JPH0358027A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH0358027A
JPH0358027A JP19260789A JP19260789A JPH0358027A JP H0358027 A JPH0358027 A JP H0358027A JP 19260789 A JP19260789 A JP 19260789A JP 19260789 A JP19260789 A JP 19260789A JP H0358027 A JPH0358027 A JP H0358027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
terminals
liquid crystal
pixel
sealing material
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP19260789A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2803677B2 (en
Inventor
Masahiko Suzuki
雅彦 鈴木
Sakae Someya
染谷 栄
Mitsuhisa Fujita
藤田 満久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1192607A priority Critical patent/JP2803677B2/en
Publication of JPH0358027A publication Critical patent/JPH0358027A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2803677B2 publication Critical patent/JP2803677B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the electrolytic corrosion of terminal parts by positioning the tip parts of the terminals for measurement on the inner side of a sealing material. CONSTITUTION:The tip parts of the terminals MT for measurement exist on the inner side of the sealing material SL and the outer edge part of a protective film PSV1 exists on the inner side of the sealing material SL to cover the tips of the terminals MT. Since the outer edges mentioned above do not project to the outer side of a transparent glass substrate SUB2, the distance between the terminals existing on the inner side increases triple fold and the electric field intensity decreases to 1/3. While the wirings are driven by the signals inverted in polarity by each one piece, only he terminals CT for connection exist on the outer side and the potential thereof attains the potential of the same polarity and, therefore, the potential difference can be decreased. The sealing material SL shuts off and protects the tip parts of the terminals MT from external humidity. The outer edges of the protective film PSV1 weakest to the electrolytic corrosion exist on the inner side of the sealing material SL and cover the tip parts of the terminals MT; therefore, the leak current between the terminals is further decreased. The electrolytic corrosion is thereby suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶表示装置に係り,特に、液晶表示装置の
液晶表示部と外部駆動回路との接続用端子および測定用
端子の構造に関する。 〔従来の技術〕 例えば、アクティブ・マトリックス方式の液晶表示装置
は,マトリクス状に配列された複数の画素電極の各々に
対応して非線形素子(スイッチング素子)を設けたもの
である.各画素における液晶は理論的には常時駆動(デ
ューティ比1.0)されているので、時分割駆動方式を
採用している、いわゆる単純マトリクス方式と比べてア
クティブ方式はコントラストが良く,特にカラーでは欠
かせない技術となりつつある。スイッチング素子として
代表的なものとしては薄膜トランジスタ(TPT)があ
る. TPTとii[素電極とを画素の一構或要素とする液晶
表示装置は、マトリックス状に複数の画素が配置された
液晶表示部(液晶表示パネル)tt有している.液晶表
示部の各画素は、隣接する2本の走査信号線(ゲート信
号線または水平信号線とも称す)と隣接する2本の映像
信号線(ドレイン信号線または垂直信号線とも称す)と
の交差領域内に配置されている。走査信号線は、列方向
(水平方向)に延在し、かつ、行方向(垂直方向)に複
数本配列されている。一方、映像信号線は、走査信号線
と交差する行方向に延在し、かつ,列方向に複数本配列
されている。 液晶表示部は、薄膜トランジスタ、透明画素電極、薄膜
トランジスタの保護膜、配向膜が順次設けられた下部透
明ガラス基板と、カラーフィルタ、カラーフィルタの保
護膜、共通透明画素電極、配向膜が順次設けられた上部
透明ガラス基板と、両基板間に封入、封止された液晶と
、該液晶を封止するシール材とによって構威されている
.なお、TPTを使用したアクティブ・マトリクス液品
表示装置は、例えば「冗長構或を採用した12。5型ア
クティブ・マトリクス方式カラー液晶ディスプレイ」,
日経エレクトロニクス,193〜210頁、1986年
12月15日、日経マグロウヒル社発行、で知られてい
る。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の液晶表示装置では、下部透明ガラス基板上に形成
された走査信号線および映像信号線のうち、映像信号線
が下部透明ガラス基板の両側に弓き出され、それらの各
端部に交互に接続用端子および配線抵抗や断線等をチェ
ックする測定用端子が設けられている. 第12図(A)、(B)は、それぞれ従来の端子の構造
を示す平面図および断面図である。第12図(C)は、
信号線が基板の両側に引き出され、交互に接続用端子お
よび測定用端子が設けられている様子を示す平面図であ
る. SOBlは下部透明ガラス基板、SUB2は上部透明ガ
ラス基板、CTは接続用端子、MTは測定用端子、SL
は液晶のシール材、ECは電食発生場所である。また、
(C)図において、DLは映像信号線,GLは走査信号
線である。 従来は、測定用端子MTを設けたことにより,端子間ピ
ッチ(CTとMEとのピッチ)が接続用端子間ピッチの
172となり、従って電界強度が2倍となる.また、フ
リッカレス關動するため、隣り合う端子には位相がl8
◇度異なる信号を加えている。これにより、隣り合う端
子間の電位差はさらに2倍となる。このような状況のも
とで、従来は、付着した水滴等に起因する端子間のリー
ク電流,特に高温多湿の環境下におけるリーク電流によ
る電食の問題が配慮されておらず、電食による配線の断
線という問題があった. 本発明の目的は、端子間のリーク電流を抑制し、電食を
抑制することにある. 本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は,本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う. 〔課題を解決するための手段〕 上記の課題を達成するために、本発明の液晶表示装置は
、所定の間隔を隔てて重ね合わせられた第1および第2
の透明基板と、上記両基板間の縁周囲に沿って設けられ
たシール材と,上記両基板間に封入され,上記シール材
により封止された液晶と、上記一方の基板上に複数本配
列された各画素の駆動用配線とを具備し、上記配線の一
端には接続用端子、他端には測定用端子が設けられ、上
記接続用端子と上記測定用端子とはその配線の伸びる方
向と直角の方向に交互に配置され、かつ上記測定用端子
の先端部が上記シール材の内側に位置していることを特
徴とする。 また、上記測定用端子の先端部が保護膜で覆われ、かつ
上記保護膜の外縁部が上記シール材の内側に位置してい
ることを特徴とする。 第1図(A).(B)は、それぞれ本発明の構威の一例
を示す平面図および断面図である。 SUB1は下部透明ガラス基板、SUB2は上部透明ガ
ラス基板、CTは接続用端子、MTは測定用端子、SL
は液晶のシール材、PSVIは保護膜である。測定用端
子MTの先端部がシール材SLの内側にあり、保護膜P
SVIの外縁部がシール材SLの内側に位置し、保護膜
PSVIが測定用端子MTの先端部を覆っている。 〔作用〕 測定用端子の先端部が上記シール材の内側に位置してい
るので、電食を防止できる。すなわち、測定用端子の先
端部がシール材の内側にあり、上部透明ガラス基板の外
側に出ていないので、外側に存在する端子間の距離が3
倍になり、電界強度が1/3になる.また,配線は1本
毎に極性を反転させた倍号で恥動されるが、外側には接
続用端子しか存在せず、それらの電位は同極性電位とな
るので、さらに電位差を低減できる。シール材は、測定
用端子の先端部を外部の湿度から遮断し、保護する。ま
た、電食に対し、最も弱い部分である保護膜の外縁部が
シール材の内側に位置し、この保護膜で測定用端子の先
端部を覆っているので、端子間のリーク電流をさらに低
減し、電食を抑制できる。なお、測定用端子を有するの
で,配線抵抗の測定も可能である。 〔実施例〕 以下,本発明の構成について,アクティブ・マトリクス
方式のカラー液晶表示装置に本発明を適用した実施例と
ともに説明する. なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。 第11図は、本発明が適用される液晶表示モジュールの
一部切断平面図である。 5は上シールドケース、6は下シールドケース、7は上
シールドケース5に設けられた液晶表示窓、工は液晶表
示窓7に取り付けられた液晶表示パネル、19は外部か
らの信号を入力するFPC (フレキシブルプリント配
線基板)、18は位置決め用穴、16はリベット、15
はリベット用孔、17はリベット取り付け部のシールド
ケース5、6に設けられた凹部である.上下2枚のシー
ルドケース5,6は組み合わされ、複数のリベット16
および半田付けによって固定されている。2は液晶表示
バネル1を廓動させるための關動IC、3は駆動IC2
が実装されたTAB(テープオートメイテイドボンデイ
ング)、4はTAB3が実装されたプリント配線基板(
P’CB),9は液晶表示パネル1の接続用端子(入力
端子)であり,TAB3の出力端子と接続される。 第2A図は本発明が適用されるアクティブ・マトリクス
方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面
図であり、第2B図は第2A図のnB−■B切断線にお
ける断面と表示パネルのシール部付近の断面を示す図で
あり、第2C図は第2A図のnc−nc切断線における
断面図である。 また,第3図(要部平面図)には,第2A図に示す画素
を複数配置したときの平面図を示す。 《画素配置》 第2A図に示すように、各画素は、隣接する2本の走査
信号線(ゲート信号線又は水平信号線)GLと、隣接す
る2本の映像信号線(ドレイン信号線又は垂直信号線)
DLとの交差領域内(4本の信号線で囲まれた領域内)
に配置されている。各画素は薄膜トランジスタTPT.
画素電極ITO1及び付加容量C addを含む.走査
信号@GLは、列方向に延在し、行方向に複数本配置さ
れている.映像信号線DLは、行方向に延在し、列方向
に複数本配置されている。 《パネル断面全体構造》 第2B図に示すように、液晶層LCを基準に下部透明ガ
ラス基板SUBI側には薄膜トランジスタTPT及び透
明画素電極ITOIが形或され、上部透明ガラス基板S
UB2側には、カラーフィルタFIL、遮光用ブラック
マトリクスパターンBMが形威されている。下部透明ガ
ラス基板SUB1側は、例えば、1.1 [mm]程度
の厚さで構成されている。 第2B図の中央部は一画素部分の断面を示しているが、
左側は透明ガラス基板SUBI及びSUB2の左側縁部
分を、右側は、透明ガラス基板SUBI及びSUB2の
右側縁部分を示し、それぞ外部引出配線のうちの測定用
端子が存在する部分の断面を示している。 第2B図の左側、右側の夫々トこ示すシール材SLは、
液晶LCを封止するように構或されており、液晶封入口
(図示していない)を除く透明ガラス基板SUBI及び
SUB2の緑周囲全体に沿って形威されている。シール
材SLは,例えば、エポキシ樹脂で形成されている. 下部透明ガラス基板SUBI上には映像信号線DLと走
査信号線GLが各画素に対応してそれぞれ縦横方向に複
数本配列されている(第8図の等価回路図参照).各映
像信号線DLの一端には接続用端子(図示せず,第l図
(A)参照)、他端には配線抵抗の測定用端子MTが設
けられ、接続用端子と測定用端子MTとは映像信号線D
Lの伸びる方向と直角の方向に交互に配置されている.
測定用端子MTの先端部は図示のようにシール材SLの
内側に位置しており、上部透明ガラス基板SUB2の外
側に出ていないので、外側に存在する端子(接続用端子
)間の距離が従来と比較して3倍になり,電界強度が1
/3になる.また,映像信号線DLは、1本毎に極性を
反転させた信号で寵動されるが、外側には接続用端子し
か存在せず、それらの電位は同極性電位となるので、さ
らに電位差を低減できる。シール材SLは、測定用端子
MTの先端部を外部の湿度から遮断し、保護する.また
、電食に対し、最も弱い部分である保護膜PSV1の外
縁部がシール材SLの内側に位置し、この保護膜PSV
Iで測定用端子MTの先端部を覆っているので、端子間
のリーク電流をさらに低減できる.従って、隣接する測
定用端子間の電食が防止でき、また外側の接続用端子間
も同極性電位でかつ距離が大きいので電食を抑制できる
.なお、測定用端子MTを有するので,下部透明ガラス
基板SUBIと上部透明ガラス基板SUB2を組み立て
る前に映像信号線DLの配線抵抗の測定や断線のチェッ
クが可能である。 前記上部透明ガラス基板SUBZ側の共通透明画素電極
ITO2は、少なくとも一個所において、銀ペースト材
SILによって、下部透明ガラス基板SUBI側に形威
された外部引出配線に接続されている。この外部引出配
線は、前述したゲート電極GT、ソース電極SD1、ド
レイン電極SD2の夫々と同一製造工程で形威される。 配向膜ORII及びORI2、透明画素電極工TO、共
通透明画素電極ITO、保護膜PSVI及びPSV2、
絶@ll[GIの夫々の層は、シール材SLの内側に形
威される.偏光板POLは、下部透明ガラス基板SUB
I、上部透明ガラス基板SUB2の夫々の外側の表面に
形威されている.液晶LCは、液晶分子の向きを設定す
る下部配向膜ORII及び上部配向膜ORI2の間に封
入され、シール部SLよってシールされている.下部配
向膜ORIIは、下部透明ガラス基板SUB1側の保護
膜PSVIの上部に形威される.上部透明ガラス基板S
UB2の内側(液晶側)の表面には、遮光膜BM、カラ
ーフィルタFIL、保護膜PSV2、共通透明画素電極
(COM)IT02及び上部配向膜ORI2が順次積層
して設けられている. この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板SUBl側、
上部透明ガラス基板SUBZ側の夫々の層を別々に形或
し、その後、上下透明ガラス基板SUB1及びSUB2
を重ね合せ、両者間に液晶LCを封入することによって
組み立てられる。 《薄膜トランジスタTFT> 薄膜トランジスタTPTは、ゲート電極GTに正のバイ
アスを印加すると、ソースードレイン間のチャネル抵抗
が小さくなり、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は
大きくなるように動作する。 各画素の薄膜トランジスタTPTは、画素内において3
つ(複数)に分割され,薄膜トランジスタ(分割薄膜ト
ランジスタ)TFTI,TFT2及びTFT3で構威さ
れている.薄膜トランジスタTFTI−TFT3の夫々
は、実質的に同一サイズ(チャンネル長と幅が同じ)で
構威されている。 この分割された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の
夫々は、主に,ゲート電極GT、ゲート絶縁[1iGI
、i型(真性、intrinsic、導電型決定不純物
がドープされていない)非晶質Si半導体層As、一対
のソース電極SD1及びドレイン電極SD2で構成され
ている.なお、ソース・ドレインは本来その間のバイア
ス極性によって決まり、本表示装置の回路ではその極性
は動作中反転するので、ソース・ドレインは動作中入れ
替わると理解されたい。しかし以下の説明でも、便宜上
一方をソース,他方をドレインと固定して表現する.《
ゲート電極GT> ゲート電極GTは、第4図(第2A図の層g1、g2及
びAsのみを描いた平面図)に詳細に示すように、走査
信号線GLから垂直方向(第2A図及び第4図において
上方向)に突出する形状で構威されている(丁字形状に
分岐されている).ゲート電極GTは,薄膜トランジス
タTPTI〜TFT3の夫々の形威領域まで突出するよ
うに構成されている.薄膜トランジスタTPT1〜TF
T3の夫々のゲート電極GTは、一体に(共通ゲート電
極として)構成されており,走査信号線OLに連続して
形或されている。ゲート電極GTは、薄膜トランジスタ
TFTO形或領域において大きい段差を作らないように
、単層の第工導電膜g1で構或する.第1導電膜g1は
、例えばスパッタで形威されたクロム(Cr)膜を用い
、1000[A ]程度の膜厚で形威する. このゲート電極GTは、第2A図、第2B図及び第4図
に示されているように,半導体層Asを完全に覆うよう
(下方からみて)それより太き目に形或される。従って
、基板SUBIの下方に蛍光灯等のバックライトBLを
取付けた場合、この不透明のCrゲート電極GTが影と
なって、半導体層ASにはバックライト光が当たらず、
光照射による導電現象すなわちTPTのオフ特性劣化は
起きにくくなる。なお、ゲート電極GTの本来の大きさ
は、ソース・ドレイン電極SDIとSD2間をまたがる
に最低限必要な(ゲート電極とソース・ドレイン電極の
位置合わせ余裕分も含めて)幅を持ち、チャンネル幅W
を決めるその奥行き長さはソース・ドレイン電極間の距
離(チャンネル長)Lとの比、即ち相互コンダクタンス
gmを決定するファクタW/Lをいくつにするかによっ
て決められる. 本実施例におけるゲート電極の大きさは勿論、上述した
本来の大きさよりも大きくされる。 ゲート電極GTのゲート及び遮光の機能面からだけで考
えれば、ゲート電極及びその配i11GLは単一の層で
一体に形威しても良く、この場合不透明導電材料として
Siを含有させたAt,純Al.及びPdを含有させた
A1等を選ぶことができる.《走査信号線GL》 前記走査信号線GLは、第1導電膜g1及びその上部に
設けられた第2導電膜g2からなる複合膜で構威されて
いる。この走査信号線GLの第1導電膜g1は、前記ゲ
ート電極GTの第1導電膜g1と同一製造工程で形威さ
れ、かつ一体に構威されている.第2導電MA g 2
は、例えば,スバッタで形威されたアルミニウム(Af
i)膜を用い、2000〜4000CA ]程度の膜厚
で形戒する.第2導電膜g2は、走査信号線GLの抵抗
値を低減し、信号伝達速度の高速化(画素の情報の書込
特性向上)を図ることができるように構威されている。 また、走査信号線GLは、第1導電膜g1の幅寸法に比
べて第2導電膜g2の幅寸法を小さく構威している.す
なわち、走査信号線GLは、その側壁の段差形状がゆる
やかになっている.《ゲート絶縁膜aX> 絶縁膜GIは、薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の
夫々のゲート絶縁膜として使用される.絶緑膜G工は、
ゲート電極GT及び走査信号線GLの上層に形威されて
いる.絶縁膜GIは、例えば、プラズマCVDで形威さ
れた窒化珪素膜を用い、3000[A ]程度の膜厚で
形成する.《半導体層As> i型半導体層ASは、第4図に示すように、複数に分割
された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の夫々のチ
ャネル形或領域として使用される。 i型半導体層Asは、アモーファスシリコン膜又は多結
晶シリコン膜で形成し、約1800[A]程度の膜厚で
形或する. このi型半導体層ASは、供給ガスの戒分を変えてSi
,N.ゲート絶縁膜GIの形戊に連続して、同じプラズ
マCVD装置で、しかもその装置から外部に露出するこ
となく形威される。また、オーミックコンタクト用のP
をドープしたN“層do(第2B図)も同様に連続して
約400[人]の厚さに形成される.しかる後下側基板
SUB1はcVD装置から外に取り出され、写真処理技
術により、N+層do及びi層ASは第2A図、第2B
図及び第4図に示すように独立した島にパターニングさ
れる. i型半導体層ASは、第2A図及び第4図に詳細に示す
ように、走査信号線GLと映像信号線DLとの交差部(
クロスオーバ部)の両者間にも設けられている.この交
差部i型半導体IAsは、交差部における走査信号線G
Lと映像信号線DLとの短絡を低減するように構威され
ている。 《ソース・ドレイン電極SD1、SD2:)複数に分割
された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の夫々のソ
ース電極SD1とドレイン電極SD2とは、第2A図、
第2B図及び第5図(第2A図の層d1〜d3のみを描
いた平面図)で詳細に示すように、半導体層AS上に夫
々離隔して設けられている. ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の夫々は、N+
型半導体層doに接触する下層側から、第1導電膜di
.第2導電膜d2、第3導電膜d3を順次重ね合わせて
構威されている.ソース電極SDIの第1導電膜d1、
第2導電膜d2及び第3導電膜d3は、ドレイン電極S
D2の夫々と同一製造工程で形成される。 第1導電膜diは、スパッタで形戊したクロム膜を用い
、500〜1000[λコの膜厚(本実施例では、60
0[λコ程度の膜厚)で形或する.クロム膜は、膜厚を
厚く形或するとストレスが大きくなるので、2000[
人]程度の膜厚を越えない範囲で形或する。 クロム膜は、N0型半導体JildOとの接触が良好で
ある。クロム膜は、後述する第2導電[d2のアルミニ
ウムがN+型半導体層doに拡散することを防止する,
所謂パリ7層を構或する,第1導電膜d1としては、ク
ロム膜の他に、高融点金属(MotTLTa−W)膜,
高融点金属シリサイド(MoSi,,TiSi,,Ta
Si,,WSi,)膜で形威してもよい. 第1導電膜d1を写真処理でパターニングした後、同じ
写真処理用マスクで或は第1導電膜d1をマスクとして
N+層dOが除去される。つまり、i MA S上に残
っていたN+層doは第1導電膜d1以外の部分がセル
ファラインで除去される。 このとき、N“層doはその厚さ分は全て除去されるよ
うエッチされるのでi層Asも若干その表面部分でエッ
チされるが、その程度はエッチ時間で制御すれば良い。 しかる後第2導電膜d2が、アルミニウムのスパッタリ
ングで3000〜4000[A]の膜厚(本実施例では
、3000 [λ]程度の膜厚)に形威される。アルミ
ニウム膜は、クロム膜に比べてストレスが小さく、厚い
膜厚に形或することが可能で、ソース電極SDI、ドレ
イン電極SD2及び映像信号線DLの抵抗値を低減する
ように構威されている。第2導電膜d2としては、アル
ミニウム膜の他に、シリコン(Si)や銅(C u)を
添加物として含有させたアルミニウム膜で形或してもよ
い. 第2導電膜d2の写真処理技術によるバターニング後第
3導電膜d3が形威される.この第3導電膜d3はスパ
ッタリングで形威された透明導電膜(Induim−T
in−Oxide I T O :ネサ膜)から或り、
1000〜2000 [人コの膜厚(本実施例では、1
200 [ Aコ程度の膜厚)で形戒される。この第3
導電1ld3は、ソース電極SDI、ドレイン電極SD
2及び映像信号線DLを構或すると共に、透明画素電極
ITOIを構或するようになっている。 ソース電極SD1の第1導電膜d1、ドレイン電極SD
2の第1導電膜diの夫々は,上層の第2導電膜d2及
び第3導電膜d3に比べて内側に(チャンネル領域内に
)大きく入り込んでいる。 つまり、これらの部分における第1導電膜diは、/l
d2.d3とは無関係に薄膜トランジスタTPTのゲー
ト長Lを規定できるように構戊されている。 ソース電極SDIは、前記のように、透明画素電極IT
OIに接続されている.ソース電極SDIは,i型半導
体層ASの段差形状(第1導W1膜g1の膜厚、N+層
doの膜厚及びi型半導体層Asの膜厚とを加算した膜
厚に相当する段差)に沿って構威されている。具体的に
は、ソース電極SDIは、i型半導体層Asの段差形状
に沿って形威された第1導電膜d1と、この第1導電膜
d1の上部にそれに比べて透明画素電iITO1と接続
される側を小さいサイズで形威した第2導電膜d2と、
この第2導電膜から露出する第l導電膜d1に接続され
た第3導電膜d3とでifiされている。ソース電極S
DIの第2導電膜d2は、第1導電膜diのクロム膜が
ストレスの増大から厚く形或できず、i型半導体層AS
の段差形状を乗り越えられないので、このi型半導体層
Asを乗り越えるために構成されている。つまり、第2
導電膜d2は、厚く形戒することでステップ力バレッジ
を向上している。第2導電膜d2は、厚く形或できるの
で、ソース電極SDIの抵抗値(ドレイン電極SD2や
映像信号線DLについても同様)の低減に大きく寄与し
ている.第3導電膜d3は、第2導電膜d2のi型半導
体層A Sに起因する段差形状を乗り越えることができ
ないので、第2導電膜d2のサイズを小さくすることで
露出する第1導電膜d1に接続するように構威されてい
る。第1導電膜d1と第3導電膜d3とは、接着性が良
好であるばかりか、両者間の接続部の段差形状が小さい
ので、確実に接続することができる。 《画素電極I To 1> 前記透明画素電極ITOIは、各画素毎に設けられてお
り、液晶表示部の画素電極の一方を構成する.透明画素
電極IT○1は、画素の複数に分割された薄膜トランジ
スタTPTI〜TFT3の夫々に対応して3つの透明画
素電極(分割透明画素電極)El、E2、E3に分割さ
れている。透明画素電極E1〜E3は、各々、薄膜トラ
ンジスタTPTのソース電極SD1に接続されている。 透明画素電極E1〜E3の夫々は、実質的に同一面積と
なるようにバターニングされている。 このように、1画素の薄膜トランジスタTPTを複数の
薄膜トランジスタTPTI〜TFT3に分割し、この複
数に分割された薄膜トランジスタTPTI〜TFT3の
夫々に複数に分割した透明画素電極El−E3の夫々を
接続することにより、分割された一部分(例えば、TF
T1)が点欠陥になっても、画素全体でみれば点欠陥で
なくなる(TFT2及びTFT3が欠陥でない)ので,
点欠陥の確率を低減することができ、また欠陥を見にく
くすることができる。 また、前記画素の分割された透明画素電極E1〜E3の
夫々を実質的に同一面積で構成することにより、透明画
素電極E1〜E3の夫々と共通透明画素電極ITO2と
で構威される夫々の液晶容量(Cpix)を均一にする
ことができる.《保護膜PSV1> 薄膜トランジスタTPT及び透明画素電極IT○1上に
は、保護vAPsVIが設けられている.保護膜PSV
Iは、主に、薄膜トランジスタTPTを湿気等から保護
するために形威されており、透明性が高くしかも耐湿性
の良いものを使用する。 保護膜PSVIは、例えば,プラズマCVDで形或した
酸化珪素膜や窒化珪素膜で形成されており、8000[
A ]程度の膜厚で形成する。 《遮光膜BM》 上部基板SUB2側には、外部光(第2B図では上方か
らの光)がチャネル形或領域として使用されるi型半導
体層ASに入射されないように、遮蔽膜B M fJ<
設けられ,第6図のハンチングに示すようなパターンと
されている。なお、第6図は第2A図におけるITO膜
層d3、フィルタ層FIL及び遮光膜BMのみを描いた
平面図である。 遮光膜BMは、光に対する遮蔽性が高い、例えば、アル
ミニウム膜やクロム膜等で形成されており、本実施例で
は、クロム膜がスパッタリングで1300[A]程度の
膜厚に形威される。 従って、TPTI〜3の共通半導体層ASは上下にある
遮光膜BM及び大き目のゲー1−電極GTによってサン
ドインチにされ,その部分は外部の自然光やバックライ
ト光が当たらなくなる。遮光膜BMは第6図のハッチン
グ部分で示すように、画素の周囲に形威され、つまり遮
光膜BMは格子状に形威され(ブラックマトリクス)、
この格子で1画素の有効表示領域が仕切られている。従
って、各画素の輪郭が遮光膜BMによってはっきりとし
コントラストが向上する。つまり遮光膜BMは、半導体
層Asに対する遮光とブラックマトリクスとの2つの機
能をもつ。 なお、パックライトをSUB2側に取り付け、SUBI
@:Il!奈側(外部露出側)とすることもできる. 《共通電極ITO2)) 共通透明画素電極IT○2は、下部透明ガラス基板SU
BI側に画素毎に設けられた透明画素電極ITOIに対
向し、液晶の光学的な状態は各画素電極ITO1と共通
電極ITOZ間の電位差(電界)に応答して変化する。 この共通透明画素電極ITO2には、コモン電圧V c
owが印加されるように構威されている.コモン電圧V
 cowは,映像信号線DLに印加されるロウレベルの
闘動電圧V d winとハイレベルの昶動電圧V d
 waxとの中間電位である. 《カラーフィルタF I L) カラーフィルタFILは、アクリル樹脂等の樹脂材料で
形威される染色基材に染料を着色して構威されている。 カラーフィルタFILは、画素に対向する位置に各画素
毎にドット状に形成され(第7図),染め分けられてい
る(第7図は第3図の第3導電膜層d3とカラーフィル
タ,IFILのみを描いたもので、R,G,Bの各フィ
ルターはそれぞれ、45’   135°、クロスのハ
ッチを施してある).カラーフィルタFILは第6図に
示すように画素電極ITOI (El〜E3)の全てを
覆うように太き目に形威され、遮光膜BMはカラーフィ
ルタFIL及び画素電極IT○1のエッジ部分と重なる
よう画素電極IT○1の周縁部より内側に形威されてい
る。 カラーフィルタFILは、次のように形成することがで
きる.まず、上部透明ガラス基板SUB2の表面に染色
基材を形威し,フォトリングラフィ技術で赤色フィルタ
形威領域以外の染色基材を除去する.この後,染色基材
を赤色染料で染め、固着処理を施し,赤色フィルタRを
形或する。次に,同様な工程を施すことによって、緑色
フィルタG、青色フィルタBを順次形或する。 保護膜PSV2は、前記カラーフィルタFILを異なる
色に染め分けた染料が液晶LCに漏れることを防止する
ために設けられている.保護膜PSV2は、例えば、ア
クリル樹脂,エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成され
ている. 《画素配列》 前記液晶表示部の各画素は、第3図及び第7図に示すよ
うに、走査信号線GLが延在する方向と同一列方向に複
数配置され、画素列Xi,X2,X3,X4,・・・の
夫々を構威している.各画素列X1,X2,X3,X4
,・・・の夫々の画素は、薄膜トランジスタTFTI〜
TFT3及び透明画素電極E1〜E3の配置位置を同一
に構威している.つまり,奇数画素列Xi,X3,・・
・の夫々の画素は、薄膜トランジスタTPT1〜TFT
3の配置位置を左側、透明画素電極E1〜E3の配置位
置を右側に構威している.奇数画素列Xi,X3,・・
・の夫々の行方向の隣りの偶数画素列X2,X4,・・
・の夫々の画素は、奇数画素列Xi,X3,・・・の夫
々の画素を前記映像信号線DLの延在方向を基準にして
線対称でひっくり返した画素で構或されている.すなわ
ち、画素列X2,X4,・・・の夫々の画素は、薄膜ト
ランジスタTPTI NTFT3の配置位置を右側、透
明画素電極E1〜E3の配置位置を左側に構威している
.そして、画素列X2,X4,・・・の夫々の画素は,
画素列Xi,X3,・・・の夫々の画素に対し、列方向
に半画素間隔移動させて(ずらして)配置されている.
つまり、画素列Xの各画素間隔を1.0(1.0ピッチ
)とすると,次段の画素列Xは、各画素間隔を1.0と
し、前段の画素列Xに対して列方向に0.5画素間隔(
0.5ピッチ)ずれている。 各画素間を行方向に延在する映像信号線DLは、各画素
列X間において、半画素間隔分(0.5ピッチ分)列方
向に延在するように構威されている。 その結果,第7図に示すように、前段の画素列Xの所定
色フィルタが形成された画素(例えば、画素列X,の赤
色フィルタRが形威された画素)と次段の画素列Xの同
一色フィルタが形成された画素(例えば、画素列X4の
赤色フィルタRが形威された画素)とが1。5画素間隔
(1.5ピッチ)離隔され,また、RGBのカラーフィ
ルタFILは三角形配置となる。カラーフィルタFIL
のRGBの三角形配置構造は、各色の混色を良くするこ
とができるので、カラー画像の解像度を向上することが
できる. また、映像信号線DLは、各画素列X間において,半画
素間隔分しか列方向に延在しないので、隣接する映像信
号線DLと交差しなくなる.したがって、映像信号線D
Lの引き回しをなくしその占有面積を低減することがで
き,又映像信号線DLの迂回をなくし多層配線構造を廃
止することができる. 《表示パネル全体等価回路》 この液晶表示部装置の等価回路を第8図に示す.XiG
,Xi+IG,・・・は、緑色フィルタGが形威される
iI!ilに接続された映像信号線DLである.XiB
,Xi+IB,・・・は、青色フィルタBが形威される
iI素に接続された映像信号線DLである.Xi+IR
,Xi+2R,・・・は、赤色フィルタRが形威される
画素に接続された映像信号線DLである.これらの映儂
信号線DLは、両側に交互に引き出され,2つの映像信
号轄動回路で選択される.Yiは第3図及び第7図に示
す画素列X1を選択する走査信号線OLである。同様に
、Yi+1,Yi+2,・・・の夫々は、画素列X2,
X3,・・・の夫々を選択する走査信号線GLである。 これらの走査信号線GLは、垂直走査回路に接続されて
いる, Caddは付加容量を示し、Vcomは共通電
圧を示す. 《付加容量C addの構造》 透明画素電極E1〜E3の夫々は、薄膜トランジスタT
PTと接続される端部と反対側の端部において、隣りの
走査信号線GLと重なるよう,L字状に屈折して形成さ
れている.この重ね合せは、第2C図からも明らかなよ
うに、透明画素電極E1〜E3の夫々を一方の電極PL
2とし、隣りの走査信号線OLを他方の電極PLIとす
る保持容量素子(静電容量素子)Caddを構或する。 この保持容量素子C addの誘電体膜は,薄膜トラン
ジスタTPTのゲート絶縁膜として使用される絶縁膜G
Iと同一層で構成されている. 保持容量C addは、第4図からも明らかなように、
ゲート線GLの1層目g1の幅を広げた部分に形或され
ている.なお、ドレイン線DLと交差する部分の層g1
はドレイン線との短絡の確率を小さくするため細《され
ている. 保持容量素子Caddを構或するために重ね合わされる
透明画素電極E1〜E3の夫々と容量電極線(g1)と
の間の一部には、前記ソース電極SDIと同様に、段差
形状を乗り越える際に透明画素電極ITOIが断線しな
いように、第1導電膜di及び第2導電膜d2で構威さ
れた島領域が設けられている.この島領域は、透明ii
i*電FAXT01の面積(開口率)を低下しないよう
に、できる限り小さく構威する. 《付加容量C addの等価回路とその動作》第2A図
に示される画素の等価回路を第9図に示す.第9図にお
いて、Cgsは薄膜トランジスタTPTのゲート電極G
T及びソース電極SDI間に形或される寄生容量である
。寄生容量Cgsの誘電体膜は絶縁膜GIである。C 
pixは透明画素電極ITOI(FIX)及び共通透明
画素電極ITO2(COM)間で形威される液晶容量で
ある.液晶容tcpixの誘電体膜は液晶LC、保護[
PSV1及び配向膜ORII,ORI2である.Vlc
は中点電位である. 前記保持容量素子C addは、TFTがスイッチング
するとき、中点電位(画素電極電位)Vlcに対するゲ
ート電位変化ΔVgの影響を低減するように働く.この
様子を式で表すヒ ΔV lc = ( (Cgs/ (Cgs+Cadd
+Cpix)) XΔWgとなる.ここでΔVlcはΔ
Vgによる中点電位の変化分を表わす。この変化分ΔV
lcは液晶に加わる直流戒分の原因となるが,保持容量
C addを太き《すればする程その値を小さくするこ
とができる.また、保持容量C addは放電時間を長
くする作用もあり.TPTがオフした後の映像情報を長
く蓄積する.液晶LCに印加される直流或分の低減は、
液晶LCの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に
前の画像が残る所謂焼き付きを低減することができる。 前述したように、ゲー1一電極GTは半導体層ASを完
全に覆うよう大きくされている分、ソース・ドレイン電
極SD1、SD2とのオーバラップ面積が増え,従って
寄生容量Cgsが大きくなり中点電位Vlcはゲート(
走査)信号Vgの影響を受け易くなるという逆効果が生
じる。しかし、保持容量C addを設けることにより
このデメリットも解消することができる。 前記保持容量素子C addの保持容量は、画素の書込
特性から、液晶容量C pixに対して4〜8倍(4・
Cpix<Cadd<8・Cpix)、重ね合せ容量C
gsに対して8〜32倍(LCgs<Cadd<32・
Cgs)程度の値に設定する。 《付加容量C add電極線の結線方法》容量電極線と
してのみ使用される最終段の走査信号線GL(又は初段
の走査信号線GL)は、第8図に示すように,共通透明
画素電極(Vcom)ITO2に接続する.共通透明画
素電極ITO2は、第2B図に示すように、液晶表示装
置の周縁部において銀ペースト材SLによって外部引出
配線に接続されている。しかも、この外部引出配線の一
部の導電層(gl及びg2)は走査信号線GLと同一製
造工程で構威されている。この結果、最終段の容量電極
線GLは、共通透明画素電極IT○2に簡単に接続する
ことができる。 又は、第8図の点線で示すように、最終段(初段)の容
量電極線GLを初段(最終段)の走査信号線GLに接続
しても良い.なお、この接続は液晶表示部内の内部配線
或は外部引出配線によって行うことができる. 《付加容量C add走査信号による直流分相殺》本液
晶表示装置は、先に本願出願人によって出願された特願
昭62−96125号に記載される直流相殺方式(DC
キャンセル方式)に基づき、第10図(タイムチャート
)に示すように、走査信号線DLの駆動電圧を制御する
ことによってさらに液晶LCに加わる直流成分を低減す
ることができる.第10図において,viは任意の走査
信号線OLの駆動電圧、Vi+1はその次段の走査信号
線GLの駆動電圧である。Veaは走査償号線GLに印
加されるロウレベルの駆動電圧Vdmin.Vddは走
査信号@GLに印加されるハイレベルの駆動電圧V d
 waxである.各時刻1=1,〜t4における中点電
位Vie(第9図参照)の電圧変化分Δ■、〜Δv4は
次のようになる.1=1,:ΔV z = − (C 
gs/ C ) 一V 2t − t z : ΔV*
 =+ (Cgs/ C ){V 1 + V 2 )
−(Cadd/ C)・V 2 1=1,:ΔV3=−(Cgs/C)”V1+(Cad
d/C)・(V1+V2) 1=14:ΔV4=  (Cadd/C)・V1ただし
、画素の合計の容量:C=Cgs+Cpix+Cadd ここで、走査信号線GLに印加される郭動電圧が充分で
あれば(下記
[Industrial Field of Application] The present invention relates to a liquid crystal display device, and particularly to the structure of a connection terminal and a measurement terminal between a liquid crystal display portion of a liquid crystal display device and an external drive circuit. [Prior Art] For example, an active matrix type liquid crystal display device is one in which a nonlinear element (switching element) is provided corresponding to each of a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. Theoretically, the liquid crystal in each pixel is constantly driven (duty ratio 1.0), so the active method has better contrast than the so-called simple matrix method, which uses a time-division drive method, especially in color. It is becoming an indispensable technology. A typical example of a switching element is a thin film transistor (TPT). A liquid crystal display device in which TPT and element electrodes constitute one element of a pixel has a liquid crystal display section (liquid crystal display panel) in which a plurality of pixels are arranged in a matrix. Each pixel of the liquid crystal display section is formed by the intersection of two adjacent scanning signal lines (also referred to as gate signal lines or horizontal signal lines) and two adjacent video signal lines (also referred to as drain signal lines or vertical signal lines). located within the area. The scanning signal lines extend in the column direction (horizontal direction) and are arranged in plural in the row direction (vertical direction). On the other hand, the video signal lines extend in the row direction intersecting the scanning signal lines, and are arranged in plural in the column direction. The liquid crystal display section includes a lower transparent glass substrate on which a thin film transistor, a transparent pixel electrode, a protective film for the thin film transistor, and an alignment film are sequentially provided, a color filter, a protective film for the color filter, a common transparent pixel electrode, and an alignment film are sequentially provided. It consists of an upper transparent glass substrate, a liquid crystal enclosed and sealed between both substrates, and a sealing material that seals the liquid crystal. Active matrix liquid display devices using TPT include, for example, "12.5-inch active matrix color liquid crystal display with redundant structure",
It is known from Nikkei Electronics, pages 193-210, December 15, 1986, published by Nikkei McGraw-Hill. [Problems to be Solved by the Invention] In a conventional liquid crystal display device, among the scanning signal lines and video signal lines formed on the lower transparent glass substrate, the video signal lines are bowed out on both sides of the lower transparent glass substrate. , each end is alternately provided with connection terminals and measurement terminals for checking wiring resistance, disconnections, etc. FIGS. 12(A) and 12(B) are a plan view and a sectional view, respectively, showing the structure of a conventional terminal. Figure 12 (C) is
FIG. 3 is a plan view showing how signal lines are drawn out to both sides of the board, and connection terminals and measurement terminals are alternately provided. SOBl is the lower transparent glass substrate, SUB2 is the upper transparent glass substrate, CT is the connection terminal, MT is the measurement terminal, SL
is the liquid crystal sealing material, and EC is the location where electrolytic corrosion occurs. Also,
In the figure (C), DL is a video signal line and GL is a scanning signal line. Conventionally, by providing the measurement terminal MT, the pitch between the terminals (the pitch between CT and ME) is 172 times the pitch between the connection terminals, and therefore the electric field strength is doubled. In addition, for flickerless operation, adjacent terminals have a phase difference of l8.
◇Adding different signals. This further doubles the potential difference between adjacent terminals. Under these circumstances, in the past, the problem of electrical corrosion due to leakage current between terminals caused by attached water droplets, etc., especially in hot and humid environments, was not considered, and wiring caused by electrical corrosion was not considered. There was a problem with the wire being disconnected. An object of the present invention is to suppress leakage current between terminals and suppress electrolytic corrosion. The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings. [Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned problems, the liquid crystal display device of the present invention has first and second liquid crystal display devices superimposed at a predetermined interval.
a transparent substrate, a sealing material provided along the periphery between the two substrates, a liquid crystal sealed between the two substrates and sealed by the sealing material, and a plurality of liquid crystals arranged on one of the substrates. A connecting terminal is provided at one end of the wiring and a measuring terminal is provided at the other end, and the connecting terminal and the measuring terminal are arranged in the direction in which the wiring extends. The measuring terminals are arranged alternately in a direction perpendicular to the measuring terminals, and the tips of the measuring terminals are located inside the sealing material. Moreover, the tip of the measurement terminal is covered with a protective film, and the outer edge of the protective film is located inside the sealing material. Figure 1 (A). (B) is a plan view and a sectional view showing an example of the structure of the present invention, respectively. SUB1 is the lower transparent glass substrate, SUB2 is the upper transparent glass substrate, CT is the connection terminal, MT is the measurement terminal, SL
is a liquid crystal sealant, and PSVI is a protective film. The tip of the measurement terminal MT is inside the sealing material SL, and the protective film P
The outer edge of SVI is located inside the sealing material SL, and the protective film PSVI covers the tip of the measurement terminal MT. [Function] Since the tip of the measurement terminal is located inside the sealing material, electrolytic corrosion can be prevented. In other words, the tips of the measurement terminals are inside the sealing material and do not protrude outside the upper transparent glass substrate, so the distance between the terminals on the outside is 3.
The electric field strength is doubled and the electric field strength is reduced to 1/3. In addition, although each wiring is moved with a double sign whose polarity is reversed, there are only connection terminals on the outside, and their potentials have the same polarity, so the potential difference can be further reduced. The sealing material blocks and protects the tip of the measurement terminal from external humidity. In addition, the outer edge of the protective film, which is the part most vulnerable to electrolytic corrosion, is located inside the sealing material, and this protective film covers the tip of the measurement terminal, further reducing leakage current between the terminals. and can suppress electrolytic corrosion. Note that since it has a measurement terminal, it is also possible to measure wiring resistance. [Example] The configuration of the present invention will be explained below along with an example in which the present invention is applied to an active matrix color liquid crystal display device. In addition, in all the figures for explaining the embodiment, parts having the same functions are given the same reference numerals, and repeated explanations thereof will be omitted. FIG. 11 is a partially cutaway plan view of a liquid crystal display module to which the present invention is applied. 5 is an upper shield case, 6 is a lower shield case, 7 is a liquid crystal display window provided in the upper shield case 5, 1 is a liquid crystal display panel attached to the liquid crystal display window 7, and 19 is an FPC for inputting external signals. (Flexible printed wiring board), 18 is a positioning hole, 16 is a rivet, 15
is a hole for a rivet, and 17 is a recess provided in the shield cases 5 and 6 at the rivet attachment part. The upper and lower two shield cases 5 and 6 are combined, and a plurality of rivets 16
and fixed by soldering. 2 is an operation IC for moving the liquid crystal display panel 1, and 3 is a drive IC 2.
TAB (Tape Automated Bonding) is mounted, and 4 is a printed wiring board (Tape Automated Bonding) on which TAB3 is mounted.
P'CB), 9 is a connection terminal (input terminal) of the liquid crystal display panel 1, and is connected to the output terminal of TAB3. FIG. 2A is a plan view showing one pixel and its surroundings of an active matrix color liquid crystal display device to which the present invention is applied, and FIG. 2B is a cross section taken along the line nB-■B in FIG. 2A and the display panel. FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the NC-NC cutting line in FIG. 2A. Moreover, FIG. 3 (main part plan view) shows a plan view when a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged. <Pixel Arrangement> As shown in Figure 2A, each pixel is connected to two adjacent scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL and two adjacent video signal lines (drain signal lines or vertical signal lines). Signal line)
Within the intersection area with DL (within the area surrounded by four signal lines)
It is located in Each pixel has a thin film transistor TPT.
Including pixel electrode ITO1 and additional capacitance C add. The scanning signals @GL extend in the column direction, and a plurality of scanning signals @GL are arranged in the row direction. The video signal lines DL extend in the row direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the column direction. <Overall Structure of Panel Cross Section> As shown in Figure 2B, a thin film transistor TPT and a transparent pixel electrode ITOI are formed on the lower transparent glass substrate SUBI side with respect to the liquid crystal layer LC, and the upper transparent glass substrate S
On the UB2 side, a color filter FIL and a black matrix pattern BM for shielding light are formed. The lower transparent glass substrate SUB1 side has a thickness of, for example, about 1.1 [mm]. The central part of Figure 2B shows a cross section of one pixel,
The left side shows the left edge part of the transparent glass substrates SUBI and SUB2, and the right side shows the right side edge part of the transparent glass substrates SUBI and SUB2, and each shows a cross section of the part of the external wiring where the measurement terminal is present. There is. The sealing material SL shown on the left and right sides of FIG. 2B is as follows:
It is configured to seal the liquid crystal LC, and is formed along the entire green periphery of the transparent glass substrates SUBI and SUB2 except for the liquid crystal sealing opening (not shown). The sealing material SL is made of, for example, epoxy resin. On the lower transparent glass substrate SUBI, a plurality of video signal lines DL and scanning signal lines GL are arranged in the vertical and horizontal directions corresponding to each pixel (see the equivalent circuit diagram in FIG. 8). One end of each video signal line DL is provided with a connection terminal (not shown, see Figure 1(A)), and the other end is provided with a wiring resistance measurement terminal MT. is video signal line D
They are arranged alternately in the direction perpendicular to the direction in which L extends.
As shown in the figure, the tips of the measurement terminals MT are located inside the sealing material SL and do not protrude outside the upper transparent glass substrate SUB2, so the distance between the terminals (connection terminals) on the outside is The electric field strength is 3 times that of the conventional one, and the electric field strength is 1
/3. In addition, the video signal lines DL are driven by a signal whose polarity is inverted for each line, but since there are only connection terminals on the outside and their potentials are of the same polarity, the potential difference is further reduced. Can be reduced. The sealing material SL shields and protects the tip of the measurement terminal MT from external humidity. Further, the outer edge of the protective film PSV1, which is the most vulnerable part to electrolytic corrosion, is located inside the sealing material SL, and this protective film PSV
Since the tip of the measurement terminal MT is covered with I, the leakage current between the terminals can be further reduced. Therefore, electrolytic corrosion can be prevented between adjacent measurement terminals, and since the outer connection terminals have the same polarity potential and are separated by a large distance, electrolytic corrosion can be suppressed. Note that since the measuring terminal MT is provided, it is possible to measure the wiring resistance of the video signal line DL and check for disconnection before assembling the lower transparent glass substrate SUBI and the upper transparent glass substrate SUB2. The common transparent pixel electrode ITO2 on the side of the upper transparent glass substrate SUBZ is connected at least in one place to an external lead wiring formed on the side of the lower transparent glass substrate SBI by a silver paste material SIL. This external lead wiring is formed in the same manufacturing process as each of the gate electrode GT, source electrode SD1, and drain electrode SD2 described above. Orientation films ORII and ORI2, transparent pixel electrode TO, common transparent pixel electrode ITO, protective films PSVI and PSV2,
[Each layer of GI is formed inside the sealing material SL. The polarizing plate POL has a lower transparent glass substrate SUB
I and the outer surface of the upper transparent glass substrate SUB2. The liquid crystal LC is sealed between a lower alignment film ORII and an upper alignment film ORI2 that set the orientation of liquid crystal molecules, and is sealed by a sealing part SL. The lower alignment film ORII is formed on the protective film PSVI on the lower transparent glass substrate SUB1 side. Upper transparent glass substrate S
On the inner surface (liquid crystal side) of UB2, a light shielding film BM, a color filter FIL, a protective film PSV2, a common transparent pixel electrode (COM) IT02, and an upper alignment film ORI2 are sequentially laminated. This liquid crystal display device has a lower transparent glass substrate SUBl side,
Each layer on the upper transparent glass substrate SUBZ side is formed separately, and then the upper and lower transparent glass substrates SUB1 and SUB2 are formed.
It is assembled by overlapping the two and sealing the liquid crystal LC between them. <Thin Film Transistor TFT> The thin film transistor TPT operates such that when a positive bias is applied to the gate electrode GT, the channel resistance between the source and drain becomes small, and when the bias is reduced to zero, the channel resistance becomes large. The thin film transistor TPT of each pixel has three
It is divided into two (multiple) thin film transistors (divided thin film transistors) TFTI, TFT2, and TFT3. Each of the thin film transistors TFTI to TFT3 has substantially the same size (channel length and width are the same). Each of the divided thin film transistors TPTI to TFT3 mainly has a gate electrode GT, a gate insulator [1iGI
, an i-type (intrinsic, not doped with conductivity type determining impurities) amorphous Si semiconductor layer As, and a pair of source electrode SD1 and drain electrode SD2. Note that the source and drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this display device, the polarity is reversed during operation, so it should be understood that the source and drain are interchanged during operation. However, in the following explanation, for convenience, one side will be fixed as the source and the other as the drain. 《
Gate electrode GT> As shown in detail in FIG. 4 (a plan view depicting only the layers g1, g2, and As in FIG. 2A), the gate electrode GT is arranged vertically from the scanning signal line GL (in FIG. 2A and FIG. 2A). It is structured in a shape that protrudes upward (in Fig. 4) (branched into a T-shape). The gate electrode GT is configured to protrude to the shape region of each of the thin film transistors TPTI to TFT3. Thin film transistor TPT1~TF
The respective gate electrodes GT of T3 are formed integrally (as a common gate electrode) and are formed continuously to the scanning signal line OL. The gate electrode GT is composed of a single-layer first conductive film g1 so as not to form a large step in a certain region of the thin film transistor TFTO type. The first conductive film g1 is formed using, for example, a chromium (Cr) film formed by sputtering, and is formed to a thickness of about 1000 [A]. As shown in FIGS. 2A, 2B, and 4, the gate electrode GT is shaped to be thicker than the semiconductor layer As (as viewed from below) so as to completely cover the semiconductor layer As. Therefore, when a backlight BL such as a fluorescent lamp is attached below the substrate SUBI, the opaque Cr gate electrode GT casts a shadow, and the semiconductor layer AS is not illuminated by the backlight.
A conductive phenomenon, that is, deterioration of the off-characteristics of TPT due to light irradiation becomes less likely to occur. The original size of the gate electrode GT is the minimum width required to span between the source/drain electrodes SDI and SD2 (including the alignment margin between the gate electrode and the source/drain electrodes), and the channel width. W
The depth length that determines the ratio to the distance (channel length) L between the source and drain electrodes, that is, the factor W/L that determines the mutual conductance gm, is determined by the ratio. The size of the gate electrode in this embodiment is of course larger than the original size mentioned above. Considering only the function of the gate and light shielding of the gate electrode GT, the gate electrode and its arrangement i11GL may be integrally formed in a single layer, and in this case, Si-containing At, Pure Al. and A1 containing Pd. <<Scanning Signal Line GL>> The scanning signal line GL is composed of a composite film including a first conductive film g1 and a second conductive film g2 provided on the first conductive film g1. The first conductive film g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the first conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally constructed. Second conductive MA g 2
For example, sputtered aluminum (Af
i) Using a film, form the film to a thickness of about 2,000 to 4,000 CA. The second conductive film g2 is designed to reduce the resistance value of the scanning signal line GL and increase the signal transmission speed (improve the writing characteristics of pixel information). Further, in the scanning signal line GL, the width of the second conductive film g2 is made smaller than the width of the first conductive film g1. That is, the scanning signal line GL has a gradual step shape on its side wall. <Gate Insulating Film aX> The insulating film GI is used as a gate insulating film for each of the thin film transistors TPTI to TFT3. Zetsuryokumei G Engineering is
It is formed in the upper layer of the gate electrode GT and the scanning signal line GL. The insulating film GI is formed using, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD to a thickness of about 3000 [A]. <Semiconductor Layer As> As shown in FIG. 4, the i-type semiconductor layer AS is used as a channel type region of each of the plurality of thin film transistors TPTI to TFT3. The i-type semiconductor layer As is formed of an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film, and has a thickness of about 1800 [A]. This i-type semiconductor layer AS is made of Si by changing the supply gas.
,N. Continuing with the shaping of the gate insulating film GI, it is shaped using the same plasma CVD equipment without being exposed to the outside from the equipment. Also, P for ohmic contact
A doped N" layer do (FIG. 2B) is similarly formed continuously to a thickness of approximately 400 μm. After that, the lower substrate SUB1 is taken out from the cVD apparatus and is processed by photoprocessing technology. , N+ layer DO and i layer AS are shown in FIGS. 2A and 2B.
It is patterned into independent islands as shown in Figures and Figure 4. As shown in detail in FIGS. 2A and 4, the i-type semiconductor layer AS is located at the intersection of the scanning signal line GL and the video signal line DL (
It is also provided between the two (crossover section). This intersection i-type semiconductor IAs is connected to the scanning signal line G at the intersection.
It is designed to reduce short circuits between L and the video signal line DL. <<Source/drain electrodes SD1, SD2:) The respective source electrodes SD1 and drain electrodes SD2 of the thin film transistors TPTI to TFT3 divided into a plurality of parts are shown in FIG. 2A,
As shown in detail in FIGS. 2B and 5 (a plan view depicting only the layers d1 to d3 in FIG. 2A), they are provided separately on the semiconductor layer AS. Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is N+
The first conductive film di
.. The second conductive film d2 and the third conductive film d3 are sequentially stacked on top of each other. the first conductive film d1 of the source electrode SDI;
The second conductive film d2 and the third conductive film d3 are the drain electrode S
They are formed in the same manufacturing process as each of D2. The first conductive film di is a chromium film formed by sputtering, and has a film thickness of 500 to 1000 [λ (in this example, 60
0 [film thickness of about λ]. The thicker the chromium film, the greater the stress.
The thickness of the film does not exceed that of a human. The chromium film has good contact with the N0 type semiconductor JildO. The chromium film has a second conductivity [d2, which will be described later, to prevent aluminum from diffusing into the N+ type semiconductor layer do.
In addition to the chromium film, the first conductive film d1 constituting the so-called Paris 7 layer includes a high melting point metal (MotTLTa-W) film,
Refractory metal silicide (MoSi, , TiSi, , Ta
It may also be formed using a Si, WSi, ) film. After patterning the first conductive film d1 by photo processing, the N+ layer dO is removed using the same photo processing mask or using the first conductive film d1 as a mask. In other words, the portions of the N+ layer do remaining on the i MAS other than the first conductive film d1 are removed by the self-alignment. At this time, since the N" layer do is etched so that its entire thickness is removed, the i layer As is also slightly etched on its surface, but the extent can be controlled by the etching time. 2 conductive film d2 is formed by aluminum sputtering to a film thickness of 3000 to 4000 [A] (in this example, a film thickness of about 3000 [λ]).The aluminum film is more susceptible to stress than the chromium film. The second conductive film d2 is made of aluminum.The second conductive film d2 is made of aluminum. In addition to the film, an aluminum film containing silicon (Si) or copper (Cu) as an additive may be formed.After the second conductive film d2 is patterned by photoprocessing technology, the third conductive film d3 is formed. This third conductive film d3 is a transparent conductive film (Induim-T) formed by sputtering.
from in-Oxide ITO: Nesa membrane),
1000 to 2000 [human film thickness (in this example, 1
200 (film thickness about A)). This third
The conductor 1ld3 is a source electrode SDI, a drain electrode SD
2 and a video signal line DL, and also constitutes a transparent pixel electrode ITOI. First conductive film d1 of source electrode SD1, drain electrode SD
Each of the first conductive films di of No. 2 extends further inside (into the channel region) than the upper second conductive film d2 and the third conductive film d3. In other words, the first conductive film di in these parts is /l
d2. The configuration is such that the gate length L of the thin film transistor TPT can be defined independently of d3. As described above, the source electrode SDI is connected to the transparent pixel electrode IT.
Connected to OI. The source electrode SDI has a step shape of the i-type semiconductor layer AS (a step corresponding to the sum of the thickness of the first conductive W1 film g1, the thickness of the N+ layer do, and the thickness of the i-type semiconductor layer As). It is structured according to the following. Specifically, the source electrode SDI includes a first conductive film d1 formed along the step shape of the i-type semiconductor layer As, and a transparent pixel electrode iITO1 connected to the upper part of the first conductive film d1. a second conductive film d2 whose side is smaller in size;
Ifi is established between the third conductive film d3 connected to the l-th conductive film d1 exposed from the second conductive film. Source electrode S
The second conductive film d2 of DI cannot be formed thickly because the chromium film of the first conductive film di cannot be formed thickly due to increased stress, and the i-type semiconductor layer AS
Since the step shape cannot be overcome, the structure is designed to overcome this i-type semiconductor layer As. In other words, the second
The conductive film d2 is thick and shaped to improve the stepping force barrier. Since the second conductive film d2 can be formed thickly, it greatly contributes to reducing the resistance value of the source electrode SDI (the same applies to the drain electrode SD2 and the video signal line DL). Since the third conductive film d3 cannot overcome the step shape caused by the i-type semiconductor layer AS of the second conductive film d2, the first conductive film d1 is exposed by reducing the size of the second conductive film d2. is configured to connect to. The first conductive film d1 and the third conductive film d3 not only have good adhesion but also have a small step shape at the connecting portion between them, so that they can be reliably connected. <Pixel Electrode I To 1> The transparent pixel electrode ITOI is provided for each pixel and constitutes one of the pixel electrodes of the liquid crystal display section. The transparent pixel electrode IT○1 is divided into three transparent pixel electrodes (divided transparent pixel electrodes) El, E2, and E3 corresponding to each of the thin film transistors TPTI to TFT3 divided into a plurality of pixels. The transparent pixel electrodes E1 to E3 are each connected to the source electrode SD1 of the thin film transistor TPT. Each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is patterned to have substantially the same area. In this way, by dividing the thin film transistor TPT of one pixel into a plurality of thin film transistors TPTI to TFT3, and connecting each of the plurality of divided transparent pixel electrodes El-E3 to each of the plurality of divided thin film transistors TPTI to TFT3. , a divided portion (e.g. TF
Even if T1) becomes a point defect, it is no longer a point defect when looking at the entire pixel (TFT2 and TFT3 are not defective), so
The probability of point defects can be reduced, and defects can be made difficult to see. Further, by configuring each of the divided transparent pixel electrodes E1 to E3 of the pixel to have substantially the same area, each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 and the common transparent pixel electrode ITO2 can be separated. The liquid crystal capacitance (Cpix) can be made uniform. <<Protective Film PSV1> A protective vAPsVI is provided over the thin film transistor TPT and the transparent pixel electrode IT○1. Protective film PSV
I is mainly used to protect the thin film transistor TPT from moisture, etc., and a material having high transparency and good moisture resistance is used. The protective film PSVI is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by plasma CVD, and has a film thickness of 8000 [
Formed with a film thickness of approximately A. <<Light-shielding film BM>> On the upper substrate SUB2 side, a shielding film BM fJ<
The pattern is as shown in the hunting pattern in FIG. Note that FIG. 6 is a plan view depicting only the ITO film layer d3, filter layer FIL, and light shielding film BM in FIG. 2A. The light-shielding film BM is formed of, for example, an aluminum film or a chromium film that has a high light-shielding property, and in this embodiment, the chromium film is formed by sputtering to a thickness of about 1300 [A]. Therefore, the common semiconductor layer AS of TPTI-3 is made into a sandwich by the upper and lower light shielding films BM and the large gate electrode GT, and that portion is not exposed to external natural light or backlight light. The light shielding film BM is shaped around the pixel as shown by the hatched area in FIG. 6, that is, the light shielding film BM is shaped like a grid (black matrix).
The effective display area of one pixel is partitioned by this grid. Therefore, the outline of each pixel becomes clear due to the light shielding film BM, and the contrast is improved. In other words, the light shielding film BM has two functions: shielding the semiconductor layer As from light and serving as a black matrix. In addition, attach the pack light to the SUB2 side and
@: Il! It can also be set to the opposite side (externally exposed side). <<Common electrode ITO2)) The common transparent pixel electrode IT○2 is connected to the lower transparent glass substrate SU
Opposing the transparent pixel electrode ITOI provided for each pixel on the BI side, the optical state of the liquid crystal changes in response to the potential difference (electric field) between each pixel electrode ITO1 and the common electrode ITOZ. This common transparent pixel electrode ITO2 has a common voltage V c
It is configured so that ow is applied. Common voltage V
cow is a low-level fighting voltage V d win and a high-level fighting voltage V d applied to the video signal line DL.
This is the intermediate potential between wax and wax. <<Color Filter FIL> The color filter FIL is constructed by coloring a dyed base material made of a resin material such as an acrylic resin with a dye. The color filter FIL is formed in a dot shape for each pixel at a position facing the pixel (Fig. 7), and is dyed differently (Fig. 7 shows the third conductive film layer d3 in Fig. 3 and the color filter, IFIL). (The R, G, and B filters are each 45' 135° with cross hatching). As shown in FIG. 6, the color filter FIL has a thick shape so as to cover all of the pixel electrodes ITOI (El to E3), and the light shielding film BM is formed between the color filter FIL and the edge portion of the pixel electrode IT○1. They are formed inside the peripheral edge of the pixel electrode IT○1 so as to overlap with each other. Color filter FIL can be formed as follows. First, a dyed base material is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyed base material other than the red filter shaped area is removed using photolithography technology. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed by performing similar steps. The protective film PSV2 is provided to prevent the dyes used to dye the color filters FIL into different colors from leaking into the liquid crystal LC. The protective film PSV2 is made of, for example, a transparent resin material such as acrylic resin or epoxy resin. <<Pixel Arrangement>> As shown in FIGS. 3 and 7, a plurality of pixels of the liquid crystal display section are arranged in the same column direction as the direction in which the scanning signal line GL extends, and are arranged in pixel columns Xi, X2, X3. , X4,... Each pixel row X1, X2, X3, X4
, . . . each pixel is a thin film transistor TFTI~
The TFT 3 and the transparent pixel electrodes E1 to E3 are arranged in the same position. In other words, odd pixel columns Xi, X3,...
・Each pixel is a thin film transistor TPT1 to TFT.
The transparent pixel electrodes E1 to E3 are arranged on the left side, and the transparent pixel electrodes E1 to E3 are arranged on the right side. Odd pixel rows Xi, X3,...
・Adjacent even-numbered pixel columns X2, X4, . . . in the row direction
Each pixel is formed by inverting each pixel of the odd-numbered pixel columns Xi, X3, . . . symmetrically with respect to the extending direction of the video signal line DL. That is, in each pixel of the pixel columns X2, X4, . Then, each pixel in the pixel rows X2, X4,...
Each pixel in the pixel columns Xi, X3, . . . is shifted (shifted) by half a pixel interval in the column direction.
In other words, if each pixel interval of pixel row X is 1.0 (1.0 pitch), then the next pixel row 0.5 pixel interval (
0.5 pitch) shifted. The video signal line DL extending in the row direction between each pixel is configured to extend in the column direction by a half pixel interval (0.5 pitch) between each pixel column X. As a result, as shown in FIG. 7, a pixel on which a predetermined color filter is formed in the previous pixel row The pixels on which the same color filter is formed (for example, the pixel on which the red filter R of pixel row X4 is formed) are separated by 1.5 pixel intervals (1.5 pitch), and the RGB color filter FIL is It will be a triangular arrangement. Color filter FIL
The RGB triangular arrangement structure can improve the mixing of each color, so it can improve the resolution of color images. Moreover, since the video signal line DL extends in the column direction by only half a pixel interval between each pixel column X, it does not intersect with the adjacent video signal line DL. Therefore, video signal line D
It is possible to eliminate the routing of L and reduce its occupied area, and it is also possible to eliminate the detour of the video signal line DL and eliminate the multilayer wiring structure. <<Equivalent circuit of entire display panel>> The equivalent circuit of this liquid crystal display device is shown in Figure 8. XiG
, Xi+IG,... is iI where the green filter G is applied! This is the video signal line DL connected to il. XiB
, Xi+IB, . . . are video signal lines DL connected to the iI element on which the blue filter B is applied. Xi+IR
, Xi+2R, . . . are video signal lines DL connected to the pixels on which the red filter R is applied. These video signal lines DL are alternately drawn out to both sides and selected by two video signal driving circuits. Yi is a scanning signal line OL that selects the pixel column X1 shown in FIGS. 3 and 7. Similarly, each of Yi+1, Yi+2, . . .
This is a scanning signal line GL that selects each of X3, . These scanning signal lines GL are connected to a vertical scanning circuit, Cadd indicates an additional capacitance, and Vcom indicates a common voltage. <Structure of additional capacitance C add> Each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is a thin film transistor T.
At the end opposite to the end connected to PT, it is bent into an L-shape so as to overlap the adjacent scanning signal line GL. As is clear from FIG. 2C, this superposition is such that each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 is connected to one electrode PL.
2, and a storage capacitor element (electrostatic capacitor element) Cadd is constructed in which the adjacent scanning signal line OL is the other electrode PLI. The dielectric film of this storage capacitor element C add is an insulating film G used as a gate insulating film of the thin film transistor TPT.
It is composed of the same layer as I. As is clear from FIG. 4, the holding capacitance C add is
It is formed in the part where the width of the first layer g1 of the gate line GL is widened. Note that the layer g1 in the portion intersecting with the drain line DL
is thinned to reduce the probability of shorting with the drain line. Similar to the source electrode SDI, a portion between the capacitor electrode line (g1) and each of the transparent pixel electrodes E1 to E3 that are overlapped to form the storage capacitor element Cadd is provided with In order to prevent the transparent pixel electrode ITOI from being disconnected, an island region is provided which is constituted by the first conductive film di and the second conductive film d2. This island area is transparent ii
The area (aperture ratio) of the i*den FAXT01 should be made as small as possible without decreasing its area (aperture ratio). <<Equivalent circuit of additional capacitance C add and its operation>> The equivalent circuit of the pixel shown in Fig. 2A is shown in Fig. 9. In FIG. 9, Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TPT.
This is a parasitic capacitance formed between T and the source electrode SDI. The dielectric film of the parasitic capacitance Cgs is an insulating film GI. C
pix is the liquid crystal capacitance formed between the transparent pixel electrode ITOI (FIX) and the common transparent pixel electrode ITO2 (COM). The dielectric film of the liquid crystal capacitor tcpix is the liquid crystal LC, protection [
These are PSV1 and alignment films ORII and ORI2. Vlc
is the midpoint potential. The storage capacitor element C add functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc when the TFT switches. Expressing this situation with the formula, ΔV lc = ((Cgs/ (Cgs+Cadd
+Cpix)) XΔWg. Here, ΔVlc is Δ
It represents the change in midpoint potential due to Vg. This change ΔV
lc is a cause of direct current applied to the liquid crystal, but the thicker the holding capacitance Cadd, the smaller its value can be. In addition, the holding capacitance C add has the effect of lengthening the discharge time. Stores video information for a long time after TPT is turned off. A certain reduction in the direct current applied to the liquid crystal LC is
It is possible to improve the life of the liquid crystal LC and reduce so-called burn-in, in which the previous image remains when switching liquid crystal display screens. As mentioned above, since the gate electrode GT is made large enough to completely cover the semiconductor layer AS, the overlapping area with the source/drain electrodes SD1 and SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases and the midpoint potential Vlc is the gate (
This has the opposite effect of becoming more susceptible to the influence of the scanning signal Vg. However, this disadvantage can also be eliminated by providing the holding capacitor C add. The storage capacitance of the storage capacitance element C add is 4 to 8 times (4.
Cpix<Cadd<8・Cpix), superposition capacitance C
8 to 32 times that of gs (LCgs<Cadd<32・
Cgs). <Connection method of additional capacitance C add electrode line> As shown in FIG. Vcom) Connect to ITO2. As shown in FIG. 2B, the common transparent pixel electrode ITO2 is connected to an external wiring at the peripheral edge of the liquid crystal display device by means of a silver paste material SL. Moreover, some of the conductive layers (gl and g2) of this external lead wiring are constructed in the same manufacturing process as the scanning signal line GL. As a result, the final stage capacitor electrode line GL can be easily connected to the common transparent pixel electrode IT○2. Alternatively, as shown by the dotted line in FIG. 8, the capacitor electrode line GL at the final stage (first stage) may be connected to the scanning signal line GL at the first stage (last stage). Note that this connection can be made using internal wiring within the liquid crystal display section or external wiring. <DC cancellation by additional capacitance C add scanning signal> This liquid crystal display device uses the DC cancellation method (DC
As shown in FIG. 10 (time chart), the DC component applied to the liquid crystal LC can be further reduced by controlling the drive voltage of the scanning signal line DL. In FIG. 10, vi is the drive voltage of an arbitrary scanning signal line OL, and Vi+1 is the drive voltage of the scanning signal line GL at the next stage. Vea is a low-level drive voltage Vdmin. applied to the scanning compensation line GL. Vdd is a high-level drive voltage V d applied to the scanning signal @GL
It is wax. The voltage changes Δ■ and Δv4 of the midpoint potential Vie (see FIG. 9) at each time 1=1 and t4 are as follows. 1=1, :ΔVz=−(C
gs/C) -V2t-tz: ΔV*
=+ (Cgs/C) {V 1 + V 2 )
−(Cadd/C)・V 2 1=1, :ΔV3=−(Cgs/C)”V1+(Cad
d/C)・(V1+V2) 1=14:ΔV4=(Cadd/C)・V1 However, total capacitance of pixels: C=Cgs+Cpix+Cadd Here, if the collapsing voltage applied to the scanning signal line GL is sufficient (see below)

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、端子部の電食を
防止できるので、信頼性を向上できる。 また、従来、端子部洗浄工程や端子部保護のための樹脂
塗布工程を省略できるので、コスト低減の効果もある。
As described above, according to the present invention, electrical corrosion of the terminal portion can be prevented, so reliability can be improved. Further, since the conventional terminal cleaning process and resin coating process for protecting the terminal parts can be omitted, there is also an effect of cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(A)、(B)は、それぞれ本発明の構威の一例
を示す平面図および断面図、 第2A図は、本発明の実施例■であるアクティブ・マト
リックス方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の一画
素を示す要部平面図、 第2B図は、前記第2A図のnB−IIB切断線で切っ
た部分とシール部周辺部の断面図、第2C図は、第2A
図のnc−nc切断線における断面図、 第3図は、前記第2A図に示す画素を複数配置した液晶
表示部の要部平面図、 第4図乃至第6図は、前記第2A図に示す画素の所定の
層のみを描いた平面図, 第7図は、前記第3図に示す画素電極層とカラーフィル
タ層のみとを重ね合せた状態における要部平面図、 第8図はアクティブ・マトリックス方式のカラー液晶表
示装置の液晶表示部を示す等価回路図、第9図は、第2
A図に記載される画素の等価回路図、 第10図は、直流相殺方式による走査信号線の酩動電圧
を示すタイムチャート図、 第11図は、本発明が適用される液晶表示モジュールの
一部切断平面図、 第12図(A)、(B)は、それぞれ従来の端子の構造
を示す平面図および断面図、 第12図(C)は、信号線が基板の両側に引き出され、
交互に接続用端子および測定用端子が設けられている様
子を示す平面図である。 図中、SUBI、2・・・透明ガラス基板.CT・・・
接続用端子、MT・・・測定用端子、SL・・・シール
材,PSVI・・・保護膜、GL・・・走査信号線、D
L・・・映像信号線、GI・・・絶縁膜、GT・・・ゲ
ートit極、AS・・・i型半導体層、SD・・・ソー
ス電極又はドレイン電極、psv・・・保護膜、LS・
・・遮光膜、LC・・・液晶、TPT・・・薄膜トラン
ジスタ、、ITO・・・透明電極、gpd・・・導電膜
、C add・・・保持容量素子、Cgs・・・重ね合
せ容量、C pix・・・液晶容量である(英文字の後
の数字の添字は省略)。
FIGS. 1(A) and (B) are a plan view and a sectional view showing an example of the structure of the present invention, respectively. FIG. 2A is an active matrix color liquid crystal display device which is Embodiment 2 of the present invention. FIG. 2B is a sectional view of the portion taken along the nB-IIB cutting line in FIG. 2A and the vicinity of the sealing part; FIG.
FIG. 3 is a plan view of a main part of a liquid crystal display section in which a plurality of pixels shown in FIG. 2A are arranged; FIGS. 7 is a plan view depicting only a predetermined layer of the pixel shown in FIG. FIG. 9 is an equivalent circuit diagram showing the liquid crystal display section of a matrix type color liquid crystal display device.
Figure A is an equivalent circuit diagram of the pixel shown in Figure 10. Figure 10 is a time chart diagram showing the driving voltage of the scanning signal line using the DC cancellation method. Figure 11 is an example of a liquid crystal display module to which the present invention is applied. FIGS. 12(A) and 12(B) are a plan view and a sectional view showing the structure of a conventional terminal, respectively. FIG. 12(C) is a partially cutaway plan view, with signal lines drawn out to both sides of the board.
It is a top view which shows a mode that the connection terminal and the measurement terminal are provided alternately. In the figure, SUBI, 2...transparent glass substrate. CT...
Connection terminal, MT...measurement terminal, SL...sealing material, PSVI...protective film, GL...scanning signal line, D
L...Video signal line, GI...Insulating film, GT...Gate IT pole, AS...I-type semiconductor layer, SD...Source electrode or drain electrode, psv...Protective film, LS・
...light shielding film, LC...liquid crystal, TPT...thin film transistor, ITO...transparent electrode, gpd...conductive film, C add...holding capacitor element, Cgs...superimposed capacitance, C pix...Liquid crystal capacity (numerical subscripts after alphabetic characters are omitted).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、所定の間隔を隔てて重ね合わせられた第1および第
2の透明基板と、上記両基板間の縁周囲に沿って設けら
れたシール材と、上記両基板間に封入され、上記シール
材により封止された液晶と、上記一方の基板上に複数本
配列された各画素の駆動用配線とを具備し、上記配線の
一端には接続用端子、他端には測定用端子が設けられ、
上記接続用端子と上記測定用端子とはその配線の伸びる
方向と直角の方向に交互に配置され、かつ上記測定用端
子の先端部が上記シール材の内側に位置していることを
特徴とする液晶表示装置。 2、上記測定用端子の先端部が保護膜で覆われ、かつ上
記保護膜の外縁部が上記シール材の内側に位置している
ことを特徴とする液晶表示装置。
[Claims] 1. First and second transparent substrates stacked on top of each other at a predetermined interval, a sealing material provided along the edge between the two substrates, and a sealing material between the two substrates. The liquid crystal is enclosed and sealed with the sealing material, and a plurality of wirings for driving each pixel are arranged on one of the substrates, and one end of the wiring has a connecting terminal, and the other end has a connecting terminal. A measurement terminal is provided,
The connection terminal and the measurement terminal are arranged alternately in a direction perpendicular to the direction in which the wiring extends, and the tip of the measurement terminal is located inside the sealing material. LCD display device. 2. A liquid crystal display device, wherein the tip of the measurement terminal is covered with a protective film, and the outer edge of the protective film is located inside the sealing material.
JP1192607A 1989-07-27 1989-07-27 Liquid crystal display Expired - Lifetime JP2803677B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1192607A JP2803677B2 (en) 1989-07-27 1989-07-27 Liquid crystal display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1192607A JP2803677B2 (en) 1989-07-27 1989-07-27 Liquid crystal display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0358027A true JPH0358027A (en) 1991-03-13
JP2803677B2 JP2803677B2 (en) 1998-09-24

Family

ID=16294076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1192607A Expired - Lifetime JP2803677B2 (en) 1989-07-27 1989-07-27 Liquid crystal display

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2803677B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0373913U (en) * 1989-11-21 1991-07-25
KR100529563B1 (en) * 1998-07-08 2006-04-10 삼성전자주식회사 Panel for liquid crystal display
US7215402B2 (en) 1996-06-25 2007-05-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device having liquid crystal display device
JP2008065334A (en) * 2006-09-07 2008-03-21 Samsung Electronics Co Ltd Array substrate and display apparatus having the same
JP2012234207A (en) * 2000-04-27 2012-11-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Liquid crystal display device and electronic device

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0373913U (en) * 1989-11-21 1991-07-25
US8665409B2 (en) 1996-06-25 2014-03-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device with sealing material
US7215402B2 (en) 1996-06-25 2007-05-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device having liquid crystal display device
US7333160B2 (en) 1996-06-25 2008-02-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device including resin film
US9507213B2 (en) 1996-06-25 2016-11-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device having liquid crystal display device
US7474376B2 (en) 1996-06-25 2009-01-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
US8643820B2 (en) 1996-06-25 2014-02-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device having liquid crystal display device
KR100529563B1 (en) * 1998-07-08 2006-04-10 삼성전자주식회사 Panel for liquid crystal display
JP2012234207A (en) * 2000-04-27 2012-11-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Liquid crystal display device and electronic device
US9099361B2 (en) 2000-04-27 2015-08-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method of fabricating the same
US9419026B2 (en) 2000-04-27 2016-08-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method of fabricating the same
US9780124B2 (en) 2000-04-27 2017-10-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device including pixel comprising first transistor second transistor and light-emitting element
JP2008065334A (en) * 2006-09-07 2008-03-21 Samsung Electronics Co Ltd Array substrate and display apparatus having the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2803677B2 (en) 1998-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5177577A (en) Liquid crystal display device with TFT&#39;s each including a Ta gate electrode and an anodized Al oxide film
US5285301A (en) Liquid crystal display device having peripheral dummy lines
JPH0358019A (en) Liquid crystal display device
JPH0358027A (en) Liquid crystal display device
JPH0358024A (en) Liquid crystal display device
JPH02234127A (en) Liquid crystal display device
JP2852073B2 (en) Liquid crystal display
JPH02245740A (en) Liquid crystal display device
JPH02234122A (en) Liquid crystal display device
JPH02245738A (en) Liquid crystal display device
KR100282932B1 (en) Thin film device
JP2968252B2 (en) Liquid crystal display
JPH06175121A (en) Liquid crystal display device
JP2968269B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
JPH03249624A (en) Manufacture of liquid crystal display device
JPH03271718A (en) Liquid crystal display device
JPH0359531A (en) Liquid crystal display device
JP2741773B2 (en) Liquid crystal display
JP2796283B2 (en) Liquid crystal display
JPH11194336A (en) Liquid crystal display device
JPH02234129A (en) Liquid crystal display device
JPH0359543A (en) Manufacture of color liquid crystal display device
JPH0359518A (en) Display device
JPH0356939A (en) Liquid crystal display device
JPH0356940A (en) Liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080717

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080717

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717

Year of fee payment: 12