JP4595576B2 - 固体撮像素子の検査方法、検査用プログラム、及び電子カメラ - Google Patents
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Description
感度、飽和信号などは、規定の明るさの均一光を固体撮像素子に照射後に出力される画像信号を測定すれば、定量化しやすく容易に検査できる。点欠陥は、1画素単位の欠陥であるので、閾値レベルを決定すれば容易に検出できる(例えば特許文献1参照)。線欠陥は、縦線欠陥と横線欠陥とに分かれるが、発生方向が列方向または行方向に限定されているので、容易に検出できる。
本発明の別の目的は、上記目的に適う検査方法により検出された固定パターンノイズに基づいて、電子カメラの画質を向上する技術を提供することである。
請求項3の発明は、請求項2の固体撮像素子の検査方法において、「抽出ステップでは、各々の部分画像の外周の一部が全体画像の外周の一部となるように、且つ、各々の部分画像に対し、全体画像の中心に対し点対称の位置にある部分画像が存在するように、偶数個の部分画像を生成する」ことを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1の固体撮像素子の検査方法において、「チップのウエハ上での位置情報に応じた部分画像の生成およびパターンマッチングを行う」ことを特徴とする。
請求項6の発明は、固体撮像素子が良品か否かを判定するために、以下のステップをコンピュータに実行させるための検査用プログラムである。それらのステップは、検査用の照明光の照射によって固体撮像素子が生成した画像信号を取得するステップと、取得した画像信号が示す画像である全体画像を用い、全体画像に対する複数の部分画像をそれぞれ同じ画像サイズで生成する抽出ステップと、少なくともいずれかの部分画像に対し、画像サイズが変わらないように、上下反転、左右反転、回転の少なくともいずれかの処理を施す反転ステップと、反転ステップの後、複数の部分画像を合成し、部分画像と同じ画像サイズの基準画像を生成するステップと、複数の部分画像に対し、基準画像との差分に相当する検査画像をそれぞれ生成するステップと、予め登録されたパターンと検査画像とのパターンマッチングを行うことにより、固体撮像素子が良品か否かを判定する判定ステップとである。
以下、本発明の実施形態の説明に先立って、本発明の原理を説明する。
図1は、複数(この例では98個)の固体撮像素子のチップ10が形成された半導体のウェハ12の平面模式図である。図に示すように、ウェハ12の表面では、ストリート14(ダイシング用の溝)により各チップ10が格子状に区画されている。図中、両端が矢印の線は、ウェハの中心を通る仮想の線であり、一部のチップ10とウェハ12の中心との位置関係を示すために記載した。また、点線で示した4つの楕円の領域や、E、Fの符号を付した部分については後述する。ストリート14は、ウェハ12の表面において大きな段差になる。従って、回転塗布の際、各チップ10におけるウェハ12の中心に最も近い隅を起点として、放射状の塗布ムラが生じることがある。
第1の実施形態は、固体撮像素子の検査方法として本発明を具体化したものであり、図3〜図6で説明した例のように、均一光の照射により得られる全体画像を均等に4分割して4つの部分画像を生成後、基準画像を生成する。ここで、4つの部分画像を平均化した基準画像では、固定パターンノイズが表れている画素の信号レベルと、正常な画素の信号レベルとの差(即ち、ノイズの強さ)は、4分の1に小さくなる。従って、ノイズを検出する前の処理として、ノイズを強調することが望ましい。そこで第1の実施形態では、固体撮像素子のチップ10が良品か否かの判定は、基準画像よりもノイズが強調されている検査画像を生成後、検査画像に基づいて行う。
ステップS1では、複数の固体撮像素子のチップ10をウェハ12の状態で検査装置のステージに載置後、未検査の1チップを選択し、検査装置のプローブ針をそのチップ10のパッドに当接する。次に、例えば検査室内を暗くして各画素内の電荷を排出後、均一な照明光をチップ10に照射する等の公知の手法により、検査用の画像信号を固体撮像素子のチップ10に生成させ、検査装置はこの画像信号(全体画像の画像信号)を取得する。
次に、ステップS3では、反転処理により、4つの部分画像における、全体画像の中心に対応する隅を所定位置(例えば画像の右下)に揃える。ここでの反転処理は、本発明の原理として図3〜図6を用いて先に説明済みなので、説明を省略する。
次に、ステップS5では、反転処理後の3つの部分画像と基準画像との差分、及び、反転処理が行われない部分画像と基準画像との差分により、4つの検査画像を生成する(前述の図7参照)。
次に、ステップS6では、検査画像に基づいて、そのチップ10が良品か否かを判定する。ここで仮に、あるチップ10において固定パターンノイズが全くないとすれば、そのチップ10に対する基準画像は均一な画像であり、4つの検査画像はどれも、均一に黒レベルとなるはずである。従って、例えば検査画像を複数の画像領域に分割し、各画像領域毎に信号レベルの平均値を算出し、それを閾値レベルと比較することで固定パターンノイズを検出する。そして例えば、4つの検査画像のどれに対しても、固定パターンノイズ有りと判定される画像領域が所定数未満の場合のみ、良品と判定し、それ以外の場合、良品ではないと判定する。なお、良品ではない場合、例えばウェハ12上において、そのチップ10に対し印を付けてもよい(本実施形態では、発塵対策のため印を付けない)。
このように第1の実施形態では、均一光の照射により得られる全体画像を4分割し、部分画像に反転処理を施してから、各チップ10に固有の基準画像を生成する。これにより、元の全体画像では一部にのみ生じている固定パターンノイズを、検査画像において4倍に拡大するので、固定パターンノイズの有無を判定しやすい。
第2の実施形態も、第1の実施形態と同様に、固体撮像素子の検査方法として本発明を具体化したものである。第1の実施形態では全体画像の全領域を検査に用いるが、画像内の特定領域に固定パターンノイズが発生すると予め分かっている場合、その特定領域のみに着目して検査してもよい。そのように特定領域のみを検査に用いるのが第2の実施形態である。なお、第2の実施形態の固体撮像素子の検査工程の流れは、部分画像の生成方法の違いを除いて第1の実施形態と同様なので、流れ図を省略する。
第3の実施形態も、第1及び第2の実施形態と同様に、固体撮像素子の検査方法として本発明を具体化したものである。第2の実施形態では全体画像の四隅の領域に着目したが、第3の実施形態では、全体画像の1辺の中央部に着目する。また、検査に用いる各部分画像は、第1の実施形態では全体画像において互いに隣接し、第2の実施形態では全体画像において離れているが、全体画像において重なっていてもよい。第3の実施形態ではそのように重なる例を述べる。なお、第3の実施形態の固体撮像素子の検査工程の流れは、部分画像の生成方法の違いを除いて第1の実施形態と同様なので、流れ図を省略する。
第1〜第3の実施形態では、図8のステップS4において、全ての部分画像を平均化して基準画像を生成する例を述べた。本発明は、かかる実施形態に限定されるものではない。例えば、各部分画像を加算して、部分画像と同じサイズの基準画像を生成してもよい。
早期に良品のみを選別することが望ましいので、固体撮像素子の検査は第1〜第3の実施形態のようにウェハ12の状態で行うことが望ましいが、ダイシング後や、固体撮像素子として実装後に検査してもよい。
ステップS21では、第1の実施形態のステップS1と同様に、検査装置により全体画像の画像信号を取得する。
次に、ステップS23では、ウェハ12上での位置に応じた(予め登録してある)方法により、全体画像から複数の部分画像を生成する。例えば図1のチップ10A、10B、10C、10Dのようにウェハ12の外周近辺のチップ10に対しては、第2の実施形態と同様に部分画像を生成する(第1の実施形態の手法でもよい)。また、例えば図1において4つの点線の楕円内に含まれる位置のチップ10のようにウェハ12の中央に近いものに対しては、第3の実施形態と同様のパターンで部分画像を生成する。
次に、ステップS25では、ステップS24の処理後の各部分画像を平均化し、基準画像を生成する。
次に、ステップS26では、反転処理後の各部分画像(反転処理がされないものは、その部分画像)と、基準画像との差分により、各部分画像に対し検査画像を生成する。
次に、ステップS28では、ウェハ12において未検査のチップ10があるか否かを判定し、なければ、そのウェハ12に対する検査を終了する。未検査のチップ10があれば、ステップS1に戻り、未検査のチップ10に対する検査を行う。以上が図11の検査工程の流れの説明である。このようにウェハ12上でのチップ10の位置に応じて部分画像及び生成方法、検査画像に対するパターンマッチングの手法を変えれば、検査精度は向上する。
第4の実施形態は、本発明を電子カメラに適用したものである。具体的には、上述の検査方法により固体撮像素子のチップに対し検査画像を生成後、その検査画像に基づいて、その固体撮像素子に固有の固定パターンノイズを消去する画像処理プログラムを生成し、その画像処理プログラム及び固体撮像素子を電子カメラに搭載する。
12 ウェハ
14 ストリート
20 画素領域
22 パッド
108 電子カメラ
112 撮影レンズ
116 シャッタ
120 固体撮像素子
124 アナログ信号処理部
128 A/D変換部
132 タイミングジェネレータ
136 シャッタ駆動部
140 焦点制御部
144 操作部
148 MPU
152 システムバス
156 画像処理部
160 メモリ
164 記録読み出し部
168 記録媒体
184 モニタ制御部
188 液晶モニタ
Claims (7)
- 検査用の照明光の照射によって固体撮像素子が生成した画像信号を取得するステップと、
前記画像信号が示す画像である全体画像を用い、前記全体画像に対する複数の部分画像をそれぞれ同じ画像サイズで生成する抽出ステップと、
少なくともいずれかの前記部分画像に対し、画像サイズが変わらないように、上下反転、左右反転、回転の少なくともいずれかの処理を施す反転ステップと、
前記反転ステップの後、複数の前記部分画像を合成し、前記部分画像と同じ画像サイズの基準画像を生成するステップと、
複数の前記部分画像に対し、前記基準画像との差分に相当する検査画像をそれぞれ生成するステップと、
予め登録されたパターンと前記検査画像とのパターンマッチングを行うことにより、前記固体撮像素子が良品か否かを判定する判定ステップと
を有することを特徴とする固体撮像素子の検査方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の検査方法において、
全ての前記部分画像を重ねた場合に、前記部分画像の一部の画像領域であって前記全体画像の中心に最も近い画像領域の位置が揃うように、前記反転ステップでは上下反転、左右反転、回転の少なくともいずれかの処理を施す
ことを特徴とする固体撮像素子の検査方法。 - 請求項2に記載の固体撮像素子の検査方法において、
前記抽出ステップでは、各々の前記部分画像の外周の一部が前記全体画像の外周の一部となるように、且つ、各々の前記部分画像に対し、前記全体画像の中心に対し点対称の位置にある前記部分画像が存在するように、偶数個の前記部分画像を生成する
ことを特徴とする固体撮像素子の検査方法。 - 請求項3に記載の固体撮像素子の検査方法において、
前記抽出ステップでは、前記全体画像の中心が各々の前記部分画像の隅になるように、前記全体画像を4分割することで4つの前記部分画像を生成する
ことを特徴とする固体撮像素子の検査方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の検査方法において、
前記抽出ステップでは、前記画像信号を取得したチップのウエハ上での位置情報を取得し、前記位置情報に応じたパターンで、前記全体画像から複数の前記部分画像を生成し、
前記判定ステップでは、前記位置情報に応じたパターンマッチングを行うことにより、前記固体撮像素子が良品か否かを判定する
ことを特徴とする固体撮像素子の検査方法。 - 固体撮像素子が良品か否かを判定するための検査用プログラムであって、
検査用の照明光の照射によって前記固体撮像素子が生成した画像信号を取得するステップと、
前記画像信号が示す画像である全体画像を用い、前記全体画像に対する複数の部分画像をそれぞれ同じ画像サイズで生成する抽出ステップと、
少なくともいずれかの前記部分画像に対し、画像サイズが変わらないように、上下反転、左右反転、回転の少なくともいずれかの処理を施す反転ステップと、
前記反転ステップの後、複数の前記部分画像を合成し、前記部分画像と同じ画像サイズの基準画像を生成するステップと、
複数の前記部分画像に対し、前記基準画像との差分に相当する検査画像をそれぞれ生成するステップと、
予め登録されたパターンと前記検査画像とのパターンマッチングを行うことにより、前記固体撮像素子が良品か否かを判定する判定ステップと
をコンピュータに実行させるための検査用プログラム。 - 固体撮像素子と、前記固体撮像素子から出力される画像信号に基づいて画像データを生成する信号処理部と、前記画像データに画像処理を施す画像処理部とを備えた電子カメラであって、
前記画像処理は、請求項1〜請求項5のいずれかに記載の固体撮像素子の検査方法によ
って前記固体撮像素子に対し生成された前記検査画像から推定される固定パターンノイズを、低減する処理である
ことを特徴とする電子カメラ。
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JPH0560650A (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-12 | Matsushita Electron Corp | 固体撮像素子の検査方法 |
JPH07162762A (ja) * | 1993-12-02 | 1995-06-23 | Sony Tektronix Corp | しきい値算出装置 |
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