JP5610462B2 - 撮影画像に基づいた検査方法及び検査装置 - Google Patents
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- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
Description
100 カメラユニット
101 レンズ
102 CCDラインセンサ
110 照明ユニット
111 集光レンズ
120 ハーフミラー
200 第1偏光素子
210 第2偏光素子
300 画像処理ユニット
Claims (6)
- 回転する被検査体の表面を照明部からの白色光にて照明しつつ、前記被検査体の表面を撮影部によって回転方向に沿って撮影して撮影画像を取得し、該撮影画像に基づいて前記被検査体の表面を検査する検査方法であって、
前記被検査体の照明された同一撮影部位から前記撮影部に入射する光の偏光特性を変える第1ステップと、
前記第1ステップにより前記撮影部に入射する光の偏光特性が変えられることにより得られる当該撮影部に入射する異なる偏光特性の光に基づいた撮影画像をそれぞれ取得する第2ステップとを有し、
前記第2ステップで取得した複数の撮影画像とそれら複数の撮影画像を取得する際の前記撮影部に入射する光の異なる偏光特性との関係に基づいて前記被検査体の表面において旋光度の異なる部分を有するか否かを検査する検査方法。 - 前記第1ステップは、前記照明部から被検査体の表面を照明する白色光の偏光特性を変える請求項1記載の検査方法。
- 前記第1ステップは、前記照明部から照射される白色光が被検査体の表面で反射した後の当該反射光の偏光特性を変える請求項1記載の検査方法。
- 前記照明部から照射される白色光が前記被検査体の表面に至る光路および前記被検査体の表面からの反射光が前記撮影部に至る光路の少なくともいずれかに偏光部材が設置され、
前記第1ステップは、前記偏光部材の偏光方向を変える請求項1記載の検査方法。 - 前記偏光部材は、前記照明部からの白色光が前記被検査体の表面に至る光路に設けられた第1偏光素子と、前記被検査体の表面からの反射光が前記撮影部に至る光路に設けられた第2偏光素子とを有し、
前記第1ステップは、前記第1の偏光素子及び前記第2の偏光素子のいずれか一方の偏光方向を変える請求項4記載の検査方法。 - 被検査体を回転させる回転装置と、
回転する前記被検査体の表面を白色光にて照明する照明部と、
前記被検査体の表面を回転方向に沿って撮影する撮影部と、
前記撮影部にて撮影された撮影画像を取得し、該撮影画像に基づいて前記被検査体の表面の検査に係る処理を行う処理ユニットとを有した検査装置であって、
前記照明部から照射される白色光が前記被検査体の表面に至る光路および前記被検査体の表面からの反射光が前記撮影部に至る光路の少なくとも一方に配置された偏光部材を有し、
前記処理ユニットは、前記偏光部材により前記被検査体の照明された同一撮影部位から前記撮影部に至る光の偏光特性が変えられることにより当該撮影部に入射する異なる偏光特性の光に基づいた撮影画像をそれぞれ取得する手段とを有し、
前記取得した複数の撮影画像と、それら複数の撮影画像を取得する際の前記撮影部に入射する光の異なる偏光特性との関係に基づいて前記被検査体の表面において旋光度の異なる部分を有するか否かを検査する検査装置。
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