である。 図中、SUB1、2…透明ガラス基板、CT…接続用端子、MT
…測定用端子、SL…シール材、PSV1…保護膜、GL…走査
信号線、DL…映像信号線、GI…絶縁膜、GT…ゲート電
極、AS…i型半導体層、SD…ソース電極又はドレイン電
極、PSV…保護膜、LS…遮光膜、LC…液晶、TFT…薄膜ト
ランジスタ、ITO…透明電極、g,d…導電膜、Cadd…保持
容量素子、Cgs…重ね合せ容量、Cpix…液晶容量である
(英文字の後の数字の添字は省略)。
1 (A) and 1 (B) are a plan view and a cross-sectional view, respectively, showing an example of the configuration of the present invention. FIG. FIG. 2B is a cross-sectional view of a portion cut along the IIB-IIB section line of FIG. 2A and a peripheral portion of the seal portion, and FIG. 2C is a sectional view of FIG. 2A. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line IIC-IIC, FIG. 3 is a plan view of a main part of a liquid crystal display section in which a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged, and FIGS. 4 to 6 are pixels shown in FIG. FIG. 7 is a plan view showing only a predetermined layer, FIG. 7 is a plan view of a main part in a state where only the pixel electrode layer and the color filter layer shown in FIG. 3 are overlapped, and FIG. 8 is an active matrix system. FIG. 9 is an equivalent circuit diagram showing a liquid crystal display unit of the color liquid crystal display device of FIG. FIG. 10 is a time chart showing the driving voltage of the scanning signal line by the DC offset method, FIG. 11 is a partially cutaway plan view of the liquid crystal display module to which the present invention is applied, and FIG. 12A and 12B are a plan view and a cross-sectional view, respectively, showing the structure of a conventional terminal. FIG. 12C is a diagram in which signal lines are drawn out on both sides of a substrate, and connection terminals and measurement terminals are alternately provided. It is a top view which shows a mode provided. In the figure, SUB1, 2 ... Transparent glass substrate, CT ... Connection terminal, MT
... Measurement terminals, SL ... Seal material, PSV1 ... Protective film, GL ... Scan signal line, DL ... Video signal line, GI ... Insulating film, GT ... Gate electrode, AS ... i-type semiconductor layer, SD ... Source electrode or drain Electrode, PSV: Protective film, LS: Shielding film, LC: Liquid crystal, TFT: Thin film transistor, ITO: Transparent electrode, g, d: Conductive film, Cadd: Holding capacitance element, Cgs: Overlapping capacitance, Cpix: Liquid crystal capacitance (Subscripts of numbers after alphabetic characters are omitted).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/1339 505 G02F 1/1345──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G02F 1/1339 505 G02F 1/1345

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】所定の間隔を隔てて重ね合わされた第1お
よび第2の透明基板と、上記両基板間の縁周囲に沿って
設けられたシール材と、上記両基板間に封入され、上記
シール材により封止された液晶と、上記一方の基板上に
複数本配列された各画素の駆動用配線とを具備し、上記
配線の一端には接続用端子、他端には測定用端子が設け
られ、上記測定用端子の先端部が上記シール材の内側に
位置していることを特徴とする液晶表示装置。
A first and a second transparent substrate superposed at a predetermined interval; a sealing material provided along a periphery of an edge between the two substrates; a sealing material sealed between the two substrates; A liquid crystal sealed with a sealing material, and a plurality of driving wirings for each pixel arranged on the one substrate are provided. A connection terminal is provided at one end of the wiring, and a measurement terminal is provided at the other end. A liquid crystal display device provided, wherein a tip portion of the measurement terminal is located inside the sealing material.
【請求項2】上記測定用端子の先端部が保護膜で覆わ
れ、かつ上記保護膜の外縁部が上記シール材の内側に位
置していることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の液晶表示装置。
2. The device according to claim 1, wherein a tip portion of said measuring terminal is covered with a protective film, and an outer edge of said protective film is located inside said sealing material. Liquid crystal display device.
【請求項3】上記接続用端子と上記測定用端子とはその
配線の伸びる方向と直角の方向に交互に配置されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の液晶表示
装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein said connection terminals and said measurement terminals are alternately arranged in a direction perpendicular to the direction in which the wiring extends.
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