JP2651733B2 - 直線駆動装置 - Google Patents
直線駆動装置Info
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- JP2651733B2 JP2651733B2 JP2023274A JP2327490A JP2651733B2 JP 2651733 B2 JP2651733 B2 JP 2651733B2 JP 2023274 A JP2023274 A JP 2023274A JP 2327490 A JP2327490 A JP 2327490A JP 2651733 B2 JP2651733 B2 JP 2651733B2
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- JP
- Japan
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- mover
- magnetic field
- field forming
- forming member
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は被移動対象の移動距離が長い適用例に好都合
な直線駆動装置に関する。
な直線駆動装置に関する。
＜従来の技術＞ この種の直線駆動装置の適用例としては第３図に示す
ような複写機が掲げられる。
ような複写機が掲げられる。
図中70は複写機本体のベースフレームである。このベ
ースフレーム70上には、RDHドラム40（Recirculating D
ocumnt Handler）が設けられており、これが回転するこ
とにより原稿60を図中ａ方向からｂ方向に巻き取るよう
になっている。複写機本体の上部には、別に複写すべき
原稿60を載置するための透明な原稿固定台50が設けられ
ている。
ースフレーム70上には、RDHドラム40（Recirculating D
ocumnt Handler）が設けられており、これが回転するこ
とにより原稿60を図中ａ方向からｂ方向に巻き取るよう
になっている。複写機本体の上部には、別に複写すべき
原稿60を載置するための透明な原稿固定台50が設けられ
ている。
RDHドラム40と原稿固定台50との下方位置には、CCD等
からなる原稿読み取り部30を直線移動自在にするガイド
部材20が設けられており、原稿読み取り部30を直線駆動
するためとしてリニアモータ10が使用されている。
からなる原稿読み取り部30を直線移動自在にするガイド
部材20が設けられており、原稿読み取り部30を直線駆動
するためとしてリニアモータ10が使用されている。
リニアモータ10は、原稿読み取り部30に連結された可
動子12と、ベースフレーム70上に固定された磁場形成部
材11からなり、磁場形成部材11からの磁束を受けた状態
で可動子12に励磁電流が流されると可動子12に推進力が
作用し、これで原稿読み取り部30をガイド部材20に沿っ
て直線駆動させるような構成となっている。
動子12と、ベースフレーム70上に固定された磁場形成部
材11からなり、磁場形成部材11からの磁束を受けた状態
で可動子12に励磁電流が流されると可動子12に推進力が
作用し、これで原稿読み取り部30をガイド部材20に沿っ
て直線駆動させるような構成となっている。
即ち、原稿60をａ方向からRDHドラム40に巻き取らせ
て複写を行う場合には、位置ｃに位置する原稿読み取り
部30により原稿60の内容を読み取るようになっている。
その後、原稿60を原稿固定台50に置いて複写を行う場合
には、リニアモータ10を動作させて、原稿読み取り部30
を位置ｃから位置ｄにまで搬送させた後、更に位置ｄか
ら位置ｅにかけて直線駆動させて走査し、原稿読み取り
部30によって原稿60の内容を読み取るようになってい
る。
て複写を行う場合には、位置ｃに位置する原稿読み取り
部30により原稿60の内容を読み取るようになっている。
その後、原稿60を原稿固定台50に置いて複写を行う場合
には、リニアモータ10を動作させて、原稿読み取り部30
を位置ｃから位置ｄにまで搬送させた後、更に位置ｄか
ら位置ｅにかけて直線駆動させて走査し、原稿読み取り
部30によって原稿60の内容を読み取るようになってい
る。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、上記従来例による場合、原稿読み取り
部30の移動距離が比較的長く、リニアモータ10における
磁場形成部材11もこれに伴って長いものが必要となり、
複写機全体のローコスト化を推進する上で大きな障害と
なっている。
部30の移動距離が比較的長く、リニアモータ10における
磁場形成部材11もこれに伴って長いものが必要となり、
複写機全体のローコスト化を推進する上で大きな障害と
なっている。
本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであり、そ
の目的とするところは、被移動対象の移動距離より遥か
に短い磁場形成部材を使用することが可能な直線駆動装
置を提供することにある。
の目的とするところは、被移動対象の移動距離より遥か
に短い磁場形成部材を使用することが可能な直線駆動装
置を提供することにある。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明に係る直線駆動装置は、磁場形成部材からの磁
束により可動子に推進力を作用せしめ、前記可動子に連
結された被移動対象を直線駆動させる装置であって、前
記可動子を推進力方向に移動自在にする第１のガイド部
材と、前記被移動対象の移動距離より短い長さを有する
前記磁場形成部材を推進方向と平行に移動自在にする第
２のガイド部材と、前記可動子の推進力の反作用を利用
して前記磁場形成部材を第２のガイド部材に沿って移動
させるに当たり当該可動子を固定させる手段とを具備し
ている。
束により可動子に推進力を作用せしめ、前記可動子に連
結された被移動対象を直線駆動させる装置であって、前
記可動子を推進力方向に移動自在にする第１のガイド部
材と、前記被移動対象の移動距離より短い長さを有する
前記磁場形成部材を推進方向と平行に移動自在にする第
２のガイド部材と、前記可動子の推進力の反作用を利用
して前記磁場形成部材を第２のガイド部材に沿って移動
させるに当たり当該可動子を固定させる手段とを具備し
ている。
＜作用＞ まず、磁場形成部材からの磁束を受けて可動子に推進
力を作用させると、可動子に連結された被移動対象が第
１のガイド部材に沿って磁場形成部材の長さに応じた距
離だけ直線移動する。そして、可動子を固定させると、
可動子による推進力の反作用により磁場形成部材が第２
のガイド部材に沿って移動する。その後、可動子の固定
を解除させ、被移動対象を上記と同様に移動させる。こ
の場合、磁場形成部材が移動した分だけ、被移動対象が
移動し得る範囲が変化する。
力を作用させると、可動子に連結された被移動対象が第
１のガイド部材に沿って磁場形成部材の長さに応じた距
離だけ直線移動する。そして、可動子を固定させると、
可動子による推進力の反作用により磁場形成部材が第２
のガイド部材に沿って移動する。その後、可動子の固定
を解除させ、被移動対象を上記と同様に移動させる。こ
の場合、磁場形成部材が移動した分だけ、被移動対象が
移動し得る範囲が変化する。
＜実施例＞ 以下、本発明にかかる直線駆動装置を複写機を例に掲
げて説明する。第１図は複写機の側面図であって、第１
図（ａ）は原稿を原稿固定台に置いて複写を行う様子を
示す図、第１図（ｂ）は原稿をRDHドラムに巻き込んで
複写を行う様子を示す図、第２図は複写機の平面図であ
る。
げて説明する。第１図は複写機の側面図であって、第１
図（ａ）は原稿を原稿固定台に置いて複写を行う様子を
示す図、第１図（ｂ）は原稿をRDHドラムに巻き込んで
複写を行う様子を示す図、第２図は複写機の平面図であ
る。
まず、本発明にかかる直線駆動装置が装備されている
複写機の概略構成について第１図を参照して説明する。
複写機の概略構成について第１図を参照して説明する。
図中70は複写機本体のベースフレームである。このベ
ースフレーム70の上方には、原稿60を載置するための透
明な原稿固定台50が設けられているまた、原稿固定台50
の図中左側に相当する部位には、図外のモータに連結さ
れたRDHドラム40（Recirculating Documnt Handler）が
設けられている。即ち、この複写機は原稿60を原稿固定
台50に置くことにより、或いは原稿60を第１図（ｂ）中
ａ方向に入れることにより、原稿60の内容を同じように
複写することができるような基本構成となっている。た
だ、後者の場合、ａ方向に入れられた原稿60は、RDHド
ラム40に巻き取られた後、図中ｂ方向に出てくるように
なっている。
ースフレーム70の上方には、原稿60を載置するための透
明な原稿固定台50が設けられているまた、原稿固定台50
の図中左側に相当する部位には、図外のモータに連結さ
れたRDHドラム40（Recirculating Documnt Handler）が
設けられている。即ち、この複写機は原稿60を原稿固定
台50に置くことにより、或いは原稿60を第１図（ｂ）中
ａ方向に入れることにより、原稿60の内容を同じように
複写することができるような基本構成となっている。た
だ、後者の場合、ａ方向に入れられた原稿60は、RDHド
ラム40に巻き取られた後、図中ｂ方向に出てくるように
なっている。
更に詳しく説明すると、図中30は原稿60の内容を読み
取る原稿読み取り部（被移動対象に相当する）である。
この原稿読み取り部30は紙面手前方向にライン状に並べ
られたCCDや光学フィルタ等から構成されている。しか
も原稿読み取り部30の中央部には、ベースフレーム70に
固定されたシャフトガイド部材20（第１、第２のガイド
部材に相当する）と対となった軸受21が設けられてい
る。即ち、原稿読み取り部30はガイド部材20に沿って移
動自在にされている。また、原稿読み取り部30の長さ方
向の両側部には、ベースフレーム70の内側両面に夫々に
固着されたソレノイド91のロッド部に係合する穴31が夫
々形成されている（第２図参照）。なお、ソレノイド91
については後述する。
取る原稿読み取り部（被移動対象に相当する）である。
この原稿読み取り部30は紙面手前方向にライン状に並べ
られたCCDや光学フィルタ等から構成されている。しか
も原稿読み取り部30の中央部には、ベースフレーム70に
固定されたシャフトガイド部材20（第１、第２のガイド
部材に相当する）と対となった軸受21が設けられてい
る。即ち、原稿読み取り部30はガイド部材20に沿って移
動自在にされている。また、原稿読み取り部30の長さ方
向の両側部には、ベースフレーム70の内側両面に夫々に
固着されたソレノイド91のロッド部に係合する穴31が夫
々形成されている（第２図参照）。なお、ソレノイド91
については後述する。
このような原稿読み取り部30を次に説明するリニアモ
ータ10により図中搬送領域ｆから直線走査領域ｇにかけ
て交互に直線駆動させるようになっている。
ータ10により図中搬送領域ｆから直線走査領域ｇにかけ
て交互に直線駆動させるようになっている。
ここで搬送領域ｆとは、RDHドラム40の真下に相当す
る位置ｃから原稿固定台60の図中左側真下に相当する位
置ｄにかけての直線移動領域を言うものとし、直線走査
領域ｇとは、位置ｃから原稿固定台60の図中右側真下に
相当する位置ｅにかけての直線移動領域を言うものとす
る。
る位置ｃから原稿固定台60の図中左側真下に相当する位
置ｄにかけての直線移動領域を言うものとし、直線走査
領域ｇとは、位置ｃから原稿固定台60の図中右側真下に
相当する位置ｅにかけての直線移動領域を言うものとす
る。
リニアモータ10は、固定子継鉄112の上面に永久磁石1
11をＮ極、Ｓ極の複数交互に着磁せしめた構造の磁場形
成部材11と、可動子継鉄121の下面に三相巻線122を固着
した構造の可動子12とから構成されている。
11をＮ極、Ｓ極の複数交互に着磁せしめた構造の磁場形
成部材11と、可動子継鉄121の下面に三相巻線122を固着
した構造の可動子12とから構成されている。
可動子12は原稿読み取り部30の下部に固定されてい
る。これに対して磁場形成部材11は可動子12の移動方向
と平行に移動自在にされている。即ち、磁場形成部材11
の両側には、ガイド部材20と対になった軸受22に夫々固
着されており、この軸受22を介して磁場形成部材11がガ
イド部材20に沿って移動自在にされるようになってい
る。この軸受22の一方には、ベースフレーム70の底面に
所定配置されたソレノイド81、82のロッド部に係合する
穴221が夫々形成されている。ソレノイド81、82につい
ては後述する。
る。これに対して磁場形成部材11は可動子12の移動方向
と平行に移動自在にされている。即ち、磁場形成部材11
の両側には、ガイド部材20と対になった軸受22に夫々固
着されており、この軸受22を介して磁場形成部材11がガ
イド部材20に沿って移動自在にされるようになってい
る。この軸受22の一方には、ベースフレーム70の底面に
所定配置されたソレノイド81、82のロッド部に係合する
穴221が夫々形成されている。ソレノイド81、82につい
ては後述する。
なお、磁場形成部材11の長さは、ここでは直線走査領
域ｇの距離に応じた値に設定されており、ガイド部材20
の長さに比較すると遥かに短い。
域ｇの距離に応じた値に設定されており、ガイド部材20
の長さに比較すると遥かに短い。
上記のように構成された複写機の動作説明を第１図を
参照して行う。
参照して行う。
まず、原稿固定台50に原稿60を置いて複写を行う場合
には、磁場形成部材11を第１図（ａ）に示すような位置
に位置決め固定する。位置決め固定にあたっては、ソレ
ノイド82を動作させてそのロッドの先端部を穴221に入
れることによって行なう。
には、磁場形成部材11を第１図（ａ）に示すような位置
に位置決め固定する。位置決め固定にあたっては、ソレ
ノイド82を動作させてそのロッドの先端部を穴221に入
れることによって行なう。
なお、この場合の原稿読み取り部30の初期位置は位置
ｄである。
ｄである。
この状態で、リニアモータ10を動作させる。即ち、磁
場形成部材11からの磁束が鎖交する状態で、可動子12の
三相巻線122に所望の励磁電流を供給すると、可動子12
に推進力が作用し、これで原稿読み取り部30が位置ｄか
ら位置ｅにかけて交互に直線駆動される。この過程で原
稿固定台50に置かれた原稿60の内容が原稿読み取り部30
により読み取られる。
場形成部材11からの磁束が鎖交する状態で、可動子12の
三相巻線122に所望の励磁電流を供給すると、可動子12
に推進力が作用し、これで原稿読み取り部30が位置ｄか
ら位置ｅにかけて交互に直線駆動される。この過程で原
稿固定台50に置かれた原稿60の内容が原稿読み取り部30
により読み取られる。
次に、原稿60をａ方向から入れて複写を行う場合に
は、まず、ソレノイド82を動作させて穴221に入れられ
たロッドを引っ込めて、磁場形成部材11をフリー状態に
する一方、ソレノイド91を動作させてそのロッドを穴31
に入れ、原稿読み取り部30及び可動子12をベースフレー
ム70に対して拘束する。この状態でリニアモータ10を動
作させると、可動子12には推進力が作用するが、可動子
12は拘束されているので、推進力の反作用により磁場形
成部材11がガイド部材20に沿って図中左側に移動する。
そして磁場形成部材11がベースフレーム70の図中左側内
壁面にまで達したところで、リニアモータ10を停止させ
る。その後、ソレノイド81を動作させてそのロボットを
穴221に入れ、磁場形成部材11をベースフレーム70に対
して拘束する。そして、ソレノイド91を動作させ、原稿
読み取り部30及び可動子12の拘束を外した状態で、再び
リニアモータ10を動作させ、原稿読み取り部30を位置ｄ
から位置ｃに戻す。そしてこの状態でRDHドラムを回転
駆動させ、ａ方向から原稿60を入れると、これがｂ方向
から取り出される過程で原稿60の内容が原稿読み取り部
30により読み取られるようになっている。
は、まず、ソレノイド82を動作させて穴221に入れられ
たロッドを引っ込めて、磁場形成部材11をフリー状態に
する一方、ソレノイド91を動作させてそのロッドを穴31
に入れ、原稿読み取り部30及び可動子12をベースフレー
ム70に対して拘束する。この状態でリニアモータ10を動
作させると、可動子12には推進力が作用するが、可動子
12は拘束されているので、推進力の反作用により磁場形
成部材11がガイド部材20に沿って図中左側に移動する。
そして磁場形成部材11がベースフレーム70の図中左側内
壁面にまで達したところで、リニアモータ10を停止させ
る。その後、ソレノイド81を動作させてそのロボットを
穴221に入れ、磁場形成部材11をベースフレーム70に対
して拘束する。そして、ソレノイド91を動作させ、原稿
読み取り部30及び可動子12の拘束を外した状態で、再び
リニアモータ10を動作させ、原稿読み取り部30を位置ｄ
から位置ｃに戻す。そしてこの状態でRDHドラムを回転
駆動させ、ａ方向から原稿60を入れると、これがｂ方向
から取り出される過程で原稿60の内容が原稿読み取り部
30により読み取られるようになっている。
再び、原稿固定台80に原稿60を置いて複写を行う場合
には、上記と全く逆の動作が行われる。
には、上記と全く逆の動作が行われる。
本実施例による複写機による場合には、次に述べるよ
うなメリットが得られる。
うなメリットが得られる。
まず、原稿読み取り部30はガイド部材20に沿って搬送
領域ｆから直線走査領域ｅにかけて直線駆動可能となっ
ているが、その移動距離よりも短い磁場形成部材11を使
用することができる。これは価格の安いリニアモータ10
を使用することができることを意味している。
領域ｆから直線走査領域ｅにかけて直線駆動可能となっ
ているが、その移動距離よりも短い磁場形成部材11を使
用することができる。これは価格の安いリニアモータ10
を使用することができることを意味している。
また、磁場形成部材11はガイド部材20により移動自在
にされており、専用のガイド部材を必要とせず、従来の
機構を十分に利用できるという意味で、全体としてのコ
ストダウンを図ることができる。
にされており、専用のガイド部材を必要とせず、従来の
機構を十分に利用できるという意味で、全体としてのコ
ストダウンを図ることができる。
更に、磁場形成部材11を直線駆動するにあたり、リニ
アモータ10の推進力を利用した構成となっているので、
新たな駆動源を必要としないという意味で、コストダウ
ンを図ることができる。
アモータ10の推進力を利用した構成となっているので、
新たな駆動源を必要としないという意味で、コストダウ
ンを図ることができる。
従って、複写機の性能アップとコストダウンを推進す
る上で非常に大きな意義がある。
る上で非常に大きな意義がある。
なお、本発明にかかる直線駆動装置は複写機だけの適
用例に止まらないことは勿論、第１のガイド部材と第２
のガイド部材とを共用することなく別にしても良いし、
移動手段としては、装置の発生する推進力を利用するの
ではなく、新たな駆動源を設けて磁場形成部材を直線移
動するような形態を採っても良い。
用例に止まらないことは勿論、第１のガイド部材と第２
のガイド部材とを共用することなく別にしても良いし、
移動手段としては、装置の発生する推進力を利用するの
ではなく、新たな駆動源を設けて磁場形成部材を直線移
動するような形態を採っても良い。
＜発明の効果＞ 以上、本発明にかかる直線駆動装置による場合には、
構成上、被移動対象の直線移動距離に比べて遥かに短い
磁場形成部材を使用することができ、それ故、全体とし
て装置のコストダウンを推進する上で大きなメリットが
ある。
構成上、被移動対象の直線移動距離に比べて遥かに短い
磁場形成部材を使用することができ、それ故、全体とし
て装置のコストダウンを推進する上で大きなメリットが
ある。
第１図及び第２図は本発明にかかる直線駆動装置の一実
施例を説明するための図であり、第１図は複写機の側面
図であって、第１図（ａ）は原稿を原稿固定台に置いて
複写を行う様子を示す図、第１図（ｂ）は原稿をRDHド
ラムに巻き込んで複写を行う様子を示す図、第２図は複
写機の平面図である。第３図は従来の直線駆動装置を説
明するための図であって、第１図に対応する図である。 10……リニアモータ 11……磁場形成部材 12……可動子 20……ガイド部材 30……原稿読み取り部
施例を説明するための図であり、第１図は複写機の側面
図であって、第１図（ａ）は原稿を原稿固定台に置いて
複写を行う様子を示す図、第１図（ｂ）は原稿をRDHド
ラムに巻き込んで複写を行う様子を示す図、第２図は複
写機の平面図である。第３図は従来の直線駆動装置を説
明するための図であって、第１図に対応する図である。 10……リニアモータ 11……磁場形成部材 12……可動子 20……ガイド部材 30……原稿読み取り部
Claims (1)
- 【請求項１】磁場形成部材からの磁束により可動子に推
進力を作用せしめ、前記可動子に連結された被移動対象
を直線駆動させる直線駆動装置において、前記可動子を
推進力方向に移動自在にする第１のガイド部材と、前記
被移動対象の移動距離より短い長さを有する前記磁場形
成部材を推進方向と平行に移動自在にする第２のガイド
部材と、前記可動子の推進力の反作用により前記磁場形
成部材を第２のガイド部材に沿って移動させるに当たり
当該可動子を固定させる手段とを具備していることを特
徴とする直線駆動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023274A JP2651733B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 直線駆動装置 |
| EP90304115A EP0393994B1 (en) | 1989-04-17 | 1990-04-17 | A linear driving apparatus |
| DE69009841T DE69009841T2 (de) | 1989-04-17 | 1990-04-17 | Linearantriebsgerät. |
| US07/509,806 US5208497A (en) | 1989-04-17 | 1990-04-17 | Linear driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023274A JP2651733B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 直線駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03230749A JPH03230749A (ja) | 1991-10-14 |
| JP2651733B2 true JP2651733B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=12106027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023274A Expired - Lifetime JP2651733B2 (ja) | 1989-04-17 | 1990-01-31 | 直線駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2651733B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578482A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-16 | Seiko Epson Corp | Electronic wrist watch equipped with alarm |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2023274A patent/JP2651733B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03230749A (ja) | 1991-10-14 |
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