JP2741900B2 - 水崩壊性エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
水崩壊性エポキシ樹脂組成物Info
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- JP2741900B2 JP2741900B2 JP10596689A JP10596689A JP2741900B2 JP 2741900 B2 JP2741900 B2 JP 2741900B2 JP 10596689 A JP10596689 A JP 10596689A JP 10596689 A JP10596689 A JP 10596689A JP 2741900 B2 JP2741900 B2 JP 2741900B2
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- epoxy resin
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、シリコンウェハーなどの製造に際し、棒状
シリコンインゴットを本組成物で注型、硬化させた後、
これを薄膜状に切断し、その後これを水中に投入して硬
化物を崩壊させ、薄膜状のシリコンウェハーを取り出す
ことのできる水崩壊性エポキシ樹脂組成物に関する。
シリコンインゴットを本組成物で注型、硬化させた後、
これを薄膜状に切断し、その後これを水中に投入して硬
化物を崩壊させ、薄膜状のシリコンウェハーを取り出す
ことのできる水崩壊性エポキシ樹脂組成物に関する。
（従来の技術） 従来、シリコンウェハーなどを製造するには、仮止め
用接着剤として熱溶融性のものが用いられていたが、切
断に際し強度が低い上、切断時に発生する熱により変形
しやすかった。またビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を
用いたものは、硬化物を取り除く際、高温で焼いたり、
強酸・強アルカリを用いたり、また溶媒中に浸漬するこ
とが必要であった。このような方法は危険を伴うため不
都合であった。また硬化物は耐久性が高いため、接着接
合物を剥がしたり、削りとることも事実上不可能でっ
た。
用接着剤として熱溶融性のものが用いられていたが、切
断に際し強度が低い上、切断時に発生する熱により変形
しやすかった。またビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を
用いたものは、硬化物を取り除く際、高温で焼いたり、
強酸・強アルカリを用いたり、また溶媒中に浸漬するこ
とが必要であった。このような方法は危険を伴うため不
都合であった。また硬化物は耐久性が高いため、接着接
合物を剥がしたり、削りとることも事実上不可能でっ
た。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、エポキシ樹脂のもつ接着性及び良好な強度
を有すると共に、水によって容易に崩壊させることがで
きる硬化物を得るための樹脂組成物を提供することにあ
る。
を有すると共に、水によって容易に崩壊させることがで
きる硬化物を得るための樹脂組成物を提供することにあ
る。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、次の成分を含む水崩壊性エポキシ樹脂組成
物である。
物である。
ａ）ヒダントイン型、脂肪族ジグリシジルエーテル型、
ポリグリシジルエーテル型及びジグリシジルエステル型
エポキシ樹脂からなる群より選ばれたエポキシ樹脂、 ｂ）水可溶性の無機又は有機の粉体又は粒体、並びに ｃ）アミン系硬化剤。
ポリグリシジルエーテル型及びジグリシジルエステル型
エポキシ樹脂からなる群より選ばれたエポキシ樹脂、 ｂ）水可溶性の無機又は有機の粉体又は粒体、並びに ｃ）アミン系硬化剤。
本発明に使用されるヒダントイン型エポキシ樹脂とし
ては、次のものがあげられる。
ては、次のものがあげられる。
（式中、R1及びR2は同一又は異なりメチル、エチルのよ
うな低級アルキル基を表し、R3は水素原子又はメチル基
を表し、R4は炭素数１〜８の２価の脂肪族炭化水素基を
表す） 本発明のために、特に式（Ｉ），式（II）又はこれら
の混合物が好ましい。
うな低級アルキル基を表し、R3は水素原子又はメチル基
を表し、R4は炭素数１〜８の２価の脂肪族炭化水素基を
表す） 本発明のために、特に式（Ｉ），式（II）又はこれら
の混合物が好ましい。
脂肪族ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂として
は、次のものがあげられる。
は、次のものがあげられる。
（式中、Ｒは炭素数１〜10、好ましくは２〜６のアルキ
レン基である） ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（ｎ＝
２〜９） ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（ｎ
＝２又は３） ポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としては、次
のものがあげられる。
レン基である） ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（ｎ＝
２〜９） ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（ｎ
＝２又は３） ポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としては、次
のものがあげられる。
ソルビトールポリグリシジルエーテル グリセロールポリグリシジルエーエル ａ）とｂ）の混合物 ジグリシジルエステル型エポキシ樹脂としては、次の
ものがあげられる。
ものがあげられる。
（ｎは１〜８の整数を表す） （グリシジルオキシカルボニル基は好ましくは隣接する
環炭素原子に結合している） これら樹脂はチバガイギー社より市販されており、XB
2869,アラキャスト CY−350,アラルダイト CY−192,
アラルダイト CY−184などがあげられる。
環炭素原子に結合している） これら樹脂はチバガイギー社より市販されており、XB
2869,アラキャスト CY−350,アラルダイト CY−192,
アラルダイト CY−184などがあげられる。
アミン系硬化剤は、用いるエポキシ樹脂によって異な
り、ヒダントイン型エポキシ樹脂及びポリグリシジルエ
ーテル型エポキシ樹脂に対しては、脂肪族アミン又は第
三級アミンがあげられ、これらの具体例としては、ジエ
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエ
チレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサ
メチレンジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン、ト
リメチルヘキサメチレンジアミン、ジプロピレントリア
ミンのような脂肪族一級、二級アミン；トリジメチルア
ミノメチルフェノールのような第三級アミンがあげられ
る。また脂肪族ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂及
びジグリシジルエステル型エポキシ樹脂に対しては、上
記したような第三アミンがあげられる。アミン系硬化剤
の配合割合はエポキシ樹脂100重量部に対し、好ましく
は５〜100重量部であり、５重量部未満では十分に硬化
せず、100重量部をこえると硬化物は強度不足となる。
好ましくは10〜50重量部である。
り、ヒダントイン型エポキシ樹脂及びポリグリシジルエ
ーテル型エポキシ樹脂に対しては、脂肪族アミン又は第
三級アミンがあげられ、これらの具体例としては、ジエ
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエ
チレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサ
メチレンジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン、ト
リメチルヘキサメチレンジアミン、ジプロピレントリア
ミンのような脂肪族一級、二級アミン；トリジメチルア
ミノメチルフェノールのような第三級アミンがあげられ
る。また脂肪族ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂及
びジグリシジルエステル型エポキシ樹脂に対しては、上
記したような第三アミンがあげられる。アミン系硬化剤
の配合割合はエポキシ樹脂100重量部に対し、好ましく
は５〜100重量部であり、５重量部未満では十分に硬化
せず、100重量部をこえると硬化物は強度不足となる。
好ましくは10〜50重量部である。
水可溶性物質としては、25℃の水100gに10g以上が溶
解する化合物であれば特に限定されない。例えば無機化
合物ではNaCl,KCl,NaH2PO4,K4P2O7など、有機化合物で
はＬ−アスコルビン酸、シアナミド、尿素などがあげら
れる。もし酸性やアルカリ性の物質である場合は、両者
を配合して中和するようにして使うとよい。この水可溶
性物質の配合割合は、エポキシ樹脂100重量部に対し10
重量部以上、好ましくは50〜200重量部である。しかし
硬化物の強度及び崩壊性は水可溶性物質の種類や配合量
のみでなく、添加する充填剤等の分散性によっても影響
されるので、樹脂硬化物を水中で崩壊させ浮遊物状態に
するためには、粉体又は粒体の水可溶性物質を用いるこ
とが好ましく、適宜これらの粒径を選択する必要があ
る。
解する化合物であれば特に限定されない。例えば無機化
合物ではNaCl,KCl,NaH2PO4,K4P2O7など、有機化合物で
はＬ−アスコルビン酸、シアナミド、尿素などがあげら
れる。もし酸性やアルカリ性の物質である場合は、両者
を配合して中和するようにして使うとよい。この水可溶
性物質の配合割合は、エポキシ樹脂100重量部に対し10
重量部以上、好ましくは50〜200重量部である。しかし
硬化物の強度及び崩壊性は水可溶性物質の種類や配合量
のみでなく、添加する充填剤等の分散性によっても影響
されるので、樹脂硬化物を水中で崩壊させ浮遊物状態に
するためには、粉体又は粒体の水可溶性物質を用いるこ
とが好ましく、適宜これらの粒径を選択する必要があ
る。
本発明の組成物には、必要に応じて顔料や、アエロジ
ル、カーボンブラックなどのチキソトロピー剤、タル
ク、炭酸カルシウム、珪砂等の充填剤が配合されてもよ
い。
ル、カーボンブラックなどのチキソトロピー剤、タル
ク、炭酸カルシウム、珪砂等の充填剤が配合されてもよ
い。
本発明の組成物は、前記エポキシ樹脂、水可溶性物
質、充填剤などを均一に撹拌混合した樹脂成分と、前記
硬化剤成分の２液型からなる。
質、充填剤などを均一に撹拌混合した樹脂成分と、前記
硬化剤成分の２液型からなる。
さらに本発明は、上記水可溶性物質の代りに水不溶性
の粉体又は粒体を配合しても目的を達する。水不溶性粉
体又は粒体としては、無機物質の水和アルミナ、酸化チ
タン、硫酸バリウム、珪砂、ベントナイト、タルク、炭
酸カルシウム、鉄粉、銅粉などがあげられる。これらの
配合割合も水可溶性物質の配合量と同じである。ただ
し、水不溶性の無機物質を配合した場合の水中での崩壊
後の状態はヒビ割れ状態になり、水可溶性物質を配合し
た場合には水中で浮遊物状態となるのとは異なる。
の粉体又は粒体を配合しても目的を達する。水不溶性粉
体又は粒体としては、無機物質の水和アルミナ、酸化チ
タン、硫酸バリウム、珪砂、ベントナイト、タルク、炭
酸カルシウム、鉄粉、銅粉などがあげられる。これらの
配合割合も水可溶性物質の配合量と同じである。ただ
し、水不溶性の無機物質を配合した場合の水中での崩壊
後の状態はヒビ割れ状態になり、水可溶性物質を配合し
た場合には水中で浮遊物状態となるのとは異なる。
（作用） 本発明のエポキシ樹脂、水可溶性物質及び硬化剤は、
使用時に所定量を容器にとり、常温でガラス棒などを用
いて均一に撹拌混合する。このものは例えば、シリコン
ウェハーを製造するため、シリコンインゴットを注型に
セットし、上記樹脂成分と硬化剤成分とを混合したもの
を流し込み、約80℃で20分間位放置して硬化させる。こ
れを所定の厚さに切断する。この際本発明の樹脂組成物
を使用したものは摩擦熱による変形はない。次にこのウ
ェハーを水中に浸漬又はシャワーをかけることによって
ウェハーのまわりの樹脂が崩壊する。常温付近の水中で
容易に崩壊しないものについては、温水中に浸漬するこ
とにより樹脂が崩壊又は膨潤する。これにより容易にウ
ェハーを取り出すことができる。
使用時に所定量を容器にとり、常温でガラス棒などを用
いて均一に撹拌混合する。このものは例えば、シリコン
ウェハーを製造するため、シリコンインゴットを注型に
セットし、上記樹脂成分と硬化剤成分とを混合したもの
を流し込み、約80℃で20分間位放置して硬化させる。こ
れを所定の厚さに切断する。この際本発明の樹脂組成物
を使用したものは摩擦熱による変形はない。次にこのウ
ェハーを水中に浸漬又はシャワーをかけることによって
ウェハーのまわりの樹脂が崩壊する。常温付近の水中で
容易に崩壊しないものについては、温水中に浸漬するこ
とにより樹脂が崩壊又は膨潤する。これにより容易にウ
ェハーを取り出すことができる。
（実施例） 実施例１〜8,比較例1,2 第１表に記載の組成からなる樹脂成分及び硬化剤成分
の所定量を容器にとり、ガラス棒で撹拌してから、80℃
で20分（実施例４及び８は80℃で60分、実施例５は100
℃で60分）保ち硬化させて試験片を得た。この試験片の
引張せん断強度を調べた。
の所定量を容器にとり、ガラス棒で撹拌してから、80℃
で20分（実施例４及び８は80℃で60分、実施例５は100
℃で60分）保ち硬化させて試験片を得た。この試験片の
引張せん断強度を調べた。
被着体:Al−Al（JIS H 4040,アルミ合金No.2017）2
5×100×1.6mm 表面処理：＃100サンディング後アセトン脱脂 接着面：シングルオーバーラップ25×10mm また、硬化物を水道水に入れた容器に入れ、室温で１
日放置し崩壊性を調べた。これらの結果を第１表に示
す。
5×100×1.6mm 表面処理：＃100サンディング後アセトン脱脂 接着面：シングルオーバーラップ25×10mm また、硬化物を水道水に入れた容器に入れ、室温で１
日放置し崩壊性を調べた。これらの結果を第１表に示
す。
実施例９ 硬化成分の配合量を種々変化させて、硬化状態及び崩
壊性を調べ、その結果を第２表に示した。
壊性を調べ、その結果を第２表に示した。
実施例10 水可溶性成分の配合量を種々変化させて、崩壊性を調
べ、その結果を第３表に示した。
べ、その結果を第３表に示した。
実施例11,12 水不溶性無機粉末を混合した場合の崩壊性を調べ、そ
の結果を第４表に示した。
の結果を第４表に示した。
［発明の効果］ 本発明のエポキシ樹脂組成物は、シリコンウェハーな
どの製造に用いて硬化物は良好な強度を有し、水に投入
すれば容易に崩壊させることができるので、仮止め剤と
して有効である。
どの製造に用いて硬化物は良好な強度を有し、水に投入
すれば容易に崩壊させることができるので、仮止め剤と
して有効である。
Claims (2)
- 【請求項１】次の成分を含む水崩壊性エポキシ樹脂組成
物。 ａ）ヒダントイン型、脂肪族ジグリシジルエーテル型、
ポリグリシジルエーテル型及びジグリシジルエステル型
エポキシ樹脂からなる群より選ばれたエポキシ樹脂 ｂ）水可溶性の無機又は有機の粉体又は粒体、並びに ｃ）アミン系硬化剤。 - 【請求項２】請求項１における水可溶性物質の代りに、
水不溶性の無機粉体又は粒体を用いた、請求項１記載の
水崩壊性エポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10596689A JP2741900B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 水崩壊性エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10596689A JP2741900B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 水崩壊性エポキシ樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284981A JPH02284981A (ja) | 1990-11-22 |
| JP2741900B2 true JP2741900B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=14421530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10596689A Expired - Lifetime JP2741900B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 水崩壊性エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741900B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5599575B2 (ja) * | 2009-04-16 | 2014-10-01 | 電気化学工業株式会社 | 仮固定用接着剤組成物 |
| JP5445286B2 (ja) * | 2010-04-02 | 2014-03-19 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶基板の製造方法 |
| JP5829893B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-12-09 | 株式会社ダイセル | 硬化性エポキシ樹脂組成物 |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP10596689A patent/JP2741900B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02284981A (ja) | 1990-11-22 |
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