JP2789409B2 - フレーム中継装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣチップすなわち半
導体部品が装着されたリードフレームに対してボンディ
ングを行うボンダーを稼働させる際に、前段より受け入
れた未ボンディングのリードフレームを該ボンダーに供
給したり、あるいは該ボンダーを経たボンディング終了
後のリードフレームを後段に向けて搬出すべく中継する
フレーム中継装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかるフレーム中継装置として、例えば
ライン装置としてのワイヤボンディングシステムに装備
されたものがある。但し、当該ワイヤボンディングシス
テムに装備された各ワイヤボンダーは、複数枚のリード
フレームを収容し得るフレーム収容手段としてのいわゆ
るマガジンを取り扱いの単位とするものであり、従っ
て、上記フレーム中継手段に関してもこのマガジンの中
継を行う。また、該フレーム中継手段としては、前段よ
り供給されるマガジンを受け入れて各ワイヤボンダーに
供給する搬入側のものと、各ワイヤボンダーを経たボン
ディング終了後のリードフレームを収容したマガジンを
後段に向けて搬出する搬出側のものとの、２台が設けら
れている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、フレーム中
継手段は上記のようにマガジンを前段より受け入れたり
後段に送り出したりするのであるが、最近、該フレーム
中継手段に対するマガジンの受け渡しをなすために、下
記の構成の搬送装置が採用されている。

【０００４】すなわち、前段よりフレーム中継装置へ、
又、フレーム中継装置から後段に亘る天井レールを設
け、マガジンを保持し得る保持手段をこの天井レールに
沿って走行させ、該保持手段がフレーム中継装置の直上
に至ったときにマガジンの受け渡しを行うものである。

【０００５】上記した構成においては、マガジンの受け
渡しをなす際に上記保持手段が空中にあって比較的不安
定な状態であり、マガジンを確実に受け渡すようにする
ことは必ずしも容易ではないという欠点がある。

【０００６】一方、マガジンの受け渡しを確実に且つ効
率的に行わせるためには上記保持手段を含む搬送装置と
フレーム中継装置との作動タイミング等が重要であり、
これらを円滑に行わせるためのシステムの開発が望まれ
ている。

【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術の欠点に
鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、前段及び後段とのフレームの中継を確実かつ効率的
に行えるようにしたフレーム中継装置を提供することで
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、各々半導体部
品が装着された複数枚のフレームを収容し得るフレーム
収容手段を前段より受け入れ、若しくは後段に向けて搬
出すべく中継するフレーム中継装置において、該フレー
ム収容手段を保持して若しくは保持すべく到来する所定
保持手段が発着し得る発着ステージを備えるように構成
したものである。また、本発明は、各々半導体部品が装
着された複数枚のフレームを収容し得るフレーム収容手
段を前段より受け入れ、若しくは後段に向けて搬出すべ
く中継するフレーム中継装置において、該フレーム収容
手段を前段より持ち来し、若しくは後段に向けて搬出す
る所定搬送装置の作動制御を司る制御手段との間で双方
向による通信手段を備えるように構成したものである。

【０００９】

【実施例】次に、本発明に係る自動ボンディング装置を
添付図面を参照しつつ説明する。なお、本実施例ではワ
イヤボンディングを例として説明しているが、本発明は
ダイボンディング等にも適用可能であることは勿論であ
る。

【００１０】図１に示すように、本発明に係る自動ボン
ディング装置においては、第１のフレーム中継装置Ａ、
例えば８台のボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、ボンディング検査装
置Ｃ及び第２のフレーム中継装置Ｄが、一列にラインと
して装備されている。

【００１１】第１のフレーム中継装置Ａは、上方に配設
された搬送装置Ｅによって前段より持ち来されるリード
フレームＬ＼Ｆを受け入れて各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ に供
給すべく中継するものである。なお、当該自動ボンディ
ング装置は、複数枚のリードフレームＬ＼Ｆを配列収容
し得るフレーム収容手段としてのマガジンＭを取り扱い
の単位とする。また、該各リードフレームＬ＼Ｆに関し
ては、前段の工程において、ダイボンダによりＩＣチッ
プすなわち半導体部品が装着されている。

【００１２】各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ は、第１のフレーム
中継装置Ａより搬送ラインを通じて供給されるマガジン
Ｍを取り入れて、その取り入れたマガジンからリードフ
レームＬ＼Ｆを順次取り出してこれらにボンディングを
施した後、再び元のマガジンＭ内に収納し、該マガジン
を搬送ラインに戻すことを行う。また、ボンディング検
査装置Ｃは、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ を経たマガジンＭを
搬送ラインを通じて受け入れてマガジン内に収納されて
いるボンディング終了後のリードフレームＬ＼Ｆについ
てそのボンディング状態、例えばボンディングワイヤの
ループ形状等を検査するものである。

【００１３】ラインの最後尾に配置された第２のフレー
ム中継装置Ｄは、上記の各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 及び検査
装置Ｃを経たマガジンＭを受け入れて、該マガジンを後
段に向けて搬出するために上方の搬送装置Ｅに中継する
ことを行う。

【００１４】なお、当該自動ボンディング装置の上方に
配設されたマガジン搬送用の搬送装置Ｅは、該自動ボン
ディング装置が装備する第１及び第２のフレーム中継装
置Ａ及びＤの上方を通過するように作業場の天井等に取
り付けられたガイドレール２と、該ガイドレール２に沿
って移動する自走式の運搬車３とから成る。運搬車３
は、ガイドレール２上を走行する本体４と、該本体４に
昇降自在に設けられてマガジンＭを保持し得る保持手段
５とを有している。

【００１５】次いで、上記した第１のフレーム中継装置
Ａ、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 及び第２のフレーム中継装置
Ｄについて詳述する。

【００１６】まず、第１のフレーム中継装置Ａについて
説明する。なお、第２のフレーム中継装置Ｄに関しては
該第１のフレーム中継装置Ａと略同様に構成されている
故、その説明を省略する。

【００１７】図２に示すように、第１のフレーム中継装
置Ａは、上述した搬送装置Ｅが有する保持手段５が発着
し得る発着ステージ８をその架台９上に備えている。該
発着ステージ８は具体的には、保持手段５が直接降着す
るものではなく、下記のように構成されている。

【００１８】すなわち、該発着ステージ８には、案内手
段としての２本のガイドシャフト１０が植設されてい
る。これに対し、図３から明らかなように、保持手段５
は、基体部５ａと、該基体部５ａの下側に設けられてこ
れらのガイドシャフト１０に外嵌し得る略円筒状のガイ
ドコーン５ｂとを有している。保持手段５は、このガイ
ドコーン５ｂをガイドシャフト１０の先端部に嵌合さ
せ、架台９に対して若干浮揚した状態にて停止せられ
る。

【００１９】上記のように保持手段５が発着する発着ス
テージ８を設けたことにより、マガジンＭの受け渡し時
には該保持手段５が該発着ステージ８に固定された状態
となり、リードフレームＬ＼Ｆの中継を確実に行うこと
が出来る。また、上記のガイドシャフト１０を設けたこ
とによって、保持手段５がその下降時に確実に発着ステ
ージ８に案内され、位置決めされる。

【００２０】なお、ガイドシャフト１０の先端部は先鋭
に形成され、ガイドコーン５ｂには該ガイドシャフト１
０を導入するためのテーパ部５ｃが形成されており、両
者の嵌合は円滑に行われる。また、図３から特に明らか
なように、保持手段５は、マガジンＭを両側から保持す
るための複数のチャック５ｄと、該各チャック５ｄを作
動させる駆動手段（図示せず）とを備えている。また、
例えば一方のチャック５ｄには、マガジンＭの有無を検
出するためのセンサ５ｆが装備されている。このセンサ
５ｆを設けたことにより、下記のような効果が得られ
る。

【００２１】すなわち、マガジンＭがチャック５ｄによ
り保持された状態にてラインを停止した後、しばらくし
て稼動させようとした場合、センサ５ｆの働きによって
既にこのマガジンＭが保持手段５に保持された状態であ
ることが直ちに認識される。また、作業者によってマガ
ジンＭが保持手段５に装填されることが行われた場合、
これも直ちに認識される。

【００２２】図２に示すように、第１のフレーム中継手
段Ａの架台９上には、上記した２本のガイドシャフト１
０により挟まれる位置に搬送手段としてのコンベア１１
が配設されており、上記の保持手段５はその持ち来した
マガジンＭをこのコンベア１１上に載置する。このコン
ベア１１と共に上述した発着ステージ８を覆うように、
カバー部材１２が設けられている。このカバー部材１２
は、例えば鋼板を素材としてなり、図から明らかなよう
に略直方体状に形成され、上記の保持手段５が発着ステ
ージ８に対して発着し得るように上部が開口せられてい
る。かかるカバー部材１２を設けたことにより、該第１
のフレーム中継装置Ａに対して保持手段５が発着する際
の安全性等が確保される。

【００２３】なお、図２から明らかなように、上述した
２本のガイドシャフト１０は、これらの間に配設された
コンベア１１によるマガジン搬出路に対して斜めに交わ
る仮想直線上に配置されている。そして、同図に示すよ
うに、第１のフレーム中継装置Ａの架台９上には、これ
らのガイドシャフト１０に対してコンベア１１を挟む対
称位置に、該ガイドシャフト１０を植設するための２つ
の取付部１５が設けられている。かかる構成によれば、
この第１のフレーム中継装置Ａに対してマガジンＭの受
け渡しを行う上記運搬車３の向きが１８０^o 変えられた
場合でも、ガイドシャフト１０を上記の取付部１５に植
え変えることにより対処することが出来る。

【００２４】次いで、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ について詳
述する。なお、これら８台のボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ はそれ
ぞれ同様に構成されている故、１台目のボンダーＢ₁ に
ついて説明する。

【００２５】図４は当該ボンダーＢ₁ の斜視図であり、
図５に該ボンダーの各機構部分を概念的に表わしてい
る。

【００２６】図５に示すように、当該ボンダーＢ₁ の架
台３１上であって後部には、２次元的に移動自在な移動
テーブル３２及び該移動テーブル３２を駆動する駆動手
段（図示せず）から成るＸＹ駆動機構３４と、該移動テ
ーブル３２上に搭載されたボンディングヘッド３６と、
ボンディングステージ３８（このボンディングステージ
とは、リードフレームＬ＼Ｆの全長のうち、ボンディン
グを行おうとするＩＣチップ及びその前後の複数のＩＣ
チップが装着されている部分を担持するステージ部分を
指称するものである）とが配置されている。

【００２７】よく知られていること故に詳述はしない
が、ボンディングヘッド３６は、先端にキャピラリ（図
示せず）が装着されてボンディングステージ３８の直上
に揺動自在に配置されたボンディングアーム３９と、該
ボンディングアーム３９をボンディングステージ３８上
のリードフレームＬ＼Ｆに対して接離せしめる接離手段
（図示せず）と、該リードフレームＬ＼Ｆ上のＩＣチッ
プを含むボンディング対象部位を撮像するためのカメラ
及び照明灯（図示せず）などとから成る。

【００２８】ボンディングステージ３８の側方には、位
置決め手段４２を含むローダ・アンローダ（全体として
は図示していない）が設けられている。このローダ・ア
ンローダは、下記のように構成されている。

【００２９】図示のように、該ローダ・アンローダが具
備する上記の位置決め手段４２は、断面形状が略Ｌ字状
を呈するように形成されて１つのマガジンＭを担持し得
る昇降部材４４と、該昇降部材４４を上下方向（矢印Ｚ
方向及びその反対方向）において案内する案内手段（図
示せず）とを有している。なお、マガジンＭはこの昇降
部材４４に対して着脱自在であり、該昇降部材４４に装
備されたロック部材４５によって該昇降部材４４に対し
て固定される。

【００３０】昇降部材４４の後方には、該昇降部材４４
が移動すべき上下方向において延在すべく、長尺の送り
ねじ４７が回転自在に設けられている。なお、この送り
ねじ４７については、ボールねじをこれにかえてもよ
い。また、後述する他の機構部分に用いられている送り
ねじに関しても同様である。

【００３１】送りねじ４７の上端部にはベルト車４８が
嵌着されている。そして、該ベルト車４８の近くにパル
スモータ（図示せず）が配置され、該パルスモータの出
力軸に嵌着されたベルト車４９と該ベルト車４８とに、
ベルト５１が掛け回されている。

【００３２】一方、昇降部材４４の背面部にはナット
（図示せず）が内蔵されており、該ナットが送りねじ４
７に螺合している。

【００３３】位置決め手段４２は上記のように構成され
ている。この位置決め手段４２は、上記パルスモータの
作動制御がなされることにより、その具備した昇降部材
４４により担持したマガジンＭを該マガジンＭのリード
フレーム配列方向において適宜移動させて位置決めす
る。

【００３４】なお、上記の位置決め手段４２によって位
置決めされたマガジンＭからリードフレームＬ＼Ｆを１
枚ずつ順次取り出してボンディングステージ３８上に送
り出すと共に、ボンディングステージ３８上にてボンデ
ィングがなされたリードフレームＬ＼Ｆを再び元のマガ
ジンＭ内に収納させるフレーム取出収納手段（図示せ
ず）が設けられた。

【００３５】ここで、上述した位置決め手段４２に設け
られてマガジンＭを検出するための検出手段について説
明する。

【００３６】図５に示すように、上記位置決め手段４２
の構成部材であってマガジンＭを担持する昇降部材４４
には、そのマガジン担持面４４ａに、２つのセンサ５５
ａ及び５５ｂが配設されており、これらセンサ５５ａ、
５５ｂが上記の検出手段として作用する。詳しくは、該
マガジン担持面４４ａは略矩形状であり、両センサ５５
ａ、５５ｂはこのマガジン担持面４４ａの２つの隅部に
且つ対角線上に配置されている。これらのセンサ５５
ａ、５５ｂは例えば発光素子及び受光素子を備えた反射
型のフォトセンサから成る。

【００３７】かかる構成においては、昇降部材４４上に
おけるマガジンＭの有無や、マガジンＭの姿勢を検出す
ることが出来る。すなわち、マガジンＭの有無に関して
は両センサ５５ａ、５５ｂから検出信号が得られたかど
うかによりこれを確認することが出来る。また、マガジ
ンＭの姿勢については、例えば、一方のセンサより検出
信号が得られても他方のセンサからは発光した光量の戻
り光が得られず、その信号が得られていない場合にはマ
ガジンＭがマガジン担持面４４ａ上でずれ等を生じてい
ることが判る。また、両センサとしてその測定範囲が比
較的小さいものを採用すれば、マガジンＭがマガジン担
持面４４ａ上で片側が浮き上がって傾いている場合に
も、いずれか一方のセンサからは検出信号が得られなく
なることから、この傾斜状態を検出することができる。
なお、単にマガジンＭの有無だけを検出するのであれ
ば、センサは２つ設ける必要はない。

【００３８】上記のセンサ５５ａ、５５ｂを設けたこと
により、位置決め手段４２にマガジンＭが装填されてい
なかったり、装填されていてもその姿勢が正常な状態で
ない場合、これを直ちに認識して対処することが出来、
安定した作動状態を確保することが出来る。

【００３９】図５に示すように、ボンダーＢ₁ の架台３
１上であって前部には、マガジンＭを担持してこれを搬
送する搬送手段としてのコンベア５４が設けられてい
る。

【００４０】図から明らかなように、このコンベア５４
は、その全長が架台３１の幅寸法と略等しいか、それよ
り大であるように設定されている。これにより、図１に
示すように複数台のボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ を、その各々が
具備したコンベア５４（但し、図１にはコンベア５４は
示していない）の搬送経路が互いに連続するように一列
にラインとして並べ、これら各ボンダーを連続的に稼働
させることが可能となっている。

【００４１】すなわち、このように複数台のボンダーＢ
₁ 〜Ｂ₈ をラインとして一列に並べた場合、各ボンダー
が有するコンベア５４は、前段より供給されるマガジン
Ｍを受け入れて後段に向けてバイパス搬送をなし得るこ
とから、これら各ボンダーに対して個々にマガジンＭを
装填したり回収したりする必要がなく、第１のフレーム
中継装置Ａを以て前段に配置されたボンダーＢ₁ を通じ
て複数のマガジンＭを供給すればこれらをバイパス搬送
して後段の各ボンダーに振り分けて夫々のマガジンＭ内
のリードフレームＬ＼Ｆについてのボンディングをなす
ことが出来、マガジンＭの回収についても最終段に配設
されたボンダーＢ₈ を通じて全て行うことが出来る。

【００４２】次に、上記したコンベア５４上と前述のロ
ーダ・アンローダとの間でマガジンＭを移送する移送手
段について説明する。なお、当該移送手段は、マガジン
Ｍを、コンベア５４によるマガジン送り方向である左右
方向（矢印Ｙ方向及びその反対方向）に対して交わる前
後方向（矢印Ｘ方向及びその反対方向）並びに上下方向
（矢印Ｚ方向及びその反対方向）において移送する。図
５において、当該移送手段は、上記コンベア５４上のマ
ガジンＭを上方に持ち上げて該コンベア５４から離脱さ
せる離脱手段５７と、該離脱手段５７により持ち上げら
れたマガジンＭを保持する保持機構５８と、該保持機構
５８を担持してこれを前述の位置決め手段４２及びコン
ベア５４に対して近接及び離間させるように上下に移動
させる第１の移動機構５９と、上記位置決め手段４２及
びコンベア５４の上方に配置されて該第１の移動機構５
９を担持してこれを該位置決め手段４２とコンベア５４
との間で前後に移動させる第２の移動機構６１と、位置
決め手段４２上のマガジンＭを上記の離脱手段５７上に
受け渡す受渡し手段６２とを有している。

【００４３】以下、まず、上記の離脱手段５７の機構に
ついて詳述する。

【００４４】図示のように、離脱手段５７は、全体とし
て略コの字状に形成されて上下方向（矢印Ｚ方向及びそ
の反対方向）において延在するように配置され、その上
端部にて１つのマガジンＭを担持し得る可動ベース６７
と、該可動ベース６７を上下方向において移動自在に案
内する案内手段（図示せず）と、可動ベース６７が移動
すべき上下方向において延在して設けられて上端にて可
動ベース６７に結合した長尺の送りねじ６８と、該送り
ねじ６８に螺合したナット（図示せず）及び該ナットを
回転させるパルスモータ（図示せず）等を含み架台３１
に対して固設された駆動手段６９とを有している。すな
わち、該パルスモータによって該ナットを回転駆動する
ことによって可動ベース６７が送りねじ６８と共に昇降
動作を行う。なお、該ナットを可動ベース６７に対して
固着して、送りねじ６８を回転駆動する構成としてもよ
い。また、図示のように、上記可動ベース６７の上端に
は、マガジンＭを受けるための細長い受板６７ａが設け
られている。

【００４５】一方、保持機構５８は、基体部７２と、該
基体部７２の両側に互いに作動方向が逆となるように取
り付けられた一対のシリンダ７３及び７４と、該各シリ
ンダの出力軸の先端に固着されてマガジンＭを保持する
ためのチャック部材７５、７６とから成る。なお、両チ
ャック部材７５、７６には、マガジンＭを支持する爪部
７５ａ、７６ａが設けられている。

【００４６】そして、第１の移動機構５９については、
下記のように構成されている。

【００４７】すなわち、上記した保持機構５８の基体部
７２を図示しない案内手段を介して上下方向において移
動自在に支持する支持ベース７９と、該基体部７２が移
動すべき上下方向において延在するようにこの支持ベー
ス７９に取り付けられた送りねじ８０とを有している。
送りねじ８０の上端部にはベルト車８１が嵌着されてい
る。そして、支持ベース７９上には該ベルト車８１の近
傍にパルスモータ（図示せず）が固設されており、該パ
ルスモータの出力軸に嵌着されたベルト車８２と該ベル
ト車８１とに、ベルト８３が掛け回されている。上記基
体部７２にはナット（図示せず）が内蔵されており、該
ナットが上記の送りねじ８０に螺合している。よって、
上記のパルスモータの作動によって送りねじ８０が回転
駆動され、基体部７２を含む保持機構５８が昇降動作を
行い、ローダ・アンローダの位置決め手段４２とコンベ
ア５４に対して近接若しくは離間する。

【００４８】第２の移動機構６１に関しては、上記第１
の移動機構５９が備えた支持ベース７９を前後方向（矢
印Ｘ方向及びその反対方向）において移動自在に案内す
る案内手段（図示せず）と、この前後方向において延在
して設けられて前端にて支持ベース７９に結合した長尺
の送りねじ８６と、この送りねじ８６に螺合したナット
（図示せず）及び該ナットを回転駆動するパルスモータ
（図示せず）を含み架台３１に対して固設された駆動手
段８７とを有している。すなわち、該パルスモータによ
って該ナットが回転駆動されることにより送りねじ８６
が移動し、支持ベース７９を含む第１の移動機構５９、
従って保持機構５８が、ローダ・アンローダの位置決め
手段４２とコンベア５４との間で往復動を行う。なお、
該ナットを支持ベース７９に対して固着して、送りねじ
８６を回転駆動する構成としてもよい。

【００４９】次に、受渡し手段６２については、下記の
ように構成されている。

【００５０】図示のように受渡し手段６２は、全体とし
て略コの字状に形成されて前後方向（矢印Ｘ方向及びそ
の反対方向）において延在するように配置され、その前
端上にマガジンＭを担持し得る可動ベース９０と、該可
動ベース９０を前後方向において移動自在に案内する案
内手段（図示せず）と、可動ベース９０が移動すべき前
後方向において延在して設けられて前端にて可動ベース
９０に結合した長尺の送りねじ９１と、該送りねじ９１
に螺合したナット（図示せず）及び該ナットを回転させ
るパルスモータ（図示せず）等を含む駆動手段９３とを
有している。よって、該パルスモータによって該ナット
が回転駆動されると、送りねじ９１と共に可動ベース９
０が前後に往復動作を行う。なお、該ナットを可動ベー
ス９０に対して固着して、送りねじ９１を回転駆動する
構成としてもよい。このようにボンダーＢ₁ の内部機構
は上記のように構成されている。

【００５１】ここで、該内部機構に付加されて、移動中
のマガジンＭからリードフレームＬ＼Ｆがはみ出すこと
を防止するはみ出し防止手段について説明する。

【００５２】まず、第１のはみ出し防止手段として、図
６に示すものがある。

【００５３】図示のように、このはみ出し防止手段は長
手部材としての２枚の板部材９６及び９７から成り、該
両板部材９６、９７は、保持機構５８により保持されて
第１及び第２の移動機構５９、６１の作動によって前述
の位置決め手段４２（図５参照）に向けて移送せられる
マガジンＭの移動方向に沿って延在し、且つ、該マガジ
ンの開口部近傍に位置し、該開口部からのリードフレー
ムＬ＼Ｆのはみ出しを規制する。なお、これらの板部材
９６、９７は例えば鋼板から成り、当該ボンダーＢ₁ の
架台３１（図１参照）に対して取り付けられている。ま
た、図示のように、両板部材９６及び９７には、該板部
材とマガジンＭとの相互干渉を回避すべく、マガジンＭ
を導入するための導入部としてのテーパー部９６ａ、９
７ａが夫々形成されている。

【００５４】図７に、当該ボンダーＢ₁ に設けられた第
２のはみ出し防止手段を示す。

【００５５】図示のように、このはみ出し防止手段につ
いても、複数枚、この場合３枚の板部材９９〜１０１か
ら成る。このはみ出し防止手段は、位置決め手段４２に
より担持されて移動せられるマガジンＭからのリードフ
レームＬ＼Ｆのはみ出しを規制するものであり、各板部
材９９〜１０１はマガジンＭの移動方向に沿って延在す
るように配置され、且つ、当該ボンダーＢ₁ の架台（図
１参照）に対して取り付けられている。マガジンＭの一
端側、この場合、ボンディングステージ３８（図１に図
示）へのフレーム送り出し側に配置された２枚の板部材
１００及び１０１については、両者間に間隙ｅが設けら
れており、マガジンＭから上記ボンディングステージ３
８に向けて送り出され且つ送り返されるリードフレーム
Ｌ＼Ｆがこの間隙ｅを通過するようになされている。ま
た、マガジンＭの他端側に配置された板部材９９に関し
ては、該板部材９９を支持する支持部材１０２に対しヒ
ンジ１０３を介して取り付けられており、マガジンＭか
らのリードフレームＬ＼Ｆのはみ出しを規制する規制位
置と該規制位置から離間した位置との間で矢印で示す方
向に揺動可能となっている。かかる揺動の構成において
は、作業者がマガジンＭをマニュアル操作にて位置決め
手段４２に対して着脱させる際の作業が容易となるなど
の効果が得られる。なお、支持部材１０２も固定位置を
調整できるようにしておくことによってマガジンＭの品
種（長手方向形状等）が変わった場合でも容易に対応可
能である。

【００５６】上述した各はみ出し防止手段を設けたこと
によって、移動中のマガジンＭからリードフレームＬ＼
Ｆがはみ出すことに起因する装置の故障等が回避される
と共に、その修復のために時間を費す必要もなく、装置
の作動状態の安定化及び作業能率向上の両面からの効果
が得られる。

【００５７】なお、リードフレームＬ＼Ｆのはみ出しを
規制する部材を上記のように板状のものとせず、例えば
丸鋼等を適宜屈曲成形してこれに代えて使用してもよ
い。

【００５８】図４から明らかなようにボンダーＢ₁ に
は、上述した内部機構部分を覆うカバー部材１０８、１
０９が設けられている。そして、これらのカバー部材１
０８、１０９のうち、前述のローダ・アンローダとマガ
ジン移送用の移送手段を覆うカバー部材１０８の前面部
には、マガジンＭが出し入れ可能な略矩形状の開口部１
０８ａが形成されている。なお、この開口部１０８ａを
開閉させる透明な蓋体１１０が、カバー部材１０８にヒ
ンジ１１０ａを介して取り付けられている。

【００５９】上記のようにローダ・アンローダ及び移送
手段を覆うカバー部材１０８にマガジンＭが出し入れ可
能な開口部１０８ａを形成したことにより、ボンダーＢ
₁ に装填されたマガジンＭに関する何等かの故障等が生
じた場合にこの開口部１０８ａを通じて直ちに対処し得
ると共に、該ボンダーＢ₁ をラインとは別に単体として
作動させる場合にこの開口部１０８ａを通じてローダ・
アンローダの位置決め手段４２に対してマガジンＭを脱
着させることが出来、安定した作動状態を維持すること
が可能である。

【００６０】ここで、当該自動ボンディング装置の作動
制御系について説明する。

【００６１】図８に示すように、例えば８台並べられた
ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ の各々に対応して、夫々のボンダー
の作動を制御する副制御回路１２１〜１２８が設けられ
ている。そして、当該自動ボンディング装置全体の作動
制御を行う主制御回路１３０が設けられており、各ボン
ダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、第１のフレーム中継装置Ａ、ボンディ
ング検査装置Ｃ及び第２のフレーム中継装置Ｄは該主制
御回路１３０との間で信号等の授受が行われるよう相互
接続されている。前記副制御回路、主制御回路等はマイ
クロコンピュータ等で構成されている。

【００６２】また、当該自動ボンディング装置における
諸状態を検出して表示する表示手段１３２と、当該自動
ボンディング装置の操作を操作者に行わせるための操作
手段１３３とが設けられており、これら表示手段１３２
及び操作手段１３３についても主制御回路１３０との間
で信号等の受け渡しが行われるように接続されている。

【００６３】なお、上記表示手段１３２が表示する内容
としては、例えば、第１のフレーム中継装置Ａ、各ボン
ダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、ボンディング検査装置Ｃ及び第２のフ
レーム中継装置Ｄに亘るマガジンＭの流通状態等が挙げ
られ、該流通状態には、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ について
その各々が受け入れたマガジンＭの数も含まれる。

【００６４】上記表示手段１３２が具備する表示パネ
ル、すなわち表示部と操作手段１３３が備える操作パネ
ル、すなわち操作部はいわゆるタッチパネル方式として
両者を兼用したものとなっている。よって、これら表示
手段１３２及び操作手段１３３を操作表示アセンブリと
総称し、これを図８において参照符号１３５にて示して
いる。なお、該操作表示アセンブリ１３５は、図８にお
いて二点鎖線にて示すように、主制御回路１３０とでは
なく第１及び第２のフレーム中継装置Ａ、Ｄと接続して
もよい。また、これら表示パネル及び操作パネルは互い
に個別に設けてもよい。但し、上記のように表示パネル
と操作パネルを兼用したことにより、パネルの設置スペ
ースが小さくなると共に、操作者も１つのパネルを目視
して各ボンダーのみならず、ライン全体の操作及び表示
内容の確認が出来るので効率的である。

【００６５】図９に、上記した表示及び操作に用いられ
るべき表示パネル１３７を示している。同図において、
斜線を施した部分が表示画面である。図１から明らかな
ように、この表示パネル１３７は、第１のフレーム中継
装置Ａと第２のフレーム中継装置Ｄの双方に設置されて
いる。このように、表示パネル１３７を当該自動ボンデ
ィング装置のラインの両端に配置したことにより、作業
者は緊急時等に表示内容を直ちに確認したいときにどち
らか近い方の表示パネルに向かえばよく、歩く距離が少
なく、効率的である。また、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ にも
表示パネル１３７を設置すれば、各ボンダー単独の管理
も可能となりより効率的である。更に、表示パネル１３
７をして、当該自動ボンディング装置以外の装置に関す
る表示をも行わせるようにすれば、作業者は１箇所にて
複数のラインの作動を監視することが出来る。また、他
方、表示パネル１３７を第１及び第２のフレーム中継装
置Ａ、Ｄのいずれか一方にのみ設置することとすれば、
効率面は劣るものの、コストの低減を図る上では好まし
い。なお、上述の表示パネル１３７を装置から離れた別
位置に設けてそこで監視するようにすれば、操作者は必
要があるときにのみ装置に近づけばよく、クリーン度が
要求されるボンダー作業において装置が設置されている
作業場に関してほとんど無人の状態にて作業を進めるこ
とが出来る。

【００６６】ところで、図８に示すように、当該自動ボ
ンディング装置に対して、前段よりのダイボンディング
工程よりマガジンＭを持ち来し、若しくは、後段のモー
ルディング工程に向けて搬出する搬送装置Ｅについて、
その作動制御を行う制御手段としての天井搬送制御回路
１４１が設けられている。そして、前述した第１及び第
２のフレーム中継装置Ａ、Ｄが、この天井搬送制御回路
１４１との間で情報通信できる構成となっている。この
ように、各フレーム中継装置Ａ、Ｄと搬送装置Ｅの制御
手段との間に通信手段を設けたことにより、運搬車３を
両フレーム中継装置Ａ、Ｄのいずれの上方位置に位置決
めさせるべきか、あるいは前段及び後段のどちらに向け
て走行させればよいのかなど、通信によって両者の作動
タイミング等を整合させることが出来、マガジンＭの中
継を確実かつ効率的に行うことが可能である。

【００６７】次に、上記した構成の自動ボンディング装
置の動作について図１０乃至図１９′をも参照しつつ説
明する。

【００６８】作業開始のための操作ボタン等が操作され
ると、図１に示す搬送装置Ｅが作動を開始し、前段のダ
イボンディング工程において各々ＩＣチップが装着され
たリードフレームＬ＼ＦをマガジンＭに収容した状態に
て当該自動ボンディング装置上に持ち来す。図示のよう
に、搬送装置Ｅの運搬車３が第１のフレーム中継装置Ａ
の真上に達すると、マガジンＭを保持した保持手段５が
該第１のフレーム中継装置Ａの発着ステージ８（図２参
照）に向けて下降せられる。この下降に際し、保持手段
５は第１のフレーム中継装置Ａが備えるカバー部材１２
の上面開口部を通過し、その具備したガイドコーン５ｂ
（図３に示す）を発着ステージ８上のガイドシャフト１
０に嵌合させ、発着ステージ８に対して正確に位置決め
される。保持手段５はこのように位置決めされた状態に
てその保持しているマガジンＭを第１のフレーム中継装
置Ａ上のコンベア１１に受け渡す。この後、保持手段５
は上昇せられて運搬車３の本体４に戻される。そして、
該運搬車３は新たなマガジンを受け取るために再び上記
ダイボンディング工程に向って走行するか、若しくは、
ボンディング終了後のリードフレームを収容したマガジ
ンを受け取るべく第２の中継装置Ｄの直上に向って走行
する。

【００６９】上記のようにして、マガジンＭが第１のフ
レーム中継装置Ａに次々と持ち来され、第１のフレーム
中継装置ＡはこれらのマガジンＭを各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ
₈ に向けて送り出す。

【００７０】次いで、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ の動作を１
台目のボンダーＢ₁ を例にとって説明する。

【００７１】図５及び図１０に示すように、上記第１の
フレーム中継装置Ａより供給された所望のマガジンＭが
該ボンダーＢ₁ が装備したコンベア５４上に到来する。
なお、図示のように、このマガジンＭ内には、ＩＣチッ
プが装着された複数枚のリードフレームＬ＼Ｆが配列収
容されている。

【００７２】図１０に示すように、搬送されて来たマガ
ジンＭが離脱手段５７の真上に達すると、センサ１４
８、１４９（図５参照）によりこれが検知され、その検
知信号に基づきコンベア５４は停止せられる。そして、
図１１に示すように、離脱手段５７が作動せられ、該離
脱手段が具備する可動ベース６７が最下降位置から上昇
する。これによってコンベア５４上のマガジンＭは可動
ベース６７により持ち上げられて該コンベア５４から離
脱し、上方にて待機している保持機構５８により保持さ
れ得る位置に至る。但し、図１１から明らかなように、
保持機構５８は、第１の移動機構５９が作動することに
よって、その最上昇位置から下降せられている。

【００７３】図１２に示すように、マガジンＭが保持機
構５８による保持可能位置に達すると、これが図示しな
いセンサによって検知され、該センサよりの検知信号に
応じて保持機構５８によりマガジンＭが保持される。具
体的には、該保持機構５８が具備するシリンダ７３、７
４が引き込み動作を行い、チャック７５及び７６がマガ
ジンＭを保持する。

【００７４】この後、図１２に示すように、第１の移動
機構５９が作動し、保持機構５８はその保持したマガジ
ンＭと共に最上昇位置まで上昇せられる。また、同図に
示すように、離脱手段５７が作動せられて可動ベース６
７が下降する。

【００７５】次いで、図１３に示すように、第２の移動
機構６１が作動してマガジンＭは後方の位置決め手段４
２の直上まで移動せられ、続いて第１の移動機構５９が
作動してマガジンＭが所定距離だけ下降せられる。そし
て、同図に示すように、これに同期して位置決め手段４
２が作動して、その具備した昇降部材４４（図５等参
照）が該マガジンＭに向けて上昇し、該マガジンＭを受
ける状態となる。

【００７６】このとき、この１つ目のマガジンＭについ
て、第１の移動機構５９の作動により、その収容してい
る各リードフレームＬ＼Ｆのうち最下段のリードフレー
ムＬ＼Ｆがボンディングステージ３８に対応するように
位置決めされ、該最下段のリードフレームＬ＼Ｆが該マ
ガジンＭより取り出されてボンディングに供される。こ
の後、該マガジンＭは、上昇してきた昇降部材４４に受
け渡される。このような動作により、ロスタイムが生ず
ることがない。

【００７７】この後、図１４から明らかなように、保持
機構５８によるマガジンＭの保持状態が解除されてマガ
ジンＭは該昇降部材４４に受け渡され、且つ、ロック部
材４５によって該昇降部材４４に対して固定される。そ
して、同図に示すように、マガジンＭを昇降部材４４に
受け渡した保持機構５８は、第１及び第２の各移動機構
５９、６１の作動によって、新たなマガジンＭを保持す
べくコンベア５４の上方へと返送される。

【００７８】また、図１４に示すように、マガジンＭが
昇降部材４４（図５等に図示）上に載置されると、これ
が昇降部材４４上のセンサ５５ａ、５５ｂによって検出
され、検出信号が発せられる。すると、図示しないフレ
ーム取出収納手段が作動せられ、マガジンＭ内に配列さ
れた複数枚のリードフレームＬ＼Ｆのうち、最下段から
２枚目のリードフレームＬ＼Ｆがボンディングステージ
３８上に送り出される。このボンディングステージ３８
上に取り出されたリードフレームＬ＼Ｆは、上記フレー
ム取出収納手段によって、その装着されている各ＩＣチ
ップの配列ピッチずつ間欠送りされ、これに伴ってボン
ディングステージ３８上で所定温度に加熱される。そし
て、同時にボンディングヘッド３６及びＸＹ駆動機構３
４が作動し、該各ＩＣチップ上のパッド（電極）とリー
ドフレームＬ＼Ｆに形成されているリードとが導電性の
金属細線（ワイヤ：図示せず）によりボンディング接続
される。

【００７９】上記のようにしてリードフレームＬ＼Ｆの
ボンディングが終了すると、そのリードフレームは上記
のフレーム取出収納手段によって元のマガジンＭ内に収
納される。この後、位置決め手段４２が作動してその具
備した昇降部材４４が、マガジンＭにおけるリードフレ
ームＬ＼Ｆの配列ピッチの１ピッチ分だけ下降せられ
る。これにより、上記の既に収納されたリードフレーム
Ｌ＼Ｆの１つ上の段のリードフレームＬ＼Ｆがボンディ
ングステージ３８に対応して位置決めされる。そして、
この３枚目のリードフレームＬ＼Ｆについて上記の１枚
目、２枚目のリードフレームに対すると同様の動作が行
われ、ボンディングがなされ、マガジンＭ内に収納され
る。以後、マガジンＭ内の全てのリードフレームＬ＼Ｆ
に対して上記の一連の動作が繰り返され、ボンディング
が続けられる。

【００８０】一方、上記のボンディング作業中に、離脱
手段５４、保持機構５８、第１の移動機構５９及び第２
の移動機構６１から成る移送手段を作動させて、図１４
及び図１５に示すように、コンベア５４上に送り込まれ
て来た新たなマガジンＭを取り入れてこれをボンディン
グに供されている１つ目のマガジンＭ上に重ねるように
位置決めする。但し、そのタイミングは、１つ目のマガ
ジンＭ内に未ボンディングのリードフレームＬ＼Ｆを例
えば１〜２枚程度残す状態にて行われることが望まし
い。

【００８１】このように２つのマガジンＭを互いに重ね
た状態にて、１つ目のマガジンＭ内のリードフレームＬ
＼Ｆのボンディング作業が続けられ、この１つ目のマガ
ジンＭ内の全てのリードフレームＬ＼Ｆのボンディング
作業が終了すると、図１６に示すように、該１つ目のマ
ガジンＭを搭載している昇降部材４４がその最下降位置
まで下降し、これに搭載されていたマガジンＭは受渡し
手段６２が具備する可動ベース９０上に受け渡される。
すると、図１７に示すように、受渡し手段６２が作動し
てこの担持したマガジンＭをコンベア５４上に持ち来
す。そして、図１８及び図１９に示すように、離脱手段
５７の上昇動作が行われ、上記可動ベース９０上のマガ
ジンＭは該離脱手段５７の可動ベース６７上に受け渡さ
れ、更に離脱手段５７の下降動作が行われることによっ
て図１９に示すようにコンベア５４上に載置され、該コ
ンベア５４の作動によって後段に向けて送り出される。
なお、図１８に示すように、受渡し手段６２については
復帰動作が行われる。

【００８２】一方、この間、後続の２つ目のマガジンＭ
については、第１の移動機構５９の作動により、その収
容している各リードフレームＬ＼Ｆのうち最下段のリー
ドフレームＬ＼Ｆがボンディングステージ３８に対応す
るように位置決めされ、該最下段のリードフレームＬ＼
Ｆが該マガジンＭより取り出されてボンディングに供さ
れる。

【００８３】上記のように１つ目のマガジンＭをコンベ
ア５４上に送り出すべく最下降位置に下降していた昇降
部材４４は直ちに上昇せられ、保持機構５８により保持
された状態にてボンディングステージ３８に対して位置
決めされているマガジンＭを担持し、ロック部材４５の
作動によって該マガジンＭを固定状態にて保持する。そ
して、図１９から明らかなように、それまでこのマガジ
ンＭを保持していた保持機構５８は該マガジンＭの保持
状態を解除され、次の新たなマガジンを受け入れるため
に再びコンベア５４の直上へと移送される。このように
して昇降部材４４上に受け渡された２つ目のマガジンＭ
について、その収容している各リードフレームが順次ボ
ンディングステージ３８上に取り出され、ボンディング
が施される。そして、その全てのリードフレームのボン
ディングが終了すると、上記１つ目のマガジンＭと同様
にしてコンベア５４上に送り出され、該コンベア５４の
作動によって後段に送られる。

【００８４】以下、上記までの一連の動作が繰り返さ
れ、コンベア５４を通じて前段より順次供給されるマガ
ジンＭが次々と取り入れられてその各々が収容している
リードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが行われ、
ボンディングを終了したリードフレームを収納させたマ
ガジンが再びコンベア５４によって後段に送り出され
る。

【００８５】上述したように、コンベア５４とローダ・
アンローダの位置決め手段４２との間でマガジンＭの移
送をなす移送手段と該位置決め手段４２とが互いに連動
して複数のマガジンＭを連続してボンディング手段に供
する構成の故、ボンディングがロスタイムを生ずること
なく効率的に行われ、作業能率が向上する。

【００８６】さて、上述のようにして各ボンダーＢ₁ 〜
Ｂ₈ を経たマガジンＭは図１に示すボンディング検査装
置Ｃに達し、ここでその収容している各リードフレーム
について施されたボンディングの諸状態が検査される。
このボンディング検査装置Ｃを経た各マガジンＭは順次
後段の第２のフレーム中継装置Ｄに送られる。そして、
この第２のフレーム中継装置Ｄの発着ステージに対して
上方から運搬車３の保持手段５が下降し、この送り込ま
れたマガジンＭを保持して後段の工程、例えばモールデ
ィング工程へと向けて搬送する。

【００８７】次に、上述した自動ボンディング装置の作
動前後や動作の過程において、表示パネル１３７に表示
される内容について説明する。

【００８８】図２０は、上述した自動ボンディング装置
をラインとして全自動にて作動（オンライン）させる
か、又は図１に示した各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ などの個々
の装置を選択的に作動させる（オフライン）かを操作者
が選ぶための表示で、ライン全体として作動させる場合
にはラインＯＮ／ＯＦＦスイッチ１５１を押した後にス
タートスイッチ１５２を押す。又、オフラインとして例
えば３台目のボンダーＢ₃ のみを作動させたいときに
は、該ボンダーＢ₃ を表わすスイッチ１６３を押し、ス
タートスイッチ１５２を押すことを行う。なお、この表
示内容において、図１に示した各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ に
対応する文字表示はＷＢ１〜ＷＢ８となされ、第１のフ
レーム中継装置ＡについてはＩＮ（ＩＮローダの略）と
なされ、第２のフレーム中継装置Ｄに関してはＯＵＴ
（ＯＵＴローダの略）とされている。

【００８９】図２１乃至図２５は、夫々、上記のように
してオンライン動作が選択された場合に表示される内容
を示すものである。

【００９０】図２１の表示内容は、オンライン動作を継
続中に表示されるものであり、オンライン動作を停止さ
せたい場合にはストップスイッチ１５６を押せばよいこ
とを示している。

【００９１】また図２２は、図１に示した第１のフレー
ム中継装置Ａ（ＩＮローダ）から所要のボンダーへマガ
ジンＭの供給が行われていることを示すものである。す
なわち、例えば３台目のボンダーＢ₃ （ＷＢ３）に向け
てマガジンＭが供給中であれば、このボンダーＢ₃ を表
わすスイッチ１６３に付された点滅部１６３ａが点滅し
（斜線を付して点滅状態を表わしている）、該ボンダー
Ｂ₃ の前段に配置された第１のフレーム中継装置Ａ及び
ボンダーＢ₁ 、Ｂ₂ を表わす各スイッチ１６０、１６１
及び１６２並びに上記のスイッチ１６３の下側に添設さ
れた細長い点灯部１６０ｂ、１６１ｂ、１６２ｂ及び１
６３ｂが点灯してマガジンＭが供給中であることを表わ
す。なお、この場合、第１のフレーム中継装置Ａ及び各
ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₃ 上をマガジンＭが通過している状態
は下記の構成によって認識される。

【００９２】すなわち、例えばボンダーＢ₁ に関して、
図５に示すように、コンベア５４の下流側にマガジンＭ
の通過を検知するためのセンサ１４４が設けられてお
り、該センサ１４４より発せられる検知信号が図８に示
す主制御回路１３０に送られる。なお、このセンサ１４
４は例えば反射型のフォトセンサから成る。また、第１
のフレーム中継装置Ａ、他のボンダーＢ₂ 〜Ｂ₈ 、ボン
ディング検査装置Ｃ並びに第２のフレーム中継装置Ｄが
夫々装備するコンベアにもこのセンサ１４４と同様のマ
ガジン通過検知用のセンサ（図示せず）が設けられてお
り、これら各センサより図８に示した主制御回路１３０
に検知信号が送られ、該主制御回路１３０はこれらの検
知信号に基づいて表示パネル１３７上に上記の表示を行
う。

【００９３】ところで、前段より供給される各マガジン
Ｍの底部等に、情報記録媒体としてのＩＤカード（図示
せず）が添設されている。このＩＤカードは読み書き自
在であり、該ＩＤカードには情報としてそのマガジンＭ
が収容したリードフレームの品種、該リードフレームに
装着されているＩＣチップの品種、ロットナンバーなど
の他、ダイボンディング及びワイヤボンディング等が施
されたかどうかについて記録される。

【００９４】一方、第１のフレーム中継装置Ａ、各ボン
ダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、ボンディング検査装置Ｃ及び第２のフ
レーム中継装置Ｄの各コンベアには、このＩＤカードに
記録された情報を読み取ったり情報を書き込むためのＩ
Ｄ認識装置が設けられている。

【００９５】図２３は、例えば３台目のボンダーＢ₃
（ＷＢ３）においてボンディングがなされたリードフレ
ームを収容したマガジンＭが該ボンダー３から第２のフ
レーム中継装置Ｄ（ＯＵＴローダ）に向けて排出中であ
ることを示すものであり、図２２にて示したマガジン供
給時と同様に、マガジンＭを排出するボンダーＢ₃ を表
わすスイッチ１６３に付された点滅部１６３ａが点滅し
（斜線を付して点滅状態を表わしている）、該ボンダー
Ｂ₃ の後段に配置された各ボンダーＢ₄ 〜Ｂ₈ 及び第２
のフレーム中継装置Ｄを表わす各スイッチ１６４〜１６
８及び１７０並びに上記スイッチ１６３の下側に添設さ
れた細長い点灯部１６３ｂ〜１６８ｂ及び１７０ｂが点
灯してマガジンＭが排出中であることを表わす。

【００９６】図２４の表示内容は、第１のフレーム中継
装置Ａ（ＩＮローダ）に向って上方から運搬車３の保持
手段５（表示ではＳＲＣと表わされている）が接近中で
あることを示すものである。すなわち、保持手段５が下
降を開始すると、その作動制御を行う天井搬送制御回路
１４１（図８に示す）より主制御回路１３０に信号が送
信され、主制御回路１３０がこの信号に基づいて表示パ
ネル１３７に表示させるものである。

【００９７】図２５の表示内容は、図１に示した自動ボ
ンディング装置の所要の部位に設けられた図示しない緊
急スイッチ（ＥＭＧ ＳＷ）が押された場合に表示され
るもので、この緊急スイッチを解除させた後にストップ
スイッチ１５６を押すことを指示している。

【００９８】図２６乃至図２９は、上述したオンライン
状態を解除してオフライン動作を行わせる場合に表示さ
れる内容を示すものである。

【００９９】図２６の表示内容は、オフライン状態で複
数台のボンダーを作動させている際になされるもので、
前述したように夫々２つずつのマガジンＭが装填され得
る各ボンダーのいずれかについて、装填されているマガ
ジンが１つ若しくは全く装填されてはおらず、装填の余
地がある場合、そのボンダーを知らせるためのものであ
る。具体的には、表示されている文字通り、例えば３台
目のボンダーＢ₃ にてマガジン装填の余地がある場合、
該ボンダーＢ₃ を表わすスイッチ１６３の点滅部１６３
ａが点滅（斜線を付して点滅状態を表わしている）す
る。なお、ボンダーＢ₃ 内においてマガジンＭを受け入
れる余地があるかどうかは、図５を用いてボンダーＢ₁
について説明したマガジン有無検出用のセンサ５５ａ、
５５ｂ等を利用して検出され、これらより発せられる検
出信号の有無に基づいて主制御回路１３０（図８参照）
が表示パネル１３７に表示させる。図２７の表示内容
は、上述したようにマガジン装填の余地があるボンダー
に対してマガジンＭを供給する際に表示されるものであ
る。上記のように例えば３台目のボンダーＢ₃ に空きが
あってそのボンダーＢ₃ を操作者が選択してスイッチ１
６３を押すと、該スイッチ１６３が点灯する（斜線を付
して点灯状態を表わしている）。この状態で、操作者が
第１のフレーム中継装置Ａ（ＩＮローダ）のコンベア上
にマガジンＭを載置し、スタートスイッチ１５２を押せ
ば、該マガジンＭはボンダーＢ₃ に送給される。

【０１００】図２８は、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ に夫々２
つずつのマガジンＭが装填されていて新たなマガジンを
装填する余地が全くない状態のときに表示されるもので
ある。すなわち、各ボンダーが具備するマガジン有無検
出用のセンサにより各々のマガジンが検出され、この検
出信号に応じて主制御回路１３０（図８参照）が表示パ
ネル１３７に表示させる。

【０１０１】図２９は、第２のフレーム中継装置Ｄ（Ｏ
ＵＴローダ）上に既にマガジンＭがあって満杯の状態を
表示する内容を示している。これは、該第２のフレーム
中継装置Ｄのコンベアに設けられたマガジン有無検出用
のセンサより上記主制御回路１３０に対して検出信号が
発せられ、該主制御回路１３０が該信号に応じて表示パ
ネル１３７をして表示させるものである。

【０１０２】図３０及び図３１の表示内容は、前述した
オンライン作動時の表示の説明において図２２及び図２
３に基づいて述べた内容と同様であり、第１のフレーム
中継装置Ａ（ＩＮローダ）から所要のボンダー（例えば
ボンダーＢ₃ ）へマガジンＭが供給されているときに図
３０の表示がなされ、図３１が、あるボンダー（例えば
ボンダーＢ₃ ）から第２のフレーム中継装置Ｄ（ＯＵＴ
ローダ）へ向けてマガジンＭを排出中であるときに表示
される内容を示す。なお、これらの表示システムに関し
ては上述の図２２及び図２３の場合と同様である故、そ
の説明を省略する。

【０１０３】なお、表示内容については、上述したもの
の他、例えば、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ についてその各々
が受け入れたマガジンＭの数を表示させるなど、他の種
々の表示を行わせ得ることは勿論である。

【０１０４】ここまでの説明は、装置が正常に作動して
いる場合の表示内容に関するものである。本発明に係る
自動ボンディング装置においては、作動状態に異常を来
したときに各種のエラー表示を行わせて補修作業が必要
な対象部位等を告知させることが可能で、例えば下記の
事象を表示することが出来る。

【０１０５】第１のフレーム中継装置Ａ（ＩＮロー
ダ）、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、ボンディング検査装置Ｃ
及び第２のフレーム中継装置Ｄ（ＯＵＴローダ）につい
て、夫々が具備したコンベア上にマガジンＭが正しくセ
ットされていない状態。但し、第１のフレーム中継装置
Ａに関しては、上方の運搬車３からマガジンＭが受け渡
されなかった事態も含む。

【０１０６】第１のフレーム中継装置Ａ（ＩＮロー
ダ）から各ボンダーに対するマガジン供給が不能となっ
た状態。

【０１０７】第１のフレーム中継装置Ａから所望のボ
ンダーに向けてマガジンＭが送り出されたものの、この
ボンダーにマガジンが取り入れられない状態。

【０１０８】各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ からボンディング
検査装置Ｃに向けてマガジンＭを送り込む際にこれらの
間で行われるべき通信状態に異常が発生した場合。

【０１０９】搬送装置Ｅの運搬車３が具備する保持手
段５が第１及び第２のフレーム中継装置Ａ、Ｄに向かっ
て下降する際に交わされる通信に異常が発生した場合。

【０１１０】以下、上記の各エラー事象の表示システム
について、表示内容を参照しながら説明する。

【０１１１】まず、図３２は、第１のフレーム中継装置
Ａ（ＩＮローダ）上のコンベアに対して、運搬車３によ
って上方より持ち来されるマガジンＭが該コンベア上に
受け渡されなかったり、あるいは受け渡されたものの傾
いた状態となった場合に表示される内容を示すものであ
る。この表示は、下記の構成によってなされる。

【０１１２】すなわち、図２において参照符号１４５及
び１４６にて示すように、第１のフレーム中継手段Ａが
具備するコンベア１１には到来するマガジンＭの有無や
傾き等の姿勢を検出して検出信号を発する２つのセンサ
が設けられている。なお、これらのセンサ１４５、１４
６は、例えば反射型のフォトセンサから成る。

【０１１３】上記の各センサ１４５、１４６より発せら
れた検出信号は、図８に示す主制御回路１３０に送ら
れ、該主制御回路１３０はこの検出信号に基づいて表示
パネル１３７に上記の表示を行う。

【０１１４】図３３の表示内容は、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ
₈ のうち例えば１台目のボンダーＢ₁ について送り込ま
れて来たマガジンＭが、コンベア５４上において正規の
位置からずれたり傾いたりしている場合になされるもの
である。これは、図５に示すように、ボンダーＢ₁ が備
えるコンベア５４に、既に説明したセンサ５５ａ、５５
ｂと同様の検出が可能で、到達したマガジンＭの有無並
びにずれ及び傾斜状態等の姿勢を検出して検出信号を発
するセンサ１４８及び１４９を配置し、これらのセンサ
より主制御回路１３０（図８）に送られた検出信号に基
づいて該主制御回路１３０が表示パネル１３７に表示す
るものである。なお、他のボンダーＢ₂〜Ｂ₈ に関して
も同様に表示される。

【０１１５】図３４及び図３５は、図１に示したボンデ
ィング検査装置Ｃ及び第２のフレーム中継装置Ｄ（ＯＵ
Ｔローダ）上の各コンベアに対して送り込まれて来たマ
ガジンＭが、正規の位置に対して傾きなどを生じている
場合に表示される内容を示すものである。上述した第１
のフレーム中継装置Ａ及び各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ と同様
に、これらのコンベアには例えば反射型のフォトセンサ
（図示せず）がマガジンＭの有無及び姿勢検出用として
設置され、該各センサより発せられる検出信号に基づい
て上記主制御回路１３０が表示パネル１３７のこの表示
をなす。なお、図３４においてＡＶＩ（Ａｕｔｏ Ｖｉ
ｓｕａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ）とは、上記ボンディ
ング検査装置Ｃを表すものである。

【０１１６】図３６の表示内容は、第１のフレーム中継
装置Ａ（ＩＮローダ）から各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ のいず
れかに向けてマガジンＭを送給する際、該マガジンが運
送途中で何等かの原因によって引っ掛るなどして供給不
能となった場合になされるものである。この表示は、下
記の構成により行われる。なお、１台目のボンダーＢ₁
に対してマガジンＭを供給する場合を例にとって説明す
る。

【０１１７】すなわち、図８に示した主制御回路１３０
は、内部にマガジン供給不能状態を判定する判定回路及
びクロックを備えているので、第１のフレーム中継装置
Ａ（ＩＮローダ）が具備するセンサ１４５、１４６から
得られる信号によりマガジン発信の時点から一定時間が
経過するまでの時間管理を行う。従ってボンダーＢ₁が
そのコンベア５４の近傍に具備するセンサ１４８、１４
９から発せられるマガジン到達確認信号がこの一定時間
を経過しても得られない場合にはマガジン供給不能状態
と判定し、上記の表示を行わせるのである。

【０１１８】図３７は、第１のフレーム中継装置Ａ（Ｉ
Ｎローダ）から送り出されたマガジンＭが所望のボンダ
ー、例えばボンダーＢ₁ のコンベア５４上に到達したも
のの、何等かの原因によってこのボンダーＢ₁ のローダ
・アンローダ（位置決め手段４２等から成る）内に該マ
ガジンＭが取り入れられない場合に表示される内容であ
る。この表示は下記のように行われる。すなわち、該コ
ンベア５４に設けられたセンサ１４８、１４９からの信
号により確認されるマガジン取り入れ開始の時点から一
定の時間が経過するまでの時間を管理し、ローダ・アン
ローダが有する位置決め手段４２の昇降部材４４上に配
置されたセンサ５５ａ、５５ｂから発せられるマガジン
取り入れ完了信号がこの一定時間を経ても得られない場
合にこれをエラーと判定し、上記の表示をなす。

【０１１９】図３８は、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ を経たマ
ガジンＭを後段のボンディング検査装置（ＡＶＩと表示
されている）Ｃに送り込む際に通信上のエラーが生じた
場合になされるものである。すなわち、各ボンダーＢ₁
〜Ｂ₈ からボンディング検査装置ＣにマガジンＭを送る
際、該ボンディング検査装置Ｃがこのマガジンを取り入
れる余地があるかどうかについて各ボンダーと該ボンデ
ィング検査装置との間で情報の交換が行われるのである
が、この通信においてボンディング検査装置Ｃからの応
答が得られない場合に主制御回路１３０がこれをエラー
と判断して表示パネル１３７に表示するものである。

【０１２０】図３９は、前述した各エラー状態が生じた
ときの警告として発せられるブザー音を止めることを促
すべく表示されるものである。この場合、ブザー音を停
止させるためにはブザーＯＦＦスイッチ１７５を押せば
よい。なお、図１に示すように、第１のフレーム中継装
置Ａ、各ボンダーＢ₁ 〜Ｂ₈ 、ボンディング検査装置Ｃ
及び第２のフレーム中継装置Ｄには警告灯１８０〜１８
８及び１９０が設けられており、上記のブザー音と共に
これらの警告灯のうちエラー箇所に対応するものが点灯
又は点滅する。

【０１２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるフレ
ーム中継装置においては、フレーム収容手段の搬入若し
くは搬出をなすために到来する所定保持手段が発着し得
る発着ステージを備えているから、フレーム収容手段の
受け渡し時には該保持手段が該発着ステージに固定され
た状態となり、フレームの中継を確実に行えるという効
果がある。また、本発明によるフレーム中継装置におい
ては、上記保持手段を含む搬送装置の作動制御を司る制
御手段との間で双方向による通信手段を備えていること
から、通信によって該搬送装置との作動タイミング等を
整合させることができ、フレームの中継を確実かつ効率
的に行えるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る自動ボンディング装置と
その上方に設けられた搬送装置の全体を示す斜視図であ
る。

【図２】図２は、図１に示した自動ボンディング装置が
装備するフレーム中継装置の斜視図である。

【図３】図３は、図１に示した搬送装置が具備する保持
手段の、一部の断面を含む側面図である。

【図４】図４は、図１に示した自動ボンディング装置が
装備するボンダーの斜視図である。

【図５】図５は、図４に示したボンダーの内部機構を概
念的に示した斜視図である。

【図６】図６は、図４に示したボンダーの内部機構を概
念的に示した斜視図である。

【図７】図７は、図４に示したボンダーの内部機構を概
念的に示した斜視図である。

【図８】図８は、図１に示した自動ボンディング装置及
び搬送装置の制御系を示すブロック図である。

【図９】図９は、図１に示した自動ボンディング装置に
装備された表示パネルの正面図である。

【図１０】図１０は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１１】図１１は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１２】図１２は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１３】図１３は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１４】図１４は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１５】図１５は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１６】図１６は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１７】図１７は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１８】図１８は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図１９】図１９は、図５に示した内部機構の動作説明
図である。

【図２０】図２０は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２１】図２１は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２２】図２２は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２３】図２３は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２４】図２４は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２５】図２５は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２６】図２６は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２７】図２７は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２８】図２８は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図２９】図２９は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３０】図３０は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３１】図３１は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３２】図３２は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３３】図３３は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３４】図３４は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３５】図３５は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３６】図３６は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３７】図３７は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３８】図３８は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【図３９】図３９は、図９に示した表示パネルに表示さ
れる画面を示す図である。

【符号の説明】

２ ガイドレール ３ 運搬車 ５ 保持手段 ８ 発着ステージ ９ 架台 １０ ガイドシャフト １１ コンベア １２ カバー部材 ３１ 架台 ３２ 移動テーブル ３４ ＸＹ駆動機構 ３６ ボンディングヘッ
ド ３８ ボンディングステ
ージ ３９ ボンディングアー
ム ４２ 位置決め手段 ４４ 昇降部材 ５４ コンベア ５５ａ、５５ｂ 、１４４、１４５ １４６、１４８、１４９ センサ ５７ 離脱手段 ５８ 保持機構 ５９ 第１の移動機構 ６１ 第２の移動機構 ６２ 受渡し手段 ９６、９７、９９、１００、１０１ 板部材 １０８、１０９ カバー部材 １１０ 蓋体 １２１、１２２、１２３、１２４ １２５、１２６、１２７、１２８ 副制御回路 １３０ 主制御回路 １３２ 表示手段 １３３ 操作手段 １３７ 表示パネル １４１ 天井搬送制御回路 Ａ 第１のフレーム中
継装置（ＩＮローダ） Ｂ₁ 〜Ｂ₈ ボンダー Ｃ ボンディング検査
装置 Ｄ 第２のフレーム中
継装置（ＯＵＴローダ） Ｅ 搬送装置 Ｌ＼Ｆ リードフレーム Ｍ マガジン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 喜久雄 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (72)発明者 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−249428（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−291339（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−31242（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−2543（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/50

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 各々半導体部品が装着された複数枚のフ
   レームを収容し得るフレーム収容手段を前段より受け入
   れ、若しくは後段に向けて搬出すべく中継するフレーム
   中継装置であって、該フレーム収容手段を保持して若し
   くは保持すべく到来する所定保持手段が発着し得る発着
   ステージを備えていることを特徴とするフレーム中継装
   置。
2. 【請求項２】 前記発着ステージの少なくとも一部を覆
   うようにカバー部材が設けられていることを特徴とする
   請求項１記載のフレーム中継装置。
3. 【請求項３】 前記所定保持手段を前記発着ステージに
   案内する案内手段を有することを特徴とする請求項１又
   は請求項２記載のフレーム中継装置。
4. 【請求項４】 前記案内手段は、前記フレーム収容手段
   の搬送路に対して斜めに交わる仮想直線上に且つ前記搬
   送路を挾んで配置されて前記所定保持手段と係合してこ
   れを案内する複数の案内部材からなり、前記案内部材を
   取り付け得る他の取付部が、前記案内部材各々に対して
   前記搬送路を挾む対称位置に設けられていることを特徴
   とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか１記載のフ
   レーム中継装置。
5. 【請求項５】 前記所定保持手段は前記フレーム収容手
   段の有無を検出するための検出手段を具備していること
   を特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１記
   載のフレーム中継装置。
6. 【請求項６】 各々半導体部品が装着された複数枚のフ
   レームを収容し得るフレーム収容手段を前段より受け入
   れ、若しくは後段に向けて搬出すべく中継するフレーム
   中継装置であって、該フレーム収容手段を前段より持ち
   来し、若しくは後段に向けて搬出する所定の搬出装置の
   作動制御を行なう制御手段との間で双方向による通信手
   段を備えたことを特徴とするフレーム中継装置。