JP2736501B2 - Mos型トランジスタのホットキャリア劣化のシミュレーション方法 - Google Patents
Mos型トランジスタのホットキャリア劣化のシミュレーション方法Info
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Description
ホットキャリア劣化のシミュレーション方法に関し、特
にそのシミュレーション方法の精度の改善に関するもの
である。
劣化は、初期のドレイン電流ID に対するドレイン電流
の変化量△ID の割合(△ID /ID )、または初期の
しきい値電圧Vthに対するしきい値電圧の変化量△V th
などによって評価することができる。
劣化のシミュレーション方法は、たとえばIEEE T
rans.Electron Devices,vo
l.35,pp.1004−1011,July 19
88においてKuo at al.によって述べられて
いる。
キャリアストレス条件下において、ホットキャリア劣化
率△ID /ID は次式(1)によって表される。
レス時間を表し、nはトランジスタの製造条件やストレ
ス条件に依存する定数と考えられている。また、係数A
は後述の式で表される。
ID )f になるまでのストレス時間がトランジスタの寿
命時間τN であると考えれば、式(1)から式(2)が
得られる。
が寿命時間τN と定義される。
よれば、N−MOSトランジスタの寿命時間τN は、基
板電流モデルを用いた実験式(3)によって表される。
造条件に依存する係数であり、ISUB は基板電流を表
し、そしてmはインパクトイオン化と界面準位生成に関
係すると考えられている指数を表す。
(4)で表される。 A=(△ID /ID )f ・(W・B・ISUB -m・ID m-1 )-n…(4) したがって、式(1)と(4)から式(5)が得られ
る。
後の時間tまでのストレス量を表す。
トランジスタのホットキャリア劣化をシミュレートする
方法の手順を示すフロー図である。このフロー図におい
て、ステップS1は、式(5)中の未知のパラメータを
予備実験によって抽出するためのサブステップS1a〜
S1eを含んでいる。
における基板電流ISUB を決定するために、予備実験に
おける複数の測定点に関するデータにフィットするよう
に実験式ISUB =g(VG ,VD )が決定される。ここ
で、VG はゲート電圧を表し、VD はドレイン電圧を表
す。基板電流ISUB を決定する方法の一例が、IEEE
Electron Device Lett.,vo
l.EDL−5,pp.505−507,Dec.19
84においてChan et al.によって述べられ
ている。
レス印加前の状態でキャリアの移動度やフラットバンド
電圧などのトランジスタパラメータが、たとえばBSI
M(Berkeley Short−Channel
IGFET Model)法を用いて抽出される。BS
IM法は、IEEE J.Solid−StateCi
rcuits,vol.SC−22,pp.558−5
66,Aug.1987においてSheu et a
l.によって詳述されている。その後、サブステップS
1cにおいて、トランジスタにDCストレスが印加され
る。サブステップS1dにおいては、DCストレス印加
後におけるトランジスタパラメータの抽出が行なわれ
る。
ジスタパラメータの抽出は、ストレス印加前の実際のト
ランジスタの特性とシミュレーションにおけるトランジ
スタの特性を一致させるために必要であり、また、スト
レス印加後の実際のトランジスタのホットキャリア劣化
とトランジスタパラメータの変化がどのように対応する
かを見積もるために必要である。
(3)と予備実験における複数の測定点に関するデータ
との比較から係数Bと指数mが抽出される。
抽出されたパラメータを用いて式(5)の計算が行なわ
れ、これによってN−MOSトランジスタのホットキャ
リア劣化がシミュレートされる。
によるシミュレーションにおいて、式(5)中の指数n
は定数として扱われている。指数nの値は、図19中の
サブステップS1cにおけるDCストレス印加によるホ
ットキャリア劣化を式(1)に基づいて図20のように
プロットすることによって求めることができる。図20
において、横軸はlog(t)を表し、縦軸はlog
(△ID /ID )を表している。たとえば、予備実験に
おける少なくとも2つの測定点のデータ(×印で表され
ている)を結ぶ直線の傾きから式(1)中の指数nの数
値を求めることができる。
においては、一旦予備実験で指数nが決定されれば、そ
れは定数として扱われる。したがって、実際には指数n
がストレス条件に依存して変化する場合には、トランジ
スタパラメータを抽出するためのサブステップS1cに
おけるのと異なるDCストレスの印加によるMOSトラ
ンジスタのホットキャリア劣化をシミュレートするとき
に精度のよい結果が得られない。
するAC(交流)ストレスが印加される場合にも、nは
定数として扱われる先行技術によるシミュレーションで
は満足し得る精度の結果が得られない。
条件依存性を考慮し、DCストレスのみならずACスト
レスの下においてもMOSトランジスタのホットキャリ
ア劣化を高精度でシミュレートし得る方法を提供するこ
とを目的としている。
るN−MOS型トランジスタのホットキャリア劣化のシ
ミュレーション方法は次式(6)と(7)を利用し、 FN (t)=(W・B)-n・ISUB mn・ID (1-m)n・tn …(6) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FN (t)…(7) ここで、FN (t)は時間tまでのホットキャリアスト
レス量を表し、Wはトランジスタのゲート幅を表し、B
はトランジスタの製造条件に依存する係数であり、I
SUB は基板電流を表し、ID はドレイン電流を表し、m
はインパクトイオン化と界面準位生成に関係すると考え
られている指数を表し、(△ID /ID )fは初期のド
レイン電流ID に対するトランジスタの寿命時における
ドレイン電流の変化△ID の割合を表すシミュレーショ
ン方法において、nは定数ではなくてホットキャリアス
トレス時に印加されるゲート電圧VG とドレイン電圧V
D の関数n=g(VG ,VD )として表され、この関数
は予備実験によって決定されることを特徴としている。
トランジスタのホットキャリア劣化のシミュレーション
方法は、次式(20)と(21)を利用し、 FP (t)=B-n・W-mn ・IG mn・tn …(20) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FP (t)…(21) ここで、FP (t)は時間tまでのホットキャリアスト
レス量を表わし、Bはトランジスタの製造条件に依存す
る係数であり、Wはトランジスタのゲート幅を表わし、
IG はゲート電流を表し、mはインパクトイオン化と界
面準位生成に関係すると考えられている指数を表わし、
(△ID /ID )f は初期のドレイン電流ID に対する
トランジスタの寿命時におけるドレイン電流の変化△I
D の割合を表すシミュレーション方法において、nは定
数ではなくてホットキャリアストレス時に印加されるゲ
ート電圧VG とドレイン電圧VD の関数n=g(VG ,
VD)として表され、この関数は予備実験によって決定
されることを特徴としている。
ャリア劣化のシミュレーション方法においては、指数n
が定数ではなくてストレス条件に依存する実験式n=g
(VG ,VD )で与えられるので、先行技術によるシミ
ュレーションに比べて高い精度を得ることができ、また
DCストレスのみならずACストレスによるホットキャ
リア劣化をも精度よくシミュレートすることができる。
によるN−MOSトランジスタのホットキャリア劣化を
シミュレートする手順が示されている。図1のフロー図
は、図19のものに類似しているが、ステップS1が付
加的なサブステップS1fを含んでいる点で異なってい
る。
aにおいて決定された実験式ISUB=f(VG ,VD )
と予備実験データとの関係の一例が示されている。この
グラフにおいて、横軸はゲート電圧VG [V]を表わ
し、縦軸は基板電流ISUB [A]を表している。正方形
の印は、予備実験における測定データを表し、種々のド
レイン電圧VD の下におけるゲート電圧VG と基板電流
ISUB との関係を示している。実線の曲線は実験式I
SUB =f(VG ,VD )を表している。すなわち、たと
えば前述のChan et al.の方法に従って、実
験式ISUB =f(VG ,VD )は予備実験データにより
よくフィットするように定められる。なお、本実施例に
おけるすべての予備実験データは、1.0μmの長さと
10μmの幅を有するゲートを備えたN−MOSトラン
ジスタに関するものである。
bにおけるDCストレス印加前のトランジスタパラメー
タの抽出のためのBSIM法によるシミュレーションの
結果の一例が示されている。このグラフにおいて、横軸
はドレイン電圧VD [V]を表し、縦軸はID [mA]
を表している。×印を結ぶ実線の曲線は、種々のゲート
電圧VG の下におけるトランジスタのVD −ID 特性を
表している。破線の曲線は、実線の曲線にフィットする
ように抽出されたトランジスタパラメータを用いたBS
IM法によるシミュレーション結果を示している。
ずDCストレス印加前にたとえば実際のトランジスタの
特徴的な動作条件であるVD =0.2V,VG =3.3
V、またはVD =3.3V,VG =3.3Vにおけるド
レイン電流ID などが測定される。その後、ドレイン電
圧VD を増大させ、たとえば基板電流が最大となるよう
なDCストレスが所定の時間だけ印加される。その後再
び、トランジスタの特徴的な動作条件であるVD =0.
2V,VG =3.3V、またはVD =3.3V,VG =
3.3Vにおけるドレイン電流ID などが測定される。
それ以後、所定時間のDCストレスの印加とその後のド
レイン電流ID などの測定が繰返され、ストレス時間に
依存するドレイン電流ID などの劣化が測定される。
Cストレスの印加によってホットキャリア劣化を生じた
トランジスタについて、ステップS1bにおけるBSI
M法と同様に、トランジスタパラメータが求められる。
レスを10000秒印加した後におけるBSIM法によ
るシミュレーションの結果を示している。図3と図4の
比較からわかるように、DCストレス印加後のドレイン
電流ID は、DCストレス印加前に比べて減少してい
る。図3と図4などから、抽出されたトランジスタパラ
メータの時間依存性を表す実験式が決定される。
eにおいて係数Bと指数mを抽出するための予備実験の
データが示されている。このグラフにおいて、横軸はI
SUB/ID を表し、縦軸はτ・ID /W[C/m]を表
している。○印で表された測定点を結ぶ複数の直線は、
種々のゲート・ドレイン間電圧VGD=VG −VD の下に
おけるISUB /ID とτN ・ID /Wとの関係を表して
いる。式(3)は、次式(8)に書替えられ得る。
(8) すなわち、図5における直線の傾きは−mを表し、lo
g(ISUB /ID )=0における縦軸の値がlog
(B)を表す。
log(B)とが示されている。このグラフにおいて、
横軸はゲート・ドレイン間電圧VGD=VG −VD を表
し、左側の縦軸はmを表し、そして右側の縦軸はlog
(B)を表している。図6からわかるように、mとlo
g(B)の値はDCストレス中のゲート電圧VG とドレ
イン電圧VD に依存し、それらはゲート・ドレイン間電
圧VGDの二次関数として表され得る。図5の例において
は、mとlog(B)はそれぞれ次式(9)と(10)
で表され得る。
=g(VG ,VD )を決定するための予備実験データが
示されている。このグラフにおいて、横軸はストレス時
間t[sec]を表し、縦軸はホットキャリア劣化率△
ID /ID [%]を表している。この予備実験はドレイ
ン電圧VD =5.5Vで行なわれ、複数の直線は種々の
ゲート電圧VG の下におけるストレス時間tとホットキ
ャリア劣化率△ID /ID との関係を表している。すな
わち、式(1)から理解されるように、図7における直
線の傾きは式(1)中の指数nに対応している。
している。このグラフにおいて、横軸はゲート・ドレイ
ン間電圧VGD=VG −VD を表し、縦軸はnを表してい
る。図8からわかるように、nは一定の値を有するので
はなくて、DCストレス中のゲート電圧VG とドレイン
電圧VD に依存して変化する。図8の例においては、n
は次式(11)のような二次関数で表され得る。
表すことも可能である。
D )ではなくて(VG /VD )の関数として表したもの
である。すなわち、このグラフにおいて横軸はVG /V
D を表し、縦軸はnを表している。図9中の曲線は次式
(13)で表され得る。
パラメータを用いて、ステップS2において、式(5)
に基づいてホットキャリアストレス劣化率△I D /ID
が計算される。
ミュレーションと従来のシミュレーションの結果が比較
して示されている。このグラフにおいて、横軸はストレ
ス時間t[sec]を表し、縦軸はホットキャリア劣化
率△ID /ID [%]を表している。ストレス条件とし
て、VD =5.5VとVG =5.5Vが用いられてい
る。実線の直線は測定データを表し、破線の直線は本実
施例によるシミュレーション結果を表し、そして一点鎖
線の直線は従来のシミュレーション方法の結果を表して
いる。従来のシミュレーション方法においては、通常は
基板電流ISUB が最大となる条件の下にnの値が決定さ
れ、通常それは0.50〜0.55の範囲内にある。他
方、本実施例のシミュレーションにおいては、nは関数
n=g(VG ,VD )によって決定される。図10の場
合、VD =5.5VでかつVG =5.5Vであるので、
式(12)に基づいてn=0.36が用いられている。
図10から明らかなように、ゲート電圧VG とドレイン
電圧VD に依存して決定されるnの値を用いる本実施例
によるシミュレーションは、従来のシミュレーション方
法に比べて高い精度を有することが理解されよう。
のドレイン電圧VD と種々のゲート電圧VG の下におけ
る本実施例によるシミュレーション結果を示している。
このグラフにおいて黒三角,△,●および○の印は測定
データを表し、実線の直線は本実施例によるシミュレー
ション結果を表している。この図からわかるように、D
Cストレス条件が種々に変化したとしても、本実施例に
よればホットキャリア劣化率△ID /ID が高い精度で
シミュレートされ得ることが理解されよう。
法によれば種々のゲート電圧VG とドレイン電圧VD の
下においても精度よくホットキャリア劣化△ID /ID
を予測し得るので、ゲート電圧VG やドレイン電圧VD
が時間に依存して変動するACストレスの下でのホット
キャリア劣化をも精度よく予測することができる。
ンでは、次式(15)と(16)を利用すればよい。
後におけるストレス量を表している。
間に依存して周期的に変化するACストレスの場合、式
(15)と(16)の代わりに次式(17)と(18)
を利用することができる。
ストレスがt時間印加された後のストレス量を表し、r
は周期数を表す。
Cストレスが1000秒印加された後におけるホットキ
ャリア劣化率△ID /ID の実験データとシミュレーシ
ョンとの関係が示されている。このグラフにおいて、横
軸はゲート電圧VG [V]を表し、縦軸はホットキャリ
ア劣化率△ID /ID [%]を表している。DCストレ
スにおいては、横軸に示されたゲート電圧VG が印加さ
れる。ACストレスにおいては、ゲート電圧VG は0V
の低レベルと横軸で示された数値を有する高レベルとの
間で矩形波状に変動させられる。その矩形波は10kH
zの周波数と50%のデューティ比を有し、立上り時間
と立下り時間はいずれも5μsecである。また、ドレ
イン電圧VD は、DCストレスとACストレスのいずれ
の場合にも5.5Vが用いられている。図12からわか
るように、本発明のシミュレーションによれば、どのよ
うなストレス条件においても精度の高いホットキャリア
劣化率△ID /ID の予測が可能であることが理解され
よう。
によるシミュレーションが説明される。
E Trans.ElectronDevices,v
ol.37,pp.1658−1666,July 1
990においてOng et al.によって述べられ
ているように、前述の基板電流モデルの代わりにゲート
電流モデルが用いられる。すなわち、式(3)の代わり
に式(19)が用いられ、式(6)の代わりに式(2
0)が用いられる。
し、FP (t)は時間tにおけるストレス量を表す。す
なわち、P−MOSトランジスタのホットキャリア劣化
率△ID /ID は次式(21)で表される。
順は基本的には図1に示されたものと同様であるが、サ
ブステップS1a,S1eおよびステップS2が一部変
更される。
いては、基板電流I SUB が求められるのではなくて、ラ
ッキーエレクトロンモデルを用いてゲート電流IG が求
められる。ラッキーエレクトロンモデルを用いてゲート
電流IG を求める方法は、IEEE Trans.El
ectron Devices,vol.ED−31,
pp.1116−1125,Sep.1984において
Tam et al.によって述べられている。
タについて求められた予備実験のデータとそれにフィッ
トさせられた関数IG =f(VG ,VD )との関係が示
されている。このグラフにおいて、横軸はゲート電圧−
VG [V]を表し、縦軸はゲート電流IG [A]を表し
ている。正方形の印は種々のドレイン電圧の下における
予備実験データを表し、実線の曲線はそれらの実験デー
タにフィットさせられた関数IG =f(VG ,VD )を
表している。
S1eにおける式(3)の代りに式(19)における係
数Bと指数mが抽出される。このグラフにおいて、横軸
はI G /W[A/m]を表し、縦軸はτP [sec]を
表している。測定点を結ぶ直線の傾きは−mを表し、そ
の直線がlog(IG /W)=0のときに通過する縦座
標がlog(B)に対応する。
て求められたnを表している。このグラフにおいて、横
軸はゲート・ドレイン間電圧VGD=VG −VD を表し、
縦軸はnを表している。図15の例においては、nは次
式(22)で表される。
で表されている。図16の例においては、nは次式(2
3)で表される。
たパラメータを用いて、図1のステップS2において、
式(5)ではなくて式(21)によってホットキャリア
劣化がシミュレートされる。
に関するシミュレーション結果が示されている。このグ
ラフにおいて、実線の曲線は実験データを示し、破線の
曲線はゲート電流モデルに基づく式(21)を用いたシ
ミュレーションを表し、そして点線の曲線は基板電流モ
デルに基づいた式(6)を用いたシミュレーションを表
している。この図から明らかなように、P−MOSトラ
ンジスタに関しては、式(7)を用いる代わりに式(2
1)を用いることによって、より高い精度のシミュレー
ションが可能になることが理解されよう。
の場合と同様に、P−MOSトランジスタの場合にも種
々の条件下におけるDCストレスやACストレスにおけ
る高精度のシミュレーションが可能となる。ACストレ
スの下におけるホットキャリア劣化率△ID /ID のシ
ミュレーションにおいては、N−MOSトランジスタの
場合の式(15)および(16)と同様な次式(24)
および(25)を用いることができる。
た後におけるストレス量を表す。
(17)および(18)と同様な次式(26)および
(27)を用いることができる。
Cストレスがt時間印加された後におけるストレス量を
表す。また、rは周波数を表す。
において1000秒経過後におけるホットキャリア劣化
率△ID /ID が示されている。このグラフにおいて、
横軸はゲート電圧−VG [V]を表し、縦軸はホットキ
ャリア劣化率△ID /ID [%]を表している。○印を
結ぶ実線の曲線はDCストレス下における実験データを
示し、破線の曲線はシミュレーション結果を示してい
る。△印を結ぶ実線の曲線はACストレス下における実
験データを示し、破線の曲線はシミュレーション結果を
示している。ACストレスにおいては、図12における
場合と同様に、ゲート電圧VG は0Vと横軸に示された
電圧値との間で周期的に変動させられている。また、D
CストレスとACストレスのいずれの場合にもドレイン
電圧として−8.0Vが印加されている。以上のよう
に、本発明によれば、P−MOSトランジスタにおいて
も、種々のストレス条件下でホットキャリア劣化率△I
D /I D を精度よくシミュレートし得ることが理解され
よう。
レーションに用いられる式の中の指数nが定数ではなく
てストレス条件に依存する実験式n=g(VG ,VD )
で与えられるので、先行技術によるシミュレーションに
比べて高い精度を得ることができ、DCストレスのみな
らずACストレスによるホットキャリア劣化をも精度よ
くシミュレートすることができる。
タのホットキャリア劣化のシミュレーションにおける手
順を示すフロー図である。
れたISUB =f(VG ,VD )を表すグラフである。
ス印加前のトランジスタパラメータを抽出するためのB
SIM法によるシミュレーション結果を示すグラフであ
る。
ス印加後のトランジスタパラメータの抽出のためのBI
SM法によるシミュレーション結果を示すグラフであ
る。
数mを抽出するための予備実験データを示すグラフであ
る。
g(B)を示すグラフである。
G ,VD )を抽出するための予備実験データを示すグラ
フである。
(VG ,VD )を示すグラフである。
変更したグラフである。
タに関するシミュレーションと従来のシミュレーション
における精度の比較を示すグラフである。
によるN−MOSトランジスタに関するシミュレーショ
ンの結果を示すグラフである。
印加した後におけるN−MOSトランジスタに関するホ
ットキャリア劣化率△ID /ID を示すグラフである。
ションにおいて、予備実験データから求められたゲート
電流にフィットさせられた関数IG =f(VG ,VD )
を示すグラフである。
るための予備実験データを示すグラフである。
関数n=g(VG ,VD )を示すグラフである。
VD )に変更されたグラフである。
デルに基づくシミュレーション結果とゲート電流モデル
に基づくシミュレーション結果を比較するグラフであ
る。
スまたはACストレスが1000秒印加された後におけ
るホットキャリア劣化率△ID /ID を示すグラフであ
る。
化に関する従来のシミュレーション方法の手順を示すフ
ロー図である。
る方法を示すグラフである。
抽出するステップ S1a ISUB またはIG を抽出するサブステップ S1b DCストレス印加前のトランジスタパラメー
タを抽出するサブステップ S1c DCストレスを印加するサブステップ S1d DCストレス印加後のトランジスタパラメー
タを抽出するサブステップ S1e MOSトランジスタの寿命時間τN またはτ
P を表す式における係数Bと指数mを抽出するサブステ
ップ S1f 関数n=g(VG ,VD )を抽出するサブス
テップ S2 ステップS1において抽出された種々の変数に
基づいてホットキャリア劣化率を計算するステップ
Claims (12)
- 【請求項1】 N−MOS型トランジスタのホットキャ
リア劣化のシミュレーション方法であって、次式(6)
と(7)を利用し FN (t)=(W・B)-n・ISUB mn・ID (1-m)n・tn …(6) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FN (t)…(7) ここで、FN (t)は時間tまでのホットキャリアスト
レス量を表し、Wはトランジスタのゲート幅を表し、B
はトランジスタの製造条件に依存する係数であり、I
SUB は基板電流を表し、ID はドレイン電流を表し、m
はインパクトイオン化と界面準位生成に関係すると考え
られている指数を表わし、(△ID /ID )f は初期の
ドレイン電流ID に対するトランジスタの寿命時におけ
るドレイン電流の変化△ID の割合を表すシミュレーシ
ョン方法において、 nは定数ではなくてホットキャリアストレスに印加され
るゲート電圧VG とドレイン電圧VD の関数n=g(V
G ,VD )として表され、この関数は予備実験によって
決定されることを特徴とするシミュレーション方法。 - 【請求項2】 前記関数n=g(VG ,VD )は g(VG ,VD )=a+b・(VG −VD )i +c・(VG −VD )j …(1 1) で表され、a,b,c,iおよびjは予備実験によって
定められる実数であることを特徴とする請求項1のシミ
ュレーション方法。 - 【請求項3】 前記関数n=g(VG ,VD )は g(VG ,VD )=a+b・(VG /VD )i +c・(VG /VD )j …(1 3) で表され、a,b,c,iおよびjは予備実験によって
定められる実数であることを特徴とする請求項1のシミ
ュレーション方法。 - 【請求項4】 i=1かつj=2であることを特徴とす
る、請求項2または3のシミュレーション方法。 - 【請求項5】 時間に依存してホットキャリアストレス
条件が変化する場合において、次式(15)と(16) FNAC (t)=∫{δFN (t)/δt}dt…(15) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FNAC (t)…(16) を利用することを特徴とする請求項1ないし4のいずれ
かの項に記載されたシミュレーション方法。 - 【請求項6】 ホットキャリアストレス条件が時間に依
存して周期的に変化する場合において、次式(17)と
(18) 【数1】 を利用し、ここでTは1周期の時間を表わし、rは周期
数を表すことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか
の項に記載されたシミュレーション方法。 - 【請求項7】 P−MOS型トランジスタのホットキャ
リア劣化のシミュレーション方法であって、次式(2
0)と(21)を利用し、 FP (t)=B-n・W-mn ・IG mn・tn …(20) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FP (t)…(21) ここで、FP (t)は時間tまでのホットキャリアスト
レス量を表わし、Bはトランジスタの製造条件に依存す
る係数であり、Wはトランジスタのゲート幅を表わし、
IG はゲート電流を表し、mはインパクトイオン化と界
面準位生成に関係すると考えられている指数を表わし、
(△ID /ID )f は初期のドレイン電流ID に対する
トランジスタの寿命時におけるドレイン電流の変化△I
D の割合を表すシミュレーション方法において、 nは定数ではなくてホットキャリアストレスに印加され
るゲート電圧VG とドレイン電圧VD の関数n=g(V
G ,VD )として表され、この関数は予備実験によって
決定されることを特徴とするシミュレーション方法。 - 【請求項8】 前記関数n=g(VG ,VD )は g(VG ,VD )=a+b・(VG −VD )i +c・(VG −VD )j …(1 1) で表され、a,b,c,iおよびjは予備実験によって
定められる実数であることを特徴とする請求項7のシミ
ュレーション方法。 - 【請求項9】 前記関数n=g(VG ,VD )は g(VG ,VD )=a+b・(VG /VD )i +c・(VG /VD )j …(1 3) で表され、a,b,c,iおよびjは予備実験によって
定められる実数であることを特徴とする請求項7のシミ
ュレーション方法。 - 【請求項10】 i=1かつj=2であることを特徴と
する、請求項8または9のシミュレーション方法。 - 【請求項11】 時間に依存してホットキャリアストレ
ス条件が変化する場合において、次式(24)と(2
5) FPAC (t)=∫{δFP (t)/δt}dt…(24) △ID /ID =(△ID /ID )f ・FPAC (t)…(25) を利用することを特徴とする請求項7ないし10のいず
れかの項に記載されたシミュレーション方法。 - 【請求項12】 ホットキャリアストレス条件が時間に
依存して周期的に変化する場合において、次式(26)
と(27) 【数2】 を利用し、ここでTは1周期の時間を表わし、rは周期
数を表わすことを特徴とする請求項7ないし10のいず
れかの項に記載されたシミュレーション方法。
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