RU2018411C1 - Изделие, преимущественно режущий инструмент, содержащее спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие - Google Patents

Изделие, преимущественно режущий инструмент, содержащее спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие Download PDF

Info

Publication number
RU2018411C1
RU2018411C1 SU904742938A SU4742938A RU2018411C1 RU 2018411 C1 RU2018411 C1 RU 2018411C1 SU 904742938 A SU904742938 A SU 904742938A SU 4742938 A SU4742938 A SU 4742938A RU 2018411 C1 RU2018411 C1 RU 2018411C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
diamond
product
sintered
carbide
Prior art date
Application number
SU904742938A
Other languages
English (en)
Inventor
Тосимити Ито
Original Assignee
Идемитсу Петрокемикал Компани Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Идемитсу Петрокемикал Компани Лимитед filed Critical Идемитсу Петрокемикал Компани Лимитед
Application granted granted Critical
Publication of RU2018411C1 publication Critical patent/RU2018411C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/18Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing
    • B23B27/20Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing with diamond bits or cutting inserts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/04Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
    • B24D3/06Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements
    • B24D3/10Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements for porous or cellular structure, e.g. for use with diamonds as abrasives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5001Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with carbon or carbonisable materials
    • C04B41/5002Diamond
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26Deposition of carbon only
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/9335Product by special process
    • Y10S428/936Chemical deposition, e.g. electroless plating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Изобретение относится к изделиям, в частности к режущим инструментам, содержащим спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие. Сущность изобретения: алмазное покрытие получено синтезом в газовой фазе, а основа дополнительно содержит по крайней мере одно из соединений, выбранных из группы, содержащей карбид, нитрид кремния и бора в количестве 3 - 70 мас. % . Основа может дополнительно содержать одно из следующих соединений: карбид, оксид, нитрид, карбонитрид, карбонат, борид и органическое соединение по крайней мере одного из следующих элементов групп IIa, IIIa, IVa, III в, IY в групп периодической системы элементов в количестве 0,5 - 10 мас. %. 1 с. и 3 з.п. ф-лы, 1 табл.

Description

Изобретение относится к изделиям, в частности к режущим инструментам с износостойкими покрытиями.
Сверхтвердый сплав, спеченный алмаз, кристаллический алмаз используются для изготовления инструментов и характеризуются высокой твердостью и износостойкостью.
Среди этих материалов алмазные инструменты являются особенно предпочтительными из-за их высокой твердости и износостойкости.
Прежде в качестве алмазных инструментов использовались инструменты, которые содержат основу, изготовленную из сверхтвердого сплава или сверхтвердого металла, на который нанесен спеченный алмаз или кристаллический алмаз с помощью припаивания или другими методами. С другой стороны, недавно было изучено получение покрытого алмазом изделия, которое включает образование алмазной пленки путем наложения на поверхность изделия из сверхтвердого сплава или сверхтвердого металла с использованием техники синтеза алмаза в газовой фазе, такой как CVD-метод и PVD-метод, и были сделаны попытки применить получающееся покрытое алмазом изделие для вышеупомянутых целей.
Поскольку алмаз является наиболее твердым веществом, то алмазная пленка, образованная на поверхности изделия из сверхтвердого сплава и тому подобное, может быть эффективно использована в качестве покрывающего материала для придания высокой твердости или износостойкости изделию, а также в качестве защитной пленки для изделия. Например, когда алмазная пленка образуется на поверхности изготовленного из сверхтвердого сплава, используемого для сверхтвердых инструментов, таких как режущий инструмент и шлифовальный инструмент, могут быть получены еще более качественные сверхтвердые инструменты.
Однако сцепление между поверхностью сверхтвердого сплава и алмаза обычно плохое, и до сих пор не было получено используемых на практике инструментов.
Известно спеченное изделие с алмазным покрытием, основа которого выполнена из сплавов, например: TiC, WC, TiN, WC/TiC, WC/TiN, WC/TiCN [1].
Для улучшения сцепления между поверхностью сверхтвердого сплава и алмазом было предложено образовывать промежуточный слой между сверхтвердым сплавом и алмазом.
Целью изобретения является повышение срока службы изделий за счет прочного сцепления основы и покрытия.
Согласно изобретению, изделие, преимущественно режущий инструмент, содержит спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие, причем алмазное покрытие получено синтезом в газовой фазе, а основа дополнительно содержит по крайней мере одно из соединений, выбранных из группы, содержащей карбид и нитрид кремния и бора в количестве 3-70 мас.%. Основа может дополнительно содержать по крайней мере одно соединение, выбранное из группы, содержащей карбид, оксид, нитрид, карбонитрид, карбонат, борид и органическое соединение по крайней мере одного из элементов IIa, IIIa, IVa, IIIb, IVb групп, например, магний, иттрий, бор, алюминий, титан, цирконий. Также возможно введение в основу по крайней мере одного соединения, выбранного из группы, содержащей оксиды иттрия, алюминия, циркония, магния и нитрид титана.
Механизм сцепления с алмазной пленкой и значительно увеличенной стойкости к износу при использовании спеченного изделия, полученного путем спекания определенных компонентов в качестве основы, не является абсолютно ясным в настоящее время, но, например, основными причинами могут считаться следующие.
Когда алмазная пленка образуется по методу синтеза в газовой фазе на поверхности вышеупомянутого спеченного изделия, эта алмазная пленка растет так, что полученный алмаз образует близкую к непрерывной фазовую структуру с карбидом, только что образованным на поверхности спеченной основы, или карбидом металла или соединением на основе карбида, ранее находившимся на поверхности.
Кроме того, поскольку спеченная основа представляет собой спеченную основу, содержащую два или более соединений металла, спеченная основа имеет мелкие неровности на поверхности или поверхностные поры, и алмазная пленка образуется таким образом, что мелкие частицы алмаза попадают в неровности или поры, и в результате этого спеченная основа более прочно связана с алмазной пленкой, чем обычный сверхтвердый сплав.
В добавление к этому, поскольку спеченное изделие, используемое в настоящем изобретении в качестве основы, представляет собой керамический сверхтвердый материал, не содержащий ни один из таких металлов, как Co, Ni, Fe и тому подобное, ни их сплавы, спеченное изделие имеет меньший коэффициент теплового расширения, чем обычный сверхтвердый сплав карбид вольфрама - Co, и имеет достаточно малое остаточное напряжение тепловой усадки, и, кроме того, не происходит диффузии углерода.
Таким образом, алмазная пленка с высокими эксплуатационными качествами образуется на поверхности спеченного изделия, может быть устойчивой и ее трудно отделить.
Спеченное изделие, используемое в настоящем изобретении, относится к сверхтвердому материалу на основе карбида (цементированный карбид) и он сам по себе имеет высокую твердость и износостойкость подобно обычному сверхтвердому сплаву. Однако, поскольку покрытое алмазом спеченное изделие, соответствующее настоящему изобретению, изготавливается путем формования алмазной пленки по методу синтеза в газовой фазе на поверхности спеченной основы, которая представляет собой вышеупомянутый сверхтвердый материал, это изделие является сверхтвердым изделием или материалом, имеющим прекрасные поверхностные характеристики, такие как более высокая твердость и износостойкость, и, кроме того, имеет длительный срок службы.
Способ изготовления спеченного изделия не имеет особых ограничений. Если необходимо, полученное спеченное изделие может быть обработано для придания ему необходимой формы.
Покрытое алмазом спеченное изделие, соответствующее настоящему изобретению, заметно превосходит обычные покрытые алмазной (тонкой) пленкой сверхтвердые сплавы, в особенности, в части сцепления между алмазной пленкой и спеченной основой.
В связи с этим покрытое алмазом спеченное изделие, соответствующее настоящему изобретению, может быть с успехом использовано в качестве режущих инструментов, таких как сверла, торцовые фазы и режущие инструменты; сверхтвердых инструментов, износостойких инструментов и износостойких изделий, таких как штамп, вытяжной штамп, метчик, шаблон и головки соединительных инструментов.
П р и м е р 1. Смесь, содержащая 94% по всему WC, имеющего диаметр частиц, равный 1,2 мкм, 5% по весу SiC, имеющего диаметр частиц, равный 0,6 мкм, и 1% по весу ZrO2, имеющей диаметр частиц, равный 0,5 мкм, в качестве сырых материалов для спеченной основы подвергалась спеканию с помощью HIP (горячего изостатического прессования: величина давления 2000 кг/см2, время прессования 24 ч, температура прессования 1800оС) для получения спеченного изделия JIS SPGN 422.
Алмазная пленка с толщиной около 2 мкм была образована на поверхности вышеупомянутой спеченной основы с помощью известного микроволнового плазменного CVD-метода при следующих условиях: частота 2,45.109 Гц; мощность 400 Вт; температура спеченной основы 900оС; время 1 ч; давление 40 мм рт. ст. (5332 Па).
Являющаяся сырым материалом газообразная смесь (CO:7 об.%); расход CO 7 см3/с; расход H2 93 см3/с.
Затем полученное покрытое алмазом спеченное изделие было использовано в качестве сверхтвердого инструмента и с помощью его разрезался алюминиевый сплав, содержащий 8% по весу Si.
Материал, подвергаемый разрезанию: алюминиевый сплав (АС4С-Т6); скорость резания 800 м/мин; время резания 10 мин; подача 0,1 мм/оборот; глубина резания 0,25 мм; смазка при резании: водная смазочно-охлаждающая эмульсия.
В результате было обнаружено, что покрытое алмазом спеченное изделие, использованное для резания, не подвергалось износу по поверхности ни со стороны переднего, ни со стороны заднего угла резца при осуществлении резания в течение 10 мин или менее.
П р и м е р 2-6. Покрытое алмазом спеченное изделие было изготовлено таким же образом, что и в примере 1, за исключением того, что [WC/SiC (SiC в форме порошка 8% по весу и SiC в нитевидной форме 2% по весу)], [WC/Si3N4 (10% по весу)] [WC/B4C (10% по весу) [WC/Si3N4 (5% по весу); Y2O3 (2% по весу)] и [WC/SiC (5% по весу); TiN (3% по весу)] были, соответственно, использованы в качестве сырых материалов для спеченной основы, и такое покрытое алмазом спеченное изделие подвергалось таким же испытаниям по резанию, что и в примере 1.
В результате было обнаружено, что ни со стороны переднего угла, ни со стороны заднего угла резца не было износа поверхности у всех покрытых алмазом изделий в течение 10 мин резания или менее.
П р и м е р ы 7-13 и сравнительные примеры 1-2. Спеченные изделия были изготовлены таким же образом, что и в примере 1, за исключением того, что смеси, имеющие такие составы, как показано в таблице, были использованы в качестве сырых материалов для спеченных основ.
Алмазная пленка с толщиной около 12 мм была образована на поверхности вышеупомянутых спеченных основ с помощью известного микроволнового плазменного CVD-метода при следующих условиях; частота 2,45˙ 109 Гц; мощность 450 Вт; температура подложки 1000оС; время 5 ч; давление 40 мм рт. ст. (5332 Па).
Являющаяся сырым материалом газообразная смесь (CO:15 об.%); расход CO 15 см3/с; расход H2 85 см3/с.
Затем покрытое алмазом спеченное изделие было использовано в качестве сверхтвердого инструмента и с помощью него разрезался алюминиевый сплав, содержащий 12% по весу Si при следующих условиях.
Материал, подвергаемый разрезанию: алюминиевый сплав (АС8А-Т6); скорость резания 600 м/мин; подача 0,1 мм/оборот; глубина резания 0,25 мм.
Время (время резания), требуемое для отслаивания алмазной пленки от покрытого алмазом спеченного изделия, измерялось для получения результатов, которые представлены в таблице. Режущая кромка покрытых алмазом спеченных изделий во всех примерах расплавлялась с трудом даже после того, как происходило отслоение пленки.

Claims (4)

1. ИЗДЕЛИЕ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ, СОДЕРЖАЩЕЕ СПЕЧЕННУЮ ОСНОВУ ИЗ КАРБИДА ВОЛЬФРАМА И АЛМАЗНОЕ ПОКРЫТИЕ, отличающееся тем, что, с целью повышения срока службы изделия за счет прочного сцепления основы и покрытия, изделие содержит алмазное покрытие, полученное синтезом в газовой фазе, а основа дополнительно содержит по крайней мере одно из соединений, выбранных из группы, содержащей карбид и нитрид кремния и бора в количестве 3 - 70 мас.%.
2. Изделие по п.1, отличающееся тем, что основа дополнительно содержит по крайней мере одно соединение, выбранное из группы, содержащей карбид, оксид, нитрид, карбонитрид, карбонат, борид и органическое соединение по крайней мере одного из элементов IIа, IIIа, IVа, IIIв, IVв групп Периодической системы элементов в количестве 0,5 - 10 мас.%.
3. Изделие по п.1 или 2, отличающееся тем, что основа содержит по крайней мере одно соединение, выбранное из группы, содержащей карбид, оксид, нитрид по крайней мере одного из элементов из группы, содержащей Mg, Y, B, Al, Ti, Zr.
4. Изделие по п.1 или 2, отличающееся тем, что основа содержит по крайней мере одно соединение, выбранное из группы, содержащей Y2O3, Al2O3, ZrO2, TiN, MgO.
SU904742938A 1989-01-20 1990-01-19 Изделие, преимущественно режущий инструмент, содержащее спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие RU2018411C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPPI-11572 1989-01-20
JP1157289 1989-01-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2018411C1 true RU2018411C1 (ru) 1994-08-30

Family

ID=11781637

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904742938A RU2018411C1 (ru) 1989-01-20 1990-01-19 Изделие, преимущественно режущий инструмент, содержащее спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPH02275788A (ru)
KR (1) KR930010199B1 (ru)
CA (1) CA2008185A1 (ru)
DD (1) DD296877A5 (ru)
RU (1) RU2018411C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2074482C (en) * 1991-02-18 1995-08-22 Naoya Omori Diamond-coated hard material, throwaway insert and a process for the production thereof

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Европейский патент N 0327110, кл. C 23C 16/26, 1989, приоритет Японии 4.02.68. *

Also Published As

Publication number Publication date
KR900011535A (ko) 1990-08-01
KR930010199B1 (ko) 1993-10-15
CA2008185A1 (en) 1990-07-20
JPH02275788A (ja) 1990-11-09
DD296877A5 (de) 1991-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5853873A (en) Hard composite material for tools
EP0701982B1 (en) Layered film made of ultrafine particles and a hard composite material for tools possessing the film
US5271758A (en) Alumina ceramic-metal articles
EP0695731A1 (en) Super hard composite material for tools
JP4786800B2 (ja) Pvd−でコーティングされた切削工具
EP0074759A2 (en) Sintered hard metal products having a multi-layer wear-restistant coating
JPS6348836B2 (ru)
JP2002543993A5 (ru)
US4440547A (en) Alumina coated silicon nitride cutting tools
EP0476346A1 (en) Ceramic-metal articles and methods of manufacture
JP5515734B2 (ja) 表面被覆切削工具
RU2018411C1 (ru) Изделие, преимущественно режущий инструмент, содержащее спеченную основу из карбида вольфрама и алмазное покрытие
EP0095131B1 (en) Coated silicon nitride cutting tools
JPH0623436B2 (ja) 複合硬質膜被覆工具
JPS6312940B2 (ru)
WO2007113643A2 (en) Abrasive compact material
JP2005153098A (ja) 表面被覆切削工具
JPH0813148A (ja) 耐剥離性ダイヤモンド被覆部材
JP2748583B2 (ja) 硬質被覆層の密着性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JPS63306805A (ja) ダイヤモンド被覆切削工具
JPH07164209A (ja) 複合切削工具
JP4484500B2 (ja) 表面被覆切削工具
JPH01225774A (ja) 高硬度多結晶ダイヤモンド工具
JP5446048B2 (ja) 表面被覆切削工具
JPH0623431B2 (ja) 硬質被膜被覆切削工具部材