JP2802173B2 - 複合誘電体 - Google Patents

複合誘電体

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JP2802173B2 JP2406287A JP40628790A JP2802173B2 JP 2802173 B2 JP2802173 B2 JP 2802173B2 JP 2406287 A JP2406287 A JP 2406287A JP 40628790 A JP40628790 A JP 40628790A JP 2802173 B2 JP2802173 B2 JP 2802173B2
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明義 野末
清孝 古森
智之 藤木
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、複合誘電体に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、誘電体、例えば電子回路素子のひ
とつであるコンデンサ用の誘電体としてはセラミックス
および樹脂が用いられている。樹脂系の場合、中でも高
周波域での誘電損失(tanδ)が少ない樹脂、例えば、フ
ッ素樹脂やポリフェニレンオキサイド樹脂は昨今の高周
波化の要求に適したものとして注目されている。
【0003】これに対して、高周波域での誘電損失が少
ない樹脂は誘電率が余り高くないので、樹脂中に無機誘
電体粒子を分散させて誘電率を大きくした複合誘電体が
注目され、数多く出願されている(例えば特公昭49-251
59、特公昭54-18754など)。この複合誘電体は、大面積
化の容易性、後加工(切断、孔開、接着等)の良好性な
ど樹脂の利点が維持されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、無機誘
電体粒子含有のこの複合誘電体には、無機誘電体粒子の
添加量に見合うほどには誘電率が向上してくれないとい
う問題がある。無機誘電体粒子の添加量を増やすには限
度があるし、新たな無機誘電体粒子用化合物の開発も容
易でない。
【0005】前記特公昭49-25159、特公昭54-18754記載
の発明では、分散させる粒子の粒径効果を検討してい
る。しかし、発明者らの研究結果からは、充てん量を同
じにして高い誘電率を確保する上では、単に粒径を大き
くするだけでは効果が小さいことが見出されている。一
方、無機誘電体粒子の粒径が大きいと沈降分離が起こり
易いので、誘電率の向上と同時に、複合化する時の作り
易さも、無機誘電体粒子含有のこの複合誘電体におけ
る、解決する必要のある間題である。
【0006】この発明は、このような事情に鑑み、高比
誘電率の無機誘電体粒子が誘電率増大作用を効果的に発
揮する複合誘電体を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明にかかる複合誘電体では、多孔質無機誘電
体粒子を樹脂中に分散させるようにしている。この多孔
質無機誘電体粒子は、表面に向けて開口する孔や割れ目
などからなる空隙が多数個ある粒子であって、この空隙
内に樹脂が入り込むことができるような状態となってい
る。その状態は、たとえば図1にみるようである。図1
において、球形状のものが多孔質無機誘電体粒子を表
し、黒地部分が樹脂を表す。多孔質無機誘電体粒子が樹
脂中に分散し、この樹脂の一部が粒子の空隙内に入り込
んでいる。
【0008】多孔質無機誘電体粒子としては、平均粒径
5〜100μm、平均比表面積0.3〜7.0 m2 /g
rのものが好ましい。粒径が100μmを超えると、複
合誘電体の表面に粒子による凹凸が現れて平滑性が悪く
なったり、耐湿性(耐水性)が劣るようになったり、誘
導損失特性が悪くなったりするほか、製造時等に粒子が
割れ易くて誘電特性がばらついたりするという傾向がみ
られる。粒径が5μmを下回ると、誘電率向上効果が十
分でなくなる傾向がみられる。
【0009】比表面積が7.0 m2 /grを超えると、
耐湿性(耐水性)が劣るようになり、誘電損失特性が悪
くなる傾向がみられる。比表面積が0.3 m2 /grを
下回ると、誘電率向上効果が十分でなくなる傾向がみら
れる。多孔質無機誘電体粒子は、一次粒子が集合してで
きる二次粒子であってもよい。この二次粒子では、一次
粒子間に空隙があって多孔質になっている。この場合、
多孔質粒子を構成する一次粒子は、焼結により互いに物
理的・化学的に結合していることが好ましい。
【0010】この多孔質無機誘電体粒子は、ペロブスカ
イト型結晶構造を有する高誘電率組成の化合物からなる
ことが好ましい。以下に、この発明の複合誘電体を、よ
り具体的に説明する。この発明において、複合化用マト
リックス樹脂としては、必要に応じて適宜に選択された
樹脂が用いられるが、高周波域の用途では、高周波損失
の少ない(低tan δ)樹脂が好ましく、例えば、PPO
(ポリフェニレンオキサイド)樹脂、フッ素樹脂(例え
ば、テフロン(デュポン社の商品名)のようなポリフッ
化エチレン系樹脂)、ポリカーボネート、ポリエチレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リスチレンなどが挙げられる。これらの樹脂の比誘電率
εrは、普通、2.0〜3.2程度である。その他の用
途の場合は、高周波損失の点で多少劣るが、ポリエステ
ル、エポキシ、あるいは、誘電率の大きなPVDF(ポ
リフッ化ビニリデン)などの樹脂でもよい。
【0011】多孔質無機誘電体粒子としては、例えば、
BaTiO3 系、SrTiO3 系、PbTi1/2 Zr
1/2 3 系、Pb(Mg2/3 Nb1/3 )O3 系、Ba
(SnX MgY TaZ )O3 系、Ba(ZrX ZnY
Z )O3 系などのペロブスカイト型結晶構造(あるい
は複合ペロブスカイト型結晶構造)を有するもの、その
他、TiO2 、ZrO2 、SnO2 の単独およびその複
合酸化物などの無機化合物等が具体的に挙げられる。多
孔質無機誘電体粒子は、球状、あるいは、様々な形のブ
ロック片的形状であってよく、その形状については特に
限定しない。
【0012】この多孔質無機誘電体粒子は、例えば、
焼結密度が低く多孔質となるようにして得た無機誘電体
ブロックを粉砕したり、あるいは、無機粉末をバイン
ダー(例えば、PVA=ポリビニルアルコール水溶液)
中に分散し、乾燥雰囲気(例えば、130℃程度の温度
雰囲気)中にスプレーすることにより粒状物を得て、こ
れを1100℃程度の温度で焼成するようにしたりし
て、得ることができる。後者の場合、無機粉末として
は種々の粒径のものを選ぶことができるが、焼成は、ス
プレーにより得られた粒状物において、個々の粒状物内
の粉末同士は焼結により物理的・化学的な結合が起こ
り、特に出発原料が微粒子の場合は粒成長が起こるが、
粒状物同士は簡単に離れる程度に行う。焼結粒子は、表
面に開口した孔や割れ目などがあって内部に空隙が生じ
ており、多孔質となっている。
【0013】この焼結に際しては、必要に応じて焼結助
剤を用いても良い。焼結助剤としては、このような粉体
を焼結する際に通常使用される助剤であれば、何であっ
ても良いのであるが、強いて定義すれば、誘電体組成を
破壊せず、特性を損なわず、充分に補強効果を与えるも
のが好ましい。焼結助剤の使用量は、目的に応じて、ま
た、焼結助剤の種類に応じて適宜選択すれば良いが、通
常は、無機誘電体粒子に対して0.1〜5重量%が好ま
しい。焼結助剤の粒子径は、0.01〜100μmの範
囲であれば、いずれも使用できるが、均一に分散させる
ために、0.1〜50μm程度が好ましい。焼結助剤の
添加時期は、無機誘電体化合物の調製段階および焼成段
階の任意の時期でよい。例えば、無機粉末をバインダー
中に分散する際に同時に焼結助剤を分散させるようにす
るのである。
【0014】焼結助剤を用いた場合には、不使用の場合
に較べて、焼結が容易になるという効果のみでなく、多
孔質粒子の強度が向上するために複合誘電体の作製時に
おける多孔質誘電体粒子の崩れが防止できるという付随
的効果や、比較的低温で焼結できるようになるため、よ
り空隙率の大きな多孔質粒子の形成を可能とし、複合誘
電体の誘電率を向上させうる等の付随的効果が表れる場
合がある。
【0015】焼結助剤の具体例としては以下のものがあ
る。すなわち、BaO−SiO2 −B2 3 、CaO
−SiO2 −B2 3 、Li2 O−SiO2 −B
2 3 、Li2 O−Al2 3 −SiO2 、Na2 O−
Al2 3 −SiO2 、Li2 O−GeO2 、CdO−
PbO−SiO2 、Li2 O−SiO2、B2 3 −B
2 3 、PbO−SiO2 −BaO、Na2 O−Pb
O−SiO2PbO−GeO2 等のホウ酸系ガラス,鉛
系ガラス,ビスマス系ガラス,カドミウム系ガラス,リ
チウム系ガラスなど、CuO、Bi2 3 、B
2 3 、CdO、Li2 O、PbO、WO3 、Pb5
3 11、Li2 SiO3 等の酸化物、および、Li
F、CuF2 、ZnF2 、CaF2 等の弗化物である。
【0016】無機誘電体化合物粒子を焼結する際には、
一般に、添加物の作用によって粒子成長や焼結体の電気
特性を制御することが行われているが、この発明におい
ても、従来知られている種々の添加物を同様の目的で使
用することができる。多孔質無機誘電体粒子としては、
前述のように、平均粒径5〜100μm、平均比表面積
0.3〜7.0 m2 /grのものが好ましいのである
が、一次粒子を集合させて二次粒子にする場合には、一
次粒子としては、例えば、0.1〜5μm程度になる。
これは、粒子を球とした場合、d(一次粒子の粒径)、
ρ(一次粒子の真比重)、Sw(二次粒子の比表面積)
の間に、d6/(ρ×Sw)の関係があるからであ
る。したがって、例えば、チタン酸バリウムの場合、一
次粒子の粒径は0.14〜3.3μm程度となる。
【0017】この発明にかかる複合誘電体を製造する場
合には、例えば、多孔質無機誘電体粒子を分散させた樹
脂ワニスの乾燥硬化物を粉砕し、金型を使って加熱加圧
成形するようにすることができる。この発明において、
複合誘電体におけるマトリックス用樹脂と多孔質無機誘
電体粒子の配合割合は、通常、樹脂:25〜95 vol%
(体積%)、多孔質無機誘電体粒子:5〜75 vol%程
度にする。
【0018】この発明の範囲は、上記例示の化合物や数
値範囲あるいは処理方法に限られるものではない。その
用途もコンデンサに限らない。
【0019】
【作用】この発明にかかる複合誘電体においては、無機
誘電体粒子が多孔質となっている。この多孔質粒子を分
散させた複合誘電体と、非多孔質粒子を分散させた複合
誘電体とで、粒子が複合誘電体中に占める重量割合が同
じである場合についてみると、両複合誘電体において
は、多孔質粒子も非多孔質粒子も真に占める体積割合は
同じであるが、前者(この発明の多孔質粒子を分散させ
た複合誘電体)では、多孔質無機誘電体粒子は空隙によ
り膨らんだ状態になって複合誘電体内に存在するため、
後者(非多孔質粒子を分散させた複合誘電体)に較べ
て、粒子の無機誘電体内に占める見掛け上の体積が大き
い。そして、この多孔質無機誘電体粒子の空隙部分も高
誘電率域として作用すると考えられるから、この発明の
複合誘電体では誘電率が効果的に向上するのである。
【0020】さらに、多孔質無機誘電体粒子は、同じ大
きさの非多孔質無機誘電体粒子に比べて樹脂中で沈み難
く沈降分離が起こり難くなるため、複合誘電体の製造を
容易とさせる。
【0021】
【実施例】続いて、この発明の具体的実施例について説
明する。 −実施例1− 平均粒径20μm、平均比表面積1.0 m2 /grの多
孔質BaTiO3 粒子30 vol%、PPO樹脂70 vol
%となるように両者を秤量し、容量で1.5倍のトリク
レン(東亜合成化学工業株式会社製トリクロロエチレ
ン)を添加して、かく拌することにより、PPO樹脂を
完全に溶解させワニスを得た。ついで、このワニスの乾
燥硬化物を得、その後、粉砕して16メッシュ以下に揃
えた。そして、この粉砕物を金型に入れ、温度250
℃、圧力33kg/cm2 、10分間の成形条件で加圧成形
して、厚み1mm、直径8mmの複合誘電体を得た。
【0022】 −実施例2− 平均粒径15μm、平均比表面積1.5 m2 /grの多
孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実施
例1と同様にして、複合誘電体を得た。 −実施例3− 平均粒径25μm、平均比表面積2.5 m2 /grの多
孔質Ba0.8 Sr0.2TiO3 粒子を用いた他は、実施
例1と同様にして、複合誘電体を得た。
【0023】 −実施例4− 平均粒径5μm、平均比表面積5.2 m2 /grの多孔
質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実施例
1と同様にして、複合誘電体を得た。 −実施例5− 平均粒径60μm、平均比表面積1.8 m2 /grの多
孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実施
例1と同様にして、複合誘電体を得た。
【0024】 −実施例6− 平均粒径100μm、平均比表面積2.1 m2 /grの
多孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実
施例1と同様にして、複合誘電体を得た。 −実施例7− 平均粒径20μm、平均比表面積0.5 m2 /grの多
孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実施
例1と同様にして、複合誘電体を得た。
【0025】 −実施例8− 平均粒径23μm、平均比表面積6.8 m2 /grの多
孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実施
例1と同様にして、複合誘電体を得た。 −比較例1− 平均粒径1.0μm、平均比表面積1.8 m2 /grの
非多孔質BaTi0.7Zr0.3 3 粉末を用いた他は、
実施例1と同様にして、複合誘電体を得た。
【0026】−比較例2− 平均粒径20μm、平均比表面積0.2 m2 /grの非
多孔質BaTi0.7 Zr0.3 3 粒子を用いた他は、実
施例1と同様にして、複合誘電体を得た。なお、各実施
例の多孔質無機誘電体粒子は、平均粒径0.1μmの無
機粉末の仮焼物を出発原料として用いて前述の方法
()で得た二次粒子である。ここでは、平均粒径0.
1μmの原料仮焼物は1μmの一次粒子に成長してい
る。
【0027】実施例および比較例の各複合誘電体の表裏
面にアクリル系Agペーストを塗布硬化させて電極を形
成し、インピーダンスアナライザを用いて誘電特性を測
定した。結果を、表1に示す。
【0028】
【表1】
【0029】表1から分かるように、実施例1〜8の複
合誘電体は、いずれも、充分大きな比誘電率を有すると
ともに損失(tan δ)も十分に実用できる範囲内にあ
る。実施例と比較例1、2の間の比誘電率の値を比べれ
ば、この発明の複合誘電体では、誘電率が飛躍的に増加
していることがよく分かる。次に、焼結助剤を添加して
焼結することにより得られる多孔質無機誘電体粒子を使
用する例について記述する。
【0030】−実施例9− 平均粒径0.1μmのBaTi0.7 Zr0.3 3 粉体5
00gとホウケイ酸系ガラス(岩城硝子社製)2.5g
と5wt%ポリビニルアルコール溶液50ミリリットル
をイオン交換水1リットル中でよく湿式混合した後、噴
霧造粒した。次に、これを1050℃で2時間熱処理し
て、複数の一次粒子からなる多孔質無機誘電体粒子(二
次粒子)を得た。この多孔質無機誘電体粒子の粒子径、
比表面積および粒強度を測定した結果を表2に示す。な
お、粒強度測定には島津製作所製PCT強度試験機を用
いた。
【0031】次に、この多孔質BaTi0.7 Zr0.3
3 粒子30 vol%、PPO樹脂70vol%となるように
両者を秤量し、容量で1.5倍のトリクレンを添加し
て、かく拌することにより、PPO樹脂を完全に溶解さ
せワニスを得た。ついで、このワニスの乾燥硬化物を
得、その後、粉砕して16メッシュ以下に揃えた。そし
て、この粉砕物を金型に入れ、温度250℃、圧力33
kg/cm2 、10分間の成形条件で加圧成形して、厚み1
mm、直径8mmの複合誘電体を得た。
【0032】この複合誘電体の表裏面にアクリル系Ag
ペーストを塗布硬化させて電極を形成し、インピーダン
スアナライザーを用いて誘電特性を測定した結果を表3
に示す。 −実施例10− 平均粒径0.1μmのBa0.7 Sr0.3 TiO3 粉末を
用いた他は、実施例9と同様にして、複合誘電体を得
て、誘電特性を調べた。多孔質無機誘電体粒子の物性を
表2に示し、複合誘電体の誘電特性を表3に示す。
【0033】 −実施例11− ホウケイ酸系ガラスの量を5.0gにした他は、実施例
同様にして、複合誘電体を得て、誘電特性を調べ
た。多孔質無機誘電体粒子の物性を表2に示し、複合誘
電体の誘電特性を表3に示す。 −実施例12− ホウケイ酸系ガラスをホウ酸ビスマス系ガラスに代え、
また、熱処理温度を950℃とした他は、実施例9と同
様にして、複合誘電体を得て、誘電特性を調べた。多孔
質無機誘電体粒子の物性を表2に示し、複合誘電体の誘
電特性を表3に示す。
【0034】−実施例13、14、15− 実施例9において、スラリー濃度、噴霧条件および熱処
理温度を変えることにより、物性の異なる3種類の多孔
質無機誘電体粒子を得た。これらの多孔質無機誘電体粒
を用いて実施例9と同様の方法によって複合誘電体を
作製し、誘電特性を調べた。多孔質無機誘電体粒子の物
性を表2に示し、複合誘電体の誘電特性を表3に示す。
【0035】−実施例16− 実施例9において、市販のホウケイ酸系ガラスをCuO
1.7gに代え、また、熱処理温度を1000℃にした
他は、実施例9と同様にして、複合誘電体を得て、誘電
特性を調べた。多孔質無機誘電体粒子の物性を表2に示
し、複合誘電体の誘電特性を表3に示す。
【0036】−実施例17− 実施例9において、市販のホウケイ酸系ガラスをLiF
2.5gに代え、また、熱処理温度を800℃にした他
は、実施例9と同様にして、複合誘電体を得て、誘電特
性を調べた。多孔質無機誘電体粒子の物性を表2に示
し、複合誘電体の誘電特性を表3に示す。
【0037】
【表2】
【0038】
【表3】
【0039】表2、3から分かるように、実施例9〜17
複合誘電体は、いずれも、充分大きな比誘電率を示
、また、tan δも十分に実用できる範囲内にある。こ
れらの実施例9〜17を、前述の実施例2と比較すること
により、この発明に用いた多孔質無機誘電体粒子は、複
合誘電体の比誘電率とtan δをほとんど変化させること
なく、粒強度を飛躍的に増大させていることが分かる。
【0040】
【発明の効果】以上に述べたことから分かるように、こ
の発明にかかる請求項1〜6の複合誘電体は、無機誘電
体粒子が多孔質であるため、同粒子による誘電率向上効
果が有効に発揮される。請求項2の複合誘電体では、多
孔質無機誘電体粒子の平均粒径が5〜100μm、平均
比表面積0.3〜7.0m2/grのものであるため、誘
電率向上効果がより顕著に発揮される。
【0041】請求項3の複合誘電体では、多孔質無機誘
電体粒子が一次粒子が集合してなる二次粒子であって、
この多孔質粒子の作製が容易であるため、結果として複
合誘電体が製造し易いものとなっている。請求項4の複
合誘電体では、多孔質無機誘電体粒子における一次粒子
が焼結により互いに結合しているため、誘電率向上効果
がより顕著に発揮されるようになる。
【0042】請求項5の複合誘電体では、多孔質無機誘
電体粒子の強度が向上しているため、複合化工程で粒子
破壊が発生せず、安定した性能が期待でき、粒子の製造
が容易となる。請求項6の複合誘電体では、多孔質無機
誘電体粒子がペロブスカイト型結晶構造を有する化合物
からなるため、誘電率向上効果がより顕著に発揮され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる複合誘電体において樹脂中に
分散した多孔質無機誘電体粒子の粒子構造を示す倍率2
500倍の走査型電子顕微鏡写真である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野末 明義 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 古森 清孝 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 藤木 智之 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 安倍 一允 大阪府堺市戎島町5丁1番地堺化学工業 株式会社内 (72)発明者 青木 昌史 大阪府堺市戎島町5丁1番地堺化学工業 株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−245059(JP,A) 特開 平1−205411(JP,A) 特開 平1−179777(JP,A) 特開 昭49−17806(JP,A) 特開 昭63−127515(JP,A) 特公 昭49−25159(JP,B1) 特公 昭54−18754(JP,B2)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂中に、一次粒子が焼結により互いに
    結合してなる二次粒子である平均粒径5〜100μm、
    平均比表面積0.3〜7.0 m 2 /grの多孔質無機誘
    電体粒子が分散されてなる複合誘電体。
  2. 【請求項2】 焼結が焼結助剤を添加してなされている
    請求項記載の複合誘電体。
  3. 【請求項3】 多孔質無機誘電体粒子が、ペロブスカイ
    ト型結晶構造を有する化合物からなる請求項1または2
    に記載の複合誘電体。
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