JP2662692B2 - 硬質多結晶ダイヤモンド工具 - Google Patents
硬質多結晶ダイヤモンド工具Info
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- JP2662692B2 JP2662692B2 JP63034033A JP3403388A JP2662692B2 JP 2662692 B2 JP2662692 B2 JP 2662692B2 JP 63034033 A JP63034033 A JP 63034033A JP 3403388 A JP3403388 A JP 3403388A JP 2662692 B2 JP2662692 B2 JP 2662692B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- polycrystalline diamond
- tool
- thickness
- brazing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は切削工具又は耐摩工具等として用うるに好適
なダイヤモンド工具に関するものである。
なダイヤモンド工具に関するものである。
ダイヤモンド微粉末を超高圧下で焼結してなるダイヤ
モンド焼結体は、既に非鉄金属類の切削加工用工具、ド
リルビツトあるいは線引ダイス等に広く使用されてい
る。
モンド焼結体は、既に非鉄金属類の切削加工用工具、ド
リルビツトあるいは線引ダイス等に広く使用されてい
る。
例えば特公昭52−12126号公報にはこの種の焼結体の
製法が開示されており、そこではダイヤモンドの粉末を
WC−Co超硬合金の成型体または焼結体に接するように配
置し、超硬合金の液相が生じる温度以上の温度並びに超
高圧下で焼結が行なわれる。このとき、超硬合金中のCo
の一部は、ダイヤモンド粉末層中に侵入し、結合金属と
して作用する。この先行技術に開示された方法で作られ
たダイヤモンド焼結体は、約10〜15体積％のCoを含有す
る。
製法が開示されており、そこではダイヤモンドの粉末を
WC−Co超硬合金の成型体または焼結体に接するように配
置し、超硬合金の液相が生じる温度以上の温度並びに超
高圧下で焼結が行なわれる。このとき、超硬合金中のCo
の一部は、ダイヤモンド粉末層中に侵入し、結合金属と
して作用する。この先行技術に開示された方法で作られ
たダイヤモンド焼結体は、約10〜15体積％のCoを含有す
る。
上記した焼結体は、非鉄金属等の切削加工用工具とし
ては十分実用的な性能を有する。しかしながら、耐熱性
において劣るという欠点があつた。例えば、この焼結体
を750℃以上の温度に加熱すると、耐摩耗性及び強度の
低下が見られ、さらに900℃以上の温度では焼結体が破
壊することになる。これは、ダイヤモンド粒子と結合材
であるCoとの界面においてダイヤモンドの黒鉛化が生じ
ること、並びに両者の加熱時における熱膨張率の差に基
づく熱応力によるものと考えられる。
ては十分実用的な性能を有する。しかしながら、耐熱性
において劣るという欠点があつた。例えば、この焼結体
を750℃以上の温度に加熱すると、耐摩耗性及び強度の
低下が見られ、さらに900℃以上の温度では焼結体が破
壊することになる。これは、ダイヤモンド粒子と結合材
であるCoとの界面においてダイヤモンドの黒鉛化が生じ
ること、並びに両者の加熱時における熱膨張率の差に基
づく熱応力によるものと考えられる。
また、Coを結合材とした焼結体を酸処理して大部分の
結合金属層を除去したものでは、焼結体の耐熱性が向上
することが知られている。例えば、特開昭53−114589号
公報には、耐熱性の改善されたダイヤモンド焼結体の製
造方法が開示されている。しかしながら、この先行技術
では、除去された結合金属相の部分は空孔となるため、
耐熱性こそ向上するが、強度が低下するという問題があ
つた。
結合金属層を除去したものでは、焼結体の耐熱性が向上
することが知られている。例えば、特開昭53−114589号
公報には、耐熱性の改善されたダイヤモンド焼結体の製
造方法が開示されている。しかしながら、この先行技術
では、除去された結合金属相の部分は空孔となるため、
耐熱性こそ向上するが、強度が低下するという問題があ
つた。
他方、ダイヤモンドの粉末のみを超高圧下で焼結する
試みも行なわれているが、ダイヤモンド粒子自身が変形
し難いため、粒子の間隙には圧力が伝達されず、したが
つて黒鉛化が生じ、ダイヤモンド−黒鉛の複合体しか得
られていない。
試みも行なわれているが、ダイヤモンド粒子自身が変形
し難いため、粒子の間隙には圧力が伝達されず、したが
つて黒鉛化が生じ、ダイヤモンド−黒鉛の複合体しか得
られていない。
さらに、ダイヤモンドのみからなる多結晶体を薄膜と
してコーテイングした工具は知られているが、この種の
工具は膜厚が薄く、かつ基板との密着強度が不十分であ
るため、十分な性能が得られていない。
してコーテイングした工具は知られているが、この種の
工具は膜厚が薄く、かつ基板との密着強度が不十分であ
るため、十分な性能が得られていない。
本発明は上記の従来工具の問題点を解決した強度、耐
摩耗性、耐熱性の高いダイヤモンド工具を提供すること
を目的としてなされたものである。
摩耗性、耐熱性の高いダイヤモンド工具を提供すること
を目的としてなされたものである。
本発明は低圧気相法により合成された実質的にダイヤ
モンドのみからなる多結晶ダイヤモンドが、融点700〜1
300℃厚さ0.1〜100μｍのAuを含有する合金ろう材によ
り金属または合金からなる支持部材にろう付けされたも
のであることを特徴とする硬質多結晶ダイヤモンド工具
に関する。
モンドのみからなる多結晶ダイヤモンドが、融点700〜1
300℃厚さ0.1〜100μｍのAuを含有する合金ろう材によ
り金属または合金からなる支持部材にろう付けされたも
のであることを特徴とする硬質多結晶ダイヤモンド工具
に関する。
本発明における該多結晶ダイヤモンドの厚さは0.1〜
3.0mmの範囲内が好ましい。また支持部材としては鋼又
は焼結炭化物合金が好ましい。
3.0mmの範囲内が好ましい。また支持部材としては鋼又
は焼結炭化物合金が好ましい。
本発明の多結晶ダイヤモンド工具は従来の焼結ダイヤ
モンド工具に比べて耐熱性が大幅に改善され、約1300℃
の温度での加熱に対しても耐え得ることがわかつた。又
強度、耐摩耗性も高い。
モンド工具に比べて耐熱性が大幅に改善され、約1300℃
の温度での加熱に対しても耐え得ることがわかつた。又
強度、耐摩耗性も高い。
以下に本発明の多結晶ダイヤモンド工具をその製造方
法を示して説明する。
法を示して説明する。
本発明において、多結晶ダイヤモンドの合成は、ダイ
ヤモンドが熱力学的に準安定な低圧条件下で気相から析
出させる方法による。この低圧気相法は１）化学蒸着法
（CVD法）、２）プラズマCVD法、３）イオンビーム蒸着
法に大別されるが、所望の方法を選択して実施すること
ができる。
ヤモンドが熱力学的に準安定な低圧条件下で気相から析
出させる方法による。この低圧気相法は１）化学蒸着法
（CVD法）、２）プラズマCVD法、３）イオンビーム蒸着
法に大別されるが、所望の方法を選択して実施すること
ができる。
これらの低圧気相法を用いて、基板上に0.1〜3.0mmの
厚さの実質的にダイヤモンドのみからなる多結晶体を作
製する。ここで厚さを0.1mm以上とするのは、実際に切
削工具として使用した場合、工具寿命時の逃げ面摩耗幅
が0.1mm以上となることが多いことになる。また3.0mm以
下とするのは、一般的に使用される工具での厚さを示す
もので、特にこの値にその性能が左右されるなど限定さ
れるものではない。さらに耐摩耗性を特に要求する場合
には、その厚さを0.5mm〜3.0mmとすればよい。これは、
多結晶体の厚さが厚くなれば放熱特性が良好となり、工
具使用時の刃先温度の上昇が防止されるためと考えられ
る。通常使用される多結晶体の厚さとしては、0.5〜1.0
mm程度が一般的である。
厚さの実質的にダイヤモンドのみからなる多結晶体を作
製する。ここで厚さを0.1mm以上とするのは、実際に切
削工具として使用した場合、工具寿命時の逃げ面摩耗幅
が0.1mm以上となることが多いことになる。また3.0mm以
下とするのは、一般的に使用される工具での厚さを示す
もので、特にこの値にその性能が左右されるなど限定さ
れるものではない。さらに耐摩耗性を特に要求する場合
には、その厚さを0.5mm〜3.0mmとすればよい。これは、
多結晶体の厚さが厚くなれば放熱特性が良好となり、工
具使用時の刃先温度の上昇が防止されるためと考えられ
る。通常使用される多結晶体の厚さとしては、0.5〜1.0
mm程度が一般的である。
多結晶体を析出される基板の材質としては、多結晶体
作製中に生ずる内部応力の緩和を考慮して、その熱膨張
率がダイヤモンドのそれに近いものが好ましく、これに
該当するものとして例えばMo,W,Si,SiC,AlN,B4C等が挙
げられる。
作製中に生ずる内部応力の緩和を考慮して、その熱膨張
率がダイヤモンドのそれに近いものが好ましく、これに
該当するものとして例えばMo,W,Si,SiC,AlN,B4C等が挙
げられる。
次にこの多結晶ダイヤモンドが析出した基板から機械
的に又は化学処理により該基板を除去してダイヤモンド
のみの多結晶体とし、多結晶体を支持部材にろう付けす
る。融点が700〜1300℃のAuを含有する合金ろう材を用
いて、ダイヤモンド多結晶体と金属または合金からなる
支持部材とを接合する。使用ろう材の融点を上記範囲に
限定する理由は、700℃未満の融点のろう材を用いると
多結晶体と支持部材の接合強度が低くなり、工具作製の
際の刃付け作業工程や、工具使用時にろう材部分での剥
離が生ずるため好ましくない。また、1300℃を越える高
融点ろう材の使用は、ろう付時での多結晶ダイヤモンド
の黒鉛への変換が生じ、工具性能の低下を招くため好ま
しくない。
的に又は化学処理により該基板を除去してダイヤモンド
のみの多結晶体とし、多結晶体を支持部材にろう付けす
る。融点が700〜1300℃のAuを含有する合金ろう材を用
いて、ダイヤモンド多結晶体と金属または合金からなる
支持部材とを接合する。使用ろう材の融点を上記範囲に
限定する理由は、700℃未満の融点のろう材を用いると
多結晶体と支持部材の接合強度が低くなり、工具作製の
際の刃付け作業工程や、工具使用時にろう材部分での剥
離が生ずるため好ましくない。また、1300℃を越える高
融点ろう材の使用は、ろう付時での多結晶ダイヤモンド
の黒鉛への変換が生じ、工具性能の低下を招くため好ま
しくない。
従つて、上記のろう付温度範囲内でなるべく接合強度
の高いろう材を用いることが好ましく、これに該当する
高温ろう材としては、Auを含有するものが挙げられる。
具体例は実施例に示す。また、これ等のろう材を使用し
ても、ろう付後のろう材厚さを0.1〜100μｍ、好ましく
は50μｍ程度とすることが必要である。0.1mm未満では
ろう付が不均一となりやすく、一方100μｍを越えると
ろう付部の強度低下を招くことにより好ましくない。ろ
う付の方法としては、非酸化性雰囲気中での高周波加熱
或は真空中での加熱による方法等で実施することが可能
である。
の高いろう材を用いることが好ましく、これに該当する
高温ろう材としては、Auを含有するものが挙げられる。
具体例は実施例に示す。また、これ等のろう材を使用し
ても、ろう付後のろう材厚さを0.1〜100μｍ、好ましく
は50μｍ程度とすることが必要である。0.1mm未満では
ろう付が不均一となりやすく、一方100μｍを越えると
ろう付部の強度低下を招くことにより好ましくない。ろ
う付の方法としては、非酸化性雰囲気中での高周波加熱
或は真空中での加熱による方法等で実施することが可能
である。
支持部材としては通常焼入鋼が用いられるが、特に剛
性が要求される場合には焼結炭化物合金例えばWC合金、
TiC合金、Mo2C合金等を用いることができる。また、こ
れら以外の金属または合金を支持部材とすることは勿論
可能である。なお、支持部材の厚さについては特に限定
するところはないが、ろう付時の熱応力を緩和するに
は、多結晶体と支持部材との熱膨張率の差によつて、こ
れ等の厚さの適切な比率を選定することが重要である。
例えば熱膨張率の値がダイヤモンドのそれの５〜６倍で
ある鋼を支持部材に用いる場合には、支持部材の厚さは
多結晶体のそれよりも薄くしないと、剥離が生じやす
い。
性が要求される場合には焼結炭化物合金例えばWC合金、
TiC合金、Mo2C合金等を用いることができる。また、こ
れら以外の金属または合金を支持部材とすることは勿論
可能である。なお、支持部材の厚さについては特に限定
するところはないが、ろう付時の熱応力を緩和するに
は、多結晶体と支持部材との熱膨張率の差によつて、こ
れ等の厚さの適切な比率を選定することが重要である。
例えば熱膨張率の値がダイヤモンドのそれの５〜６倍で
ある鋼を支持部材に用いる場合には、支持部材の厚さは
多結晶体のそれよりも薄くしないと、剥離が生じやす
い。
以上のように作製される本発明の多結晶ダイヤモンド
工具は、以下の実施例に示すように、1300℃の加熱にも
耐える著しく改善された耐熱性を持つがこの理由として
は、ダイヤモンドのみからなり、熱劣化を促進させる結
合相が存在しないことが考えられる。またこのことは、
強度の点からも従来の焼結ダイヤモンドより優れるとい
う特徴を付与している。
工具は、以下の実施例に示すように、1300℃の加熱にも
耐える著しく改善された耐熱性を持つがこの理由として
は、ダイヤモンドのみからなり、熱劣化を促進させる結
合相が存在しないことが考えられる。またこのことは、
強度の点からも従来の焼結ダイヤモンドより優れるとい
う特徴を付与している。
以下、実施例に基づき、本発明を詳細に説明する。
参考例１ マイクロ波プラズマCVD法により、基板にMoを使用し
て、以下の条件で８時間で0.8mmの厚さの多結晶ダイヤ
モンドを合成した。
て、以下の条件で８時間で0.8mmの厚さの多結晶ダイヤ
モンドを合成した。
原料ガス（流量）:H2200cc/min、CH44cc/min、Ar100cc/ min 圧力:300torr マイクロ波発振機出力:800W 得られた多結晶ダイヤモンドは粒径３μｍ程度で、測定
の結果、比重は3.51を示し、またラマン分光分析による
同定ではダイヤモンド単相からなることが明らかとなつ
た。
の結果、比重は3.51を示し、またラマン分光分析による
同定ではダイヤモンド単相からなることが明らかとなつ
た。
次にこのダイヤモンドと基板の接合したものを主水処
理して、基板のみを除去した。これにより得られた実質
的にダイヤモンドのみからなる多結晶体を、厚さ0.1mm
のAg−Ti合金ろう材を用いて、WC−Co合金製支持体にろ
う付けした。ろう付けは２×10-5torrの真空中で、1000
℃に20分間加熱することにより行なつた。工具における
ろう材厚さは50μｍであつた。
理して、基板のみを除去した。これにより得られた実質
的にダイヤモンドのみからなる多結晶体を、厚さ0.1mm
のAg−Ti合金ろう材を用いて、WC−Co合金製支持体にろ
う付けした。ろう付けは２×10-5torrの真空中で、1000
℃に20分間加熱することにより行なつた。工具における
ろう材厚さは50μｍであつた。
以上の方法により得られた工具素材を研削加工して切
削チツプを作製した。比較として、Coを10容量％含有
する焼結ダイヤモンド並びにこれを酸処理してCoを抽
出したもの、の，についても切削チツプを作製し、
性能を評価した。尚、の焼結ダイヤモンドのろう付け
は、上記条件では黒鉛への変化が顕著であつたため、融
点が700℃の銀ろうを使用し、大気中で高周波加熱によ
り行なつた。
削チツプを作製した。比較として、Coを10容量％含有
する焼結ダイヤモンド並びにこれを酸処理してCoを抽
出したもの、の，についても切削チツプを作製し、
性能を評価した。尚、の焼結ダイヤモンドのろう付け
は、上記条件では黒鉛への変化が顕著であつたため、融
点が700℃の銀ろうを使用し、大気中で高周波加熱によ
り行なつた。
評価結果を表１に示す。尚、この評価は被削材にヴイ
ツカース硬度2000のアルミナ焼結体を用い、切削速度:3
0m/min及び80m/min、切り込み:0.2mm、送り:0.025mm/re
v、並びに切削長:400m、湿式の条件で行なつた。
ツカース硬度2000のアルミナ焼結体を用い、切削速度:3
0m/min及び80m/min、切り込み:0.2mm、送り:0.025mm/re
v、並びに切削長:400m、湿式の条件で行なつた。
この結果、はに比べて耐熱性が向上しているた
め、80m/minの切削速度条件で摩耗量が小さくなつてい
ると考えられるが、切削抵抗（特に背分力）が増大する
30m/minの切削速度条件では強度不足のため、すくい面
が剥離状に欠損したと思われる。参考品の多結晶ダイヤ
モンド工具は、比較品，に比べ強度、耐摩耗性、耐
熱性のいずれも向上しているため、切削速度に依存せず
摩耗量がはるかに少ないものであることが明らかとなつ
た。
め、80m/minの切削速度条件で摩耗量が小さくなつてい
ると考えられるが、切削抵抗（特に背分力）が増大する
30m/minの切削速度条件では強度不足のため、すくい面
が剥離状に欠損したと思われる。参考品の多結晶ダイヤ
モンド工具は、比較品，に比べ強度、耐摩耗性、耐
熱性のいずれも向上しているため、切削速度に依存せず
摩耗量がはるかに少ないものであることが明らかとなつ
た。
実施例１ 参考例１と同様のマイクロ波プラズマCVD法により、
表２に示した条件で、多結晶ダイヤモンドを合成し、研
削加工により基板を除去後、支持部材にろう付を行なつ
た後、切削チツプを作製した。比較として、Coを含有す
る市販の焼結ダイヤモンド（Ｈ〜Ｊ）、超硬合金に薄膜
ダイヤモンドコーテイングしたもの（K,L）も工具作製
を行なつた。本発明による多結晶体（A,D及びＦ）とAu
合金ろう以外の合金ろうを用いた参考例の多結晶体（B,
C,E及びＧ）はいずれもダイヤモンド単相からなり、ヴ
イツカース硬度10000〜12000kg/mm2を示し、この特性は
ろう付け加熱後も変化が見られなかつた。これらと、比
較材Ｈ〜Ｌのうち、ろう付温度が高く焼結体が劣化した
比較品Ｈを除いた工具について切削性能を比較した。
表２に示した条件で、多結晶ダイヤモンドを合成し、研
削加工により基板を除去後、支持部材にろう付を行なつ
た後、切削チツプを作製した。比較として、Coを含有す
る市販の焼結ダイヤモンド（Ｈ〜Ｊ）、超硬合金に薄膜
ダイヤモンドコーテイングしたもの（K,L）も工具作製
を行なつた。本発明による多結晶体（A,D及びＦ）とAu
合金ろう以外の合金ろうを用いた参考例の多結晶体（B,
C,E及びＧ）はいずれもダイヤモンド単相からなり、ヴ
イツカース硬度10000〜12000kg/mm2を示し、この特性は
ろう付け加熱後も変化が見られなかつた。これらと、比
較材Ｈ〜Ｌのうち、ろう付温度が高く焼結体が劣化した
比較品Ｈを除いた工具について切削性能を比較した。
表３にその比較結果を示す。尚、切削条件は被削材に
Al−20％Siを用いて、切削速度:500m/min、切り込み;0.
4mm、送り:0.1mm/rev、切削時間:30min、乾式外周長手
方向旋削により行なつた。
Al−20％Siを用いて、切削速度:500m/min、切り込み;0.
4mm、送り:0.1mm/rev、切削時間:30min、乾式外周長手
方向旋削により行なつた。
従来の焼結ダイヤモンドは摩耗が大きく、また薄膜ダ
イヤモンドコーテイング工具はコーテイング膜の密着強
度が弱いため剥離が生じたのに対し、本発明による工具
（A,D及びＦ）及び参考例工具（B,C,E及びＧ）は欠損、
剥離等が生ずることなく、極めて高い耐摩耗特性を有す
ることが判明した。
イヤモンドコーテイング工具はコーテイング膜の密着強
度が弱いため剥離が生じたのに対し、本発明による工具
（A,D及びＦ）及び参考例工具（B,C,E及びＧ）は欠損、
剥離等が生ずることなく、極めて高い耐摩耗特性を有す
ることが判明した。
参考例２ 高周波プラズマCVD法及び熱フイラメントCVD法により
多結晶ダイヤモンドを合成した。
多結晶ダイヤモンドを合成した。
前者の方法では基板にMoを用い、真空排気した後、こ
れを900℃に加熱した。その後、モル比でCH4:H2＝1:300
の混合ガスを40cc/minで流し、バルブ調整を行なつて反
応室内の圧力を35torrにした。次に、高周波発振機によ
り850Wの出力を付与し、プラズマの誘起を行なつて、厚
さ0.8mmの多結晶ダイヤモンドを合成した。
れを900℃に加熱した。その後、モル比でCH4:H2＝1:300
の混合ガスを40cc/minで流し、バルブ調整を行なつて反
応室内の圧力を35torrにした。次に、高周波発振機によ
り850Wの出力を付与し、プラズマの誘起を行なつて、厚
さ0.8mmの多結晶ダイヤモンドを合成した。
後者の方法では基板にＷを使用して、真空排気後950
℃に加熱した。これに上記と同組成の混合ガスを70cc/m
inで流した。尚、圧力は50torr一定となるように調整を
行なつた。次に、Ｗ製フイラメントに電流を流し、フイ
ラメント温度を2100℃としてダイヤモンドを析出させ、
厚さ0.8mmの多結晶ダイヤモンドを合成した。
℃に加熱した。これに上記と同組成の混合ガスを70cc/m
inで流した。尚、圧力は50torr一定となるように調整を
行なつた。次に、Ｗ製フイラメントに電流を流し、フイ
ラメント温度を2100℃としてダイヤモンドを析出させ、
厚さ0.8mmの多結晶ダイヤモンドを合成した。
以上のように基板に多結晶ダイヤモンドを析出させた
後、研削加工により、これらの基板を除去した。得られ
た多結晶体をAg−Cu合金ろう材を用いて鋼のシヤンクに
真空中850℃の条件でろう付けした。ろう材の厚さは50
μｍであつた。これを加工して工具を作製し、参考例１
と同じ評価法により切削性能を調べた。表４にその結果
を示す。これにより合成方法によらず優れた工具が得ら
れることが明らかとなつた。
後、研削加工により、これらの基板を除去した。得られ
た多結晶体をAg−Cu合金ろう材を用いて鋼のシヤンクに
真空中850℃の条件でろう付けした。ろう材の厚さは50
μｍであつた。これを加工して工具を作製し、参考例１
と同じ評価法により切削性能を調べた。表４にその結果
を示す。これにより合成方法によらず優れた工具が得ら
れることが明らかとなつた。
〔発明の効果〕 上述の如く、本発明の硬質多結晶ダイヤモンド工具
は、低圧気相法により合成された結合相がなく実質的に
ダイヤモンドのみからなる多結晶ダイヤモンドが、融点
700〜1300℃の合金ろう材により金属または合金からな
る支持部材にろう付されたものであつて、切削工具、堀
削工具、ドレツサー等の各種工具に好適な、強度、耐摩
耗性、耐熱性に優れた工具であり、特に、従来の焼結ダ
イヤモンドと異なり、強度を低下させることなく、耐熱
性が大幅に改善されているので、工具材としての適用範
囲を飛躍的に拡大できるものである。
は、低圧気相法により合成された結合相がなく実質的に
ダイヤモンドのみからなる多結晶ダイヤモンドが、融点
700〜1300℃の合金ろう材により金属または合金からな
る支持部材にろう付されたものであつて、切削工具、堀
削工具、ドレツサー等の各種工具に好適な、強度、耐摩
耗性、耐熱性に優れた工具であり、特に、従来の焼結ダ
イヤモンドと異なり、強度を低下させることなく、耐熱
性が大幅に改善されているので、工具材としての適用範
囲を飛躍的に拡大できるものである。
Claims (3)
- 【請求項１】低圧気相法により合成された実質的にダイ
ヤモンドのみからなる多結晶ダイヤモンドが、融点700
〜1300℃、厚さ0.1〜100μｍのAuを含有する合金ろう材
により金属または合金からなる支持部材にろう付けされ
たものであることを特徴とする硬質多結晶ダイヤモンド
工具。 - 【請求項２】多結晶ダイヤモンドの厚さが0.1〜3.0mmで
あることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の
硬質多結晶ダイヤモンド工具。 - 【請求項３】支持部材が鋼又は焼結炭化物合金であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項又は第２項に
記載の硬質多結晶ダイヤモンド工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63034033A JP2662692B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 硬質多結晶ダイヤモンド工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63034033A JP2662692B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 硬質多結晶ダイヤモンド工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01212766A JPH01212766A (ja) | 1989-08-25 |
| JP2662692B2 true JP2662692B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=12403029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63034033A Expired - Lifetime JP2662692B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 硬質多結晶ダイヤモンド工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2662692B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2651947B2 (ja) * | 1990-03-26 | 1997-09-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | ダイヤモンド薄膜コーティング部材およびダイヤモンド薄膜コーティング方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61136605A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Keiichiro Shoji | 超硬質材料と金属材との接合方法 |
| JPH01153228A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-15 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 気相合成ダイヤモンド工具の製造法 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP63034033A patent/JP2662692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01212766A (ja) | 1989-08-25 |
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