JP2672735B2 - 固体撮像素子の検査方法 - Google Patents
固体撮像素子の検査方法Info
- Publication number
- JP2672735B2 JP2672735B2 JP22583591A JP22583591A JP2672735B2 JP 2672735 B2 JP2672735 B2 JP 2672735B2 JP 22583591 A JP22583591 A JP 22583591A JP 22583591 A JP22583591 A JP 22583591A JP 2672735 B2 JP2672735 B2 JP 2672735B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- solid
- color
- color data
- state image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の電気的
特性を評価し、判定する固体撮像素子の検査方法に関す
る。
特性を評価し、判定する固体撮像素子の検査方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体撮像素子の民生，産業分野へ
の進出は目覚ましく、特に民生用のビデオカメラにおい
てはほぼ１００％固体撮像素子が使用されている。
の進出は目覚ましく、特に民生用のビデオカメラにおい
てはほぼ１００％固体撮像素子が使用されている。
【０００３】ビデオカメラ用の固体撮像素子は、通常カ
ラーフィルタを装着してカラー化されてカラー信号が得
られる構造になっているため、電気的特性の中にカラー
画像の画質に対する規定が設けられている。この規定を
満足する製品を正確かつ迅速に検査し、選別することが
必要である。
ラーフィルタを装着してカラー化されてカラー信号が得
られる構造になっているため、電気的特性の中にカラー
画像の画質に対する規定が設けられている。この規定を
満足する製品を正確かつ迅速に検査し、選別することが
必要である。
【０００４】以下に従来の固体撮像素子の検査方法につ
いて説明する。固体撮像素子の電気的特性を評価して選
別する手段としては、まずウェハ状態でテスタにより自
動選別し、次に組立後にテスタまたは実装検査装置によ
り選別するのが一般的である。
いて説明する。固体撮像素子の電気的特性を評価して選
別する手段としては、まずウェハ状態でテスタにより自
動選別し、次に組立後にテスタまたは実装検査装置によ
り選別するのが一般的である。
【０００５】ここでカラー画像の画質検査の一つである
色むら検査をテスタを用いて行う方法について、図２の
ブロック図を参照しながら説明する。
色むら検査をテスタを用いて行う方法について、図２の
ブロック図を参照しながら説明する。
【０００６】まずカラー化された固体撮像素子１２から
の信号、すなわち画像データがテスタ内部または外部の
画像記憶装置１３に画素毎に記憶される。次に、この記
憶された画像データは色データ変換手段１４に送られ、
ここで複数種の色データに変換される。次に、画像分割
手段１５により色データ全体を複数個の領域に分割し、
さらに平均値算出手段１６により同種の色データ毎に上
記の領域内での平均値を算出する。そして比較手段１７
により上記の平均値を全領域において同種の色データ毎
に比較し、最大値と最小値を全種の色データについて算
出する。そして差データ算出手段１８により、同種の色
データ毎に最大値と最小値の差データを全種の色データ
について算出する。その後、比較判定手段１９により上
記の差データと予め設定されたしきい値とが比較され、
しきい値を越える差データを色むら不良として判定２０
していた。
の信号、すなわち画像データがテスタ内部または外部の
画像記憶装置１３に画素毎に記憶される。次に、この記
憶された画像データは色データ変換手段１４に送られ、
ここで複数種の色データに変換される。次に、画像分割
手段１５により色データ全体を複数個の領域に分割し、
さらに平均値算出手段１６により同種の色データ毎に上
記の領域内での平均値を算出する。そして比較手段１７
により上記の平均値を全領域において同種の色データ毎
に比較し、最大値と最小値を全種の色データについて算
出する。そして差データ算出手段１８により、同種の色
データ毎に最大値と最小値の差データを全種の色データ
について算出する。その後、比較判定手段１９により上
記の差データと予め設定されたしきい値とが比較され、
しきい値を越える差データを色むら不良として判定２０
していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、画像データを色データに変換する際に画
像データの絶対値をそのまま用いているため最終的にし
きい値と比較して判定される差データも絶対値のままで
あり、固体撮像素子の光感度の大小に連動してこの差デ
ータも変動するので、素子の光感度の違いにより色むら
の判定が一様に行われず、色むら不良品の正確な選別が
困難であるという課題を有していた。
来の構成では、画像データを色データに変換する際に画
像データの絶対値をそのまま用いているため最終的にし
きい値と比較して判定される差データも絶対値のままで
あり、固体撮像素子の光感度の大小に連動してこの差デ
ータも変動するので、素子の光感度の違いにより色むら
の判定が一様に行われず、色むら不良品の正確な選別が
困難であるという課題を有していた。
【０００８】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、光感度の違いによらず正しい判定ができる固体撮像
素子の検査方法を提供することを目的とする。
で、光感度の違いによらず正しい判定ができる固体撮像
素子の検査方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明の固体撮像素子の検査方法は、画像データを複
数個の領域に分割し、各領域内に複数種存在する色デー
タについて同種の色データ毎に上記の各領域内での平均
値を算出し、上記の平均値を全領域において同種の色デ
ータ毎に比較して最大値と最小値を全種の色データにつ
いて算出し、同種の色データ毎に最大値と最小値の差デ
ータを全種の色データについて算出し、この差データを
予め算出された画像データの平均値により規格化し、こ
の規格化された差データと予め設定されたしきい値とを
比較して電気的特性を判定する構成を有している。
の本発明の固体撮像素子の検査方法は、画像データを複
数個の領域に分割し、各領域内に複数種存在する色デー
タについて同種の色データ毎に上記の各領域内での平均
値を算出し、上記の平均値を全領域において同種の色デ
ータ毎に比較して最大値と最小値を全種の色データにつ
いて算出し、同種の色データ毎に最大値と最小値の差デ
ータを全種の色データについて算出し、この差データを
予め算出された画像データの平均値により規格化し、こ
の規格化された差データと予め設定されたしきい値とを
比較して電気的特性を判定する構成を有している。
【００１０】
【作用】この構成によって、素子の光感度の違いによら
ず一様に色むらの判定を行うことができ、色むら不良品
を正確に選別することができる。
ず一様に色むらの判定を行うことができ、色むら不良品
を正確に選別することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例における固体撮像
素子の検査方法を説明するブロック図である。すなわ
ち、カラー化された固体撮像素子１からの画像データ全
体はテスタに取り込まれるが、この画像データはテスタ
の内部または外部の画像記憶装置２に記憶される。そし
て、この記憶された画像データは色データ変換手段３に
送られ、ここで複数種の色データに変換される。またこ
の記憶された画像データは同時に平均値算出手段１１に
送られ、ここで画像データ全体の平均値が算出される。
そして上記色データ変換手段３により得られた色データ
全体を画像分割手段４により複数個の領域に分割し、さ
らに平均値算出手段５により同種の色データごとに上記
領域内での平均値を算出する。そして比較手段６により
上記平均値を全領域において同種の色データ毎に比較
し、最大値と最小値を全種の色データについて算出す
る。そして、差データ算出手段７により、同種の色デー
タ毎に最大値と最小値の差データを全種の色データにつ
いて算出する。さらに、この差データと平均値算出手段
１１によって得られた画像データ全体の平均値とを規格
化手段８に送り、差データを全種の色について各色毎に
画像データ全体の平均値により規格化する。その後、比
較判定手段９により規格化された差データと予め設定さ
れたしきい値とが比較され、その比較結果に基づいて合
否の判定１０が行われる。
素子の検査方法を説明するブロック図である。すなわ
ち、カラー化された固体撮像素子１からの画像データ全
体はテスタに取り込まれるが、この画像データはテスタ
の内部または外部の画像記憶装置２に記憶される。そし
て、この記憶された画像データは色データ変換手段３に
送られ、ここで複数種の色データに変換される。またこ
の記憶された画像データは同時に平均値算出手段１１に
送られ、ここで画像データ全体の平均値が算出される。
そして上記色データ変換手段３により得られた色データ
全体を画像分割手段４により複数個の領域に分割し、さ
らに平均値算出手段５により同種の色データごとに上記
領域内での平均値を算出する。そして比較手段６により
上記平均値を全領域において同種の色データ毎に比較
し、最大値と最小値を全種の色データについて算出す
る。そして、差データ算出手段７により、同種の色デー
タ毎に最大値と最小値の差データを全種の色データにつ
いて算出する。さらに、この差データと平均値算出手段
１１によって得られた画像データ全体の平均値とを規格
化手段８に送り、差データを全種の色について各色毎に
画像データ全体の平均値により規格化する。その後、比
較判定手段９により規格化された差データと予め設定さ
れたしきい値とが比較され、その比較結果に基づいて合
否の判定１０が行われる。
【００１３】このように本発明の実施例によれば、色デ
ータの全画像領域内での最大値と最小値の差を算出し、
この差を画像データ全体の平均値により規格化した後
に、予め設定されたしきい値と比較してその合否の判定
を下すため、素子の光感度の違いによらず、一様に色む
らの判定を行うことができる。
ータの全画像領域内での最大値と最小値の差を算出し、
この差を画像データ全体の平均値により規格化した後
に、予め設定されたしきい値と比較してその合否の判定
を下すため、素子の光感度の違いによらず、一様に色む
らの判定を行うことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明の固体撮像素子の検
査方法によれば、規格化された差データを使用して色む
らの判定を行うため、従来の差データの絶対値を使用す
る方法とは異なり、素子の光感度の違いによらず、一様
に色むらの判定を行うことができ、色むら不良品を正確
に選別することができる。
査方法によれば、規格化された差データを使用して色む
らの判定を行うため、従来の差データの絶対値を使用す
る方法とは異なり、素子の光感度の違いによらず、一様
に色むらの判定を行うことができ、色むら不良品を正確
に選別することができる。
【図１】本発明の一実施例における固体撮像素子の検査
方法を説明するためのブロック図
方法を説明するためのブロック図
【図２】従来の固体撮像素子の検査方法を説明するため
のブロック図
のブロック図
１ 固体撮像素子
Claims (1)
- 【請求項１】カラー化された固体撮像素子からの画像デ
ータを複数個の領域に分割し、分割された各領域内に複
数種存在する色データについて、同種の色データ毎に前
記各領域内での平均値を算出し、その平均値を全領域に
ついて同種の色データ毎に比較して最大値と最小値を全
種の色データについて算出し、同種の色データ毎に前記
最大値と前記最小値の差データを全種の色データについ
て算出し、その差データを予め算出された画像データ全
体の平均値により規格化し、この規格化された差データ
と予め設定されたしきい値とを比較して電気的特性を判
定する固体撮像素子の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22583591A JP2672735B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 固体撮像素子の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22583591A JP2672735B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 固体撮像素子の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560650A JPH0560650A (ja) | 1993-03-12 |
| JP2672735B2 true JP2672735B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=16835565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22583591A Expired - Lifetime JP2672735B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 固体撮像素子の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2672735B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4595576B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-12-08 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子の検査方法、検査用プログラム、及び電子カメラ |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP22583591A patent/JP2672735B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560650A (ja) | 1993-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6381357B1 (en) | Hi-speed deterministic approach in detecting defective pixels within an image sensor | |
| US20050243181A1 (en) | Device and method of detection of erroneous image sample data of defective image samples | |
| JP2004112802A (ja) | 欠陥ピクセルの検出可能なディジタル・イメージ・センサおよび方法 | |
| US5821999A (en) | Method and system for fractally interpolating intensity values for a single color component array obtained from a single color sensor | |
| JPH10260109A (ja) | カラーディスプレイ装置の画質評価方法およびそれを用いたカラーディスプレイ装置の製造方法 | |
| US20200288074A1 (en) | Pixel correction | |
| US8810696B2 (en) | Blemish detection method | |
| JP5466099B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JP4579570B2 (ja) | シェーディング処理方法 | |
| JP2672735B2 (ja) | 固体撮像素子の検査方法 | |
| JP3396960B2 (ja) | 塗膜劣化自動診断方法 | |
| JP2730806B2 (ja) | 固体撮像素子の評価方法 | |
| KR100645856B1 (ko) | 신호처리 방법 및 화상취득 장치 | |
| US5121199A (en) | Color image sensor defect detector using differentiated i and q values | |
| CA2754177A1 (en) | Defective pixel detector for a digital video camera and associated methods | |
| JP2728789B2 (ja) | カラー固体撮像素子の検査装置 | |
| JPH0835824A (ja) | 丸形有色果実の自動評価装置 | |
| JPH07162762A (ja) | しきい値算出装置 | |
| JP3985891B2 (ja) | 画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法 | |
| JP2807031B2 (ja) | カラー画像信号の評価方法及びこの評価方法を用いたカラー画像信号評価装置 | |
| JP2870848B2 (ja) | カラー画像信号の評価方法及びこの評価方法を用いたカラー画像信号評価装置 | |
| JP2948291B2 (ja) | カラー画像信号の評価装置 | |
| JP2007198831A (ja) | 画像データの処理方法および処理プログラム | |
| JP2001112029A (ja) | テレビカメラの映像検査装置 | |
| CN114494115A (zh) | 目标对象的检测方法、装置、存储介质及电子设备 |