JP2634353B2 - 電子増倍管 - Google Patents
電子増倍管Info
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- JP2634353B2 JP2634353B2 JP4127690A JP12769092A JP2634353B2 JP 2634353 B2 JP2634353 B2 JP 2634353B2 JP 4127690 A JP4127690 A JP 4127690A JP 12769092 A JP12769092 A JP 12769092A JP 2634353 B2 JP2634353 B2 JP 2634353B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子、イオン、荷電粒
子、真空紫外線、軟Ｘ線等のエネルギ線を検出若しくは
測定するための電子増倍管に関するものである。
子、真空紫外線、軟Ｘ線等のエネルギ線を検出若しくは
測定するための電子増倍管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子増倍管は、図６に概略的に示すよう
に、電子等のエネルギ線を電子倍増部のダイノードＤＹ
１〜ＤＹ１６に衝突させ、そこで二次電子を増倍しつつ
放出させ、その二次電子を最終的に収集電極（陽極）Ａ
で捕らえて検出するというものである。
に、電子等のエネルギ線を電子倍増部のダイノードＤＹ
１〜ＤＹ１６に衝突させ、そこで二次電子を増倍しつつ
放出させ、その二次電子を最終的に収集電極（陽極）Ａ
で捕らえて検出するというものである。
【０００３】電子増倍部の構成には種々の形式がある
が、通常、四半円筒形のダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６を
エネルギ線の入射方向に沿って概ね交互に配列して構成
される。図５に示す配列はその代表的なものであり、一
般にボックス型と呼ばれる配列である。
が、通常、四半円筒形のダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６を
エネルギ線の入射方向に沿って概ね交互に配列して構成
される。図５に示す配列はその代表的なものであり、一
般にボックス型と呼ばれる配列である。
【０００４】また、隣合うダイノードＤＹ間にはそれぞ
れ抵抗が接続され、第１段のダイノードＤＹ１と最終段
のダイノードＤＹ１６との間に印加された電圧を等分し
ている。
れ抵抗が接続され、第１段のダイノードＤＹ１と最終段
のダイノードＤＹ１６との間に印加された電圧を等分し
ている。
【０００５】電子増倍管の基本的構成は上記の通りであ
るが、実際の組立構造は図７及び図８に示すものが一般
的である。
るが、実際の組立構造は図７及び図８に示すものが一般
的である。
【０００６】図７及び図８の電子増倍管においては、各
ダイノードＤＹは支持枠１によって囲まれ支持されてい
る。支持枠１は導電材料から形成され、支持しているダ
イノードＤＹと電気的に接続されている。また、この電
子増倍管は、ホルダ２に固定された２本の平行な支持棒
３を有しており、これらの支持棒３をダイノードＤＹの
支持枠１の穴４に挿入することで、ダイノードＤＹが支
持棒３により保持されるようになっている。隣合う支持
枠１の間隔は、支持棒３に嵌挿されたスペーサ５により
一定に保たれている。
ダイノードＤＹは支持枠１によって囲まれ支持されてい
る。支持枠１は導電材料から形成され、支持しているダ
イノードＤＹと電気的に接続されている。また、この電
子増倍管は、ホルダ２に固定された２本の平行な支持棒
３を有しており、これらの支持棒３をダイノードＤＹの
支持枠１の穴４に挿入することで、ダイノードＤＹが支
持棒３により保持されるようになっている。隣合う支持
枠１の間隔は、支持棒３に嵌挿されたスペーサ５により
一定に保たれている。
【０００７】更に、この従来の電子増倍管では、抵抗Ｒ
はダイノード列の一方の側に１列に配置され、隣合う上
下の支持枠１の適所に抵抗の各リード線Ｌが溶接されて
いる。
はダイノード列の一方の側に１列に配置され、隣合う上
下の支持枠１の適所に抵抗の各リード線Ｌが溶接されて
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の電子増倍管にお
いては、抵抗Ｒがダイノード列の片側で１列に配置され
ているため、電子倍増管の全長が長くなる傾向があっ
た。全長を短く抑えるためには、抵抗Ｒの間隔を狭くす
る必要があるが、間隔を狭くすると、抵抗Ｒのリード線
Ｌが隣接のものと接触する恐れがあった。
いては、抵抗Ｒがダイノード列の片側で１列に配置され
ているため、電子倍増管の全長が長くなる傾向があっ
た。全長を短く抑えるためには、抵抗Ｒの間隔を狭くす
る必要があるが、間隔を狭くすると、抵抗Ｒのリード線
Ｌが隣接のものと接触する恐れがあった。
【０００９】また、抵抗Ｒの支持はリード線Ｌの先端の
溶接のみによっているため、抵抗Ｒがしっかりと固定さ
れておらず、ぐらつきやすいという問題点もある。
溶接のみによっているため、抵抗Ｒがしっかりと固定さ
れておらず、ぐらつきやすいという問題点もある。
【００１０】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、小型で堅牢な構造の電子増倍管を提供するこ
とを目的とする。
のであり、小型で堅牢な構造の電子増倍管を提供するこ
とを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、エネルギ線が入射された場
合に二次電子を漸次増倍しつつ放出するよう、エネルギ
線の入射方向に沿って多段に配列されたダイノードと、
最終段のダイノードから放出された電子を受ける収集電
極と、ダイノード間に接続された抵抗とを備える電子増
倍管において、ダイノード、収集電極及び抵抗が２枚の
平行配置された支持板の間に取り付けられ、かつ、前記
抵抗がダイノードを挟む形で２列に配列されていること
を特徴としている。
に、請求項１に係る発明は、エネルギ線が入射された場
合に二次電子を漸次増倍しつつ放出するよう、エネルギ
線の入射方向に沿って多段に配列されたダイノードと、
最終段のダイノードから放出された電子を受ける収集電
極と、ダイノード間に接続された抵抗とを備える電子増
倍管において、ダイノード、収集電極及び抵抗が２枚の
平行配置された支持板の間に取り付けられ、かつ、前記
抵抗がダイノードを挟む形で２列に配列されていること
を特徴としている。
【００１２】また、各抵抗は、支持板の縁部に形成され
た切込みにその抵抗のリード線を挿入することにより取
り付けられるのが好適である。
た切込みにその抵抗のリード線を挿入することにより取
り付けられるのが好適である。
【００１３】
【作用】本発明によれば、抵抗を２列に分割して配置し
たため、１列に配置した場合に比して電子増倍管の全長
が短縮される。
たため、１列に配置した場合に比して電子増倍管の全長
が短縮される。
【００１４】また、ダイノード、収集電極及び抵抗は２
枚の支持板により保持されるので、２本の支持棒で支持
する場合に比して、組立体の強度は格段に向上する。
枚の支持板により保持されるので、２本の支持棒で支持
する場合に比して、組立体の強度は格段に向上する。
【００１５】更に、抵抗のリード線を支持板に設けた切
込みに挿入するようにした場合、リード線及び抵抗自体
のずれ動きが防止される。
込みに挿入するようにした場合、リード線及び抵抗自体
のずれ動きが防止される。
【００１６】
【実施例】以下、図１〜図３に沿って本発明の好適な実
施例について詳細に説明する。なお、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付し、説明において、「上下左
右」については図面の「上下左右」によることとする。
施例について詳細に説明する。なお、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付し、説明において、「上下左
右」については図面の「上下左右」によることとする。
【００１７】図１に示すように、本発明による電子増倍
管は、先に説明した従来構成と同様に、エネルギ線を捕
らえ増倍された二次電子を放出する複数段（この実施例
では１６段）のダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６と、最終段
のダイノードＤＹ１６から放出された電子を捕らえるた
めの収集電極（陽極）Ａとを備えている。また、各ダイ
ノードＤＹは隣接の下段のダイノードＤＹに向けて二次
電子を放出するために、隣合うダイノードＤＹ間には電
位差が与えられる。そのために、電子増倍管において
は、図５に示すような電圧分割回路が用いられ、ダイノ
ードＤＹ間ごとに抵抗Ｒ１〜Ｒ１５が接続され、最終段
のダイノードＤＹ１６とアースとの間にも抵抗Ｒ１６が
接続されている。
管は、先に説明した従来構成と同様に、エネルギ線を捕
らえ増倍された二次電子を放出する複数段（この実施例
では１６段）のダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６と、最終段
のダイノードＤＹ１６から放出された電子を捕らえるた
めの収集電極（陽極）Ａとを備えている。また、各ダイ
ノードＤＹは隣接の下段のダイノードＤＹに向けて二次
電子を放出するために、隣合うダイノードＤＹ間には電
位差が与えられる。そのために、電子増倍管において
は、図５に示すような電圧分割回路が用いられ、ダイノ
ードＤＹ間ごとに抵抗Ｒ１〜Ｒ１５が接続され、最終段
のダイノードＤＹ１６とアースとの間にも抵抗Ｒ１６が
接続されている。
【００１８】本発明によれば、これらの抵抗Ｒ１〜Ｒ１
６、ダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６及び収集電極Ａは、２
枚の平行に配置されたセラミック等の絶縁材料から成る
支持板１０ａ，１０ｂの間に取り付けられる。支持板１
０ａ，１０ｂは略矩形形状であり、その長手方向の一方
の端部（図面では下端部）の間にはブロック１１がボル
ト１２及びナット１３により固定されている。このブロ
ック１１は、ステンレス鋼板から形成された略正方形の
台座１４の中央部にねじ止めされ、これにより支持板１
０ａ，１０ｂは互いに平行を保った状態で台座１４に固
定される。
６、ダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６及び収集電極Ａは、２
枚の平行に配置されたセラミック等の絶縁材料から成る
支持板１０ａ，１０ｂの間に取り付けられる。支持板１
０ａ，１０ｂは略矩形形状であり、その長手方向の一方
の端部（図面では下端部）の間にはブロック１１がボル
ト１２及びナット１３により固定されている。このブロ
ック１１は、ステンレス鋼板から形成された略正方形の
台座１４の中央部にねじ止めされ、これにより支持板１
０ａ，１０ｂは互いに平行を保った状態で台座１４に固
定される。
【００１９】第１段から第３段のダイノードＤＹ１〜Ｄ
Ｙ３は、図４（ａ）に示すように、四半円筒形部分ＤＹ
ａと、この四半円筒形部分ＤＹａの両端を閉じる扇形端
板部分ＤＹｂとから成る一体成形体である。また、図４
（ｂ）に示すように、第４段以降のダイノードＤＹ４〜
ＤＹ１６は、ダイノードＤＹ１〜ＤＹ３と同様な四半円
筒形部分ＤＹa ′と、その両端に一体的に形成された弓
形端板部分ＤＹb ′とから構成されている。四半円筒形
部分ＤＹａ，ＤＹa ′の少なくとも凹面はＣｕ−ＢｅＯ
から構成され、電子ないしはエネルギ線が入射される
と、そこから二次電子が放出される。各ダイノードＤＹ
１〜ＤＹ１６は、端板部分ＤＹｂ，ＤＹb′に折曲形成
された突起片ＤＹｃ，ＤＹc ′を有しており、この突起
片ＤＹｃ，ＤＹc ′を、支持板１０ａ，１０ｂに形成さ
れた細孔に差し込み、支持板１０ａ，１０ｂから突出し
た突起片ＤＹｃ，ＤＹc ′の先端部分をねじることで、
所定位置に固定される。
Ｙ３は、図４（ａ）に示すように、四半円筒形部分ＤＹ
ａと、この四半円筒形部分ＤＹａの両端を閉じる扇形端
板部分ＤＹｂとから成る一体成形体である。また、図４
（ｂ）に示すように、第４段以降のダイノードＤＹ４〜
ＤＹ１６は、ダイノードＤＹ１〜ＤＹ３と同様な四半円
筒形部分ＤＹa ′と、その両端に一体的に形成された弓
形端板部分ＤＹb ′とから構成されている。四半円筒形
部分ＤＹａ，ＤＹa ′の少なくとも凹面はＣｕ−ＢｅＯ
から構成され、電子ないしはエネルギ線が入射される
と、そこから二次電子が放出される。各ダイノードＤＹ
１〜ＤＹ１６は、端板部分ＤＹｂ，ＤＹb′に折曲形成
された突起片ＤＹｃ，ＤＹc ′を有しており、この突起
片ＤＹｃ，ＤＹc ′を、支持板１０ａ，１０ｂに形成さ
れた細孔に差し込み、支持板１０ａ，１０ｂから突出し
た突起片ＤＹｃ，ＤＹc ′の先端部分をねじることで、
所定位置に固定される。
【００２０】ダイノードＤＹ１〜ＤＹ１６は、図３に明
示するように、支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿っ
て概ね交互に配列され、第１段から第３段までの比較的
大きなダイノードＤＹ１〜ＤＹ３はいわゆるボックス型
配列とされ、残りの小さなダイノードＤＹ４〜ＤＹ１６
はいわゆるラインフォーカス型若しくはリニアフォーカ
ス型配列とされている、このような配列においては、エ
ネルギ線が支持板１０ａ，１０ｂの長手方向軸線Ｃに沿
って入射し、第１段のダイノードＤＹ１の凹面に衝突す
ると、二次電子放出を起こして電子を倍増させ、その二
次電子は第２段のダイノードＤＹ２の凹面に導かれる。
このようにして、二次電子は次段のダイノードＤＹに順
次導かれ、最終的には、台座１４に最も近い最終段のダ
イノードＤＹ１６に達する。
示するように、支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿っ
て概ね交互に配列され、第１段から第３段までの比較的
大きなダイノードＤＹ１〜ＤＹ３はいわゆるボックス型
配列とされ、残りの小さなダイノードＤＹ４〜ＤＹ１６
はいわゆるラインフォーカス型若しくはリニアフォーカ
ス型配列とされている、このような配列においては、エ
ネルギ線が支持板１０ａ，１０ｂの長手方向軸線Ｃに沿
って入射し、第１段のダイノードＤＹ１の凹面に衝突す
ると、二次電子放出を起こして電子を倍増させ、その二
次電子は第２段のダイノードＤＹ２の凹面に導かれる。
このようにして、二次電子は次段のダイノードＤＹに順
次導かれ、最終的には、台座１４に最も近い最終段のダ
イノードＤＹ１６に達する。
【００２１】尚、符号１５は、第１段から第３段までの
各ダイノードＤＹ１〜ＤＹ３の入口面に設けられたメッ
シュ電線であり、電子ないしはエネルギ線の偏向を防止
し、確実に二次電子を次段のダイノードＤＹの凹面に導
くようにするためのものである。
各ダイノードＤＹ１〜ＤＹ３の入口面に設けられたメッ
シュ電線であり、電子ないしはエネルギ線の偏向を防止
し、確実に二次電子を次段のダイノードＤＹの凹面に導
くようにするためのものである。
【００２２】収集電極Ａは、最終段のダイノードＤＹ１
６から放出される電子を受ける位置に配置され、その両
端は、ダイノードＤＹと同様に、支持板１０ａ，１０ｂ
の細孔に挿入されて位置決めがなされている。この収集
電極Ａは、支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられた断
面Ｕ字状のシールドＳＨにより囲まれている。シールド
ＳＨは最終段のダイノードＤＹ１６と同電位とされてお
り、収集電極Ａにノイズが入るのを防止している。
６から放出される電子を受ける位置に配置され、その両
端は、ダイノードＤＹと同様に、支持板１０ａ，１０ｂ
の細孔に挿入されて位置決めがなされている。この収集
電極Ａは、支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられた断
面Ｕ字状のシールドＳＨにより囲まれている。シールド
ＳＨは最終段のダイノードＤＹ１６と同電位とされてお
り、収集電極Ａにノイズが入るのを防止している。
【００２３】支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿う各
縁部には、一定の間隔で複数本の切込み１６が形成され
ている。２枚の支持板１０ａ，１０ｂを台座１４に固定
した状態において、縁部の各切込み１６は、隣接の縁部
の同じ段の切込み１６と同一高さとなっている。電圧分
割回路における抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は、この切込み１６に
より支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられている。即
ち、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６を同一高さにある１対の切込み１
６間に配置し、リード線Ｌを対応の切込み１６に挿入す
ることで、所定位置に配置される。更に、リード線Ｌを
支持板１０ａ，１０ｂの中心側に折り曲げ、その先端を
所定のダイノードＤＹの突起片ＤＹｃの先端に溶接する
ことで、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６の固定が行われる。これによ
り、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は支持板１０ａ，１０ｂの各側に
て横向きに取り付けられ、支持板１０ａ，１０ｂの長手
方向に沿って一定の間隔で配置される。この実施例で
は、一方の側には９本の抵抗Ｒが配置され、他方の側に
は７本の抵抗Ｒが配置されている。
縁部には、一定の間隔で複数本の切込み１６が形成され
ている。２枚の支持板１０ａ，１０ｂを台座１４に固定
した状態において、縁部の各切込み１６は、隣接の縁部
の同じ段の切込み１６と同一高さとなっている。電圧分
割回路における抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は、この切込み１６に
より支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられている。即
ち、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６を同一高さにある１対の切込み１
６間に配置し、リード線Ｌを対応の切込み１６に挿入す
ることで、所定位置に配置される。更に、リード線Ｌを
支持板１０ａ，１０ｂの中心側に折り曲げ、その先端を
所定のダイノードＤＹの突起片ＤＹｃの先端に溶接する
ことで、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６の固定が行われる。これによ
り、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は支持板１０ａ，１０ｂの各側に
て横向きに取り付けられ、支持板１０ａ，１０ｂの長手
方向に沿って一定の間隔で配置される。この実施例で
は、一方の側には９本の抵抗Ｒが配置され、他方の側に
は７本の抵抗Ｒが配置されている。
【００２４】最上段の抵抗Ｒ１の一方のリード線Ｌは、
第１段のダイノードＤＹ１の突起片ＤＹｃに溶接され
（図１）、他方のリード線Ｌは、第２段のダイノードＤ
Ｙ２の同側に位置する突起片ＤＹｃに溶接されている
（図２）。第２段のダイノードＤＹ２の他側の突起片Ｄ
Ｙｃは第２段目の抵抗Ｒ２のリード線Ｌに接続される
（図１）。このような形で順次、抵抗Ｒのリード線Ｌは
所定のダイノードＤＹの突起片ＤＹｃに接続され、最下
段の抵抗Ｒ１６は、最終段のダイノードＤＹ１６の突起
片ＤＹｃに接続されたシールドＳＨの突起と、台座１４
を貫通して取り付けられたアース側ハーメチック端子１
７との間に接続される。
第１段のダイノードＤＹ１の突起片ＤＹｃに溶接され
（図１）、他方のリード線Ｌは、第２段のダイノードＤ
Ｙ２の同側に位置する突起片ＤＹｃに溶接されている
（図２）。第２段のダイノードＤＹ２の他側の突起片Ｄ
Ｙｃは第２段目の抵抗Ｒ２のリード線Ｌに接続される
（図１）。このような形で順次、抵抗Ｒのリード線Ｌは
所定のダイノードＤＹの突起片ＤＹｃに接続され、最下
段の抵抗Ｒ１６は、最終段のダイノードＤＹ１６の突起
片ＤＹｃに接続されたシールドＳＨの突起と、台座１４
を貫通して取り付けられたアース側ハーメチック端子１
７との間に接続される。
【００２５】この実施例では、支持板１０ａ，１０ｂの
上端部の間には金属板１８が取り付けられている。この
金属板１８には、第１段のダイノードＤＹ１のエネルギ
線取入口に対向する位置に開口１９が設けられている。
この金属板１８は、第１のダイノードＤＹ１と導線２０
により接続されて同電位とされるため、シールド機能を
有すると共に、電子増倍管の組立体の補強材としても機
能する。
上端部の間には金属板１８が取り付けられている。この
金属板１８には、第１段のダイノードＤＹ１のエネルギ
線取入口に対向する位置に開口１９が設けられている。
この金属板１８は、第１のダイノードＤＹ１と導線２０
により接続されて同電位とされるため、シールド機能を
有すると共に、電子増倍管の組立体の補強材としても機
能する。
【００２６】台座１４には、前記のアース側ハーメチッ
ク端子１７の他に３本のハーメチック端子２１，２２，
２３が取り付けられている。そのうち、端子２１は第１
段のダイノードＤＹ１の突起片ＤＹｃにセラミックパイ
プ付き導線２４により接続され、端子２２は収集電極Ａ
にセラミックパイプ付き導線２５により接続されてい
る。
ク端子１７の他に３本のハーメチック端子２１，２２，
２３が取り付けられている。そのうち、端子２１は第１
段のダイノードＤＹ１の突起片ＤＹｃにセラミックパイ
プ付き導線２４により接続され、端子２２は収集電極Ａ
にセラミックパイプ付き導線２５により接続されてい
る。
【００２７】かかる構成においては、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６
が２列に分けられているため、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６を一列
に並べた場合に比して電子増倍管の長さをほぼ半分にす
ることが可能である。また、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６のリード
線Ｌの根元部分が支持板１０ａ，１０ｂにより保持され
るので、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は殆どぐらつかない。
が２列に分けられているため、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６を一列
に並べた場合に比して電子増倍管の長さをほぼ半分にす
ることが可能である。また、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６のリード
線Ｌの根元部分が支持板１０ａ，１０ｂにより保持され
るので、抵抗Ｒ１〜Ｒ１６は殆どぐらつかない。
【００２８】上記実施例では、抵抗Ｒの数を一方の列で
は９本とし、他方の列では７本としたが、これに限定さ
れるものではなく、また、ダイノードＤＹの配列型式や
段数等についても上記のものに限られない。
は９本とし、他方の列では７本としたが、これに限定さ
れるものではなく、また、ダイノードＤＹの配列型式や
段数等についても上記のものに限られない。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、電圧分
割回路における抵抗を２列に配置したことにより、抵抗
により規制される電子増倍管の全長を、従来の一列配置
の場合に比して約半分に抑えることができる。従って、
電子増倍管のコンパクト化が可能となり、比較的スペー
スの小さな場所でも設置が可能となる。
割回路における抵抗を２列に配置したことにより、抵抗
により規制される電子増倍管の全長を、従来の一列配置
の場合に比して約半分に抑えることができる。従って、
電子増倍管のコンパクト化が可能となり、比較的スペー
スの小さな場所でも設置が可能となる。
【００３０】また、２枚の支持板を用い、その間で抵
抗、ダイノード及び収集電極を挟持しているため、構造
体が頑強となり、衝撃に対して破損しにくくなる。
抗、ダイノード及び収集電極を挟持しているため、構造
体が頑強となり、衝撃に対して破損しにくくなる。
【００３１】更に、支持板に切込みを設け、この切込み
にリード線を挿入することで抵抗の位置決めを行った場
合には、抵抗の位置が一定に保たれ、隣合う抵抗同士或
いはリード線同士が干渉する恐れが回避される。抵抗の
位置が一定であることは、また、ノイズ特性の向上にも
寄与する。更に、このように抵抗の位置が保たれること
で、抵抗間の間隔を狭くすることが可能となり、これに
よっても電子増倍管の全長を短縮化することが可能とな
る。
にリード線を挿入することで抵抗の位置決めを行った場
合には、抵抗の位置が一定に保たれ、隣合う抵抗同士或
いはリード線同士が干渉する恐れが回避される。抵抗の
位置が一定であることは、また、ノイズ特性の向上にも
寄与する。更に、このように抵抗の位置が保たれること
で、抵抗間の間隔を狭くすることが可能となり、これに
よっても電子増倍管の全長を短縮化することが可能とな
る。
【図１】本発明により電子増倍管の斜視図である。
【図２】図１の電子増倍管を別の角度から見た場合の斜
視図である。
視図である。
【図３】図１の電子増倍管の縦断面図である。
【図４】図１の電子増倍管に用いられるダイノードの斜
視図であり、図４（ａ）は第１段〜第３段のダイノード
を示し、図４（ｂ）は第４段から第１６段のダイノード
を示している。
視図であり、図４（ａ）は第１段〜第３段のダイノード
を示し、図４（ｂ）は第４段から第１６段のダイノード
を示している。
【図５】電子増倍管に用いられる電子分割回路の回路図
である。
である。
【図６】電子増倍管の原理を示す概略説明図である。
【図７】従来一般の電子増倍管を構成を示す側面図。
【図８】図７の電子増倍管の組立中の状態を示す斜視図
である。
である。
１０ａ，１０ｂ…支持板、１４…台座、１６…切込み、
ＤＹ１〜ＤＹ１６…ダイノード、Ａ…収集電極、ＳＨ…
シールドボックス、Ｒ１〜Ｒ１６…抵抗、Ｌ…リード
線。
ＤＹ１〜ＤＹ１６…ダイノード、Ａ…収集電極、ＳＨ…
シールドボックス、Ｒ１〜Ｒ１６…抵抗、Ｌ…リード
線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 晴久 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特表 昭58−501349（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 エネルギ線が入射された場合に二次電子
を漸次増倍しつつ放出するよう、前記エネルギ線の入射
方向に沿って多段に配列されたダイノードと、 最終段の前記ダイノードから放出された電子を受ける収
集電極と、 前記ダイノード間に接続された抵抗と、を備える電子増
倍管において、 前記ダイノード、前記収集電極及び前記抵抗が２枚の平
行配置された支持板の間に取り付けられ、 前記抵抗が前記ダイノードを挟む形で２列に配列されて
いることを特徴とする電子倍増管。 - 【請求項２】 前記各抵抗が、前記支持板の縁部に形成
された切込みに該抵抗のリード線を挿入することにより
取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の電
子増倍管。
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