JP2784540B2 - メタライズ用組成物 - Google Patents

メタライズ用組成物

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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はセラミック体にメタライズ金属層を形成する
ためのメタライズ用組成物に関し、より詳細には非磁性
体であるアルミニウム(Al)がロウ付けされるメタライ
ズ金属層の形成に使用されるメタライズ用組成物に関す
るものである。
(従来の技術) 従来、セラミックは電器絶縁性、化学的安定性、機械
的強度等の特性に優れていることから半導体素子を収容
する半導体素子収納用パッケージや回路配線を有する回
路基板等の電子部品に多用されており、セラミック体の
表面に外部リード端子当がロウ付けされるメタライズ金
属層が被着形成されている。
かかるセラミック体表面のメタライズ金属層は通常、
モリブデン−マンガン(Mo−Mn)、タングステン(W)
当の高融点金属粉末に有機溶剤、溶媒を添加し、ペース
ト状となしたものをアルミナから成る生もしくは焼結セ
ラミック体表面にスクリーン印刷により被着させ、しか
る後、前記セラミック体を還元性雰囲気中で焼成し、高
融点金属とセラミック体とを焼結一体化させることによ
って製作されている。
(発明が解決しようとする課題) しかし乍ら、この従来のモリブデン−マンガン(Mo−
Mn)等を使用したメタライズ金属層は鉄(Fe)、コバー
ル(Fe−Ni−Co合金)等をロウ付けする銀ロウ材とは濡
れ性が良く、鉄等は強固にロウ付けし得るものの非磁性
材料であるアルミニウム(Al)をロウ付けするアルミニ
ウムロウ材とは濡れ性が悪く、その結果、従来のモリブ
デン−マンガン(Mo−Mn)等を使用したメタライズ金属
層上には直接、非磁性材料のアルミニウムはロウ付けで
きないという欠点を有していた。そのため、電子、磁気
等が作用する電子部品において、その電子、磁気の作用
に悪影響を与えないような非磁性材料からなる端子等を
ロウ付けしたい場合、その要求は満たされず、電子部品
の特性は低下し、信頼性の悪いものであった。
(発明の目的) 本発明者等は上記欠点に鑑み種々の実験の結果、ジル
コニウムもしくはその水素化物とアルミニウムもしくは
その合金との共晶物はセラミックに対して活性があり、
5Kg/mm2以上の強度で強固に接合するとともにアルミニ
ウムをロウ付けするアルミニウムロウ材とも濡れ性が極
めて良いことを知見した。
本発明は上記知見に基づき非磁性材料であるアルミニ
ウムを強固にロウ付けすることが可能なメタライズ金属
層を形成することのできるメタライズ用組成物を提供す
ることをその目的とするものである。
本発明のメタライズ用組成物は電子、磁気が作用する
電子部品、具体的には加速管等には非磁性材料であるア
ルミニウムから成る端子等をロウ付けするメタライズ金
属層の形成に好適に使用される。
(課題を解決するための手段) 本発明のメタライズ用組成物はジルコニウムもしくは
その水素化物2乃至50重量%とアルミニウムもしくはそ
の合金50乃至98重量%とから成ることを特徴とするもの
である。
本発明のメタライズ用組成物においてはジルコニウム
もしくはその水素化物の量が2重量%未満、アルミニウ
ムもしくはその合金の量が98重量%を超える場合はジル
コニウムもしくはその水素化物とアルミニウムもしくは
その合金とで形成される共晶物の絶対量が不足し、メタ
ライズ金属層とセラミック体との接合強度が低下する。
またジルコニウムもしくはその水素化物の量が50重量
%を越え、アルミニウムもしくはその合金の量が50重量
%未満の場合にはメタライズ用組成物の溶融温度が極め
て高くなり、一般の焼成温度(700〜800℃)ではメタラ
イズ金属層をセラミック体に強固に接合できない。
よって、本発明のメタライズ用組成物においてはジル
コニウムもしくはその水素化物は2乃至50重量%の範囲
に、アルミニウムもしくはその合金50乃至98重量%の範
囲に特定される。
本発明のメタライズ用組成物はジルコニウムもしくは
その水素化物の粉末と、アルミニウムもしくはその合金
の粉末とを混合し、混合粉末状となすか、ジルコニウム
もしくはその水素化物の箔とアルミニウムもしくはその
合金の箔とを重ね合わせ二重構造となすか、粉末状のジ
ルコニウムもしくはその水素化物と箔状のアルミニウム
もしくはその合金とを組合わせるか、或いはその逆の組
合せによってメタライズ用組成物として使用される。
(実施例) 次に本発明を実施例に基づき説明する。
まず、ジルコニウム(Zr)もしくはその水素化物(Zr
H2)及びアルミニウム(Al)もしくはその合金(例えば
Al−Si)の粉末及び箔を準備し、これを第1表に示すよ
うな組合せ、厚みでメタライズ用試料を得た。次にこれ
をアルミナ(Al2O3)、炭化珪素質結晶体(SiC)、窒化
珪素質焼結体(Si3N4)から成るセラミック体表面に直
径5mmの円形状に取着するとともに真空炉中、約700℃の
温度で焼成し、セラミック体表面にメタライズ金属層を
被着させる。そして次に直径5mm、長さ20mmのアルミニ
ウム(Al)から成る円柱体をアルミニウムロウ材を介し
てロウ付けし、しかる後、アルミニウム円柱体を垂直方
向に引っ張り、単体面積当たりの接合強度を調べた。
尚、前記ジルコニウム(Zr)もしくはその水素化物
(ZrH2)及びアルミニウム(Al)もしくはその合金(例
えばAl−Si)は粉末状のものを使用する場合、その粒径
を1〜5μmに調整し、これに有機溶剤、溶媒を添加す
るとともに混練機で10時間混練し、ペースト状となして
セラミック体表面に取着した。
また試料番号24〜26は本発明品と比較するための比較
試料であり、従来一般に使用されているモリブデン−マ
ンガン(Mo−Mn)から成るメタライズ用組成物である。
上記の結果を第1表に示す。
(発明の効果) 上記実験結果からも判るように従来のメタライズ用組
成物(Mo−Mn)を使用したメタライズ金属層はアルミナ
(Al2O3)には被着されるものの炭化珪素質焼結体(Si
C)、窒化珪素質焼結体(Si3N4)には一切被着されず、
またアルミナ(Al2O3)に被着されたメタライズ金属層
上には非磁性材料であるアルミニウム(Al)がロウ付け
できないのに対し、本発明のメタライズ用組成物を使用
したメタライズ金属層はアルミナ(Al2O3)、炭化珪素
焼結体(SiC)及び窒化珪素質焼結体(Si3N4)のいずれ
のセラミック体にも接合強度5Kg/mm2以上の強度で被着
させることができ、かつ非磁性材料であるアルミニウム
(Al)も直接強固にロウ付けすることができる。特にジ
ルコニウムもしくはその水素化物3乃至35重量%、アル
ミニウムもしくはその合金65乃至97重量%から成るメタ
ライズ用組成物を使用したメタライズ金属層はその接合
強度が10Kg/mm2以上と極めて強く、非磁性材料であるア
ルミニウムをロウ付けするメタライズ金属層を形成する
メタライズ用組成物として好適である。
従って、本発明のメタライズ用組成物は電子、磁気が
作用する電子部品において、非磁性材料から成る端子等
がロウ付けされるメタライズ金属層の形成に極めて有用
である。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ジルコニウムもしくはその水素化物2乃至
    50重量%とアルミニウムもしくはその合金50乃至98重量
    %とから成り、メタライズ金属層をセラミック体に5Kg/
    mm2以上の接合強度で接合することができるメタライズ
    用組成物。
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