JP2653262B2 - シャッター装置 - Google Patents
シャッター装置Info
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- JP2653262B2 JP2653262B2 JP3066132A JP6613291A JP2653262B2 JP 2653262 B2 JP2653262 B2 JP 2653262B2 JP 3066132 A JP3066132 A JP 3066132A JP 6613291 A JP6613291 A JP 6613291A JP 2653262 B2 JP2653262 B2 JP 2653262B2
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- Japan
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- rotation
- stopper
- rotary actuator
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば分子線エピタ
キシー装置（以下、ＭＢＥ装置と略す）において使用す
るヌードセン・セル（以下、Ｋセルと略す）の分子線の
照射口を開閉するのに使用されるシャッター装置に関す
るものである。
キシー装置（以下、ＭＢＥ装置と略す）において使用す
るヌードセン・セル（以下、Ｋセルと略す）の分子線の
照射口を開閉するのに使用されるシャッター装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来のシャッター装置の概略図を
示す。このシャッター装置は、図３に示すように、Ｋセ
ルの照射口を開閉するシャッター板１をシャッターロッ
ド２に固定して、シャッターロッド２でシャッター板１
を保持するとともにシャッター板１を回転させるように
している。また、シャッターロッド２はベローズ結合型
の回転導入機３０に軸結合されている。回転導入機３０
は、支持カップ４およびカップリング５を介してモータ
等のロータリアクチュエータ６に結合している。
示す。このシャッター装置は、図３に示すように、Ｋセ
ルの照射口を開閉するシャッター板１をシャッターロッ
ド２に固定して、シャッターロッド２でシャッター板１
を保持するとともにシャッター板１を回転させるように
している。また、シャッターロッド２はベローズ結合型
の回転導入機３０に軸結合されている。回転導入機３０
は、支持カップ４およびカップリング５を介してモータ
等のロータリアクチュエータ６に結合している。
【０００３】シャッターロッド２，回転導入機３０，支
持カップ４，カップリング５およびロータリアクチュエ
ータ６は同一軸上に配置されている。上記の回転導入機
３０は、具体的には図４に示すように、フランジを有す
るケース３１にベローズ３２が溶接されており、このベ
ローズ３２の底部には、底板３３が溶接され、底板３３
の内側にベアリング３４が設けられ、回転軸３７がそこ
に装着されている。このベローズ３２と駆動側回転子３
５は、底板３３およびベアリング３６を介してつながっ
ており、この駆動側回転子３５を回転させることにより
ベローズ３２の内部の回転軸３７が回転するようになっ
ている。駆動側回転子３５には支持カップ４が装着され
ている。３８，３９は支持用ベアリングである。
持カップ４，カップリング５およびロータリアクチュエ
ータ６は同一軸上に配置されている。上記の回転導入機
３０は、具体的には図４に示すように、フランジを有す
るケース３１にベローズ３２が溶接されており、このベ
ローズ３２の底部には、底板３３が溶接され、底板３３
の内側にベアリング３４が設けられ、回転軸３７がそこ
に装着されている。このベローズ３２と駆動側回転子３
５は、底板３３およびベアリング３６を介してつながっ
ており、この駆動側回転子３５を回転させることにより
ベローズ３２の内部の回転軸３７が回転するようになっ
ている。駆動側回転子３５には支持カップ４が装着され
ている。３８，３９は支持用ベアリングである。
【０００４】支持カップ４には、回転軸４ａを一体形成
してあり、この回転軸４ａとロータリアクチュエータ６
の回転軸６ａとがカップリング５で結合されている。ロ
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａには、図示はして
いないが、カップリング５の反対側においてストッパ
（図示せず）を固定してあり、ロータリアクチュエータ
６を固定する固定ブロック（図示せず）に一対の動作範
囲規制部（図示せず）を設けてあり、一対の動作範囲規
制部の範囲内で回転軸６ａの回転に連動してストッパが
回転するようになっている。そして、ストッパが一対の
動作範囲規制部に当接することで、シャッター板１の回
転範囲を規制するようになっている。
してあり、この回転軸４ａとロータリアクチュエータ６
の回転軸６ａとがカップリング５で結合されている。ロ
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａには、図示はして
いないが、カップリング５の反対側においてストッパ
（図示せず）を固定してあり、ロータリアクチュエータ
６を固定する固定ブロック（図示せず）に一対の動作範
囲規制部（図示せず）を設けてあり、一対の動作範囲規
制部の範囲内で回転軸６ａの回転に連動してストッパが
回転するようになっている。そして、ストッパが一対の
動作範囲規制部に当接することで、シャッター板１の回
転範囲を規制するようになっている。
【０００５】以上のような構成のシャッター装置は、ロ
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａを時計廻りに回転
させると、その回転がカップリング５および支持カップ
４を介して回転導入機３０の駆動側回転子３５に伝達さ
れる。駆動側回転子３５が時計廻りに回転すると、駆動
側回転子３５とベローズ結合した回転軸３７も連動して
時計廻りに回転する。回転軸３７の回転によってシャッ
ターロッド２が回転し、したがってシャッター板１も時
計廻りに回転することになる。
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａを時計廻りに回転
させると、その回転がカップリング５および支持カップ
４を介して回転導入機３０の駆動側回転子３５に伝達さ
れる。駆動側回転子３５が時計廻りに回転すると、駆動
側回転子３５とベローズ結合した回転軸３７も連動して
時計廻りに回転する。回転軸３７の回転によってシャッ
ターロッド２が回転し、したがってシャッター板１も時
計廻りに回転することになる。
【０００６】ロータリアクチュエータ６の回転軸６ａを
反時計廻りに回転させると、上記とは逆にシャッター板
１が反時計廻りに回転することになる。
反時計廻りに回転させると、上記とは逆にシャッター板
１が反時計廻りに回転することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のシ
ャッター装置では、ベローズタイプの回転導入機を使用
していたので、ベローズ３２自身の耐久回数によって、
シャッター装置の耐久回数が決まる。通常ベローズ３２
の耐久回数１〜２万回であり、ＭＢＥ装置でＭＥＥ（分
子線エンハンスト・エピタキシー）成長等を行う場合、
１回の成長でのシャッター開閉回数が6000〜 10000回で
あることから、従来のベローズタイプの回転導入機を用
いたものでは、２〜３回成長を行えば使用限界に達して
しまうといった不都合があった。
ャッター装置では、ベローズタイプの回転導入機を使用
していたので、ベローズ３２自身の耐久回数によって、
シャッター装置の耐久回数が決まる。通常ベローズ３２
の耐久回数１〜２万回であり、ＭＢＥ装置でＭＥＥ（分
子線エンハンスト・エピタキシー）成長等を行う場合、
１回の成長でのシャッター開閉回数が6000〜 10000回で
あることから、従来のベローズタイプの回転導入機を用
いたものでは、２〜３回成長を行えば使用限界に達して
しまうといった不都合があった。
【０００８】この発明の目的は、この種のシャッター装
置に長寿命化にある。
置に長寿命化にある。
【０００９】この発明のシャッター装置は、一対の動作
範囲規制部をもつ固定ブロックにロータリアクチュエー
タを固定し、ロータリアクチュエータの回転軸にストッ
パを付設し、このストッパがロータリアクチュエータの
回転軸と連動して回転するようにし、ストッパが一対の
動作範囲規制部に当接することによってロータリアクチ
ュエータの回転軸の回転を所定角度範囲内に規制するよ
うにしている。また、ロータリアクチュエータの回転軸
に磁気結合型の回転導入機の駆動側回転子を結合し、こ
の駆動側回転子と連動回転する回転導入機の従動側回転
子にシャッター板を結合している。さらに、固定ブロッ
クの一対の動作範囲規制部のストッパ対向面およびスト
ッパの動作範囲規制部対向面の何れか一方に緩衝ばねを
設けて、ストッパが一対の動作範囲規制部に衝突すると
きの衝撃を吸収するようにしている。
範囲規制部をもつ固定ブロックにロータリアクチュエー
タを固定し、ロータリアクチュエータの回転軸にストッ
パを付設し、このストッパがロータリアクチュエータの
回転軸と連動して回転するようにし、ストッパが一対の
動作範囲規制部に当接することによってロータリアクチ
ュエータの回転軸の回転を所定角度範囲内に規制するよ
うにしている。また、ロータリアクチュエータの回転軸
に磁気結合型の回転導入機の駆動側回転子を結合し、こ
の駆動側回転子と連動回転する回転導入機の従動側回転
子にシャッター板を結合している。さらに、固定ブロッ
クの一対の動作範囲規制部のストッパ対向面およびスト
ッパの動作範囲規制部対向面の何れか一方に緩衝ばねを
設けて、ストッパが一対の動作範囲規制部に衝突すると
きの衝撃を吸収するようにしている。
【００１０】ロータリアクチュエータを回転させると、
磁気結合型の回転導入機の駆動側回転子が回転し、した
がって従動側回転子が回転する。従動側回転子が回転す
ると、シャッター板が回転する。この際、ロータリアク
チュエータの回転軸の回転は、一対の動作範囲規制部に
ストッパが当接することで規制され、シャッター板の回
転角度は所定範囲内に規制される。この際、緩衝ばねに
よってストッパが一対の動作範囲規制部に衝突するとき
の衝撃を吸収するので、回転導入機の従動側回転子から
シャッター板までの部分の慣性モーメントを徐々に小さ
くしていくことができ、ロータリアクチュエータの回転
軸が停止する時点での上記の慣性モーメントを十分に小
さくすることができ、その結果従動側回転子が駆動側回
転子に対してスリップするのを防止し、シャッター板を
常に正しい位置で停止させ、開閉操作を正確に行うこと
ができる。
磁気結合型の回転導入機の駆動側回転子が回転し、した
がって従動側回転子が回転する。従動側回転子が回転す
ると、シャッター板が回転する。この際、ロータリアク
チュエータの回転軸の回転は、一対の動作範囲規制部に
ストッパが当接することで規制され、シャッター板の回
転角度は所定範囲内に規制される。この際、緩衝ばねに
よってストッパが一対の動作範囲規制部に衝突するとき
の衝撃を吸収するので、回転導入機の従動側回転子から
シャッター板までの部分の慣性モーメントを徐々に小さ
くしていくことができ、ロータリアクチュエータの回転
軸が停止する時点での上記の慣性モーメントを十分に小
さくすることができ、その結果従動側回転子が駆動側回
転子に対してスリップするのを防止し、シャッター板を
常に正しい位置で停止させ、開閉操作を正確に行うこと
ができる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１（ａ）にこの発明の一実施例のシャッ
ター装置の概略平面図を示し、図１（ｂ）に同じく概略
側面図を示す。このシャッター装置は、図１に示すよう
に、Ｋセルの照射口を開閉するシャッター板１をシャッ
ターロッド２に固定して、シャッターロッド２でシャッ
ター板１を保持するとともにシャッター板１を回転させ
るようにしている。また、シャッターロッド２は磁気結
合型の回転導入機３に軸結合されている。回転導入機３
は、支持カップ４およびカップリング５を介してモータ
等のロータリアクチュエータ６に結合している。
ら説明する。図１（ａ）にこの発明の一実施例のシャッ
ター装置の概略平面図を示し、図１（ｂ）に同じく概略
側面図を示す。このシャッター装置は、図１に示すよう
に、Ｋセルの照射口を開閉するシャッター板１をシャッ
ターロッド２に固定して、シャッターロッド２でシャッ
ター板１を保持するとともにシャッター板１を回転させ
るようにしている。また、シャッターロッド２は磁気結
合型の回転導入機３に軸結合されている。回転導入機３
は、支持カップ４およびカップリング５を介してモータ
等のロータリアクチュエータ６に結合している。
【００１２】シャッターロッド２，回転導入機３，支持
カップ４，カップリング５およびロータリアクチュエー
タ６は同一軸上に配置されている。上記の回転導入機３
は、具体的には図２に示すように、フランジを有する有
底円筒型のＳＵＳ製のケース３ａの外部に永久磁石から
なる円筒型の駆動側回転子３ｂを回転自在に外装してあ
り、ケース３ａの内部に磁性体からなる円柱形の従動側
回転子３ｃを挿入してある。従動側回転子３ｃには、Ｓ
ＵＳ製の回転軸３ｄが貫通しており、この回転軸３ｄが
ケース３ａの開口３ｅから外部に突出している。そし
て、回転軸３ｄにシャッターロッド２が軸結合され、駆
動側回転子３ａに支持カップ４が外嵌めされる。
カップ４，カップリング５およびロータリアクチュエー
タ６は同一軸上に配置されている。上記の回転導入機３
は、具体的には図２に示すように、フランジを有する有
底円筒型のＳＵＳ製のケース３ａの外部に永久磁石から
なる円筒型の駆動側回転子３ｂを回転自在に外装してあ
り、ケース３ａの内部に磁性体からなる円柱形の従動側
回転子３ｃを挿入してある。従動側回転子３ｃには、Ｓ
ＵＳ製の回転軸３ｄが貫通しており、この回転軸３ｄが
ケース３ａの開口３ｅから外部に突出している。そし
て、回転軸３ｄにシャッターロッド２が軸結合され、駆
動側回転子３ａに支持カップ４が外嵌めされる。
【００１３】支持カップ４には、回転軸４ａを一体形成
してあり、この回転軸４ａとロータリアクチュエータ６
の回転軸６ａとがカップリング５で結合されている。略
コ字形の固定ブロック７は、一方の横片７ａで回転導入
機３のケース３ａを固定し、他方の横片７ｂでロータリ
アクチュエータ６の外殻を固定してあり、ロータリアク
チュエータ６の回転軸６ａが他方の横片７ｂを貫通して
他方の横片７ｂから外方に突出しており、この回転軸６
ａの突出した部分にストッパ８を取り付けている。
してあり、この回転軸４ａとロータリアクチュエータ６
の回転軸６ａとがカップリング５で結合されている。略
コ字形の固定ブロック７は、一方の横片７ａで回転導入
機３のケース３ａを固定し、他方の横片７ｂでロータリ
アクチュエータ６の外殻を固定してあり、ロータリアク
チュエータ６の回転軸６ａが他方の横片７ｂを貫通して
他方の横片７ｂから外方に突出しており、この回転軸６
ａの突出した部分にストッパ８を取り付けている。
【００１４】固定ブロック７の他方の横片７ｂの外面に
は、例えば９０度に開いた切欠を有する厚肉の板状体９
を、回転軸６ａに固定したストッパ８を囲むように固着
している。板状体９の例えば９０度に開いた切欠の中央
部はストッパ８の回転の邪魔にならないように円形にえ
ぐり取ってあり、一面および他面はストッパ８が回転軸
６ａを中心として回転したときに、ストッパ８の回転範
囲を規制する一対の動作範囲規制部１０，１１となる。
これらの面には、それぞれ緩衝ばね１２，１３が取り付
けられており、ストッパ８の当接時の衝撃を吸収するよ
うになっている。なお、緩衝ばね１２，１３は、ストッ
パ８の方に設けてもよい。そして、一対の動作範囲規制
部１０，１１にストッパ８が当接することで、シャッタ
ー板１の回転範囲を規制するようになっている。
は、例えば９０度に開いた切欠を有する厚肉の板状体９
を、回転軸６ａに固定したストッパ８を囲むように固着
している。板状体９の例えば９０度に開いた切欠の中央
部はストッパ８の回転の邪魔にならないように円形にえ
ぐり取ってあり、一面および他面はストッパ８が回転軸
６ａを中心として回転したときに、ストッパ８の回転範
囲を規制する一対の動作範囲規制部１０，１１となる。
これらの面には、それぞれ緩衝ばね１２，１３が取り付
けられており、ストッパ８の当接時の衝撃を吸収するよ
うになっている。なお、緩衝ばね１２，１３は、ストッ
パ８の方に設けてもよい。そして、一対の動作範囲規制
部１０，１１にストッパ８が当接することで、シャッタ
ー板１の回転範囲を規制するようになっている。
【００１５】以上のような構成のシャッター装置は、ロ
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａを時計廻りに回転
させると、その回転がカップリング５および支持カップ
４を介して回転導入機３の駆動側回転子３ｂに伝達され
る。駆動側回転子３ｂが時計廻りに回転すると、駆動側
回転子３ｂと磁気結合した従動側回転子３ｃも連動して
時計廻りに回転する。この場合、駆動側回転子３ｂの側
の空間と従動側回転子３ｃの側の空間とは有底円筒型の
ケース３ａで完全に分離されている。従動側回転子３ｃ
の回転によってシャッターロッド２が回転し、したがっ
てシャッター板１も時計廻りに回転することになる。
ータリアクチュエータ６の回転軸６ａを時計廻りに回転
させると、その回転がカップリング５および支持カップ
４を介して回転導入機３の駆動側回転子３ｂに伝達され
る。駆動側回転子３ｂが時計廻りに回転すると、駆動側
回転子３ｂと磁気結合した従動側回転子３ｃも連動して
時計廻りに回転する。この場合、駆動側回転子３ｂの側
の空間と従動側回転子３ｃの側の空間とは有底円筒型の
ケース３ａで完全に分離されている。従動側回転子３ｃ
の回転によってシャッターロッド２が回転し、したがっ
てシャッター板１も時計廻りに回転することになる。
【００１６】ロータリアクチュエータ６の回転軸６ａを
反時計廻りに回転させると、上記とは逆にシャッター板
１が反時計廻りに回転することになる。この際、ロータ
リアクチュエータ６の回転軸６ａの回転は、一対の動作
範囲規制部１０，１１にストッパ８が当接することで規
制され、シャッター板１の回転角度は所定範囲内に規制
される。
反時計廻りに回転させると、上記とは逆にシャッター板
１が反時計廻りに回転することになる。この際、ロータ
リアクチュエータ６の回転軸６ａの回転は、一対の動作
範囲規制部１０，１１にストッパ８が当接することで規
制され、シャッター板１の回転角度は所定範囲内に規制
される。
【００１７】ロータリアクチュエータ６は、高速回転し
て磁気結合型の回転導入機３を介してシャッター板１を
回転させ、ストッパ８が動作範囲規制部１０または１１
に当接したときに回転軸６ａが停止するが、動作範囲規
制部１０，１１とストッパ８との間に位置する緩衝ばね
１２，１３による衝撃吸収作用でストッパ８が動作範囲
規制部１０，１１に当接する手前からロータリアクチュ
エータ６の回転軸６ａが回転速度が徐々に遅くなりなが
ら停止することになる。したがって、回転導入機３の従
動側回転子３ｃからシャッター板１までの部分の慣性モ
ーメントを徐々に小さくしていくことができ、ロータリ
アクチュエータ６の回転軸６ａが停止する時点で上記の
慣性モーメントを充分に小さくすることができる。
て磁気結合型の回転導入機３を介してシャッター板１を
回転させ、ストッパ８が動作範囲規制部１０または１１
に当接したときに回転軸６ａが停止するが、動作範囲規
制部１０，１１とストッパ８との間に位置する緩衝ばね
１２，１３による衝撃吸収作用でストッパ８が動作範囲
規制部１０，１１に当接する手前からロータリアクチュ
エータ６の回転軸６ａが回転速度が徐々に遅くなりなが
ら停止することになる。したがって、回転導入機３の従
動側回転子３ｃからシャッター板１までの部分の慣性モ
ーメントを徐々に小さくしていくことができ、ロータリ
アクチュエータ６の回転軸６ａが停止する時点で上記の
慣性モーメントを充分に小さくすることができる。
【００１８】この結果、従動側回転子３ｃが駆動側回転
子３ｂに対してスリップするのを防止し、シャッター板
１を常に正しい位置で停止させ、開閉操作を正確に行う
ことができる。
子３ｂに対してスリップするのを防止し、シャッター板
１を常に正しい位置で停止させ、開閉操作を正確に行う
ことができる。
【００１９】この発明のシャッター装置によれば、磁気
結合型の回転導入機を用いているので、耐久回数が半永
久的となり、この種のシャッター装置の長寿命化を図る
ことができる。また、緩衝ばねによってストッパが一対
の動作範囲規制部に衝突するときの衝撃を吸収するの
で、回転導入機の従動側回転子からシャッター板までの
部分の慣性モーメントを徐々に小さくしていくことがで
き、ロータリアクチュエータの回転軸が停止する時点で
の上記部分の慣性モーメントを十分に小さくすることが
でき、その結果従動側回転子が駆動側回転子に対してス
リップするのを防止し、シャッター板を常に正しい位置
で停止させ、開閉操作を正確に行うことができる。
結合型の回転導入機を用いているので、耐久回数が半永
久的となり、この種のシャッター装置の長寿命化を図る
ことができる。また、緩衝ばねによってストッパが一対
の動作範囲規制部に衝突するときの衝撃を吸収するの
で、回転導入機の従動側回転子からシャッター板までの
部分の慣性モーメントを徐々に小さくしていくことがで
き、ロータリアクチュエータの回転軸が停止する時点で
の上記部分の慣性モーメントを十分に小さくすることが
でき、その結果従動側回転子が駆動側回転子に対してス
リップするのを防止し、シャッター板を常に正しい位置
で停止させ、開閉操作を正確に行うことができる。
【図１】（ａ）はこの発明の一実施例のシャッター装置
の構成を示す概略平面図、（ｂ）は同じく概略側面図で
ある。
の構成を示す概略平面図、（ｂ）は同じく概略側面図で
ある。
【図２】磁気結合型の回転導入機の構造を示す概略断面
図である。
図である。
【図３】従来のシャッター装置の一例の構成を示す概略
平面図である。
平面図である。
【図４】ベローズ結合型の回転導入機の構造を示す概略
断面図である。
断面図である。
１ シャッター板 ２ シャッターロッド ３ 回転導入機 ４ 支持カップ ５ カップリング ６ ロータリアクチュエータ ７ 固定ブロック ８ ストッパ １０，１１ 動作範囲規制部 １１，１２ 緩衝ばね
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の動作範囲規制部をもつ固定ブロッ
クと、この固定ブロックに固定されたロータリアクチュ
エータと、前記ロータリアクチュエータの回転軸に付設
され前記ロータリアクチュエータの回転軸と連動して回
転し前記一対の動作範囲規制部に当接することによって
前記回転軸の回転を所定角度範囲内に規制するストッパ
と、前記ロータリアクチュエータの回転軸に結合した駆
動側回転子と、この駆動側回転子と連動回転する従動側
回転子とを有する磁気結合型の回転導入機と、この回転
導入機の従動側回転子に結合したシャッター板と、前記
一対の動作範囲規制部のストッパ対向面および前記スト
ッパの動作範囲規制部対向面の何れか一方に設けられて
前記ストッパが前記一対の動作範囲規制部に衝突すると
きの衝撃を吸収する緩衝ばねとを備えたことを特徴とす
るシャッター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3066132A JP2653262B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | シャッター装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3066132A JP2653262B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | シャッター装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04300285A JPH04300285A (ja) | 1992-10-23 |
| JP2653262B2 true JP2653262B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=13307038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3066132A Expired - Fee Related JP2653262B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | シャッター装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2653262B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187700A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | 日新電機株式会社 | 分子線エピタキシ−装置用シヤツタ−装置 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3066132A patent/JP2653262B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04300285A (ja) | 1992-10-23 |
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