JP2697810B2 - 塗布方法及びそれに用いる塗布装置 - Google Patents
塗布方法及びそれに用いる塗布装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被塗布材を処理容器内
に収納し、被塗布材を回転させながら塗布材を塗布する
塗布装置、例えば、半導体製造装置に於いてウエハ上に
レジストを塗布する塗布方法及びそれを用いる塗布装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体製造装置に於いては、ウエハ上に
レジストを塗布する場合、処理容器の内部に配置した回
転可能なスピンヘッド上にウエハを載置固定し、ウエハ
を回転させながらレジスト液をウエハ表面に供給してレ
ジスト塗布処理を行っている（特公昭５３−３７１８
９） 。 【０００３】一方、近年一枚のウエハに形成できるチッ
プ数を増大させるために、従来主流であった６インチウ
エハに代えて、より大口径の例えば８インチウエハを使
用する要望が高まっている。あるいは、液晶画面に対応
すべく、効率良くチップを確保できる角型ウエハの使用
等も要望されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】一般に、大口径のウエ
ハにレジストを薄く均一に塗布するためには、塗布材の
粘度を変えるか、あるいは被塗布材の回転数を上げるか
のいずれかが考えられていた。 【０００５】塗布装置側で上記要望に答えるためには、
被塗布材の回転数を上げるしか方法が無かったが、回転
数を上げた場合には、ウエハの中心と周縁とで回転速度
（接線方向の速度）が大きく異なってしまう。そして、
特に周囲空間との速度差が著しいウエハの周縁部の速度
が所定値を越えると、塗布材である溶剤の蒸発が促進さ
れ、周縁部でのレジスト塗布均一性がかえって損なわれ
てしまうことが本発明者等によって確認された。 【０００６】このように、大口径のウエハにレジストを
塗布するにあたり、ウエハの回転数で対処するのみで
は、レジスト塗布範囲に自ずと制限があり、８インチウ
エハ等の大口径ウエハのレジストを確実に行うことがで
きなかった。 【０００７】ところで、特開昭６１−１９４８２９号公
報によれば、塗布膜の品質を安定化させるため、処理容
器内部に溶剤の蒸気流を強制導入する技術が提案されて
いるが、この技術でも大口径ウエハのレジストを確実に
行い得ないことが本発明者等によって確認された。 【０００８】ここで、特開昭５１−３９７３７号公報及
び特開昭６０−１４３８７１号公報には、ウエハが配置
される処理容器を、ウエハと同一方向に回転駆動する技
術が開示されている。これらの技術によれば、ウエハ上
の溶剤の蒸発の促進がおさえられ、ウエハ周縁部にてレ
ジスト塗布の均一性を高めることができる。 【０００９】ここで、ウエハ周縁部での塗布膜の均一性
が高められる際に、塗布材の一部はウエハの裏面に回り
込み、ウエハ裏面側を汚染することが知られている。こ
のために、特開昭６０−１４３８７１号公報では、ウエ
ハの裏面にレジストシンナーを供給して、ウエハの裏面
を洗浄するようにしている。 【００１０】このように、ウエハの裏面を洗浄すること
は、レジスト回転塗布工程の後にウエハを搬送する際
に、この搬送部材の汚染を防止し、かつ、この搬送を安
定して行うために必要であるばかりか、パーティクルの
原因となるウエハの汚染を次工程に持ち込まないことか
ら重要である。 【００１１】しかしながら、従来装置によれば、回転塗
布時にウエハの裏面に廻り込んだ塗布材の全てが、裏面
洗浄工程にて洗浄されないことがあった。 【００１２】そこで、本発明の目的とするところは、上
述した従来の問題点を解決し、大口径の被塗布材に対し
てもその表面の所望範囲に確実に塗布材を塗布し、しか
も汚染された被塗布材の裏面を確実に洗浄することがで
きる塗布方法及びそれを用いる塗布装置を提供すること
にある。 【００１３】 【課題を解決するための手段】特許請求の範囲第１項の
発明に係る塗布方法は、被塗布材を回転させて、前記被
塗布材表面に供給された塗布材により塗布膜を形成する
回転塗布工程と、前記塗布膜が形成された前記被塗布材
の裏面を、前記回転塗布工程での支持位置よりも内側の
位置にて支持し、前記被塗布材を回転させて前記被塗布
材の裏面を洗浄する裏面洗浄工程と、を有することを特
徴とする。 【００１４】特許請求の範囲第２項の発明は、被塗布材
を回転して塗布材を塗布する塗布方法において、前記被
塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材の回転方向と同一
方向に回転して、前記被塗布材表面に供給された前記塗
布材により塗布膜を形成する回転塗布工程と、前記塗布
膜が形成された前記被塗布材の裏面を、前記回転塗布工
程での支持位置よりも内側の位置にて支持し、前記被塗
布材を回転させて前記被塗布材の裏面を洗浄する裏面洗
浄工程と、を有することを特徴とする。 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【００１８】特許請求の範囲第３項の発明は、表面に塗
布材が供給された被塗布材の裏面を支持して前記被塗布
材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成する塗布装置
において、前記表面に塗布膜が形成された前記被塗布材
の裏面を支持して、前記被塗布材を回転させる第１の回
転駆動手段と、表面に前記塗布膜が形成された前記被塗
布材の裏面を洗浄する裏面洗浄器と、前記裏面洗浄器に
より洗浄される前記被塗布材の裏面を、前記回転塗布時
よりも内側にて支持して、前記被塗布材を回転させる第
２の回転駆動手段と、を有することを特徴とする。 【００１９】特許請求の範囲第４項の発明は、表面に塗
布材が供給された被塗布材の裏面を支持して前記被塗布
材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成する塗布装置
において、前記被塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材
の回転方向と同一方向に回転して、前記塗布材により前
記被塗布材表面に塗布膜を形成する第１の回転駆動手段
と、前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を、回
転塗布時での支持位置よりも内側の位置にて支持し、前
記被塗布材を回転させる第２の回転駆動手段と、前記第
２の回転駆動手段により回転される前記被塗布材の裏面
を洗浄する裏面洗浄器と、を有することを特徴とする。 【００２０】 【００２１】 【００２２】 【作用】特許請求の範囲第１項の発明によれば、被塗布
材を回転させて被塗布材の裏面を洗浄する裏面洗浄工程
では、塗布膜が形成された被塗布材の裏面を、回転塗布
工程での支持位置よりも内側の位置にて支持している。
従って、回転塗布時に被塗布材が支持されていた箇所に
塗布材が回り込んだとしても、裏面洗浄工程ではこの部
分を露出させて洗浄することができる。 【００２３】従って、特許請求の範囲第１項の発明で
は、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染される被
塗布材の裏面を、裏面洗浄工程にて確実に洗浄すること
ができる。 【００２４】特許請求の範囲第２項の発明では、被塗布
材と共に処理容器も同一方向に回転しているので、上記
相対速度差が小さくなり（同一回転数とすれば相対的速
度差は零である）、大口径の被塗布材であっても周縁部
での蒸発が抑制され、所望領域内に確実に塗布材の塗布
を実行することができる。 【００２５】また、特許請求の範囲第２項の発明では、
蒸発量を低減できるので、被塗布材に滴下すべき塗布材
の量を反射的に減少することができる効果もある。特許
請求の範囲第３項の発明では、被塗布材の表面に塗布膜
を形成させる場合には、第１の回転駆動手段により被塗
布材を回転させ、その後被塗布材の裏面を洗浄する場合
には、第２の回転駆動手段により被塗布材を回転させる
ことで裏面洗浄を行っている。ここで、第２の回転駆動
手段の被塗布材の裏面支持位置は、第１の回転駆動手段
の被塗布材支持位置よりも内側にて支持するように形成
されている。このため、回転塗布時に被塗布材が支持さ
れていた箇所に塗布材が回り込んだとしても、裏面洗浄
時にこの部分を露出させて洗浄することができる。 この
ように、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染され
る被塗布材の裏面を、確実に洗浄することができる。 特
許請求の範囲第４項の発明では、第１の回転駆動手段に
より被塗布材と共に処理容器も同一方向に回転している
ので、処理容器と被塗布材との回転の相対速度差が小さ
くなり（同一回転数とすれば相対的速度差は零であ
る）、大口径の被塗布材であっても周縁部での蒸発が抑
制され、所望領域内に確実に塗布材の塗布を実行するこ
とができる。また、蒸発量を低減できるので、被塗布材
に滴下すべき塗布材の量を反射的に減少することができ
る。 【００２６】 【実施例】以下、本発明を図示の実施例を参照して具体
的に説明する。 【００２７】図面は、実施例装置の断面図である。 【００２８】同図において、この実施例装置はその基本
的枠組みとして、下側ベース１，上側ベース２及び両ベ
ース１，２を離間して平行に固定する支柱３，３を有し
ている。 【００２９】被塗布材の一例であるウエハ４を載置固定
する処理容器１０は、塗布時は密閉され、かつ、塗布時
以外は離間可能な第１，第２の容器１１，１２から構成
されている。 【００３０】上側に配置される第１の容器１１は、取り
付けベース１０Ａ，１３Ａを介して可動板１３に支持さ
れ、同図の２点鎖線で示す位置まで上昇できるようにな
っている。前記可動板１３は、前記上側ベース２に固定
された第２の昇降駆動手段である昇降駆動部１４の軸１
５に連結され、かつ、ガイド軸１６の一端を固着すると
共にその他端側を前記上側ベース２に設けた案内材１７
に摺動自在に支持することで、前述した昇降移動が可能
となっている。尚、前記取り付けベース１０Ａ，１３Ａ
は、ベアリング１８を介して互いに回転自在となってい
る。この取付ベースＡ，１３Ａ及びベアリング１８２よ
り、第１の容器１１を回転自在に支持する従動案内部材
を構成している。また、第１の容器１１の周縁部にはパ
ッキン１９が設けられ、前記処理容器１０の密閉性を確
保できるようになっている。 【００３１】下側の第２の容器１２は、下記の構成によ
り成る第１の回転駆動手段又は容器回転駆動手段として
の回転駆動機構部４０によって支持されている。即ち、
前記下側ベース１には支持台２０が固定され、この支持
台２０の周りでベアリング２１を介して回転可能な被回
転駆動軸である回転ブロック２２が設けられている。そ
して、前記第２の容器１２はこの回転ブロック２２に固
定されて一体的に回転できるようになっている。また、
前記回転ブロック２２の周囲には、第１のプーリ２３が
固着されている。 【００３２】一方、前記下側ベース１には、第２のモー
タ２４が配置され、回転駆動軸である出力軸２５の周囲
には第２のプーリ２６が固着されている。そして、前記
第１，第２のプーリ２３，２６に張架部材であるベルト
２７を懸架することで、第２のモータ２４の回転力を前
記回転ブロック２２に伝達するようになっている。この
ように、第２のモータ２４からの回転動力は張架部材で
あるベルト２７を介して、第２の容器１２側に伝達され
るようになっているので、第２のモータ２４側にて発生
した熱が第２の容器１２側に伝達されることを低減でき
る。これにより塗布特性に影響を与える塗布環境温度の
変動を防止できる。 【００３３】前記第２の容器１２の中心領域には、この
第２の容器１２の内面より突出して当接部として機能す
る中空円盤状の真空吸着部３０が設けられ、処理容器１
０内に配置されるウエハ４を真空吸着できるようになっ
ている。尚、この真空吸着部３０は第２の容器１２にネ
ジ等によって固着されているので、第２の容器１２と共
に一体的に回転させることができる。また、前記真空吸
着部３０の内側には、保持手段としてのスピンチャック
３１が配置されている。このスピンチャック３１は、前
記支持台２０の中心に穿設された中空部を構成する孔２
０Ａに挿通され軸部を有し、この軸部が前記下側ベース
１に昇降自在に支持された第１のモータ３２に連結され
ている。この孔２０Ａは、第２の容器１２の真空吸着部
３０の内側にて開口している。スピンチャック３１はこ
の開口を介して上方に伸びる前記軸部の上端側に、ウエ
ハ４を保持できる保持部を有し、本実施例ではこの保持
部を真空吸引部として構成している。尚、前記下側ベー
ス１には、昇降駆動部３３，ガイド軸３４が第１のモー
タ３２の両側に固定され、第１のモータ３２を支持する
支持枠３５の一方を第１の昇降駆動手段である前記昇降
駆動部３３の昇降軸３３Ａに固着し、その他方をベアリ
ング３６を介して前記ガイド軸３４に沿って摺動自在に
支持している。この結果、前記スピンチャック３１は昇
降可能であると共に回転可能となっている。また、この
スピンチャック３１には、図示しないコンプレッサが連
結され、ウエハ４を真空吸着可能であり、さらに、前記
真空吸着部３０での吸着を可能とするために、真空吸着
部３０に連通する負圧経路を兼用している。 尚、本実
施例装置では塗布材の滴下部を図示していないが、この
滴下部は前記第１の容器１１が同図の２点鎖線に示す位
置に上昇した際に、ウエハ４の上方に移動し、ここで所
定量の塗布材（本実施例ではレジスト材）をウエハ４の
中心部に滴下し、その後初期位置に復帰移動するように
なっている。 【００３４】以上のように構成された実施例装置の作用
について説明する。 【００３５】先ず、昇降駆動部１４を駆動して第１の容
器１１を図示の２点鎖線に示す位置まで上昇させ、処理
容器１０を解放した状態で、ウエハ４の設定及び前記滴
下部によるレジスト材の滴下を順次行う。その後、昇降
駆動部１４の駆動によって第１の容器１１を下降させ
て、第１，第２の容器１１，１２によって処理容器１０
を密閉する。 【００３６】次に、図示しないコンプレッサを駆動し、
スピンチャック３１を介して真空吸着部３０を吸着可能
とし、図示のようにこの真空吸着部３０によってウエハ
４を吸着する（尚、この状態ではスピンチャック３１は
同図に示すように真空吸着部３０の吸着面より下がった
位置に待機されている）。スピンチャック３１は、ウエ
ハ４の裏面と非接触となっているが、このウエハ４とス
ピンチャック３１との間の領域は、ウエハ４と真空吸着
部３０とが密着することでシールされるので、前記領域
を負圧にしてウエハ４を第２の容器１２側に密着支持す
ることができる。この後、設定されたウエハ４の口径，
レジスト材の粘度，塗布すべき膜厚等の特性によって定
められる回転数で前記第２のモータ２４を駆動する。そ
うすると、この第２のモータ２４の回転力は出力軸２
５，第２のプーリ２６，ベルト２７，第１のプーリ２３
を介して回転ブロック２２に伝達され、この回転ブロッ
ク２２が回転することになる。 【００３７】回転ブロック２２が回転されると、この回
転ブロック２２に固着されている第２の容器１２及び真
空吸着部３０が共に一体的に回転することになる。ま
た、第１の容器１１は、前記昇降駆動部１４によって第
２の容器１２に押圧され、かつ、ベアリング１８を介し
て回転自在となっているので、第２の容器１２と共に一
体的に回転することになる。 【００３８】この結果、前記真空吸着部３０に真空吸着
されているウエハ４及び処理容器１０が一体的に回転
し、ウエハ４と共に処理容器１０内の周囲空間をも同速
度で同一方向に回転することになる。 【００３９】ここで、従来より大口径のウエハ４の周縁
部まで確実にレジスト材を塗布できなかった主たる原因
は、ウエハ４を高速回転させた際に、ウエハ４の周縁部
とその周囲空間との速度差が著しく大きくなるからであ
る。本実施例装置によれば、上述したようにしてウエハ
４と共にその周囲空間をも一体的に回転しているので、
上記速度差は零となり、ウエハ４の周縁部でのレジスト
材の蒸発が抑制されるので、大口径のウエハ４であって
もその周縁部まで確実にレジスト材を塗布することが可
能となる。この回転塗布工程では、ウエハ４上の余分な
レジスト材は、ウエハの周縁部より裏面側に回り込み、
ウエハ４の裏面が汚染されることになる。但し、本実施
例では真空吸着部３０の存在により、レジスト材は、こ
の真空吸着部３０よりも半径方向内方に飛散することが
防止される。 【００４０】所定時間の上記塗布動作を実行した後、第
２のモータ２４の駆動を停止し、昇降駆動部１４を駆動
して第１の容器１１を図示の２点鎖線の位置まで上昇さ
せ、処理容器１０を解放する。この後、下側ベース１に
取り付けられた昇降駆動部３３を駆動し、第１のモータ
３６を上昇させることで、ウエハ４を吸着しながらスピ
ンチャック３１を上昇させ、ウエハ４を処理容器１０よ
り取り出して図示の２点鎖線の位置に設定する。この状
態で、ウエハ４の裏面を洗浄する洗浄器（図示せず）を
ウエハ４の裏面側に移動設定し、第１のモータ３６を駆
動することでウエハ４を回転しつつ裏面洗浄を実行し、
以後の処理工程に移行することになる。この裏面洗浄工
程では、ウエハ４は、スピンチャック３１にのみ保持さ
れている。このスピンチャック３１によるウエハ４の裏
面保持位置は、上述した回転塗布時におけるウエハ４の
支持位置（真空吸着部３０による支持位置）よりも内側
となっている。従ってこの裏面洗浄工程では、回転塗布
時に真空吸着部３０にて保持された位置が露出され、回
転塗布時にこの領域に廻り込んだレジスト材をも除去す
ることが可能となる。これにより、その後ウエハ４を搬
送する際、あるいは次工程にて処理する際に、ウエハ４
の裏面に付着したレジスト材により、搬送アーム、サセ
プタなどが汚染されることを防止できる。 【００４１】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。 【００４２】前記実施例では塗布材の滴下部としてウエ
ハ４の上方領域内外に移動走査できるいわゆるノズルス
キャン方式を採用している。これに代えて、第１の容器
１１の中心部に滴下部を固定した固定方式を採用するこ
とも可能である。 【００４３】また、前記実施例では従来よりあるスピン
チャック３１に加えて、真空吸着部３０を第２の容器１
２と共に回転自在に設け、処理容器１０とウエハ４との
回転駆動機構を兼用しているので、周囲空間とウエハ４
との回転速度は同一となる点で優れているが、必ずしも
この構成には限定されない。例えば、真空吸着部３０を
設けずに、処理容器１０内でのウエハ４の吸着及び回転
をスピンチャック３１によって行うこともできる。この
場合、周囲空間との回転速度を物理的に同一にすること
は駆動源を異にするので困難であろうが、少なくとも前
記相対速度差は従来よりも大幅に低減されるので、同様
に本発明の効果を奏することができる。また、処理容器
１０の回転駆動機構４０として、前記実施例ではプー
リ，ベルト方式によったが、他の種々の回転駆動手段に
置換できることはいうまでもない。さらに、本発明が適
用される塗布装置としては、必ずしも半導体ウエハへの
レジスト塗布に限らず、マスクへのレジスト塗布等種々
の塗布装置に適用可能であり、特に被塗布材の隅々まで
塗布が可能となるので、液晶画面等の角型ウエハへの塗
布にも優れた効果を発揮することができる。 【００４４】 【発明の効果】特許請求の範囲第１項及び第３項の各発
明によれば、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染
される被塗布材の裏面を、確実に洗浄して除去すること
ができる。 特許請求の範囲第２項及び第４項の各発明に
よれば、被塗布材と共に処理容器も同一方向に回転して
いるので、相対速度差が小さくなり、大口径の被塗布材
であっても確実に塗布材の塗布ができる。また、蒸発量
を低減して、滴下すべき塗布材の量を減少させることが
できる。 【００４５】
に収納し、被塗布材を回転させながら塗布材を塗布する
塗布装置、例えば、半導体製造装置に於いてウエハ上に
レジストを塗布する塗布方法及びそれを用いる塗布装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体製造装置に於いては、ウエハ上に
レジストを塗布する場合、処理容器の内部に配置した回
転可能なスピンヘッド上にウエハを載置固定し、ウエハ
を回転させながらレジスト液をウエハ表面に供給してレ
ジスト塗布処理を行っている（特公昭５３−３７１８
９） 。 【０００３】一方、近年一枚のウエハに形成できるチッ
プ数を増大させるために、従来主流であった６インチウ
エハに代えて、より大口径の例えば８インチウエハを使
用する要望が高まっている。あるいは、液晶画面に対応
すべく、効率良くチップを確保できる角型ウエハの使用
等も要望されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】一般に、大口径のウエ
ハにレジストを薄く均一に塗布するためには、塗布材の
粘度を変えるか、あるいは被塗布材の回転数を上げるか
のいずれかが考えられていた。 【０００５】塗布装置側で上記要望に答えるためには、
被塗布材の回転数を上げるしか方法が無かったが、回転
数を上げた場合には、ウエハの中心と周縁とで回転速度
（接線方向の速度）が大きく異なってしまう。そして、
特に周囲空間との速度差が著しいウエハの周縁部の速度
が所定値を越えると、塗布材である溶剤の蒸発が促進さ
れ、周縁部でのレジスト塗布均一性がかえって損なわれ
てしまうことが本発明者等によって確認された。 【０００６】このように、大口径のウエハにレジストを
塗布するにあたり、ウエハの回転数で対処するのみで
は、レジスト塗布範囲に自ずと制限があり、８インチウ
エハ等の大口径ウエハのレジストを確実に行うことがで
きなかった。 【０００７】ところで、特開昭６１−１９４８２９号公
報によれば、塗布膜の品質を安定化させるため、処理容
器内部に溶剤の蒸気流を強制導入する技術が提案されて
いるが、この技術でも大口径ウエハのレジストを確実に
行い得ないことが本発明者等によって確認された。 【０００８】ここで、特開昭５１−３９７３７号公報及
び特開昭６０−１４３８７１号公報には、ウエハが配置
される処理容器を、ウエハと同一方向に回転駆動する技
術が開示されている。これらの技術によれば、ウエハ上
の溶剤の蒸発の促進がおさえられ、ウエハ周縁部にてレ
ジスト塗布の均一性を高めることができる。 【０００９】ここで、ウエハ周縁部での塗布膜の均一性
が高められる際に、塗布材の一部はウエハの裏面に回り
込み、ウエハ裏面側を汚染することが知られている。こ
のために、特開昭６０−１４３８７１号公報では、ウエ
ハの裏面にレジストシンナーを供給して、ウエハの裏面
を洗浄するようにしている。 【００１０】このように、ウエハの裏面を洗浄すること
は、レジスト回転塗布工程の後にウエハを搬送する際
に、この搬送部材の汚染を防止し、かつ、この搬送を安
定して行うために必要であるばかりか、パーティクルの
原因となるウエハの汚染を次工程に持ち込まないことか
ら重要である。 【００１１】しかしながら、従来装置によれば、回転塗
布時にウエハの裏面に廻り込んだ塗布材の全てが、裏面
洗浄工程にて洗浄されないことがあった。 【００１２】そこで、本発明の目的とするところは、上
述した従来の問題点を解決し、大口径の被塗布材に対し
てもその表面の所望範囲に確実に塗布材を塗布し、しか
も汚染された被塗布材の裏面を確実に洗浄することがで
きる塗布方法及びそれを用いる塗布装置を提供すること
にある。 【００１３】 【課題を解決するための手段】特許請求の範囲第１項の
発明に係る塗布方法は、被塗布材を回転させて、前記被
塗布材表面に供給された塗布材により塗布膜を形成する
回転塗布工程と、前記塗布膜が形成された前記被塗布材
の裏面を、前記回転塗布工程での支持位置よりも内側の
位置にて支持し、前記被塗布材を回転させて前記被塗布
材の裏面を洗浄する裏面洗浄工程と、を有することを特
徴とする。 【００１４】特許請求の範囲第２項の発明は、被塗布材
を回転して塗布材を塗布する塗布方法において、前記被
塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材の回転方向と同一
方向に回転して、前記被塗布材表面に供給された前記塗
布材により塗布膜を形成する回転塗布工程と、前記塗布
膜が形成された前記被塗布材の裏面を、前記回転塗布工
程での支持位置よりも内側の位置にて支持し、前記被塗
布材を回転させて前記被塗布材の裏面を洗浄する裏面洗
浄工程と、を有することを特徴とする。 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【００１８】特許請求の範囲第３項の発明は、表面に塗
布材が供給された被塗布材の裏面を支持して前記被塗布
材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成する塗布装置
において、前記表面に塗布膜が形成された前記被塗布材
の裏面を支持して、前記被塗布材を回転させる第１の回
転駆動手段と、表面に前記塗布膜が形成された前記被塗
布材の裏面を洗浄する裏面洗浄器と、前記裏面洗浄器に
より洗浄される前記被塗布材の裏面を、前記回転塗布時
よりも内側にて支持して、前記被塗布材を回転させる第
２の回転駆動手段と、を有することを特徴とする。 【００１９】特許請求の範囲第４項の発明は、表面に塗
布材が供給された被塗布材の裏面を支持して前記被塗布
材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成する塗布装置
において、前記被塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材
の回転方向と同一方向に回転して、前記塗布材により前
記被塗布材表面に塗布膜を形成する第１の回転駆動手段
と、前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を、回
転塗布時での支持位置よりも内側の位置にて支持し、前
記被塗布材を回転させる第２の回転駆動手段と、前記第
２の回転駆動手段により回転される前記被塗布材の裏面
を洗浄する裏面洗浄器と、を有することを特徴とする。 【００２０】 【００２１】 【００２２】 【作用】特許請求の範囲第１項の発明によれば、被塗布
材を回転させて被塗布材の裏面を洗浄する裏面洗浄工程
では、塗布膜が形成された被塗布材の裏面を、回転塗布
工程での支持位置よりも内側の位置にて支持している。
従って、回転塗布時に被塗布材が支持されていた箇所に
塗布材が回り込んだとしても、裏面洗浄工程ではこの部
分を露出させて洗浄することができる。 【００２３】従って、特許請求の範囲第１項の発明で
は、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染される被
塗布材の裏面を、裏面洗浄工程にて確実に洗浄すること
ができる。 【００２４】特許請求の範囲第２項の発明では、被塗布
材と共に処理容器も同一方向に回転しているので、上記
相対速度差が小さくなり（同一回転数とすれば相対的速
度差は零である）、大口径の被塗布材であっても周縁部
での蒸発が抑制され、所望領域内に確実に塗布材の塗布
を実行することができる。 【００２５】また、特許請求の範囲第２項の発明では、
蒸発量を低減できるので、被塗布材に滴下すべき塗布材
の量を反射的に減少することができる効果もある。特許
請求の範囲第３項の発明では、被塗布材の表面に塗布膜
を形成させる場合には、第１の回転駆動手段により被塗
布材を回転させ、その後被塗布材の裏面を洗浄する場合
には、第２の回転駆動手段により被塗布材を回転させる
ことで裏面洗浄を行っている。ここで、第２の回転駆動
手段の被塗布材の裏面支持位置は、第１の回転駆動手段
の被塗布材支持位置よりも内側にて支持するように形成
されている。このため、回転塗布時に被塗布材が支持さ
れていた箇所に塗布材が回り込んだとしても、裏面洗浄
時にこの部分を露出させて洗浄することができる。 この
ように、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染され
る被塗布材の裏面を、確実に洗浄することができる。 特
許請求の範囲第４項の発明では、第１の回転駆動手段に
より被塗布材と共に処理容器も同一方向に回転している
ので、処理容器と被塗布材との回転の相対速度差が小さ
くなり（同一回転数とすれば相対的速度差は零であ
る）、大口径の被塗布材であっても周縁部での蒸発が抑
制され、所望領域内に確実に塗布材の塗布を実行するこ
とができる。また、蒸発量を低減できるので、被塗布材
に滴下すべき塗布材の量を反射的に減少することができ
る。 【００２６】 【実施例】以下、本発明を図示の実施例を参照して具体
的に説明する。 【００２７】図面は、実施例装置の断面図である。 【００２８】同図において、この実施例装置はその基本
的枠組みとして、下側ベース１，上側ベース２及び両ベ
ース１，２を離間して平行に固定する支柱３，３を有し
ている。 【００２９】被塗布材の一例であるウエハ４を載置固定
する処理容器１０は、塗布時は密閉され、かつ、塗布時
以外は離間可能な第１，第２の容器１１，１２から構成
されている。 【００３０】上側に配置される第１の容器１１は、取り
付けベース１０Ａ，１３Ａを介して可動板１３に支持さ
れ、同図の２点鎖線で示す位置まで上昇できるようにな
っている。前記可動板１３は、前記上側ベース２に固定
された第２の昇降駆動手段である昇降駆動部１４の軸１
５に連結され、かつ、ガイド軸１６の一端を固着すると
共にその他端側を前記上側ベース２に設けた案内材１７
に摺動自在に支持することで、前述した昇降移動が可能
となっている。尚、前記取り付けベース１０Ａ，１３Ａ
は、ベアリング１８を介して互いに回転自在となってい
る。この取付ベースＡ，１３Ａ及びベアリング１８２よ
り、第１の容器１１を回転自在に支持する従動案内部材
を構成している。また、第１の容器１１の周縁部にはパ
ッキン１９が設けられ、前記処理容器１０の密閉性を確
保できるようになっている。 【００３１】下側の第２の容器１２は、下記の構成によ
り成る第１の回転駆動手段又は容器回転駆動手段として
の回転駆動機構部４０によって支持されている。即ち、
前記下側ベース１には支持台２０が固定され、この支持
台２０の周りでベアリング２１を介して回転可能な被回
転駆動軸である回転ブロック２２が設けられている。そ
して、前記第２の容器１２はこの回転ブロック２２に固
定されて一体的に回転できるようになっている。また、
前記回転ブロック２２の周囲には、第１のプーリ２３が
固着されている。 【００３２】一方、前記下側ベース１には、第２のモー
タ２４が配置され、回転駆動軸である出力軸２５の周囲
には第２のプーリ２６が固着されている。そして、前記
第１，第２のプーリ２３，２６に張架部材であるベルト
２７を懸架することで、第２のモータ２４の回転力を前
記回転ブロック２２に伝達するようになっている。この
ように、第２のモータ２４からの回転動力は張架部材で
あるベルト２７を介して、第２の容器１２側に伝達され
るようになっているので、第２のモータ２４側にて発生
した熱が第２の容器１２側に伝達されることを低減でき
る。これにより塗布特性に影響を与える塗布環境温度の
変動を防止できる。 【００３３】前記第２の容器１２の中心領域には、この
第２の容器１２の内面より突出して当接部として機能す
る中空円盤状の真空吸着部３０が設けられ、処理容器１
０内に配置されるウエハ４を真空吸着できるようになっ
ている。尚、この真空吸着部３０は第２の容器１２にネ
ジ等によって固着されているので、第２の容器１２と共
に一体的に回転させることができる。また、前記真空吸
着部３０の内側には、保持手段としてのスピンチャック
３１が配置されている。このスピンチャック３１は、前
記支持台２０の中心に穿設された中空部を構成する孔２
０Ａに挿通され軸部を有し、この軸部が前記下側ベース
１に昇降自在に支持された第１のモータ３２に連結され
ている。この孔２０Ａは、第２の容器１２の真空吸着部
３０の内側にて開口している。スピンチャック３１はこ
の開口を介して上方に伸びる前記軸部の上端側に、ウエ
ハ４を保持できる保持部を有し、本実施例ではこの保持
部を真空吸引部として構成している。尚、前記下側ベー
ス１には、昇降駆動部３３，ガイド軸３４が第１のモー
タ３２の両側に固定され、第１のモータ３２を支持する
支持枠３５の一方を第１の昇降駆動手段である前記昇降
駆動部３３の昇降軸３３Ａに固着し、その他方をベアリ
ング３６を介して前記ガイド軸３４に沿って摺動自在に
支持している。この結果、前記スピンチャック３１は昇
降可能であると共に回転可能となっている。また、この
スピンチャック３１には、図示しないコンプレッサが連
結され、ウエハ４を真空吸着可能であり、さらに、前記
真空吸着部３０での吸着を可能とするために、真空吸着
部３０に連通する負圧経路を兼用している。 尚、本実
施例装置では塗布材の滴下部を図示していないが、この
滴下部は前記第１の容器１１が同図の２点鎖線に示す位
置に上昇した際に、ウエハ４の上方に移動し、ここで所
定量の塗布材（本実施例ではレジスト材）をウエハ４の
中心部に滴下し、その後初期位置に復帰移動するように
なっている。 【００３４】以上のように構成された実施例装置の作用
について説明する。 【００３５】先ず、昇降駆動部１４を駆動して第１の容
器１１を図示の２点鎖線に示す位置まで上昇させ、処理
容器１０を解放した状態で、ウエハ４の設定及び前記滴
下部によるレジスト材の滴下を順次行う。その後、昇降
駆動部１４の駆動によって第１の容器１１を下降させ
て、第１，第２の容器１１，１２によって処理容器１０
を密閉する。 【００３６】次に、図示しないコンプレッサを駆動し、
スピンチャック３１を介して真空吸着部３０を吸着可能
とし、図示のようにこの真空吸着部３０によってウエハ
４を吸着する（尚、この状態ではスピンチャック３１は
同図に示すように真空吸着部３０の吸着面より下がった
位置に待機されている）。スピンチャック３１は、ウエ
ハ４の裏面と非接触となっているが、このウエハ４とス
ピンチャック３１との間の領域は、ウエハ４と真空吸着
部３０とが密着することでシールされるので、前記領域
を負圧にしてウエハ４を第２の容器１２側に密着支持す
ることができる。この後、設定されたウエハ４の口径，
レジスト材の粘度，塗布すべき膜厚等の特性によって定
められる回転数で前記第２のモータ２４を駆動する。そ
うすると、この第２のモータ２４の回転力は出力軸２
５，第２のプーリ２６，ベルト２７，第１のプーリ２３
を介して回転ブロック２２に伝達され、この回転ブロッ
ク２２が回転することになる。 【００３７】回転ブロック２２が回転されると、この回
転ブロック２２に固着されている第２の容器１２及び真
空吸着部３０が共に一体的に回転することになる。ま
た、第１の容器１１は、前記昇降駆動部１４によって第
２の容器１２に押圧され、かつ、ベアリング１８を介し
て回転自在となっているので、第２の容器１２と共に一
体的に回転することになる。 【００３８】この結果、前記真空吸着部３０に真空吸着
されているウエハ４及び処理容器１０が一体的に回転
し、ウエハ４と共に処理容器１０内の周囲空間をも同速
度で同一方向に回転することになる。 【００３９】ここで、従来より大口径のウエハ４の周縁
部まで確実にレジスト材を塗布できなかった主たる原因
は、ウエハ４を高速回転させた際に、ウエハ４の周縁部
とその周囲空間との速度差が著しく大きくなるからであ
る。本実施例装置によれば、上述したようにしてウエハ
４と共にその周囲空間をも一体的に回転しているので、
上記速度差は零となり、ウエハ４の周縁部でのレジスト
材の蒸発が抑制されるので、大口径のウエハ４であって
もその周縁部まで確実にレジスト材を塗布することが可
能となる。この回転塗布工程では、ウエハ４上の余分な
レジスト材は、ウエハの周縁部より裏面側に回り込み、
ウエハ４の裏面が汚染されることになる。但し、本実施
例では真空吸着部３０の存在により、レジスト材は、こ
の真空吸着部３０よりも半径方向内方に飛散することが
防止される。 【００４０】所定時間の上記塗布動作を実行した後、第
２のモータ２４の駆動を停止し、昇降駆動部１４を駆動
して第１の容器１１を図示の２点鎖線の位置まで上昇さ
せ、処理容器１０を解放する。この後、下側ベース１に
取り付けられた昇降駆動部３３を駆動し、第１のモータ
３６を上昇させることで、ウエハ４を吸着しながらスピ
ンチャック３１を上昇させ、ウエハ４を処理容器１０よ
り取り出して図示の２点鎖線の位置に設定する。この状
態で、ウエハ４の裏面を洗浄する洗浄器（図示せず）を
ウエハ４の裏面側に移動設定し、第１のモータ３６を駆
動することでウエハ４を回転しつつ裏面洗浄を実行し、
以後の処理工程に移行することになる。この裏面洗浄工
程では、ウエハ４は、スピンチャック３１にのみ保持さ
れている。このスピンチャック３１によるウエハ４の裏
面保持位置は、上述した回転塗布時におけるウエハ４の
支持位置（真空吸着部３０による支持位置）よりも内側
となっている。従ってこの裏面洗浄工程では、回転塗布
時に真空吸着部３０にて保持された位置が露出され、回
転塗布時にこの領域に廻り込んだレジスト材をも除去す
ることが可能となる。これにより、その後ウエハ４を搬
送する際、あるいは次工程にて処理する際に、ウエハ４
の裏面に付着したレジスト材により、搬送アーム、サセ
プタなどが汚染されることを防止できる。 【００４１】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。 【００４２】前記実施例では塗布材の滴下部としてウエ
ハ４の上方領域内外に移動走査できるいわゆるノズルス
キャン方式を採用している。これに代えて、第１の容器
１１の中心部に滴下部を固定した固定方式を採用するこ
とも可能である。 【００４３】また、前記実施例では従来よりあるスピン
チャック３１に加えて、真空吸着部３０を第２の容器１
２と共に回転自在に設け、処理容器１０とウエハ４との
回転駆動機構を兼用しているので、周囲空間とウエハ４
との回転速度は同一となる点で優れているが、必ずしも
この構成には限定されない。例えば、真空吸着部３０を
設けずに、処理容器１０内でのウエハ４の吸着及び回転
をスピンチャック３１によって行うこともできる。この
場合、周囲空間との回転速度を物理的に同一にすること
は駆動源を異にするので困難であろうが、少なくとも前
記相対速度差は従来よりも大幅に低減されるので、同様
に本発明の効果を奏することができる。また、処理容器
１０の回転駆動機構４０として、前記実施例ではプー
リ，ベルト方式によったが、他の種々の回転駆動手段に
置換できることはいうまでもない。さらに、本発明が適
用される塗布装置としては、必ずしも半導体ウエハへの
レジスト塗布に限らず、マスクへのレジスト塗布等種々
の塗布装置に適用可能であり、特に被塗布材の隅々まで
塗布が可能となるので、液晶画面等の角型ウエハへの塗
布にも優れた効果を発揮することができる。 【００４４】 【発明の効果】特許請求の範囲第１項及び第３項の各発
明によれば、回転塗布時に塗布材が回り込むことで汚染
される被塗布材の裏面を、確実に洗浄して除去すること
ができる。 特許請求の範囲第２項及び第４項の各発明に
よれば、被塗布材と共に処理容器も同一方向に回転して
いるので、相対速度差が小さくなり、大口径の被塗布材
であっても確実に塗布材の塗布ができる。また、蒸発量
を低減して、滴下すべき塗布材の量を減少させることが
できる。 【００４５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例装置の概略断面図である。
【符号の説明】
４ 被塗布材
１０ 処理容器
１１ 第１の容器
１２ 第２の容器
１４ 第２の回転駆動手段
３０ 真空吸着部（当接部）
３１ スピンチャック（保持手段）
４０ 第１の回転駆動手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大森 伝
東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エ
レクトロン株式会社内
(56)参考文献 特開 昭61−294819（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−33453（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−39737（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．被塗布材を回転させて、前記被塗布材表面に供給さ
れた塗布材により塗布膜を形成する回転塗布工程と、 前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を、前記回
転塗布工程での支持位置よりも内側の位置にて支持し、
前記被塗布材を回転させて前記被塗布材の裏面を洗浄す
る裏面洗浄工程と、 を有することを特徴とする塗布方法。 ２．被塗布材を回転して塗布材を塗布する塗布方法にお
いて、 前記被塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材の回転方向
と同一方向に回転して、前記被塗布材表面に供給された
前記塗布材により塗布膜を形成する回転塗布工程と、 前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を、前記回
転塗布工程での支持位置よりも内側の位置にて支持し、
前記被塗布材を回転させて前記被塗布材の裏面を洗浄す
る裏面洗浄工程と、 を有することを特徴とする塗布方法。 ３．表面に塗布材が供給された被塗布材の裏面を支持し
て前記被塗布材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成
する塗布装置において、 前記表面に塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を支
持して、前記被塗布材を回転させる第１の回転駆動手段
と、 表面に前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を洗
浄する裏面洗浄器と、 前記裏面洗浄器により洗浄される前記被塗布材の裏面
を、前記回転塗布時よりも内側にて支持して、前記被塗
布材を回転させる第２の回転駆動手段と、 を有することを特徴とする塗布装置。 ４．表面に塗布材が供給された被塗布材の裏面を支持し
て前記被塗布材を回転させて、前記表面に塗布膜を形成
する塗布装置において、 前記被塗布材を囲む処理容器を前記被塗布材の回転方向
と同一方向に回転して、前記塗布材により前記被塗布材
表面に塗布膜を形成する第１の回転駆動手段と、 前記塗布膜が形成された前記被塗布材の裏面を、回転塗
布時での支持位置よりも内側の位置にて支持し、前記被
塗布材を回転させる第２の回転駆動手段と、 前記第２の回転駆動手段により回転される前記被塗布材
の裏面を洗浄する裏面洗浄器と、 を有することを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7034497A JP2697810B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 塗布方法及びそれに用いる塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7034497A JP2697810B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 塗布方法及びそれに用いる塗布装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62082465A Division JPH084771B2 (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 塗布装置及びそれを用いた塗布方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34463596A Division JP2697811B2 (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 塗布方法及びそれに用いる塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195024A JPH07195024A (ja) | 1995-08-01 |
| JP2697810B2 true JP2697810B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=12415896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7034497A Expired - Fee Related JP2697810B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 塗布方法及びそれに用いる塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2697810B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5139737A (ja) * | 1974-10-01 | 1976-04-02 | Canon Kk | Hakusotofuyosupinnaa |
| JPS5933453A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | Toshiba Corp | レジスト塗布装置 |
| JPS61294819A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-25 | Nec Corp | 塗布装置 |
-
1995
- 1995-01-30 JP JP7034497A patent/JP2697810B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07195024A (ja) | 1995-08-01 |
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