JP2786701B2 - 測定回路の同期動作制御回路 - Google Patents
測定回路の同期動作制御回路Info
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- JP2786701B2 JP2786701B2 JP1311037A JP31103789A JP2786701B2 JP 2786701 B2 JP2786701 B2 JP 2786701B2 JP 1311037 A JP1311037 A JP 1311037A JP 31103789 A JP31103789 A JP 31103789A JP 2786701 B2 JP2786701 B2 JP 2786701B2
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- JP
- Japan
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- circuit
- frequency
- trigger signal
- measurement
- signal
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［概要］ 各種電気量の測定回路の同期動作制御回路に関し、 測定対象の電気回路からの被測定信号に同期したトリ
ガ信号を変更させ、測定回路の最適動作状態に自動的に
制御する測定回路の同期動作制御回路を提供することを
目的とし、 被測定信号に同期したトリガ信号を基準とし測定回路
を同期動作させて、各種電気量の測定を行う測定回路の
同期動作制御回路において、同期トリガ信号の繰り返し
周期と測定回路の最高動作周波数との差を検出する回路
と、該検出回路出力が印加されて同期トリガ信号の繰り
返し周期を変更する回路と具備し、該周期を変更する回
路の出力を前記測定回路に印加することで構成する。
ガ信号を変更させ、測定回路の最適動作状態に自動的に
制御する測定回路の同期動作制御回路を提供することを
目的とし、 被測定信号に同期したトリガ信号を基準とし測定回路
を同期動作させて、各種電気量の測定を行う測定回路の
同期動作制御回路において、同期トリガ信号の繰り返し
周期と測定回路の最高動作周波数との差を検出する回路
と、該検出回路出力が印加されて同期トリガ信号の繰り
返し周期を変更する回路と具備し、該周期を変更する回
路の出力を前記測定回路に印加することで構成する。
［産業上の利用分野］ 本発明は各種電気量の測定回路の同期動作制御回路に
関する。
関する。
従来、同期トリガ信号を分周回路を介して測定回路の
同期制御を行うとき、周波数カウンタのように高価で動
作の複雑な装置を必要とした。周波数カウンタを使用せ
ずに測定回路の同期動作を制御する技術を開発すること
が要望された。
同期制御を行うとき、周波数カウンタのように高価で動
作の複雑な装置を必要とした。周波数カウンタを使用せ
ずに測定回路の同期動作を制御する技術を開発すること
が要望された。
［従来の技術］ 電子ビームを照射したLSIからの二次電子信号を測定
し、LSIの動作を測定するとき、測定回路の同期タイミ
ング信号はLSI駆動回路から被測定信号と同時に受けて
測定していた。第４図に示す測定装置において、１は被
測定LSI、２はLSIテスタ、３は電子ビーム照射鏡筒、４
は二次電子信号増倍器、５は測定回路、６は周波数カウ
ンタ、７は分周回路、８は周波数比較判断回路を示す。
被測定LSI1に対しLSIテスタ２から直流・交流の各信号
を印加し、LSIを動作状態とする。電子ビーム照射鏡筒
３から測定回路５の定めるタイミングの電子ビームをLS
Iに照射する。このタイミングは端子５−３から鏡筒３
に与えられる。そのときLSIの動作状況に対応する二次
電子がLSIから放射されるから、その二次電子を二次電
子増倍器４により増幅し、測定のし易い信号として測定
回路５に印加し、端子５−１から受入れる。測定回路５
に対し、LSI1を駆動している信号に対応する同期トリガ
信号をLSIテスタ２から送出し、端子５−２から受入れ
る。端子５−１からの信号は同期トリガ信号を基に測定
回路５によりサンプリングを行う。最近のLSIは高速に
動作するようになり、測定回路５へのトリガ信号も当然
高速となって来ている。時には測定回路５の最高動作周
期より短い周期のトリガ信号もあり、そのような信号に
対しては測定回路５が追従できない。そのため信号分周
回路７によりトリガ信号を分周し、測定回路５で取り扱
える周波数に落として測定回路５を同期動作させてい
る。分周するとき分周比の決定手段は周波数カウンタ６
である。即ち、トリガ信号を周波数カウンタ６により測
定しその値を、測定回路５が動作追従できる最高周波数
と比較する。その最高周波数よりトリガ信号周波数の方
が高いときはトリガ信号の周波数を測定装置の追従でき
る最高周波数で割算を行い，その商値により分周回路の
分周比を決定し、測定回路５に対する所望の同期信号を
得ていた。
し、LSIの動作を測定するとき、測定回路の同期タイミ
ング信号はLSI駆動回路から被測定信号と同時に受けて
測定していた。第４図に示す測定装置において、１は被
測定LSI、２はLSIテスタ、３は電子ビーム照射鏡筒、４
は二次電子信号増倍器、５は測定回路、６は周波数カウ
ンタ、７は分周回路、８は周波数比較判断回路を示す。
被測定LSI1に対しLSIテスタ２から直流・交流の各信号
を印加し、LSIを動作状態とする。電子ビーム照射鏡筒
３から測定回路５の定めるタイミングの電子ビームをLS
Iに照射する。このタイミングは端子５−３から鏡筒３
に与えられる。そのときLSIの動作状況に対応する二次
電子がLSIから放射されるから、その二次電子を二次電
子増倍器４により増幅し、測定のし易い信号として測定
回路５に印加し、端子５−１から受入れる。測定回路５
に対し、LSI1を駆動している信号に対応する同期トリガ
信号をLSIテスタ２から送出し、端子５−２から受入れ
る。端子５−１からの信号は同期トリガ信号を基に測定
回路５によりサンプリングを行う。最近のLSIは高速に
動作するようになり、測定回路５へのトリガ信号も当然
高速となって来ている。時には測定回路５の最高動作周
期より短い周期のトリガ信号もあり、そのような信号に
対しては測定回路５が追従できない。そのため信号分周
回路７によりトリガ信号を分周し、測定回路５で取り扱
える周波数に落として測定回路５を同期動作させてい
る。分周するとき分周比の決定手段は周波数カウンタ６
である。即ち、トリガ信号を周波数カウンタ６により測
定しその値を、測定回路５が動作追従できる最高周波数
と比較する。その最高周波数よりトリガ信号周波数の方
が高いときはトリガ信号の周波数を測定装置の追従でき
る最高周波数で割算を行い，その商値により分周回路の
分周比を決定し、測定回路５に対する所望の同期信号を
得ていた。
［発明が解決しようとする課題］ 第４図に示す装置では、周波数カウンタなどの高価な
機器が必要であり、トリガ信号の周波数が変化する度に
周波数測定を外部から指示しその結果を続出して分周器
に設定する必要がある。これらの指示を自動で行うため
には常に周波数カウンタを動作させ、トリガ信号の周波
数を常にモニタしておいて、分周比を変更する必要があ
るかどうかをチェックして、分周比を再設定することが
必要であった。一方、測定をする時にのみ周波数を測定
する場合は、オペレータによる指示が必要であり、測定
を忘れたり、設定の後に周波数が変更した場合に対応が
出来なくなって測定に誤差を生じたり、測定そのものの
意味が無くなったりするなどの問題があった。
機器が必要であり、トリガ信号の周波数が変化する度に
周波数測定を外部から指示しその結果を続出して分周器
に設定する必要がある。これらの指示を自動で行うため
には常に周波数カウンタを動作させ、トリガ信号の周波
数を常にモニタしておいて、分周比を変更する必要があ
るかどうかをチェックして、分周比を再設定することが
必要であった。一方、測定をする時にのみ周波数を測定
する場合は、オペレータによる指示が必要であり、測定
を忘れたり、設定の後に周波数が変更した場合に対応が
出来なくなって測定に誤差を生じたり、測定そのものの
意味が無くなったりするなどの問題があった。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、測定対象の電気
回路から同期トリガ信号の周期を変更させ、測定回路を
最適動作に自動的に制御する測定回路の同期動作制御回
路を提供することにある。
回路から同期トリガ信号の周期を変更させ、測定回路を
最適動作に自動的に制御する測定回路の同期動作制御回
路を提供することにある。
［問題を解決するための手段］ 第１図は本発明の原理構成を示す図である。第１図に
おいて、５は測定回路、10は同期トリガ信号、11は周波
数差検出回路、12は周期変更回路、5-1は被測定信号印
加端子、５−２は同期トリガ信号入力端子、５−４は最
高動作周波数出力端子を示す。
おいて、５は測定回路、10は同期トリガ信号、11は周波
数差検出回路、12は周期変更回路、5-1は被測定信号印
加端子、５−２は同期トリガ信号入力端子、５−４は最
高動作周波数出力端子を示す。
被測定信号に同期したトリガ信号10を基準とし測定回
路５を同期動作させて、各種電気量の測定を行う測定回
路５の同期動作制御回路において、本発明は下記の構成
とする。即ち、 同期トリガ信号10の繰り返し周期と測定回路５の最高
動作周波数との差を検出する回路11と、該検出回路11出
力が印加されて同期トリガ信号の繰り返し周期を変更す
る回路12とを具備し、該周期を変更する回路12の出力を
前記測定回路５に印加することで構成する。
路５を同期動作させて、各種電気量の測定を行う測定回
路５の同期動作制御回路において、本発明は下記の構成
とする。即ち、 同期トリガ信号10の繰り返し周期と測定回路５の最高
動作周波数との差を検出する回路11と、該検出回路11出
力が印加されて同期トリガ信号の繰り返し周期を変更す
る回路12とを具備し、該周期を変更する回路12の出力を
前記測定回路５に印加することで構成する。
［作用］ 測定回路５の最高動作周波数を端子５−４から取り出
し、周波数の差を検出する回路11の一方に印加する。被
測定信号が端子５−１から測定回路５に印加される。ま
た被測定信号と同期した同期トリガ信号が周期を変更す
る回路12に印加され、所定の周期に変更されて周波数の
差を検出する回路11の他方と、測定回路５の端子５−２
に印加される。周波数の差を検出する回路11は同期トリ
ガ信号の周波数と測定回路５の最高動作周波数とを比較
する。周波数の差を検出する回路11により、同期トリガ
信号の繰り返し周波数が測定回路５の最高動作周波数よ
り大きい場合には、検出回路11の出力を周期を変更する
回路12に対し印加して、トリガ信号をより低い周波数と
するように変更させる。同期トリガ信号が測定回路５の
最高動作周波数以下で最も近い値となるまで、周期を変
更する回路12を動作させることが良い。そのため周期を
変更する回路12は、同期トリガ信号の周期に応じて周波
数逓降回路或いは逓倍回路を使用する。
し、周波数の差を検出する回路11の一方に印加する。被
測定信号が端子５−１から測定回路５に印加される。ま
た被測定信号と同期した同期トリガ信号が周期を変更す
る回路12に印加され、所定の周期に変更されて周波数の
差を検出する回路11の他方と、測定回路５の端子５−２
に印加される。周波数の差を検出する回路11は同期トリ
ガ信号の周波数と測定回路５の最高動作周波数とを比較
する。周波数の差を検出する回路11により、同期トリガ
信号の繰り返し周波数が測定回路５の最高動作周波数よ
り大きい場合には、検出回路11の出力を周期を変更する
回路12に対し印加して、トリガ信号をより低い周波数と
するように変更させる。同期トリガ信号が測定回路５の
最高動作周波数以下で最も近い値となるまで、周期を変
更する回路12を動作させることが良い。そのため周期を
変更する回路12は、同期トリガ信号の周期に応じて周波
数逓降回路或いは逓倍回路を使用する。
［実施例］ 第２図は、本発明の実施例として第１図の差を検出す
る回路11の具体的構成を示す図である。第２図において
13は発振器で測定回路５の最高動作周波数を発振する例
えば水晶振器として外付けしたものを示す。測定回路５
から第１図のように取り出しても良い。14はフリップフ
ロップ、15,18はアンド回路、16はラッチ回路を示す。
また第３図は第２図の動作波形図を示す。第３図Ａは発
振器13の発振出力波形、第３図Ｂはフリップフロップ14
の出力Ｑ波形、第３図Ｃはフリップフロップ14の出力Ｑ
波形、第３図Ｄはトリガ信号波形第１例、第３図Ｅは第
１例波形を分周した波形、第３図Ｆはトリガ信号波形第
２例波形を示す。
る回路11の具体的構成を示す図である。第２図において
13は発振器で測定回路５の最高動作周波数を発振する例
えば水晶振器として外付けしたものを示す。測定回路５
から第１図のように取り出しても良い。14はフリップフ
ロップ、15,18はアンド回路、16はラッチ回路を示す。
また第３図は第２図の動作波形図を示す。第３図Ａは発
振器13の発振出力波形、第３図Ｂはフリップフロップ14
の出力Ｑ波形、第３図Ｃはフリップフロップ14の出力Ｑ
波形、第３図Ｄはトリガ信号波形第１例、第３図Ｅは第
１例波形を分周した波形、第３図Ｆはトリガ信号波形第
２例波形を示す。
発振器13の発振波形即ち測定回路５の最高動作周波数
が、第３図Ａに示す波形であったとき、フリップフロッ
プ14に印加して得られた出力Ｑは第３図Ｂとなる。アン
ド回路15により第３図Ａの信号とＢ信号とのアンド演算
を行い、ラッチ回路16によりラッチする。信号Ｂが“H"
となるときトリガ信号が入力されると、ラッチ回路の出
力に“H"が立つ。ラッチ回路出力が“H"の時に更にトリ
ガ信号が入力されると、測定回路の最高動作周波数を超
えていることが判るので、ラッチ回路の出力とトリガ信
号のアンド回路18に出力が出ると、それを周期変更回路
に入力し、分周比を上げる。この実施例では分周比を
「１」上げて「２」とし、第３図Ｂの１周期内に“H"が
立つ回数を数えると、第３図Ｅの場合はトリガ信号の分
周出力が1,0,1,1のようになる。第３図Ｄでは第３図Ｂ
の１周期内に２つの“H"が立つことがあるが、第３図Ｅ
では１周期内に１か０で、且つ０が２周期連続すること
はないため、第３図Ｄが最高動作周波数に略一致する。
が、第３図Ａに示す波形であったとき、フリップフロッ
プ14に印加して得られた出力Ｑは第３図Ｂとなる。アン
ド回路15により第３図Ａの信号とＢ信号とのアンド演算
を行い、ラッチ回路16によりラッチする。信号Ｂが“H"
となるときトリガ信号が入力されると、ラッチ回路の出
力に“H"が立つ。ラッチ回路出力が“H"の時に更にトリ
ガ信号が入力されると、測定回路の最高動作周波数を超
えていることが判るので、ラッチ回路の出力とトリガ信
号のアンド回路18に出力が出ると、それを周期変更回路
に入力し、分周比を上げる。この実施例では分周比を
「１」上げて「２」とし、第３図Ｂの１周期内に“H"が
立つ回数を数えると、第３図Ｅの場合はトリガ信号の分
周出力が1,0,1,1のようになる。第３図Ｄでは第３図Ｂ
の１周期内に２つの“H"が立つことがあるが、第３図Ｅ
では１周期内に１か０で、且つ０が２周期連続すること
はないため、第３図Ｄが最高動作周波数に略一致する。
第３図Ｆでは“H"不検出領域が２周期連続するため、
分周比を下げて測定回路５へのトリガ信号をより高める
ことが良い。即ち、周期変更回路12として分周回路を使
用するとき、第３図Ｆの状態となれば、分周比を１ずつ
下げて、１周期内に２つの入力信号を検出することが判
るまで、分周比を下げた後、分周比を１上げて測定を行
う。分周比が１即ち、外部からの同期トリガ信号と同一
となるまで分周比を変更しても、２周期連続してパルス
を検出することがなければ、分周比１で外部トリガ信号
を測定回路５に直接入力して良いことが判る。
分周比を下げて測定回路５へのトリガ信号をより高める
ことが良い。即ち、周期変更回路12として分周回路を使
用するとき、第３図Ｆの状態となれば、分周比を１ずつ
下げて、１周期内に２つの入力信号を検出することが判
るまで、分周比を下げた後、分周比を１上げて測定を行
う。分周比が１即ち、外部からの同期トリガ信号と同一
となるまで分周比を変更しても、２周期連続してパルス
を検出することがなければ、分周比１で外部トリガ信号
を測定回路５に直接入力して良いことが判る。
［発明の効果］ このようにして本発明によると、周波数の差を検出す
る回路と、周期を変更する回路を常時動作させておけ
ば、測定回路の最高動作周波数に最も近い状態で測定回
路を常時動作させることが自動制御される。そのため測
定回路が最小限の時間で測定可能となり、且つオペレー
タによる設定忘れや間違いの起きることがなくなり、測
定信頼性が向上できる。
る回路と、周期を変更する回路を常時動作させておけ
ば、測定回路の最高動作周波数に最も近い状態で測定回
路を常時動作させることが自動制御される。そのため測
定回路が最小限の時間で測定可能となり、且つオペレー
タによる設定忘れや間違いの起きることがなくなり、測
定信頼性が向上できる。
第１図は本発明の原理構成を示す図、 第２図は本発明の実施例として第１図中の差を検出する
回路を具体的に示す図、 第３図は第２図の動作波形図、 第４図は従来のLSI動作を測定する回路の構成を示す図
である。 ５……測定回路 10……同期トリガ信号 11……周波数差検出回路 12……周期変更回路
回路を具体的に示す図、 第３図は第２図の動作波形図、 第４図は従来のLSI動作を測定する回路の構成を示す図
である。 ５……測定回路 10……同期トリガ信号 11……周波数差検出回路 12……周期変更回路
Claims (1)
- 【請求項１】被測定信号に同期したトリガ信号（10）を
基準とし測定回路（５）を同期動作させて、各種電気量
の測定を行う測定回路（５）の同期動作制御回路におい
て、 同期トリガ信号（10）の繰り返し周期と測定回路（５）
の最高動作周波数との差を検出する回路（11）と、 該検出回路（11）出力が印加されて同期トリガ信号の繰
り返し周期を変更する回路（12）とを具備し、 該周期を変更する回路（12）の出力を前記測定回路
（５）に印加すること を特徴とする測定回路の同期動作制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1311037A JP2786701B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 測定回路の同期動作制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1311037A JP2786701B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 測定回路の同期動作制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03170871A JPH03170871A (ja) | 1991-07-24 |
| JP2786701B2 true JP2786701B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=18012360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1311037A Expired - Lifetime JP2786701B2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 測定回路の同期動作制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2786701B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106443094B (zh) * | 2016-09-12 | 2019-03-12 | 深圳市鼎阳科技有限公司 | 一种双通道信号发生器及其波形同步跟踪的方法 |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP1311037A patent/JP2786701B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03170871A (ja) | 1991-07-24 |
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