JP2692337B2 - 電極の検査方法 - Google Patents
電極の検査方法Info
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- JP2692337B2 JP2692337B2 JP2097176A JP9717690A JP2692337B2 JP 2692337 B2 JP2692337 B2 JP 2692337B2 JP 2097176 A JP2097176 A JP 2097176A JP 9717690 A JP9717690 A JP 9717690A JP 2692337 B2 JP2692337 B2 JP 2692337B2
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- electrodes
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、欠陥検査の効率の改善を目的とした特定の
パターン形状を有するストライプ状の電極の検査方法に
関するものである。
パターン形状を有するストライプ状の電極の検査方法に
関するものである。
従来の技術 近年、液晶パネルやプリント基板等の高密度化，高容
量化が進んできている。このため、液晶パネル用基板や
プリント基板のパターンは、ピッチが小さく、パターン
数が多くなり、欠陥がより発生しやすい状況になってき
た。このような状況下で、欠陥を効率よく発見し、その
位置を正確に知ることは従来以上に重要となっている。
量化が進んできている。このため、液晶パネル用基板や
プリント基板のパターンは、ピッチが小さく、パターン
数が多くなり、欠陥がより発生しやすい状況になってき
た。このような状況下で、欠陥を効率よく発見し、その
位置を正確に知ることは従来以上に重要となっている。
従来、ストライプ状電極パターンのパターン欠陥を検
出する手段としては、（ａ）スキャニング針方式、
（ｂ）多針プロービング方式、（ｃ）フレキシブル基板
コンタクト方式の主な３方式が知られている。
出する手段としては、（ａ）スキャニング針方式、
（ｂ）多針プロービング方式、（ｃ）フレキシブル基板
コンタクト方式の主な３方式が知られている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、これらの３方式のうち、（ａ）の方式
では基板ダメージの可能性と欠陥検出の確実性の低さと
いう問題点がある。（ｂ）の方式では一枚のプローブカ
ード上に設置できるプロービング針の本数が限られてお
り、そのまま検査すると検査に長時間かかってしまい効
率が悪いという問題点がある。（ｃ）の方式は、幅広の
フレキシブル基板の電極パターンを被検査基板の電極パ
ターンにコンタクトさせて検査する方式であり、フレキ
シブル基板の被検査基板へのコンタクトが不均一になる
など欠陥検出の確実性に問題がある。
では基板ダメージの可能性と欠陥検出の確実性の低さと
いう問題点がある。（ｂ）の方式では一枚のプローブカ
ード上に設置できるプロービング針の本数が限られてお
り、そのまま検査すると検査に長時間かかってしまい効
率が悪いという問題点がある。（ｃ）の方式は、幅広の
フレキシブル基板の電極パターンを被検査基板の電極パ
ターンにコンタクトさせて検査する方式であり、フレキ
シブル基板の被検査基板へのコンタクトが不均一になる
など欠陥検出の確実性に問題がある。
上記のように、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３方式では
各々に問題点が有り、その問題点を軽減する必要があ
り、より良い検査方法が望まれていた。
各々に問題点が有り、その問題点を軽減する必要があ
り、より良い検査方法が望まれていた。
本発明は、上記のような問題点に鑑み、多針プロービ
ング方式において欠陥検出が確実で、かつ検査効率の良
い（検査速度の速い）検査方法を実現するための手段を
提供するものである。
ング方式において欠陥検出が確実で、かつ検査効率の良
い（検査速度の速い）検査方法を実現するための手段を
提供するものである。
課題を解決するための手段 上記の目的を達成するために、本発明は、並列に並ん
だ複数本のストライプ状電極からなり、かつ最も外側の
ストライプ状電極のうち一方から奇数番目、または偶数
番目のストライプ状電極すべてをまとめてストライプ状
電極の一方の端の電極有効エリア外で第１の共通電極に
より結合してなる第１の電極群と、結合されていない残
りのストライプ状電極を前記共通電極とは反対側の端の
電極有効エリア外で外側から順番に２本ずつ結合させこ
の２本ずつ結合した電極パターンの延長部すべてを第２
の共通電極により結合してなる第２の電極群とを有する
ことを特徴とする電極において、第１の共通電極と第２
の共通電極間の抵抗値を測定することにより電極の短絡
欠陥を一括して検査し、短絡欠陥が検知された場合は、
第２の電極群の２本ずつ結合した電極パターンごとに電
気的に分離した後、第１の共通電極の任意の一点と、各
々の第２の電極群上の任意の一点との間の抵抗値を測定
することにより電極の短絡欠陥を検査することを特徴と
するものである。
だ複数本のストライプ状電極からなり、かつ最も外側の
ストライプ状電極のうち一方から奇数番目、または偶数
番目のストライプ状電極すべてをまとめてストライプ状
電極の一方の端の電極有効エリア外で第１の共通電極に
より結合してなる第１の電極群と、結合されていない残
りのストライプ状電極を前記共通電極とは反対側の端の
電極有効エリア外で外側から順番に２本ずつ結合させこ
の２本ずつ結合した電極パターンの延長部すべてを第２
の共通電極により結合してなる第２の電極群とを有する
ことを特徴とする電極において、第１の共通電極と第２
の共通電極間の抵抗値を測定することにより電極の短絡
欠陥を一括して検査し、短絡欠陥が検知された場合は、
第２の電極群の２本ずつ結合した電極パターンごとに電
気的に分離した後、第１の共通電極の任意の一点と、各
々の第２の電極群上の任意の一点との間の抵抗値を測定
することにより電極の短絡欠陥を検査することを特徴と
するものである。
また、前記電極において、第２の電極群の２本ずつ結
合した電極パターンごとに電気的に分離した後、ストラ
イプ状電極の結合していない方の端に欠陥検査用の接点
をコンタクトさせ、並列に並んでいるストライプ状電極
のうち外側から4n＋１番目と4n＋３番目（ｎは０または
正の整数で4n＋４がストライプ状電極本数を超えない範
囲）のストライプ状電極上の欠陥検査用の接点間の抵抗
値および4n＋２番目と4n＋４番目のストライプ状電極上
の欠陥検査用の接点間の抵抗値を測定することにより、
電極の断線欠陥を検査することを特徴とするものであ
る。
合した電極パターンごとに電気的に分離した後、ストラ
イプ状電極の結合していない方の端に欠陥検査用の接点
をコンタクトさせ、並列に並んでいるストライプ状電極
のうち外側から4n＋１番目と4n＋３番目（ｎは０または
正の整数で4n＋４がストライプ状電極本数を超えない範
囲）のストライプ状電極上の欠陥検査用の接点間の抵抗
値および4n＋２番目と4n＋４番目のストライプ状電極上
の欠陥検査用の接点間の抵抗値を測定することにより、
電極の断線欠陥を検査することを特徴とするものであ
る。
作用 本発明は、上記の電極の検出方法を採ることにより、
複数のストライプ状電極の断線欠陥をまとめて検査で
き、かつ、複数のストライプ状電極間隙の短絡欠陥をま
とめて検査できるため、欠陥検出の確実性の高い多針プ
ロービング方式においてその問題点となる検査効率を改
善できる。また、短絡欠陥検査時に測定する抵抗値から
欠陥のある位置を算出できるため、その後の短絡欠陥修
正時の効率が向上するものである。
複数のストライプ状電極の断線欠陥をまとめて検査で
き、かつ、複数のストライプ状電極間隙の短絡欠陥をま
とめて検査できるため、欠陥検出の確実性の高い多針プ
ロービング方式においてその問題点となる検査効率を改
善できる。また、短絡欠陥検査時に測定する抵抗値から
欠陥のある位置を算出できるため、その後の短絡欠陥修
正時の効率が向上するものである。
実施例 以下本発明の一実施例の電極と、その検査方法につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の検査方法を用いる電極のパターンの
一実施例を簡略化して示すものである。１はストライプ
状電極であり、最も外側のストライプ状電極のうち一方
から奇数番目の電極が左の端2aですべてまとめて結合し
第１の共通電極2bを設け第１の電極群２としている。偶
数番目の電極は他方の端すなわち右の端3aで２本ずつに
まとめて結合し、この２本ずつ結合した電極パターンの
延長部3bで更にすべてをまとめて結合し第２の共通電極
3cを設け、第２の電極群３としている。
一実施例を簡略化して示すものである。１はストライプ
状電極であり、最も外側のストライプ状電極のうち一方
から奇数番目の電極が左の端2aですべてまとめて結合し
第１の共通電極2bを設け第１の電極群２としている。偶
数番目の電極は他方の端すなわち右の端3aで２本ずつに
まとめて結合し、この２本ずつ結合した電極パターンの
延長部3bで更にすべてをまとめて結合し第２の共通電極
3cを設け、第２の電極群３としている。
第２図は、本発明の検査方法における測定ポイントを
示す図である。12aが第１の共通電極2bのプロービング
ポイント、12bが第２の共通電極3cのプロービングポイ
ントである。この任意のプロービングポイントにおい
て、この２点間の抵抗値を測定して、抵抗値があるスレ
ッショールド抵抗値よりも大か小かを判定することによ
り、ストライプ状の電極のいずれかに短絡欠陥があるか
どうかを一括検査できる。
示す図である。12aが第１の共通電極2bのプロービング
ポイント、12bが第２の共通電極3cのプロービングポイ
ントである。この任意のプロービングポイントにおい
て、この２点間の抵抗値を測定して、抵抗値があるスレ
ッショールド抵抗値よりも大か小かを判定することによ
り、ストライプ状の電極のいずれかに短絡欠陥があるか
どうかを一括検査できる。
第３図は、上記の検査方法により、ストライプ状電極
相互間の短絡欠陥の有無を検査した後に、短絡欠陥があ
ることがわかったときには、例えば、レーザー等により
第２の電極群３の第２の共通電極3cを取り去ることで延
長部3bと他の延長部3bとを各々電気的に分離し、電極の
検査方法に用いるプロービングポイントの一実施例を示
す図である。
相互間の短絡欠陥の有無を検査した後に、短絡欠陥があ
ることがわかったときには、例えば、レーザー等により
第２の電極群３の第２の共通電極3cを取り去ることで延
長部3bと他の延長部3bとを各々電気的に分離し、電極の
検査方法に用いるプロービングポイントの一実施例を示
す図である。
4aが端から4n＋１番目（ｎは０または正の整数で4n＋
４がストライプ状電極本数を超えない範囲である）のス
トライプ状電極１の右の端3aのプロービングポイント、
4bが4n＋２番目、4cが4n＋３番目、4dが４番目のストラ
イプ状電極１の右の端3aの端のプロービングポイントで
ある。
４がストライプ状電極本数を超えない範囲である）のス
トライプ状電極１の右の端3aのプロービングポイント、
4bが4n＋２番目、4cが4n＋３番目、4dが４番目のストラ
イプ状電極１の右の端3aの端のプロービングポイントで
ある。
ここで断線欠陥の検査方法としては、4aと4cの２つの
プロービングポイント間の抵抗値を測定して、抵抗値が
あるスレッショールド抵抗値よりも大か小かを判定する
ことにより、4n＋１番目と4n＋３番目の２本のストライ
プ状電極の断線欠陥を同時に判定することができる。同
様にして、4bと4dの２つのプロービングポイント間の抵
抗値測定により4n＋２番目と4n＋４番目の２本のストラ
イプ状電極１の断線欠陥を同時に判定することができ
る。断線欠陥の位置が２本のストライプ状電極１のどち
らにあるかを特定するためには、第３図のプロービング
ポイントに、第４図のように4n＋１番目、4n＋２番目の
ストライプ状電極１にそれぞれ5a,5b補助プロービング
ポイントを追加して、断線欠陥の検出されたポイントに
ついて再検査する（例えば、4n＋１番目と4n＋３番目の
ストライプ状電極１との間に断線欠陥が検出されたとき
にはプロービングポイント4aと補助プロービングポイン
ト5aの間の抵抗値とプロービングポイント4cと補助プロ
ービングポイント5aの間の抵抗値をそれぞれ測定してい
ずれに断線欠陥があるかを調べる）ことにより可能とな
る。
プロービングポイント間の抵抗値を測定して、抵抗値が
あるスレッショールド抵抗値よりも大か小かを判定する
ことにより、4n＋１番目と4n＋３番目の２本のストライ
プ状電極の断線欠陥を同時に判定することができる。同
様にして、4bと4dの２つのプロービングポイント間の抵
抗値測定により4n＋２番目と4n＋４番目の２本のストラ
イプ状電極１の断線欠陥を同時に判定することができ
る。断線欠陥の位置が２本のストライプ状電極１のどち
らにあるかを特定するためには、第３図のプロービング
ポイントに、第４図のように4n＋１番目、4n＋２番目の
ストライプ状電極１にそれぞれ5a,5b補助プロービング
ポイントを追加して、断線欠陥の検出されたポイントに
ついて再検査する（例えば、4n＋１番目と4n＋３番目の
ストライプ状電極１との間に断線欠陥が検出されたとき
にはプロービングポイント4aと補助プロービングポイン
ト5aの間の抵抗値とプロービングポイント4cと補助プロ
ービングポイント5aの間の抵抗値をそれぞれ測定してい
ずれに断線欠陥があるかを調べる）ことにより可能とな
る。
また、短絡欠陥の検査方法としては、例えば、プロー
ビングポイント4b（第２の電極群３のストライプ状電極
１の任意の一点）とプロービングポイント4c（第１の電
極群２の電極部分の任意の一点）との間の抵抗値を測定
して、抵抗値があるスレッショールド抵抗値よりも大か
小かを判定することにより4n＋１番目のストライプ状電
極１から4n＋４番目のストライプ状電極１の間の４つの
ストライプ状電極１間隙の短絡欠陥を同時に判定するこ
とができる。さらにプロービングポイント4cとプロービ
ングポイント4dとの間の抵抗値を測定し、２つの抵抗値
の値から以下のように短絡欠陥位置を特定することがで
きるものである。
ビングポイント4b（第２の電極群３のストライプ状電極
１の任意の一点）とプロービングポイント4c（第１の電
極群２の電極部分の任意の一点）との間の抵抗値を測定
して、抵抗値があるスレッショールド抵抗値よりも大か
小かを判定することにより4n＋１番目のストライプ状電
極１から4n＋４番目のストライプ状電極１の間の４つの
ストライプ状電極１間隙の短絡欠陥を同時に判定するこ
とができる。さらにプロービングポイント4cとプロービ
ングポイント4dとの間の抵抗値を測定し、２つの抵抗値
の値から以下のように短絡欠陥位置を特定することがで
きるものである。
第５図と第６図は本実施例による短絡欠陥検出方法を
説明する図である。第５図のように4n＋２番目と4n＋３
番目のストライプ状電極１の間に短絡欠陥６があるとす
ると、プロービングポイント4bとプロービングポイント
4cとの間の抵抗値測定時の電流通過経路は点線７の経路
となる。プロービングポイント4cとプロービングポイン
ト4dとの間の抵抗値測定時の電流通過経路は一点鎖線８
の経路となる。ここで、ストライプ状電極１の長さをl0
として、ストライプ状電極１の右の端3aから６の短絡欠
陥までの距離をｌとすると点線７の電流通過経路はl0に
等しくなり、一点鎖線８の電流通過経路はl0＋2lに等し
くなる。
説明する図である。第５図のように4n＋２番目と4n＋３
番目のストライプ状電極１の間に短絡欠陥６があるとす
ると、プロービングポイント4bとプロービングポイント
4cとの間の抵抗値測定時の電流通過経路は点線７の経路
となる。プロービングポイント4cとプロービングポイン
ト4dとの間の抵抗値測定時の電流通過経路は一点鎖線８
の経路となる。ここで、ストライプ状電極１の長さをl0
として、ストライプ状電極１の右の端3aから６の短絡欠
陥までの距離をｌとすると点線７の電流通過経路はl0に
等しくなり、一点鎖線８の電流通過経路はl0＋2lに等し
くなる。
また、第６図のように4n＋１番目と4n＋２番目のスト
ライプ状電極１の間に短絡欠陥９があるとすると、プロ
ービングポイント4bとプロービングポイント4cの間の抵
抗値測定時の点線10で表される電流通過経路は3l0−2l0
に等しくなり、プロービングポイント4cとプロービング
ポイント4dとの間の抵抗値測定時の一点鎖線11で表わさ
れる電流通過経路は3l0に等しくなる。
ライプ状電極１の間に短絡欠陥９があるとすると、プロ
ービングポイント4bとプロービングポイント4cの間の抵
抗値測定時の点線10で表される電流通過経路は3l0−2l0
に等しくなり、プロービングポイント4cとプロービング
ポイント4dとの間の抵抗値測定時の一点鎖線11で表わさ
れる電流通過経路は3l0に等しくなる。
同様に短絡欠陥が4n＋３番目と4n＋４番目のストライ
プ状電極１との間にある場合、4n＋４番目と4n＋５番目
のストライプ状電極１との間にある場合もそれぞれの電
流通過経路長があり、しかも各々の場合毎に前記２つの
電流通過経路長の組合せが異なる。
プ状電極１との間にある場合、4n＋４番目と4n＋５番目
のストライプ状電極１との間にある場合もそれぞれの電
流通過経路長があり、しかも各々の場合毎に前記２つの
電流通過経路長の組合せが異なる。
この時、ストライプ状電極は幅がほぼ一定であること
から測定されるプロービングポイント間の抵抗値は電流
通過経路長に比例する。したがって、ストライプ状電極
一本のライン抵抗値をR0とすると測定される抵抗値はR0
〜3R0の抵抗値となる。第１表に各電極間に短絡欠陥が
ある場合の各測定位置での測定抵抗値を示している。こ
れを見て判るように、プロービングポイント4bと4cの間
の抵抗値と、4cと4dの間の抵抗値の組合せが短絡欠陥の
存在する位置により異なっており、この抵抗値のあらわ
れかたでどのストライプ状電極間に短絡欠陥があるかを
決定することができるものである。
から測定されるプロービングポイント間の抵抗値は電流
通過経路長に比例する。したがって、ストライプ状電極
一本のライン抵抗値をR0とすると測定される抵抗値はR0
〜3R0の抵抗値となる。第１表に各電極間に短絡欠陥が
ある場合の各測定位置での測定抵抗値を示している。こ
れを見て判るように、プロービングポイント4bと4cの間
の抵抗値と、4cと4dの間の抵抗値の組合せが短絡欠陥の
存在する位置により異なっており、この抵抗値のあらわ
れかたでどのストライプ状電極間に短絡欠陥があるかを
決定することができるものである。
次に、電極間隙内のどの位置に短絡欠陥があるかを計
算により求める方法について説明する。この第１表を見
ると判るように測定する２つの抵抗値のうちの一方は必
ずR0〜3R0の短絡欠陥位置に応じた抵抗値を示してい
る。このことを利用して、その抵抗値Ｒから短絡欠陥位
置を算出することができる。例えば4n＋２番目と4n＋３
番目のストライプ状電極１の間に短絡欠陥がある場合に
プロービングポイント4c,4d間の抵抗値を測れば電流通
過経路はl0＋2lに等しくなる。この時、上記の測定値Ｒ
からｌの値が次式のように求められる。
算により求める方法について説明する。この第１表を見
ると判るように測定する２つの抵抗値のうちの一方は必
ずR0〜3R0の短絡欠陥位置に応じた抵抗値を示してい
る。このことを利用して、その抵抗値Ｒから短絡欠陥位
置を算出することができる。例えば4n＋２番目と4n＋３
番目のストライプ状電極１の間に短絡欠陥がある場合に
プロービングポイント4c,4d間の抵抗値を測れば電流通
過経路はl0＋2lに等しくなる。この時、上記の測定値Ｒ
からｌの値が次式のように求められる。
R0：l0＝R:（l0＋2l） ｌ＝l0（Ｒ−ｌ）／2R0 また4n＋１番目と4n＋２番目のストライプ状電極１の
間に短絡欠陥がある場合にプロービングポイント4b,4c
間の抵抗値を測れば電流通過経路は3l0−2lに等しくな
る。この時の測定抵抗値Ｒにより、ｌの値は次式のよう
に求められる。
間に短絡欠陥がある場合にプロービングポイント4b,4c
間の抵抗値を測れば電流通過経路は3l0−2lに等しくな
る。この時の測定抵抗値Ｒにより、ｌの値は次式のよう
に求められる。
R0：l0＝R:（3l0−2l） ｌ＝l0（3R0−Ｒ）／2R0 このようにして、プロービングポイント4bと4cの間の
抵抗値と、4cと4dの間の抵抗値を測定することにより、
どのストライプ状電極１間に短絡欠陥があり、しかもど
の位置にあるかということまで明確になる。
抵抗値と、4cと4dの間の抵抗値を測定することにより、
どのストライプ状電極１間に短絡欠陥があり、しかもど
の位置にあるかということまで明確になる。
発明の効果 以上説明したように、本発明の電極の検査方法を用い
れば、ストライプ状電極の断線欠陥検査を一度の測定で
２本同時に行うので、断線欠陥検査の実測定時間が約1/
2の時間ですみ、短絡欠陥検査の実測定時間も約1/4の時
間で終了できる。なお、短絡欠陥検査の実測定時間と
は、第１の共通電極と第２の共通電極の２点間を一括検
査し欠陥ありと判定された場合の時間であって、一括検
査で被測定物に短絡欠陥がないことが判定されれば，以
降の多針プロービング針による短絡欠陥検査は省略で
き、従来の方法（すべての基板に対し、すべてのストラ
イプ状電極の両端にプロービング針をコンタクトさせ検
査する方法）に比べて検査に要する時間を大幅に短縮で
きる。
れば、ストライプ状電極の断線欠陥検査を一度の測定で
２本同時に行うので、断線欠陥検査の実測定時間が約1/
2の時間ですみ、短絡欠陥検査の実測定時間も約1/4の時
間で終了できる。なお、短絡欠陥検査の実測定時間と
は、第１の共通電極と第２の共通電極の２点間を一括検
査し欠陥ありと判定された場合の時間であって、一括検
査で被測定物に短絡欠陥がないことが判定されれば，以
降の多針プロービング針による短絡欠陥検査は省略で
き、従来の方法（すべての基板に対し、すべてのストラ
イプ状電極の両端にプロービング針をコンタクトさせ検
査する方法）に比べて検査に要する時間を大幅に短縮で
きる。
また、すべてのストライプ状電極の両端にプロービン
グポイントを設ける必要がないため、プロービング針の
本数を減らすことができる。すなわち同じ本数のプロー
ビング針で4/3〜２倍の本数のストライプ状電極の欠陥
を検査できるようになるためプローブカード移動回数を
少なくでき、検査時間を大幅に短縮することができる。
このため、検査に比較的時間のかかる多針式プロービン
グ方式を用いても、かなり短時間で欠陥検査をできるも
のである。さらに、この電極パターン形状及び、欠陥検
査方法によれば、多針式プロービング方式を用いた場合
の長所である欠陥検出の確実性を少しも損なわないばか
りでなく、短絡欠陥の発生位置までも明確にすることが
できるものであり、欠陥修正時の効率をも向上できるも
のである。
グポイントを設ける必要がないため、プロービング針の
本数を減らすことができる。すなわち同じ本数のプロー
ビング針で4/3〜２倍の本数のストライプ状電極の欠陥
を検査できるようになるためプローブカード移動回数を
少なくでき、検査時間を大幅に短縮することができる。
このため、検査に比較的時間のかかる多針式プロービン
グ方式を用いても、かなり短時間で欠陥検査をできるも
のである。さらに、この電極パターン形状及び、欠陥検
査方法によれば、多針式プロービング方式を用いた場合
の長所である欠陥検出の確実性を少しも損なわないばか
りでなく、短絡欠陥の発生位置までも明確にすることが
できるものであり、欠陥修正時の効率をも向上できるも
のである。
第１図は本発明の一実施例の電極のパターン形状を示す
平面図、第２図は本発明における一括短絡欠陥検査方法
のプロービングポイントの一実施例を示す平面図、第３
図および第４図は本発明の欠陥検査方方法のプロービン
グポイントの一実施例を示す平面図、第５図および第６
図は本発明の一実施例の電極パターンに短絡欠陥がある
場合の欠陥検出用プロービングポイント間の電流通過経
路を示す平面図である。 １……ストライプ状電極、２……第１の電極群、2a……
左の端、2b……第１の共通電極、３……第２の電極群、
3a……右の端、3b……延長部、3c……第２の共通電極、
4a,4b,4c,4d,12a,12b……プロービングポイント、5a,5b
……補助プロービングポイント、6,9……短絡欠陥、7,1
0……点線、8,11……一点鎖線。
平面図、第２図は本発明における一括短絡欠陥検査方法
のプロービングポイントの一実施例を示す平面図、第３
図および第４図は本発明の欠陥検査方方法のプロービン
グポイントの一実施例を示す平面図、第５図および第６
図は本発明の一実施例の電極パターンに短絡欠陥がある
場合の欠陥検出用プロービングポイント間の電流通過経
路を示す平面図である。 １……ストライプ状電極、２……第１の電極群、2a……
左の端、2b……第１の共通電極、３……第２の電極群、
3a……右の端、3b……延長部、3c……第２の共通電極、
4a,4b,4c,4d,12a,12b……プロービングポイント、5a,5b
……補助プロービングポイント、6,9……短絡欠陥、7,1
0……点線、8,11……一点鎖線。
Claims (5)
- 【請求項１】並列に並んだ複数本のストライプ状電極か
らなり、かつ最も外側のストライプ状電極のうち一方か
ら奇数番目、または偶数番目のストライプ状電極すべて
をまとめてストライプ状電極の一方の端の電極有効エリ
ア外で第１の共通電極により結合してなる第１の電極群
と、結合されていない残りのストライプ状電極を前記共
通電極とは反対側の端の電極有効エリア外で外側から順
番に２本ずつ結合させこの２本ずつ結合した電極パター
ンの延長部すべてを第２の共通電極により結合してなる
第２の電極群とを有し、前記第１の共通電極と第２の共
通電極間の抵抗値を測定することにより電極の短絡欠陥
を一括して検査し、短絡欠陥が検知された場合は、第２
の電極群の２本ずつ結合した電極パターンごとに電気的
に分離した後、第１の共通電極の任意の一点と、各々の
第２の電極群上の任意の一点との間の抵抗値を測定する
ことにより電極の短絡欠陥を検査することを特徴とする
電極の検査方法。 - 【請求項２】第２の電極群上の任意の一点がその２本の
ストライプ状電極の結合されていない端にあり、第１の
共通電極の任意の一点が第１の電極群のストライプ状電
極のまとめて結合されていない端にあることを特徴とす
る請求項１記載の電極の検査方法。 - 【請求項３】電極パターンの短絡欠陥が検知されたとき
に、短絡欠陥が検知された部分の第２の電極群の２本の
ストライプ状電極上の結合されていない側の端部の２点
それぞれと、前記２本のストライプ状電極の間にある第
１の電極群のストライプ状電極の結合されていない側の
端部との間の抵抗値をそれぞれ測定して、短絡欠陥の位
置を特定することを特徴とする請求項２記載の電極の検
査方法。 - 【請求項４】第２の電極群の２本ずつ結合した電極パタ
ーンごとに電気的に分離した後、ストライプ状電極の結
合していない方の端に欠陥検査用の接点をコンタクトさ
せ、並列に並んでいるストライプ状電極のうち外側から
4n＋１番目と4n＋３番目（ｎは０または正の整数で4n＋
４がストライプ状電極本数を超えない範囲）のストライ
プ状電極上の欠陥検査用の接点間の抵抗値および4n＋２
番目と4n＋４番目のストライプ状電極上の欠陥検査用の
接点間の抵抗値を測定することにより、電極の断線欠陥
を検査することを特徴とする請求項１記載の電極の検査
方法。 - 【請求項５】電極パターンの断線欠陥が検知されたとき
に、断線欠陥が検知された２接点間の２本のストライプ
状電極の接点とは反対側の端に予めコンタクトさせてお
いた欠陥検査用の補助接点と断線欠陥が検知された２接
点との間の抵抗値をそれそれ測定することにより電極パ
ターンの断線欠陥の位置を特定することを特徴とする請
求項２記載の電極の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2097176A JP2692337B2 (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 電極の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2097176A JP2692337B2 (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 電極の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03293568A JPH03293568A (ja) | 1991-12-25 |
| JP2692337B2 true JP2692337B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=14185275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2097176A Expired - Lifetime JP2692337B2 (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 電極の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2692337B2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-12 JP JP2097176A patent/JP2692337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03293568A (ja) | 1991-12-25 |
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