JPH078750B2 - 窒化アルミニウム製基材の表面構造 - Google Patents
窒化アルミニウム製基材の表面構造Info
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- JPH078750B2 JPH078750B2 JP2212827A JP21282790A JPH078750B2 JP H078750 B2 JPH078750 B2 JP H078750B2 JP 2212827 A JP2212827 A JP 2212827A JP 21282790 A JP21282790 A JP 21282790A JP H078750 B2 JPH078750 B2 JP H078750B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、絶縁基板、ヒートシンク、レーザ用チューブ
等に高熱伝導性絶縁材料として使用される窒化アルミニ
ウム焼結体のメタライズに関するものである。
等に高熱伝導性絶縁材料として使用される窒化アルミニ
ウム焼結体のメタライズに関するものである。
［従来の技術］ 近年、電子機器の小型化や機能向上に対する要求は極め
て大きくなっており、それに伴って半導体は集積密度の
向上、多機能化、高速化、高出力化、高信頼化の方向に
急速に進展している。これらに対応して半導体から発生
する熱量はますます増加しており、従来のAl2O3基板に
かわる放射能力の大きい基板が要求されるようになって
いる。又、その他の分野、例えば各種の熱機関や産業機
器等においても高出力化が進んでおり、それに伴って、
放熱能力の大きい材料が求められている。この放熱能力
の大きい材料、即ち熱伝導性の高い材料としては、ダイ
ヤモンド、立方晶BN（窒化硼素）、SiC（炭化珪素）、B
eO（ベリリア）、AlN（窒化アルミニウム）、Si等をあ
げることができる。
て大きくなっており、それに伴って半導体は集積密度の
向上、多機能化、高速化、高出力化、高信頼化の方向に
急速に進展している。これらに対応して半導体から発生
する熱量はますます増加しており、従来のAl2O3基板に
かわる放射能力の大きい基板が要求されるようになって
いる。又、その他の分野、例えば各種の熱機関や産業機
器等においても高出力化が進んでおり、それに伴って、
放熱能力の大きい材料が求められている。この放熱能力
の大きい材料、即ち熱伝導性の高い材料としては、ダイ
ヤモンド、立方晶BN（窒化硼素）、SiC（炭化珪素）、B
eO（ベリリア）、AlN（窒化アルミニウム）、Si等をあ
げることができる。
しかし、ダイヤモンド、立方晶BNは上記のような用途に
利用できる大きさを製造することが困難であり、又、非
常に高価である。SiCは半導体であるために電気絶縁
性、誘電率等の電気特性が悪く、絶縁材料として使用で
きない。BeOは電気特性が非常に優れているが、成形
時、切削加工時等に発生する粉末が毒性を持つために国
内で生産されず、海外から求める必要があるために供給
が不安定となるおそれがある。Siは電気特性が悪く、ま
た、機械的強度も小さいので、基板材料としても使用が
限られる。AlNは高絶縁性、高絶縁耐性、低誘電離率等
の優れた電気特性に加えて、常圧焼結が適用できると言
う利点があるが、金属との濡れ性が悪く使用面に金属層
を形成したり、又金属との接合が十分出来ないために、
未だ高出力用の多層基板やレーザチューブ等は開発され
ていないのが実状である。
利用できる大きさを製造することが困難であり、又、非
常に高価である。SiCは半導体であるために電気絶縁
性、誘電率等の電気特性が悪く、絶縁材料として使用で
きない。BeOは電気特性が非常に優れているが、成形
時、切削加工時等に発生する粉末が毒性を持つために国
内で生産されず、海外から求める必要があるために供給
が不安定となるおそれがある。Siは電気特性が悪く、ま
た、機械的強度も小さいので、基板材料としても使用が
限られる。AlNは高絶縁性、高絶縁耐性、低誘電離率等
の優れた電気特性に加えて、常圧焼結が適用できると言
う利点があるが、金属との濡れ性が悪く使用面に金属層
を形成したり、又金属との接合が十分出来ないために、
未だ高出力用の多層基板やレーザチューブ等は開発され
ていないのが実状である。
また、近年では、AlNと金属層との接合面に、接合強度
を向上する目的でアルミナからなる中間層を形成した提
案（特開昭50-75208号公報参照）が行われているが、こ
のアルミナの熱伝導性は低いので、AlN本来の高熱伝導
性が発揮されないという問題があった。
を向上する目的でアルミナからなる中間層を形成した提
案（特開昭50-75208号公報参照）が行われているが、こ
のアルミナの熱伝導性は低いので、AlN本来の高熱伝導
性が発揮されないという問題があった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記問題点を解決するために次の手段を採用し
た。即ち、本発明の要旨は、 窒化アルミニウム製基材上に、メタライズ層と、該メタ
ライズ層と上記窒化アルミニウム製基材との間にて酸化
と金属化を同時に行なって形成されてなる中間層と、を
有する上記窒化アルミニウム製基材の表面構造であっ
て、 上記中間層が少なくともアルミニウム、窒素及び酸素を
含み、かつ該中間層の厚さが１〜20μｍであり、更に窒
化アルミニウム製基材の表面粗度が1.5μｍ以下である
ことを特徴とする窒化アルミニウム製基材の表面構造で
ある。
た。即ち、本発明の要旨は、 窒化アルミニウム製基材上に、メタライズ層と、該メタ
ライズ層と上記窒化アルミニウム製基材との間にて酸化
と金属化を同時に行なって形成されてなる中間層と、を
有する上記窒化アルミニウム製基材の表面構造であっ
て、 上記中間層が少なくともアルミニウム、窒素及び酸素を
含み、かつ該中間層の厚さが１〜20μｍであり、更に窒
化アルミニウム製基材の表面粗度が1.5μｍ以下である
ことを特徴とする窒化アルミニウム製基材の表面構造で
ある。
ここで上記窒化アルミニウム製基材は、窒化アルミニウ
ムのみでも、又焼結性の向上等を目的として希土類酸化
物（例えばイットリア）又はアルカリ土類酸化物（例え
ばカルシア）等の、通常、使用される焼結助剤を含んで
も良い。
ムのみでも、又焼結性の向上等を目的として希土類酸化
物（例えばイットリア）又はアルカリ土類酸化物（例え
ばカルシア）等の、通常、使用される焼結助剤を含んで
も良い。
また、上記メタライズ層は、Mo-Mn合金、Mo、Ｗのいず
れかを主成分とすることが好ましい。
れかを主成分とすることが好ましい。
［作用］ 本発明においては、中間層は、従来の様に、まず酸化を
行ない、次に金属化を行なうことによって形成された中
間層とは基本的に異なり、酸化と金属化を同時に行なっ
て形成された中間層である。そのため、中間層のどの部
分を分析しても、アルミナではなく、アルミニウム、窒
素及び酸素が含まれている。
行ない、次に金属化を行なうことによって形成された中
間層とは基本的に異なり、酸化と金属化を同時に行なっ
て形成された中間層である。そのため、中間層のどの部
分を分析しても、アルミナではなく、アルミニウム、窒
素及び酸素が含まれている。
この中の一成分、例えば窒素が含まれないと、中間層と
窒化アルミニウム製基材との接着が不十分となり、又酸
素が含まれないと、中間層とメタライズ層との濡れ性が
悪く接着が不十分となる。つまり、中間層には、アルミ
ニウム，窒素及び酸素を含むことが必要である。
窒化アルミニウム製基材との接着が不十分となり、又酸
素が含まれないと、中間層とメタライズ層との濡れ性が
悪く接着が不十分となる。つまり、中間層には、アルミ
ニウム，窒素及び酸素を含むことが必要である。
また、本発明では、中間層の厚みが１μｍ以上であるの
で、メタライズ層と窒化アルミニウム製基材との気密性
や結合強度が高いという性質があり、更に、中間層の厚
みが20μｍ以下であるので、中間層と窒化アルミニウム
製基材との熱伝導性が高いという性質がある。つまり、
中間層の厚さが、１〜20μｍの範囲であれば、例えば絶
縁基板やヒートシンク等に好適な、優れた接合性及び熱
伝導性を実現できる。尚、中間層の厚みが３〜10μｍで
あると、接着強度、熱伝導が共に高くより好ましい。
で、メタライズ層と窒化アルミニウム製基材との気密性
や結合強度が高いという性質があり、更に、中間層の厚
みが20μｍ以下であるので、中間層と窒化アルミニウム
製基材との熱伝導性が高いという性質がある。つまり、
中間層の厚さが、１〜20μｍの範囲であれば、例えば絶
縁基板やヒートシンク等に好適な、優れた接合性及び熱
伝導性を実現できる。尚、中間層の厚みが３〜10μｍで
あると、接着強度、熱伝導が共に高くより好ましい。
更に、本発明では、窒化アルミニウム製基材の表面粗度
は1.5μｍ以下である。そのため、メタライズ層と窒化
アルミニウム製基材との中間層を介する結合がより強固
となり、耐熱性及びピール強度が向上する。
は1.5μｍ以下である。そのため、メタライズ層と窒化
アルミニウム製基材との中間層を介する結合がより強固
となり、耐熱性及びピール強度が向上する。
尚、中間層はアルミニウム、窒素及び酸素以外に上記メ
タライズ層に含まれる成分、例えばMn、Si等を含んでも
よい。
タライズ層に含まれる成分、例えばMn、Si等を含んでも
よい。
［発明の効果］ 本発明の窒化アルミニウム製基材の表面構造は、メタラ
イズ層と窒化アルミニウム製基材との間に、酸化と金属
化を同時に行なってなる中間層を有しており、この中間
層は、少なくともアルミニウム、窒素及び酸素を含む厚
さ１〜20μｍの中間層であるので、メタライズ層と窒化
アルミニウム製基材との強固な接合と、優れた熱伝導性
を高いレベルで両立できた。そのため、従来困難であっ
た高い熱伝導率や気密性、更に電気特性に優れた性質を
持つ窒化アルミニウム製基材を電子機器や各種の産業機
器部品に使用することが可能となった。
イズ層と窒化アルミニウム製基材との間に、酸化と金属
化を同時に行なってなる中間層を有しており、この中間
層は、少なくともアルミニウム、窒素及び酸素を含む厚
さ１〜20μｍの中間層であるので、メタライズ層と窒化
アルミニウム製基材との強固な接合と、優れた熱伝導性
を高いレベルで両立できた。そのため、従来困難であっ
た高い熱伝導率や気密性、更に電気特性に優れた性質を
持つ窒化アルミニウム製基材を電子機器や各種の産業機
器部品に使用することが可能となった。
また、窒化アルミニウム製基材の表面粗度は1.5μｍ以
下であるので、この点からも、メタライズ層と窒化アル
ミニウム製基材との結合がより強固となり、耐熱性及び
プール強度が向上するという効果がある。
下であるので、この点からも、メタライズ層と窒化アル
ミニウム製基材との結合がより強固となり、耐熱性及び
プール強度が向上するという効果がある。
［実施例］ 本発明の実施例について説明する。
第１実施例 本実施例は、平均結晶粒径10μｍ、表面粗度0.7μmRaの
板状窒化アルミニウム製基材に、Mo:80重量％、Mn:10重
量％、SiO2:10重量％のペースト状メタライズ層成分を
厚さ約20μｍで塗布し乾燥後、空気中において300℃で
１時間加熱処理し、その後アンモニア分解ガス中におい
て1300℃、第１表に示す露点で１時間焼成して試料とし
た。
板状窒化アルミニウム製基材に、Mo:80重量％、Mn:10重
量％、SiO2:10重量％のペースト状メタライズ層成分を
厚さ約20μｍで塗布し乾燥後、空気中において300℃で
１時間加熱処理し、その後アンモニア分解ガス中におい
て1300℃、第１表に示す露点で１時間焼成して試料とし
た。
上記試料は次に述べる方法にあって、メタライズ層の厚
み（μｍ）、メタライズ層を形成する成分、中間層の厚
み（μｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及びピ
ール強度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第１
表に示す。
み（μｍ）、メタライズ層を形成する成分、中間層の厚
み（μｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及びピ
ール強度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第１
表に示す。
メタライズ層の厚み：上記試料を破断し、その破断面か
ら走査型電子顕微鏡（日本電子株式会社製JSM840型）に
よって測定した。
ら走査型電子顕微鏡（日本電子株式会社製JSM840型）に
よって測定した。
メタライズ層を形成する成分：上記試料のメタライズ層
のＸ線回折から求めた。
のＸ線回折から求めた。
中間層の厚み及び中間層を形成する成分：上記試料を破
断し、その破断面から走査型電子顕微鏡（日本電子株式
会社製JSM840型）およびＸ線マイクロプローブアナリシ
ス（日本電子株式会社製JXA733型）によって測定した。
断し、その破断面から走査型電子顕微鏡（日本電子株式
会社製JSM840型）およびＸ線マイクロプローブアナリシ
ス（日本電子株式会社製JXA733型）によって測定した。
耐熱テスト：上記試料のメタライズ層に電解Niメッキに
よりNi層を２〜５μｍの厚さに形成し850℃で10分間シ
ンターした後、Auメッキを重ねて施す。ついで空気中45
0℃５分間の加熱後、鉄板上で冷却し、上記メッキ層の
剥離を観察する。観察結果は表中に、剥離しなかった試
料を○、剥離した試料を×として記載した。
よりNi層を２〜５μｍの厚さに形成し850℃で10分間シ
ンターした後、Auメッキを重ねて施す。ついで空気中45
0℃５分間の加熱後、鉄板上で冷却し、上記メッキ層の
剥離を観察する。観察結果は表中に、剥離しなかった試
料を○、剥離した試料を×として記載した。
ピール強度：上記試料のメタライズ層に電解Niメッキに
よりNi層を２〜５μｍの厚さに形成し850℃で10分間シ
ンターした後、共晶銀ローをもちいて１×1mmのコパー
ル（コバルトと鉄を含むニッケル合金）板を930℃、５
分間でロー付けし、上記コバール板に接合されたリード
線を接着面に対して垂直方向に向かって0.5mm/secの速
度で引っ張り、上記コバール板が窒化アルミニウム製基
材から剥離したときの強度をピール強度として測定し
た。
よりNi層を２〜５μｍの厚さに形成し850℃で10分間シ
ンターした後、共晶銀ローをもちいて１×1mmのコパー
ル（コバルトと鉄を含むニッケル合金）板を930℃、５
分間でロー付けし、上記コバール板に接合されたリード
線を接着面に対して垂直方向に向かって0.5mm/secの速
度で引っ張り、上記コバール板が窒化アルミニウム製基
材から剥離したときの強度をピール強度として測定し
た。
第１表から次の事がわかった。
試料No.A−１のように、露点が−35℃より低いとメ
タライズ層成分がMo3Siの如く好ましくない化合物が生
成し、耐熱性、ピール強度が悪化する。
タライズ層成分がMo3Siの如く好ましくない化合物が生
成し、耐熱性、ピール強度が悪化する。
試料No.A−６〜７のように、露点が５℃より高いと
中間層に窒素が含まれなく、耐熱性、ピール強度が悪化
する。
中間層に窒素が含まれなく、耐熱性、ピール強度が悪化
する。
尚、メタライズ層中のMn、SiO2は Ｘ線回折で検出されない事から非結晶となっていると思
われる。
われる。
第２実施例 本実施例は、アンモニア分解ガス中において露点−20
℃、第２表に示す温度で１時間焼成した以外は、第１実
施例と同様にして試料を作成した。上記試料は第１実施
例と同様の方法によって、メタライズ層の厚み（μ
ｍ）、メタライズ層を形成する成分、中間層の厚み（μ
ｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及びピール強
度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第２表に示
す。
℃、第２表に示す温度で１時間焼成した以外は、第１実
施例と同様にして試料を作成した。上記試料は第１実施
例と同様の方法によって、メタライズ層の厚み（μ
ｍ）、メタライズ層を形成する成分、中間層の厚み（μ
ｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及びピール強
度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第２表に示
す。
第２表から次の事がわかった。
試料No.B−１のように、非酸化性雰囲気下における
加熱温度が1200℃より低いとメタライズ層と窒化アルミ
ニウム製基材との間で十分に反応がおきない。そのた
め、中間層の厚さが１μｍより薄くなり、耐熱性、ピー
ル強度が悪化する。
加熱温度が1200℃より低いとメタライズ層と窒化アルミ
ニウム製基材との間で十分に反応がおきない。そのた
め、中間層の厚さが１μｍより薄くなり、耐熱性、ピー
ル強度が悪化する。
試料No.B−７のように、非酸化性雰囲気下における
加熱温度が1400℃より高いとメタライズ層と窒化アルミ
ニウム製基材との間で形成される中間層の成分が酸化物
のみとなる。そのため、耐熱性、ピール強度が悪化す
る。又、メタライズ層成分が蒸発を始め十分なメタライ
ズ層が形成できない。
加熱温度が1400℃より高いとメタライズ層と窒化アルミ
ニウム製基材との間で形成される中間層の成分が酸化物
のみとなる。そのため、耐熱性、ピール強度が悪化す
る。又、メタライズ層成分が蒸発を始め十分なメタライ
ズ層が形成できない。
第３実施例 本実施例は、板状窒化アルミニウム製基材に、第３表に
示す活性成分としてSiO2を含むペースト状メタライズ層
成分を厚さ約20μｍで塗布した以外は第１実施例と同様
にして試料を作成した。尚、第３表のメタライズ層成分
中のMo-Mnは、Mo:Mnが8:1である。又、Mo-MnとSiO2との
比は重量％である。
示す活性成分としてSiO2を含むペースト状メタライズ層
成分を厚さ約20μｍで塗布した以外は第１実施例と同様
にして試料を作成した。尚、第３表のメタライズ層成分
中のMo-Mnは、Mo:Mnが8:1である。又、Mo-MnとSiO2との
比は重量％である。
上記試料は第１実施例と同様の方法によって、中間層の
厚み（μｍ）、耐熱テスト及びピール強度（kg/mm2）に
ついて測定し、下記の方法によって形成されたメタライ
ズ層の面積抵抗を測定した。測定結果は第３表に示す。
厚み（μｍ）、耐熱テスト及びピール強度（kg/mm2）に
ついて測定し、下記の方法によって形成されたメタライ
ズ層の面積抵抗を測定した。測定結果は第３表に示す。
面積抵抗：幅1mm、長さ30mmに形成されたメタライズ層
パターンの電気抵抗を四端子法により測定し下式により
算出した。
パターンの電気抵抗を四端子法により測定し下式により
算出した。
面積抵抗ρ′＝Ｒ・W/L ここでR:四端子法により測定された電気抵抗 （ｍΩ） W:上記メタライズ層パターンの幅 （mm） L:上記メタライズ層パターンの長さ （mm） 第３表から次の事がわかった。
試料No.C−２〜５のように、メタライズ層中の活性
成分（SiO2）が３〜30重量％ であるとピール強度、耐熱性に優れると共にメタライズ
層の電気伝導性が優れた表面構造となる。
成分（SiO2）が３〜30重量％ であるとピール強度、耐熱性に優れると共にメタライズ
層の電気伝導性が優れた表面構造となる。
第４実施例 本実施例は、板状窒化アルミニウム製基材に、第４表に
示すペースト状メタライズ層成分を厚さ約20μｍで塗布
した以外は第１実施例と同様にして試料を作成した。
尚、第４表のメタライズ層成分中のMo-Mnは、Mo:Mnが8:
1である。又、Mo-Mn、Mo、Ｗと活性成分との比は重量％
である。
示すペースト状メタライズ層成分を厚さ約20μｍで塗布
した以外は第１実施例と同様にして試料を作成した。
尚、第４表のメタライズ層成分中のMo-Mnは、Mo:Mnが8:
1である。又、Mo-Mn、Mo、Ｗと活性成分との比は重量％
である。
上記試料は第１実施例と同様の方法によって、中間層の
厚み（μｍ）、耐熱テスト及びピール強度（kg/mm2）に
ついて測定した。測定結果は第４表に示す。
厚み（μｍ）、耐熱テスト及びピール強度（kg/mm2）に
ついて測定した。測定結果は第４表に示す。
第４表から次の事がわかった。
試料No.D−１〜24のように、メタライズ層成分がM
g、Ca、Sr、Ba、Ｙ、Ｖ、Ti、Zr、Cr、Nb、Mo、Mn、
Ｂ、Al、Si、La、Hf、Ta及びこれらの酸化物、窒化物中
から選ばれた１種又は２種以上を含み、少なくともその
うちの１種が酸化物であると、耐熱性、ピール強度に優
れた表面構造となる。
g、Ca、Sr、Ba、Ｙ、Ｖ、Ti、Zr、Cr、Nb、Mo、Mn、
Ｂ、Al、Si、La、Hf、Ta及びこれらの酸化物、窒化物中
から選ばれた１種又は２種以上を含み、少なくともその
うちの１種が酸化物であると、耐熱性、ピール強度に優
れた表面構造となる。
第５実施例 本実施例は、平均結晶粒径10μｍ、第５表に示す表面粗
度の板状窒化アルミニウム製基材に、Mo:80重量％、Mn:
10重量％、SiO2:10重量％のペースト状メタライズ層成
分を厚さ約20μｍで塗布した以外は第１実施例と同様に
して試料を作成した。
度の板状窒化アルミニウム製基材に、Mo:80重量％、Mn:
10重量％、SiO2:10重量％のペースト状メタライズ層成
分を厚さ約20μｍで塗布した以外は第１実施例と同様に
して試料を作成した。
上記試料は第１実施例と同様の方法によって、耐熱テス
ト及びピール強度（kg/mm2）について測定した。測定結
果は第５表に示す。
ト及びピール強度（kg/mm2）について測定した。測定結
果は第５表に示す。
第５表から次の事がわかった。
試料No.E−１〜４のように、窒化アルミニウム製基
材の表面粗度が1.5μｍ以下であるとメタライズ層と窒
化アルミニウム製基材との結合が、より強固であり、耐
熱性、ピール強度に優れたものとなる。
材の表面粗度が1.5μｍ以下であるとメタライズ層と窒
化アルミニウム製基材との結合が、より強固であり、耐
熱性、ピール強度に優れたものとなる。
第６実施例 本実施例は、空気中において第６表に示す温度で１時間
加熱処理し、その後露点−20℃のアンモニア分解ガス中
において1300℃で１時間焼成した以外は第１実施例と同
様にして試料を作成した。
加熱処理し、その後露点−20℃のアンモニア分解ガス中
において1300℃で１時間焼成した以外は第１実施例と同
様にして試料を作成した。
上記試料は第１実施例と同様の方法によって、中間層の
厚み（μｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及び
ピール強度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第
６表に示す。
厚み（μｍ）、中間層を形成する成分、耐熱テスト及び
ピール強度（kg/mm2）について測定した。測定結果は第
６表に示す。
第６表から次の事がわかった。
試料No.F−１のように、酸化性雰囲気下における加
熱温度が200℃より低いとメタライズ層と窒化アルミニ
ウム製基材との間で十分な反応がおきない。そのため、
中間層の厚さが１μｍより薄くなり、耐熱性、ピール強
度が悪化する。
熱温度が200℃より低いとメタライズ層と窒化アルミニ
ウム製基材との間で十分な反応がおきない。そのため、
中間層の厚さが１μｍより薄くなり、耐熱性、ピール強
度が悪化する。
試料No.F−６のように、酸化性雰囲気下における加
熱温度が500℃より高いとメタライズ層成分が酸化し、
又メタライズ層と窒化アルミニウム製基材との間で形成
される中間層の成分も酸化物のみとなる。そのため、耐
熱性、ピール強度が悪化する。
熱温度が500℃より高いとメタライズ層成分が酸化し、
又メタライズ層と窒化アルミニウム製基材との間で形成
される中間層の成分も酸化物のみとなる。そのため、耐
熱性、ピール強度が悪化する。
即ち、上記〜から分かるように窒化アルミニウム製
基材の表面構造が熱伝導率、電気特性に優れた性質を持
つためには、中間層が少なくともアルミニウム、窒素及
び酸素を含むことが必要である。
基材の表面構造が熱伝導率、電気特性に優れた性質を持
つためには、中間層が少なくともアルミニウム、窒素及
び酸素を含むことが必要である。
又、そのような窒化アルミニウム製基材の表面構造を製
造するには、メタライズ層成分を塗布された窒化アルミ
ニウム製基材を、酸化雰囲気中200〜500℃と、露点−35
〜５℃の非酸化性雰囲気中1200〜1400℃との２段階の加
熱によって焼成することが必要である。
造するには、メタライズ層成分を塗布された窒化アルミ
ニウム製基材を、酸化雰囲気中200〜500℃と、露点−35
〜５℃の非酸化性雰囲気中1200〜1400℃との２段階の加
熱によって焼成することが必要である。
Claims (2)
- 【請求項１】窒化アルミニウム製基材上に、メタライズ
層と、該メタライズ層と上記窒化アルミニウム製基材と
の間にて酸化と金属化を同時に行なって形成されてなる
中間層と、を有する窒化アルミニウム製基材の表面構造
であって、 上記中間層が少なくともアルミニウム、窒素及び酸素を
含み、かつ該中間層の厚さが１〜20μｍであり、更に窒
化アルミニウム製基材の表面粗度が1.5μｍ以下である
ことを特徴とする窒化アルミニウム製基材の表面構造。 - 【請求項２】上記メタライズ層が、Mo-Mn合金、Mo、Ｗ
のいずれかを主成分とする特許請求の範囲第１項記載の
窒化アルミニウム製基材の表面構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212827A JPH078750B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 窒化アルミニウム製基材の表面構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212827A JPH078750B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 窒化アルミニウム製基材の表面構造 |
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