JP2730806B2 - 固体撮像素子の評価方法 - Google Patents
固体撮像素子の評価方法Info
- Publication number
- JP2730806B2 JP2730806B2 JP3030518A JP3051891A JP2730806B2 JP 2730806 B2 JP2730806 B2 JP 2730806B2 JP 3030518 A JP3030518 A JP 3030518A JP 3051891 A JP3051891 A JP 3051891A JP 2730806 B2 JP2730806 B2 JP 2730806B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- data
- color
- color data
- calculated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の電気的
特性を検査し、判定する固体撮像素子の評価方法に関す
るものである。
特性を検査し、判定する固体撮像素子の評価方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体撮像素子の民生、産業分野へ
の進出は目覚ましく、特に、民生用のビデオカメラにお
いては、ほぼ100 ％固体撮像素子が使用されている。
の進出は目覚ましく、特に、民生用のビデオカメラにお
いては、ほぼ100 ％固体撮像素子が使用されている。
【０００３】ビデオカメラ用の固体撮像素子は通常、カ
ラーフィルタによりカラー化されており、カラー信号が
得られる構造になっているため、電気的特性の中にカラ
ー画像の画質に対する規定が設けられており、これらの
規定を満足する製品を正確かつ迅速に検査し、選別する
ことが必要である。
ラーフィルタによりカラー化されており、カラー信号が
得られる構造になっているため、電気的特性の中にカラ
ー画像の画質に対する規定が設けられており、これらの
規定を満足する製品を正確かつ迅速に検査し、選別する
ことが必要である。
【０００４】固体撮像素子の電気的特性を検査して選別
する手段としては、まず、ウェハ状態でテスタにより自
動選別し、次に組立後にテスタまたは実装評価装置によ
り選別するのが一般的である。
する手段としては、まず、ウェハ状態でテスタにより自
動選別し、次に組立後にテスタまたは実装評価装置によ
り選別するのが一般的である。
【０００５】ここで、テスタを用いた固体撮像素子の欠
陥検査方法を図２のブロック図に基づいて説明する。ま
ず、固体撮像素子10からの信号である画像データがテス
タ内部または外部の画像記憶装置11に画素毎に記憶され
る。次に、この記憶された画像データの欠陥を検出する
ために、平均値算出手段12で上記記憶された画像データ
の平均値が算出される。そして上記平均値とあらかじめ
定められた定数を用いてしきい値算出手段13により欠陥
判定用のしきい値が算出される。さらに比較手段14によ
り、上記画素毎に記憶された画像データと上記欠陥判定
用のしきい値を画素毎に比較し、しきい値を越える画素
データを欠陥として判定手段15で判定していた。
陥検査方法を図２のブロック図に基づいて説明する。ま
ず、固体撮像素子10からの信号である画像データがテス
タ内部または外部の画像記憶装置11に画素毎に記憶され
る。次に、この記憶された画像データの欠陥を検出する
ために、平均値算出手段12で上記記憶された画像データ
の平均値が算出される。そして上記平均値とあらかじめ
定められた定数を用いてしきい値算出手段13により欠陥
判定用のしきい値が算出される。さらに比較手段14によ
り、上記画素毎に記憶された画像データと上記欠陥判定
用のしきい値を画素毎に比較し、しきい値を越える画素
データを欠陥として判定手段15で判定していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の評
価方法によると、画像データの平均値に基づいて算出さ
れたしきい値により欠陥の判定が行われているため、平
均値に対して明瞭なコントラストを持つ欠陥の判定は可
能であるが、カラー画像で問題となるコントラストの弱
い欠陥、いわゆる色シミ、色ムラの判定は不可能であ
る。そのため、色シミ、色ムラの検査は、固体撮像素子
10からの画像データをモニタテレビに入力し、目視によ
り行わねばならず、正確かつ迅速な選別が困難であっ
た。
価方法によると、画像データの平均値に基づいて算出さ
れたしきい値により欠陥の判定が行われているため、平
均値に対して明瞭なコントラストを持つ欠陥の判定は可
能であるが、カラー画像で問題となるコントラストの弱
い欠陥、いわゆる色シミ、色ムラの判定は不可能であ
る。そのため、色シミ、色ムラの検査は、固体撮像素子
10からの画像データをモニタテレビに入力し、目視によ
り行わねばならず、正確かつ迅速な選別が困難であっ
た。
【０００７】本発明は上記問題を解消するもので、コン
トラストの弱い欠陥いわゆる色シミ、色ムラの判定を自
動的に行うことができる固体撮像素子の評価方法を提供
することを目的とするものである。
トラストの弱い欠陥いわゆる色シミ、色ムラの判定を自
動的に行うことができる固体撮像素子の評価方法を提供
することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の固体撮像素子の評価方法は、カラー化された
固体撮像素子からの画像データを複数個の領域に分割
し、分割された各領域内に複数種存在する色データにつ
いて、同種の色データ毎に上記各領域内での平均値を算
出し、上記平均値を全領域において同種の色データ毎に
比較して最大値と最小値を全種の色データについて算出
し、同種の色データ毎に上記最大値と上記最小値の差デ
ータを全種の色データについて算出し、この差データと
あらかじめ設定されたしきい値とを比較して電気的特性
を判定するものである。
に本発明の固体撮像素子の評価方法は、カラー化された
固体撮像素子からの画像データを複数個の領域に分割
し、分割された各領域内に複数種存在する色データにつ
いて、同種の色データ毎に上記各領域内での平均値を算
出し、上記平均値を全領域において同種の色データ毎に
比較して最大値と最小値を全種の色データについて算出
し、同種の色データ毎に上記最大値と上記最小値の差デ
ータを全種の色データについて算出し、この差データと
あらかじめ設定されたしきい値とを比較して電気的特性
を判定するものである。
【０００９】
【作用】上記構成のように、カラー化された固体撮像素
子からの画像データを複数個の領域に分割し、分割され
た各領域内に複数種存在する色データについて、同種の
色データ毎に上記各領域内での平均値を算出し、上記平
均値を全領域において同種の色データ毎に比較して最大
値と最小値を全種の色データについて算出し、同種の色
データ毎に上記最大値と上記最小値の差データを全種の
色データについて算出し、この差データとあらかじめ設
定されたしきい値とを比較してその合否の判定をするこ
とにより、カラー画像で問題となるコントラストの弱い
欠陥いわゆる色シミ、色ムラの判定を自動的に行う。
子からの画像データを複数個の領域に分割し、分割され
た各領域内に複数種存在する色データについて、同種の
色データ毎に上記各領域内での平均値を算出し、上記平
均値を全領域において同種の色データ毎に比較して最大
値と最小値を全種の色データについて算出し、同種の色
データ毎に上記最大値と上記最小値の差データを全種の
色データについて算出し、この差データとあらかじめ設
定されたしきい値とを比較してその合否の判定をするこ
とにより、カラー画像で問題となるコントラストの弱い
欠陥いわゆる色シミ、色ムラの判定を自動的に行う。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例における固体撮像素子
の評価方法を説明するブロック図である。
明する。図１は本発明の一実施例における固体撮像素子
の評価方法を説明するブロック図である。
【００１１】図１において、カラー化された固体撮像素
子１からの画像データ全体はテスタに取り込まれ、この
画像データはテスタの内部または外部の画像記憶装置２
に記憶される。この記憶された画像データは色データ変
換手段３に送られ、ここで複数種の色データに変換され
る。その後、画像分割手段４により色データ全体は複数
個の領域に分割され、さらに平均値算出手段５により同
種の色データ毎に上記領域内での平均値が算出される。
そして比較手段６により上記平均値は全領域において同
種の色データ毎に比較され、最大値と最小値が全種の色
データについて算出される。そして、差データ算出手段
７により、同種の色データ毎に上記最大値と上記最小値
の差データが全種の色データについて算出される。この
後、比較判定手段８により上記差データとあらかじめ設
定されたしきい値とが比較され、その比較結果に基づい
て判定手段９で電気的特性の判定が行われ、合否の判定
が行われる。
子１からの画像データ全体はテスタに取り込まれ、この
画像データはテスタの内部または外部の画像記憶装置２
に記憶される。この記憶された画像データは色データ変
換手段３に送られ、ここで複数種の色データに変換され
る。その後、画像分割手段４により色データ全体は複数
個の領域に分割され、さらに平均値算出手段５により同
種の色データ毎に上記領域内での平均値が算出される。
そして比較手段６により上記平均値は全領域において同
種の色データ毎に比較され、最大値と最小値が全種の色
データについて算出される。そして、差データ算出手段
７により、同種の色データ毎に上記最大値と上記最小値
の差データが全種の色データについて算出される。この
後、比較判定手段８により上記差データとあらかじめ設
定されたしきい値とが比較され、その比較結果に基づい
て判定手段９で電気的特性の判定が行われ、合否の判定
が行われる。
【００１２】このように本実施例によれば、色データの
全画像領域内での最大値と最小値の差を算出し、その差
とあらかじめ設定されたしきい値とを比較するため、カ
ラー画像で問題となるコントラストの弱い欠陥、いわゆ
る色シミ、色ムラの判定を自動的に行うことができる。
全画像領域内での最大値と最小値の差を算出し、その差
とあらかじめ設定されたしきい値とを比較するため、カ
ラー画像で問題となるコントラストの弱い欠陥、いわゆ
る色シミ、色ムラの判定を自動的に行うことができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、カラー化
された固体撮像素子を複数個の領域に分割し、各領域に
おける色データの平均値を算出し、領域間での上記平均
値の最大値と最小値を算出し、その差データを使用して
固体撮像素子の合否の判定を行うため、従来のようにデ
ータ平均値からしきい値を算出し、このしきい値と上記
データ平均値を比較する使用する方法とは異なり、カラ
ー画像で問題となるコントラストの弱い欠陥、いわゆる
色シミ、色ムラの判定をテスタにより自動的に正確かつ
迅速に行うことができる。
された固体撮像素子を複数個の領域に分割し、各領域に
おける色データの平均値を算出し、領域間での上記平均
値の最大値と最小値を算出し、その差データを使用して
固体撮像素子の合否の判定を行うため、従来のようにデ
ータ平均値からしきい値を算出し、このしきい値と上記
データ平均値を比較する使用する方法とは異なり、カラ
ー画像で問題となるコントラストの弱い欠陥、いわゆる
色シミ、色ムラの判定をテスタにより自動的に正確かつ
迅速に行うことができる。
【図１】本発明の一実施例における固体撮像素子の評価
方法を説明するブロック図である。
方法を説明するブロック図である。
【図２】従来の固体撮像素子の評価方法を説明するブロ
ック図である。
ック図である。
１ カラー化された固体撮像素子 ２ 画像記憶装置 ３ 色データ変換手段 ４ 画面分割手段 ５ 平均値算出手段 ６ 比較手段 ７ 差データ算出手段 ８ 比較判定手段 ９ 判定手段
Claims (1)
- 【請求項１】 カラー化された固体撮像素子からの画像
データを複数個の領域に分割し、分割された各領域内に
複数種存在する色データについて、同種の色データ毎に
上記各領域内での平均値を算出し、上記平均値を全領域
において同種の色データ毎に比較して最大値と最小値を
全種の色データについて算出し、同種の色データ毎に上
記最大値と上記最小値の差データを全種の色データにつ
いて算出し、この差データとあらかじめ設定されたしき
い値とを比較して電気的特性を判定する固体撮像素子の
評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030518A JP2730806B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 固体撮像素子の評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030518A JP2730806B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 固体撮像素子の評価方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04270592A JPH04270592A (ja) | 1992-09-25 |
| JP2730806B2 true JP2730806B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=12306034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3030518A Expired - Lifetime JP2730806B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 固体撮像素子の評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730806B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4595576B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-12-08 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子の検査方法、検査用プログラム、及び電子カメラ |
| JP4657869B2 (ja) | 2005-09-27 | 2011-03-23 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置、イメージセンサデバイス、イメージセンサモジュール、画像処理装置、デジタル画像品質テスタ、欠陥検出方法、欠陥検出プログラム、およびコンピュータ読取可能な記録媒体 |
| CN112903703A (zh) * | 2021-01-27 | 2021-06-04 | 广东职业技术学院 | 一种基于图像处理的陶瓷表面缺陷检测方法及系统 |
-
1991
- 1991-02-26 JP JP3030518A patent/JP2730806B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04270592A (ja) | 1992-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6381357B1 (en) | Hi-speed deterministic approach in detecting defective pixels within an image sensor | |
| JP4378746B2 (ja) | 欠陥ピクセルの検出可能なディジタル・イメージ・センサおよび方法 | |
| US20050243181A1 (en) | Device and method of detection of erroneous image sample data of defective image samples | |
| US6229331B1 (en) | Apparatus for and method of inspecting patterns on semiconductor integrated devices | |
| JP4244046B2 (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
| JP2730806B2 (ja) | 固体撮像素子の評価方法 | |
| JP4579570B2 (ja) | シェーディング処理方法 | |
| US6795118B1 (en) | Testing of solid-state image sensors | |
| JPH08145907A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2672735B2 (ja) | 固体撮像素子の検査方法 | |
| KR100591853B1 (ko) | Ｌｃｄ 모듈 검사 방법 및 장치 | |
| JP2711643B2 (ja) | 検査対象物の表面傷検出装置及び方法 | |
| JPH07162762A (ja) | しきい値算出装置 | |
| JPH05130512A (ja) | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 | |
| JP2945423B2 (ja) | カラー画像信号評価方法 | |
| JP2877279B2 (ja) | Ｔｉｇ溶接のアーク形状検出装置 | |
| JP2870848B2 (ja) | カラー画像信号の評価方法及びこの評価方法を用いたカラー画像信号評価装置 | |
| JPH09161066A (ja) | 画像処理装置 | |
| CN111508397B (zh) | 显示面板的检测方法和显示面板的检测装置 | |
| EP0428626B1 (en) | Automated system for testing an imaging sensor | |
| JP2945417B2 (ja) | カラー画像信号評価方法 | |
| JPH03208377A (ja) | 固体撮像素子の検査方法 | |
| JPH04270593A (ja) | 固体撮像素子の評価方法 | |
| JPH0766443B2 (ja) | 画質検査方法 | |
| KR19990054121A (ko) | 카메라의 자동 조정검사장치 및 방법 |