JP2644053B2 - リニアモータ装置 - Google Patents

リニアモータ装置

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JP2644053B2
JP2644053B2 JP1318678A JP31867889A JP2644053B2 JP 2644053 B2 JP2644053 B2 JP 2644053B2 JP 1318678 A JP1318678 A JP 1318678A JP 31867889 A JP31867889 A JP 31867889A JP 2644053 B2 JP2644053 B2 JP 2644053B2
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はリニアモータ装置に関する。
[従来の技術] 複写機やページプリンタ等の光学走査装置又は磁気デ
ィスク駆動装置では、走査駆動のために又はアクセス駆
動のためにリニアモータ装置を用いることが考えられ
る。
一般的に、このようなリニアモータ装置は、ベースフ
レームと、可動部材と、この可動部材を前記ベースフレ
ームに対して直線移動させるように駆動するための磁場
形成部材と備えている。
このようなリニアモータ装置は、本出願人による別の
出願である特願昭63−68425号「リニアモータおよびリ
ニアモータを使用した直線駆動装置」、特願昭63−1299
82号「直線駆動装置」、特願昭63−217276号「直線駆動
装置」、特願昭62−332643号「複写機の光学系移動装
置」等に説明されている。
例えば、第7図に概念的に示すように、一般的にリニ
アモータ装置は、ベースフレームAと、ベースフレーム
Aに対して相対的に直線移動し得るように構成された磁
場形成部材Bと、例えば回転電動機のコイル部材に相当
する可動子Cと、同様に例えば回転電動機のロータに相
当する可動体Dとを有している。可動体D及び可動子C
は、磁場形成部材BによってベースフレームAに対して
直線的に駆動を受けるように構成されている。第7図に
概念的に示されたリニアモータ装置は、磁場形成部材B
が可動子C及び可動体DをベースフレームAに対して相
対移動させる際、当該磁場形成部材Bに生じる反発力を
吸収すべく当該磁場形成部材BをベースフレームAに対
して相対的に移動させるように構成された移動手段Eを
備えている。
尚、磁場形成部材Bは例えば永久磁石等で構成するこ
とができる。
このように構成されたリニアモータ装置は、可動体D
の重量をF1、磁場形成部材Bの重量をF2及び摩擦係数を
μとすると、可動体DとベースフレームAとの間には摩
擦負荷F1μが、磁場形成部材BとベースフレームAとの
間には摩擦負荷F2μが夫々生じている。
ここでリニアモータ装置が作動して可動体D及び可動
子Cが駆動され移動する場合の当該可動子C及び可動体
Dの方向を正方向として矢印aで示し、磁場形成部材B
に生じる反発力によって受ける当該磁場形成部材Bの移
動方向を負方向として矢印bで示す。また、可動子C及
び可動体D並びに磁場形成部材Bの夫々に作用する力を
以下加速力と定義する。
従って、可動体Dの加速力をF1(t)、可動体Dに生
じる発生推力をF2(t)、磁場形成部材Bの加速力をFm
(t)及び磁場形成部材Bに生じる反発力をFr(t)と
すると、当該磁場形成部材Bの加速力Fm(t)は以下の
ように表わせる。
F1(t)=F2(t)−F1μ Fr(t)=−F2(t) Fm(t)=Fr(t)+F2μ ∴Fm(t)=−F1(t)−F1μ+F2μ 可動体DとベースフレームAとの間の摩擦負荷F1μ
が、磁場形成部材BとベースフレームAとの間の摩擦負
荷F2μに比べて大きい場合には、磁場形成部材Bの加速
力Fm(t)が、当該摩擦負荷F1μと摩擦負荷F2μとの差
が生じていない場合に比べて大きくなる。
その結果、磁場形成部材Bの移動距離が所望以上に長
くなってしまう恐れがある。
磁場形成部材Bが所望以上に移動してしまうことによ
って、当該磁場形成部材Bを元の位置、即ち初期位置に
復帰させるための復帰移動手段に加わる負荷が大きくな
る恐れがある。特に高速複写機に於ける前記復帰移動手
段に於いて例えば、パルスモータを用いる場合には、当
該パルスモータ自体が発熱したり、脱調が生じたりして
正常に動作ができなくなり、磁場形成部材Bを元の位置
に復帰させることができなくなる可能性がある。
[発明が解決しようとする課題] このように従来のリニアモータ装置は、前述の可動子
及び可動体を有する可動部材を磁場形成部材によって直
線移動させて駆動した場合に、磁場形成部材に生じる反
発力によってこの可動部材を所望の位置に正確に停止さ
せることが非常に難しいという欠点を有している。
本発明は、前述の諸点に鑑み成されたものであって、
その目的とすることろは、磁場形成部材に生じる反発力
を低減させることによって、磁場形成部材を元の位置に
比較的容易に復帰させることができるリニアモータ装置
を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 前記目的は、本発明によれば、ベースフレーム上に配
置された磁場形成部材から推進力を作用させて可動部材
を前記ベースフレームに対して相対的に直線移動させる
とともに、前記推進力の作用により前記磁場形成部材に
生じる反発力を、前記磁場形成部材の前記ベースフレー
ム上の自由移動により吸収するリニアモータ装置であっ
て、前記推進力の作用により前記ベースフレームに対し
て相対的に移動する前記可動部材は、前記磁場形成部材
上に配置されており、該磁場形成部材に対して相対的に
直線移動が可能であることを特徴とするリニアモータ装
置によって達成される。
[作用] 本発明によるリニアモータ装置は、前記磁場形成部材
上に配置された可動部材が前記ベースフレームに対して
直線的に駆動されたときに、当該磁場形成部材に生じた
反発力を吸収すべく、当該磁場形成部材が、前記ベース
フレーム及び前記可動部材の夫々に対して相対的に直線
移動する。
更に、本発明によるリニアモータ装置の基本な原理
を、第6図に基づいて概略的に説明する。
このリニアモータ装置は、ベースフレーム4と、ベー
スフレーム4に対して直線移動し得るように構成された
磁場形成部材3と、磁場形成部材3上に配置されてお
り、この磁場形成部材3によってベースフレーム4に対
して直線的に駆動されるように構成された可動部材とを
有している。
この可動部材は可動子2及び可動体1を備えている。
磁場形成部材3とベースフレーム4との間には当該磁
場形成部材3がベースフレーム4に対して相対的に直線
移動し得るように移動手段5aが備えられている。
また磁場形成部材3と可動体1との間には当該可動体
1が磁場形成部材3に対して相対的に直線移動し得るよ
うに移動手段5aと同様の別の移動手段5bが備えられてい
る。即ち、磁場形成部材3は、ベースフレーム4及び可
動体1の夫々に対して相対的に直線移動し得るように構
成されている。
このように構成されたリニアモータ装置が作動して可
動体1が駆動され移動する場合の当該可動体1の移動方
向は正方向として矢印aで示されており、磁場形成部材
3に生じる反発力によって受ける当該磁場形成部材3の
移動方向は負方向として矢印bで示されている。
このリニアモータ装置は、可動体1の重量をF1、磁場
形成部材3の重量をF2及び摩擦係数をμとすると、可動
体1と磁場形成部材3との間の摩擦負荷F1μ、磁場形成
部材3とベースフレーム4との間の摩擦負荷はF2μ、可
動体1の加速力はF1(t)、可動体1に生じる発生推力
はF2(t)、磁場形成部材3の加速力はFm(t)及び磁
場形成部材3に生じる反発力はFr(t)となり、磁場形
成部材3の加速力Fm(t)は以下のように表わせる。
F1(t)=F2(t)−F1μ Fr(t)=−F2(t) Fm(t)=Fr(t)+F1μ+F2μ ∴Fm(t)=−F1(t)+F2μ これは、可動体1と磁場形成部材3との間の摩擦負荷
F1μの影響が打消されてしまうことを示している。
以上から、前述のように可動子2及び可動体1を備え
た可動部材を磁場形成部材3の上を当該磁場形成部材3
に対して相対的に直線移動を自在に行なうことができる
ように構成することによって、磁場形成部材3の加速力
Fm(t)を低減することができる。それ故に、磁場形成
部材3を元の初期位置に復帰させるための前述した復帰
移動手段に加わる負荷を最小限にすることができる。
[実施例] 次に、本発明によるリニアモータ装置の一実施例を説
明する。この一実施例は、本発明を走査露光方式の複写
機に適用した場合である。
第1図から第3図の夫々に示すように、リニアモータ
装置0は、走査露光方式の複写機の本体の内部に固定さ
れたベースフレーム4と、ベースフレーム4に対して相
対的に直線移動し得るように構成された磁場形成部材3
と、磁場形成部材3及びベースフレーム4の夫々に対し
て相対的に直線移動し得るように構成された可動部材と
を備えている。
この可動部材は可動子2及び可動体1の夫々を含んで
いる。
可動体1は、第5図に示すような光学ユニットLを装
着し得るように構成されている。
更に可動体1は、第1図及び第2図に示すように、第
1の可動体1a及び第2の可動体1bの夫々によって構成さ
れている。
第1の可動体1aは細長く平らな形状を有している。こ
の第1の可動体1aには、第1のミラー24及びランプユニ
ット等(図示せず)が装着されている。
第2の可動体1bは、第1の可動体1aと同様に細長く平
らな形状を有している。
この第2の可動体1bには、第2のミラー25及び第3の
ミラー26が装着されている。
これらの第1のミラー24、第2のミラー25、第3のミ
ラー26の夫々に対して、当該第1のミラー24から第3の
ミラー26の夫々を経た光を倒立させて結像すべく配置さ
れたレンズ27と、このレンズ27からの光を感光体ドラム
29に反射すべく当該レンズ27と感光体ドラム29との間に
配置された第4のミラー28とを加えることによって複写
機の光学系を構成している。
可動子2は、第1の可動体1aの両側の端部30a及び端
部30bの夫々に固定された可動ヨーク7a及び可動ヨーク7
b、並びに第2の可動体1bの両側の端部30c及び端部30d
の夫々に固定された可動ヨーク7c及び可動ヨーク7dを備
えている。
可動ヨークの各々には、3つのコイル部材、即ちコイ
ル部材6a,コイル部材6b及びコイル部材6cが装着されて
いる。
これらの可動ヨークの各々には、対応する3つのコイ
ル部材から発生される磁束の通路を構成している。
更に可動体1a及び可動体1bは、可動ヨーク7a及び可動
ヨーク7cの夫々に装着された軸受8,8を有している。
軸受8は軸10に摺動自在に支持されている。
軸10は、後述する磁場形成部材3を構成している固定
ヨーク13aと固定ヨーク13bとを相互に連結する連結板14
a及び連結板14bの夫々を貫通し、且つ当該固定ヨーク13
a及び固定ヨーク13bの夫々に各ホルダ15a及びホルダ15b
を介して固定されている。
可動子2は可動ヨーク7b及び可動ヨーク7dの夫々に装
着されたローラ11,11を有している。
ローラ11は磁場形成部材3の固定ヨーク13bに支持さ
れている。
これらのローラ11,11及び軸10に摺動自在に支持され
た軸受8,8によって、第6図に概念的に示された磁場形
成部材3と可動体1との間に備えられた、当該可動体1
の磁場形成部材3に対する相対的に直線移動を行なわせ
得る移動手段5bを構成している。
磁場形成部材3は、前述の3つのコイル部材の列、即
ちコイル部材6a,コイル部材6b及びコイル部材6cの各列
に対応して多極的に着磁された永久磁石12a及び永久磁
石12bと、永久磁石12a及び永久磁石12bの夫々を直線上
に配列して固定するための固定ヨーク13a及び固定ヨー
ク13bとを有している。
これらの永久磁石12a及び永久磁石12bの夫々は、第3
図に示すように前記3つのコイル部材の列と協働して3
相のブラシレスモータを構成すべく当該3つのコイル部
材の列に対して所定の間隙を有して配置されている。
また、固定ヨーク13a及び固定ヨーク13bは、夫々の両
端部に於いて連結板14a及び連結板14bによって連結さ
れ、枠体14として一体化されている。
ベースフレーム4と磁場形成部材3との間には、当該
磁場形成部材3の矢印a及び矢印bの方向に関する移動
を可能にする移動手段5a(第6図)が設けられている。
この移動手段5aは、磁場形成部材3の一部を構成する
ベースフレーム4に取付けられた一対の軸受9a,軸受9b
と、磁場形成部材3の一部を構成する固定ヨーク13bに
取付けられた一対のローラ16a,ローラ16bとによって構
成されている。
軸受9a,軸受9bは、軸10を摺動自在に支持するように
構成されている。
尚、このように構成されたリニアモータ装置0の作動
状態に於いて、前述の3つのコイル部材の列であるコイ
ル部材6a,コイル部材6b及びコイル部材6cの夫々は、例
えば第1の可動体1aに固定された可動ヨーク7a及び可動
ヨーク7b、並びに第2の可動体1bに固定された可動ヨー
ク7c及び可動ヨーク7dにホール素子(図示せず)を装着
し、このホール素子による励磁の切換えによって直線移
動動作のための駆動力を生起することができる。
また第1の可動体1a及び第2の可動体1bは、光路長を
一定に保つために同期運転するのが好ましい。
第1図及び第2図の夫々に示された、磁場形成部材3
を初期位置に復帰させるための前述の復帰移動手段17
は、特に第4図に拡大されて示されている。
即ち復帰移動手段17は、ベースフレーム4に固定的に
装着された枠体22と、この枠体22に装着されたパルスモ
ータ21と、このパルスモータ21の作動を制御すべく当該
パルスモータ21に接続された制御装置23と、パルスモー
タ21の回転駆動力によって回転される第1のギア20a
と、この第1のギア20aの回転によって回転される第2
のギア20bと、この第2のギア20bの回転によって回転さ
れるプーリ19と、このプーリ19に巻回されて磁場形成部
材3を移動させるべく、両端部に於いて、当該磁場形成
部材3を構成している固定ヨーク13aに一体的に設けら
れた2つの突起部材31の夫々に連結されたワイヤ18とを
備えている。
このように構成された復帰移動手段17に於いては、パ
ルスモータ21が作動して回転による駆動力が生起される
と、第1のギア20a、第2のギア20b及びプーリ19の夫々
も当該回転の方向に対応して回転する。
その結果ワイヤ18は当該回転の方向に対応する矢印a
及び矢印bのいずれかの方向に移動し、従って固定ヨー
ク13aを含む磁場形成部材3を矢印a及び矢印bのいず
れかの方向に移動させることができる。
これらのことから磁場形成部材3が、初期位置に復帰
する方向がいずれ方向にも選択され得ることが理解され
よう。
次に、本実施例によるリニアモータ装置0を作動させ
た場合の状態について説明する。
可動子2に於ける可動ヨーク7a、可動ヨーク7b、可動
ヨーク7c及び可動ヨーク7dの各々に装着された3つのコ
イル部材、即ちコイル部材6a,コイル部材6b及びコイル
部材6cに電流を供給して磁束を発生させることによって
可動子2には推力が発生する。
各可動子2に推力が発生されると、当該可動子2に一
体化された可動体1a及び可動体1bの各々が当該可動子2
と共に走査方向、例えば第1図に示す矢印aの方向に移
動する。
可動体1a及び可動体1bの各々が矢印aの方向に移動す
る際、前述の3つのコイル部材の列に対して所定の間隙
を有して配置された、磁場形成部材3の永久磁石12a及
び永久磁石12bの夫々には、矢印aと逆の矢印bで示す
方向の反発力が生じる。
しかしながら、磁場形成部材3は、ベースフレーム4
との間に当該磁場形成部材3を矢印a又は矢印bの方向
に関する移動を可能にする移動手段5aが設けられている
ので、例えば前述の矢印bで示す方向の反発力が生じて
も当該矢印bの方向に移動することによって当該反発力
を吸収することができる。
また、可動体1及び可動子2が前述の矢印aで示す走
査方向への移動が終了して元の位置に戻る、即ち矢印b
で示すリターン方向への移動を行なう場合、磁場形成部
材3の永久磁石12a及び永久磁石12bの夫々には、逆に矢
印bと反対の矢印aで示す方向の反発力が生じる。磁場
形成部材3は、前述の場合と同様に移動手段5aにより矢
印aの方向に移動することによって前記反発力を吸収す
ることができる。
しかしながら、磁場形成部材3は、摩擦負荷等のため
に元の待機位置、即ち正確な初期位置には厳密に復帰し
得ない。
従って、前述の復帰移動手段17によって磁場形成部材
3を正確な初期位置まで移動させる必要がある。
ここで、本実施例のリニアモータ装置0に於いて、可
動体1aの重量をF1a、可動体1bの重量をF1b、磁場形成部
材3の重量をF2及び摩擦係数をμとすると、可動体1aと
磁場形成部材3との間に生じている摩擦負荷はF1aμ、
可動体1bと磁場形成部材3との間に生じている摩擦負荷
はF1bμ、磁場形成部材3とベースフレーム4との間に
生じている摩擦負荷はF2μとなる。
また、走査方向を正方向として矢印aで示し、可動体
1aの加速力をF1a(t)、可動体1aに発生する推力をF2a
(t)、可動体1bの加速力をF1b(t)、可動体1bに発
生する推力をF2b(t)、磁場形成部材3の加速力をFm
(t)、磁場形成部材3に発生する反発力をFr(t)と
すると、磁場形成部材3の加速力Fm(t)は、 F1a(t)=F2a(t)−F1aμ F1b(t)=F2b(t)−F1bμ Fr(t)=−F2a(t)−F2b(t) Fm(t)=Fr(t)−F1aμ+F1bμ+F2μ ∴Fm(t)=−F1a(t)−F1b(t)+F2μ となる。
従ってこれらのことから、可動体1a及び可動体1bが磁
場形成部材3の上で自在に直線移動し得るように構成さ
れているため、可動体1aの摩擦負荷F1aμ及び可動体1b
の摩擦負荷F1bμの影響は打消され得、その結果、磁場
形成部材3の加速力Fm(t)が低減され得るため、前述
の復帰移動手段17に加わる負荷を小さくすることができ
る。
[発明の効果] 以上から、本発明によるリニアモータ装置は、ベース
フレーム上に配置された磁場形成部材から推進力を作用
させて可動部材を前記ベースフレームに対して相対的に
直線移動させるとともに、前記推進力の作用により前記
磁場形成部材に生じる反発力を、前記磁場形成部材の前
記ベースフレーム上の自由移動により吸収するリニアモ
ータ装置であって、前記推進力の作用により前記ベース
フレームに対して相対的に移動する前記可動部材は、前
記磁場形成部材上に配置されており、該磁場形成部材に
対して相対的に直線移動が可能であることを特徴とする
構成を有しているため、可動部材が磁場形成部材に対し
て相対的に移動する際に生じる摩擦力は、磁場形成部材
が反力によって逆方向に移動する際に生じる摩擦力によ
って相殺されるため、可動部材がベースフレーム上に直
接置かれて移動可能に構成されている場合に比べて磁場
形成部材を可動部材と逆方向に移動させる加速力が小さ
くなる。
従って、可動部材を磁場形成部材によって直線移動さ
せるように駆動する場合に、磁場形成部材にかかる加速
力を低減することにより、移動距離を短くして磁場形成
部材を元の位置に比較的容易に復帰させることができる
と共に、可動部材を磁場形成部材の上に重ね合わせて配
置することにより、移動方向の寸法を小さくして装置全
体を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるリニアモータ装置の一実施例の
斜視図、第2図は、第1図に示した本発明によるリニア
モータ装置の一実施例の平面図、第3図は、第2図のII
I−III線による断面図、第4図は、第2図に示した本発
明によるリニアモータ装置の一実施例の部分拡大平面
図、第5図は、本発明によるリニアモータ装置が適用さ
れる走査露光複写機の光学系の説明図、第6図は、本発
明によるリニアモータ装置の動作原理の概略説明図、第
7図は、一般的なリニアモータ装置の動作原理の説明図
である。 1……可動体、2……可動子、3……磁場形成部材、4
……ベースフレーム、5……移動手段、6a,6b,6c……コ
イル部材、7a,7b,7c,7d……可動ヨーク、8……軸受、1
0……軸、11……ローラ、12a,12b……永久磁石、13a,13
b……固定ヨーク、14a,14b……連結板、15a,15b……ホ
ルダ、17……復帰手段、18……ワイヤ、21……パルスモ
ータ、22……枠体、23……制御装置、24,25,26,28……
ミラー、27……レンズ、29……感光体ドラム。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベースフレーム上に配置された磁場形成部
    材から推進力を作用させて可動部材を前記ベースフレー
    ムに対して相対的に直線移動させるとともに、前記推進
    力の作用により前記磁場形成部材に生じる反発力を、前
    記磁場形成部材の前記ベースフレーム上の自由移動によ
    り吸収するリニアモータ装置であって、 前記推進力の作用により前記ベースフレームに対して相
    対的に移動する前記可動部材は、前記磁場形成部材上に
    配置されており、該磁場形成部材に対して相対的に直線
    移動が可能であることを特徴とするリニアモータ装置。
JP1318678A 1989-04-17 1989-12-07 リニアモータ装置 Expired - Lifetime JP2644053B2 (ja)

Priority Applications (4)

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