JP2625189B2 - 放射線偏向アセンブリ - Google Patents

放射線偏向アセンブリ

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は放射線偏向器及び放射線偏向アセンブリに関
し、特に、本出願人の名前で1986年10月16日付で出願さ
れた継続中の特許出願、PCT GB86/00630に記載された
タイプの放射線偏向器及びアセンブリに関する。
PCT GB 86/00630に記載された放射線偏向アセンブ
リは、少なくとも３つの放射線導波路と、第１位置にあ
るときには放射線が前記導波路の中の、組をなす２つの
導波路間を通過するように、また第２位置にあるときに
は、放射線が前記導波路の中の、別の組をなす２つの導
波路間を通過するように配置される制御可能な偏向器
と、制御信号に応答して前記偏向器の位置を制御する制
御手段とをもつ。PCT GB 86/00630に記載された特定
の実施例においては、該偏向器は前記導波路と共通の基
板に取り付けられ、ヒンジ止めされたカンチレバービー
ムを含む。以下において、「既述のタイプの」として説
明されるところの、この放射線偏向アセンブリの構成
は、前記導波路とこの偏向器とを正確に位置合わせする
という問題を軽減する。
既述のタイプの放射線偏向アセンブリは、例えば、光
学伝送システムの光学スイッチのような放射スイッチと
しての用途がある。
既述のタイプの放射線偏向アセンブリの構造上の１つ
の問題は、スイッチング時に過度の共振振動を起こすこ
となくできるだけ迅速に放射線偏向器を平衡状態にする
ことが必要とされるということである。この偏向器は、
それぞれの導波路対の各導波路間の間隔に少なくとも等
しい距離だけ放射線を偏向させるのに十分な最小偏位を
持つことが必要とされる。
更に、前記制御手段がこの偏向器の偏向を制御するた
めに駆動電位を必要とする場合に、この駆動電位を小さ
く抑えることが望まれる。
本発明の目的は、上述した１以上の問題を少なくとも
部分的に軽減したり、解消したりするところの、既述の
タイプの放射線偏向アセンブリ及び放射線偏向器を提供
することにある。
本発明によれば、放射線偏向器は、一端が自由で、他
端が支持基板にヒンジ止めされている偏向可能なカンチ
レバービームを有し、このカンチレバービームはその質
量中心位置がこのビームのヒンジ止めされた端部よりも
自由端部の近くにある。
また、本発明によれば、一端が自由で、他端が支持基
板にヒンジ止めされている偏向可能なカンチレバービー
ムを有した既述のタイプの放射線偏向アセンブリは、こ
のカンチレバービームの質量中心位置がこのビームのヒ
ンジ止めされた端部よりも自由端の近くにあることを特
徴とする。
都合のいいことに、前記カンチレバービームは、前記
基板にヒンジ止めされたビーム部と、このビーム部の自
由端における負荷部とを有している。好ましくは、この
負荷部はカンチレバービームの全体の総質量の大部分を
与えるものであって、この負荷部の質量中心が、前記ビ
ーム部の自由端に、またはその近くに位置するように配
置されている。
本発明によるカンチレバービーム放射線偏向器は、ス
イッチング時における、より早い平衡状態の達成を容易
にしていることが判った。
好ましくは、ビーム部の長さ及び負荷部の質量は、カ
ンチレバービームの第１固有共振周波数が、偏向器が複
数位置間で切換えられるときの最大周波数よりもはるか
に高くなるように選択されている。
本発明の放射線偏向アセンブリにおいて、都合のいい
ように、制御手段は、カンチレバービーム偏向器を偏位
させるために静電電位を印加する手段を備えている。こ
の制御手段は、印加された静電電位により発生された偏
位力が負荷部の質量中心に効果的に作用するように配置
された電極を備えていてもよい。
静電電位を、都合のよいように、偏位しないビーム部
の長手方向軸に実質的に平行な負荷部の表面であるとこ
ろの、側面に印加するようにしてもよい。好ましくは、
この側面の面積は、必要とされる偏位力を発生させるの
に要求される静電電位を減少させるためにかなり大きく
設定される。
以下に、添付図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。
第１図は、本発明によるカンチレバービーム放射線偏
向器の概略説明、 第２図は、本発明によるカンチレバービーム放射線偏
向器を持つ基板の切欠斜視図、 第３図は、本発明による放射線偏向アセンブリの一動
作モードを説明する図、 第４図は、別の動作モードを示し、 第５図は、所望の動作基準に適合したビーム形状寸法
の範囲を示すグラフ、 第６図は、ビーム部が２本のアームにより構成された
カンチレバーに対する、カンチレバースティフネス対ア
ーム間隔及び厚さのグラフ、及び 第７図は、シリコン基板に本発明によるカンチレバー
ビーム放射線偏向器の製造方法の一例における工程を示
す図である。
第１図において、カンチレバービーム放射線偏向器１
は、支持基板４の本体から延出し、この基板に取り付け
られていない方の端部において負荷部、即ち、質量端部
３を持つビーム部２を有している。この実施例において
は、ビーム部２は２本の平行なアーム５、６からなる。
質量端部３と隣接する支持基板の一面９は、質量端部３
の側面８に平行かつ対向して設けられた電極７を持起つ
ように設けられている。面８も電極を持つように示され
ている。
動作時には、カンチレバーは電極間に静電電位を印加
することにより偏向される。平行アーム５、６は基板４
の本体との接合部及び質量端部３との接合部において曲
がるようになっている。この構成による、電極面はビー
ム部が偏位された時でも平行状態に保たれる。
第２図は別のカンチレバービーム放射線偏向器20の切
欠斜視図である。ここでも、カンチレバービーム放射線
偏向器20は、重い負荷部、即ち、質量端部23と共に、支
持基板24から延出する２本の平行なアーム25、26からな
るビーム部22を持つ。この例においては、負荷部23はＨ
字形状になっており、その質量中心がこの負荷部を２本
の平行アーム25、26に取り付けた面内にくるように設定
されている。
この構成において、負荷部23の側面28、30は、静電電
極用に、容易に使用されるようになっている。この側面
の比較的大きな面積により、偏向器を偏位させるのに必
要とされる静電駆動電位の大きさを小さくできる。
既述のタイプの放射線偏向アセンブリの一動作モード
が第３図に概略平面図により示されている。第２図の場
合のように、図示の偏向器は２本の平行アーム35、36に
より支持基板34に取り付けられたＨ字形状の負荷部33を
含む。３本の導波路300、301、302が基板34に設けら
れ、かつこれらの導波路を通過した放射線が負荷部33の
一側面38から偏向されるように配置されている。この側
面38には動作波長において適当に高い反射率を示すコー
ティングが形成されている。
第３（ａ）図において、放射線偏向器は平衡状態から
偏位されておらず、放射線は点線により示されるように
２つの導波路300と301との間に指向される。第３（ｂ）
図においては、放射線偏向器は負荷部33及び支持基板34
の対向面38、39上の電極間における静電引力により導波
路方向に偏位される。この位置においては、放射線はこ
こでも点線で示されるように導波路300と302との間に指
向される。
請求の範囲に記載した発明は図１ないし４に例示して
ある。図３の（ａ）と（ｂ）とはビームの２つの位置を
示し、この発明の位置がどのように動作するかを示して
いる。図３では切替えが部材38からの反射によって達成
されている。反射を使用しているので可動部材上には導
波路が存在しないのが特徴である。
別の実施例及び動作モードが第４図に示される。この
実施例においては、導波路400が偏向器のビーム部に沿
って長手方向に、かつアーム45、46に平行に設けられて
いる。この導波路400は負荷部43の端部41で終結してい
る。更に３個の導波路401、402、403が基板44に設けら
れ、負荷部43の端部41に対向する基板面42で終結してい
る。静電電位が偏向器を偏位させるために負荷部43及び
基板44のそれぞれの対向側面48及び49上の電極間に印加
される。
第４（ａ）図の無偏位な平衡位置において、放射線は
カンチレバー偏向器上の導波路400と支持基板上の中央
導波路401との間において結合される。第４（ｂ）図に
おいて、カンチレバーはカンチレバー偏向器上の導波路
400と基板の本体上の導波路402との間において放射線を
結合するように偏位される。カンチレバーが反対方向に
偏位された場合には、放射線は確実にカンチレバー導波
路400と第３導波路403との間に結合されることになる。
図４の実施例でも（ａ）と（ｂ）とが２つの位置を示
しており、この例では導波路400が負荷位置43と関係し
ている（請求項５の実施例）。
図１ないし４を見ると、いずれもがビーム部分が２つ
の平行なアームとして示されていて、２つの平行なアー
ムが移動時に負荷を平行に保つようにしている（請求項
７の発明）。
この関係は図１では平行なアーム５と６とに、 図２では平行なアーム25と26とに、 図３では平行なアーム35と36とに、 図４では平行なアーム45と46とによってそれぞれ示さ
れている。
光学的放射線のために、カンチレバー上に設けられた
導波路400は通常のクラッド部を除去し、中央コアのみ
を持つ光学ファイバにより構成されていてもよい。この
種の導波路はカンチレバービーム部と共に移動するよう
に十分にフレキシブルであり、適当な寸法を持つように
なっている。移動距離は小さく、このようなクラッドの
ないファイバにより生ずる過度のロスは無視し得る。
放射線は、上述の実施例及び本発明の技術範囲内の他
の実施例において、カンチレバーの偏位方向及び偏向度
を適当に調整することにより付加導波路内に偏向され得
る。
本発明の実施例の利点を評価するために、第１図に示
した符号を使用して、カンチレバービームの機械的特性
を解析するのが有効である。
カンチレバーに作用する唯一の力が自由端に集中され
た作用力Ｐであるとすると、最大偏位量y0は次のように
なる。
y0＝−PL3/3EI （１） ここで、Ｌはビームの長さ、EIはビームの弾性スティ
フネスである。Ｅは弾性係数であり、Ｉは次式で表され
る面積の第２モーメントである。
Ｉ＝BG（Ｓ＋2G）/6 （２） ここで、Ｂはビームの奥行きであり、Ｇはアーム厚さ
であり、Ｓはアーム間距離である。
面積Ａにかかる静電電位Ｖにより力Ｐが作用した場
合、この力の大きさは次式で与えられる。
Ｐ＝V2Aε0/d2 （３） ここで、ε０は自由空間の誘電率であり、ｄは基板電
極からカンチレバーまでの距離である。
この装置の第１共振周波数ｆは次式により与えられ
る。
ｆ＝２πω ＝（1/2π）］3EI/L3（Ｍ＋0.23m）］0.5 （４） ここで、ｍおよびＭはそれぞれカンチレバービーム部
及び質量端部の質量であり、ωはカンチレバーの固有周
波数である。
スイッチングに応用した場合、スイッチングの終了後
に可能な限り素早く過渡振動を減衰させることが重要で
ある。この種の装置に対する臨界制動Ｃは次式で与えら
れ、 Ｃ＝2mω （５） また、振幅が減少する割合は指数的であり、次式で与え
られる。
ｙ＝y0exp［−ωｔ］ （６） 上述の理論的処理から、カンチレバービームの幾何学
的パラメータが、固有共振及び偏向の振幅からみて、い
かに偏向器の機械的感度に影響するかを観察することが
可能である。
任意のセットの寸法上の制約に対して、最大スイッチ
ング偏位は電極間隔ｄにより決定される。ｄは増加する
と、式（３）に従って、偏向器を偏位させるのに必要と
される電位Ｖが同様にして増加する。この増加は、電位
が印加される面積Ａを例えば第２図の実施例に示される
ように実用上の制限範囲内において可能な限り大きくす
ることによりオフセットできる。
式（４）及び（５）から、負荷部の質量は顕著な効果
を持つことが明白である。大きな質量はカンチレバーが
平衡状態を達成する速度を増加させるが、同時に、第１
共振周波数を減少させる。大きな質量により生ずる共振
周波数の減少は面のモーメントＩを増加させるか、ビー
ム部の長さＬを減少させることによりある程度補償され
る。しかしながら、これらのパラメータの変化は両方と
も最大偏位y0の犠牲の下に共振周波数を増加させる。こ
の結果、制限内において、任意の印加静電電位に対して
y0＝ｄとなるようにＩを増加させるか、またはＬを減少
させることが好ましいことになる。
実証のために、第２図に示すようなカンチレバー偏向
器のいくつかの特性がある選択された動作基準に対して
モデル化されている。この選択された基準は、 （ｉ）共振周波数は5KHzより高いこと、 （ii）偏向用最大静電電位が100V未満であること、及び （iii）最大電極間距離は10μｍであることである。
これらの数値は一例として選択されたに過ぎず、特定
の理想値としてではなく代表例である。同様に、計算に
使用した幾何学的パラメータの範囲は代表例として選択
されたものであり、特定の制限値を意味するものとして
扱われるべきではない。特定の実用的なケースにおける
基準及び幾何学的パラメータの選択は個々のケースに適
切な条件に応じて決定されなければならない。ここにあ
げた例は一般的なガイダンスのためのみのものである。
第５図において、実曲線は10ないし50μｇの端部質量
Ｍに対するビームの長さに応じたビームスティフネスの
変化を示す。これらの曲線は、任意の端部質量に対し
て、5KHzの共振周波数を持つビームの形状寸法（即ち、
長さ及び断面）の制限範囲を表す。破線の曲線は、100V
の最大印加電位により、最大電極間距離（ｄ＝10,15,18
μｍ）まで偏位され得るような形状寸法を示す。一対の
曲線（１本の実線及び１本の破線）間には、３種の動作
基準が満足されるウィンドーが存在する。
第６図においては、カンチレバーのスティフネスEI
が、種種のアーム厚さＧに対するアーム間隔Ｓの関数と
してプロットされている。
ツインアームビーム構造により、特定の状況に応じた
ビームスティフネスをアーム厚さを変化させることによ
り広い範囲から容易に選択できることが分かる。このよ
うに、このビーム部のツインアーム構造は、前述したよ
うにこのビーム部が偏向されてもされなくてもこのビー
ム部の面を同一方向に向けたままにすると共に、設計上
の融通性を与える。更に、この構造は製造にも便利であ
る。
（110）シリコン基板を使用して、本発明による偏向
器の一製造方法が第７図に図式的に示されている。ミラ
ー指数の表記法を使用すると、この（110）シリコンは
＜112＞面方向に沿う表面に垂直な４つの｛111｝平面の
中の２つを持つことになる。上述の２枚の垂直な｛11
1｝平面は70.53゜の角度で相互に交差している。残りの
２枚の｛111｝平面は前記表面に対して35.26゜の角度を
なしているがこの構成においては使用されていない。
第７図に示した装置製造の典型的な方法は、共にシリ
コンウェーハ全厚にわたって実行される、４つのマスキ
ングレベルと２つの異方性エッチング工程と含む。垂直
ビームの製造は偏向器の形状寸法を決定し、これらのビ
ームを正確に＜112＞方向に合わせるようにマイクロマ
シーニング及びシリコンプレーナ技術の組合せを含む。
この構造は電気化学的に制御可能なエチレンジアミンを
異方性エッチング剤として使用することによりエッチン
グされる。主工程は下記の通りである。
（ａ）ビーム長のフォトリソグラフィ的決定に続く熱酸
化及びツインアーム間の間隔に相当するシリコン内のウ
ィンドーの露出。
（ｂ）露出されたシリコンを介してのスロットのエッチ
ング及びこれに続き、最終的に隣接する電極表面を形成
する支持基板の領域及び質量端部のフォトリソグラフィ
的決定。
（ｃ）アーム厚さを決定するための、スロットの露出さ
れた｛111｝面への拡散。これにより、カンチレバーア
ームの厚さの正確かつ再現性のある方法が得られる。次
の異方性エッチングの濃度依存性がアーム厚さの微調整
のために使用される。更に、前の工程でリソグラフィ的
に決定された領域内に拡散が行われる。
（ｄ）自由ビームを確定するマスキング及び質量端部及
び適当な電極間間隔を与えるために露出シリコンをエッ
チングすること。
（ｅ）（100）シリコンにシャドウマスクを使用しこの
マスクを介してアルミニウムをスパッタリングしてコン
タクト領域を確定すると共に、質量端部及び基板のバル
ク間に電極を形成する最終メタライゼーション工程。シ
リコンウェーハの両側からのスパッタリング及びアニー
リングにより、ウェーハの厚さ方向に均一なメタライゼ
ーションが得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シエフエード，ジヨン・ニコラス イギリス国 ビー 30，１ ピー・エ ル，バーミングハム，ボーンビレ，マリ ベイル・ロード 343 (56)参考文献 特開 昭54−161951（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−199304（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−22503（ＪＰ，Ｕ)

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】少なくとも３つの放射線導波路と、第１位
    置にあるときには２つの導波路の一の組の間を放射線が
    通過するように、また第２位置にあるときには２つの導
    波路の別の組の間を放射線が通過するように配置された
    制御可能な放射線偏向器と、制御信号に応答して前記偏
    向器の位置を制御する制御手段とを有し、前記偏向器は
    カンチレバービームを有し、該カンチレバービームは基
    板にヒンジ止めされたビーム部と、このビーム部の自由
    端にある負荷部とを有し、この負荷部は該カンチレバー
    ビームの全質量の大部分が与えられて、カンチレバービ
    ームの質量中心位置がこのビームのヒンジ止めされた端
    部よりも自由端の近くにあるようにしたことを特徴とす
    る放射線偏向アセンブリ。
  2. 【請求項２】前記ビーム部の長さ及び前記負荷部の質量
    は、前記カンチレバービームの固有共振周波数が実質的
    に前記偏向器が位置切り替えされる最大周波数よりも高
    くなるように選択されている特許請求の範囲第１項記載
    の放射線偏向アセンブリ。
  3. 【請求項３】前記制御手段は静電電位を与えて前記カン
    チレバービームを偏位させる手段を含む特許請求の範囲
    第１項記載の放射線偏向アセンブリ。
  4. 【請求項４】前記制御手段は、与えられた静電電位によ
    り生じた偏位力が前記負荷部の質量中心に効果的に作用
    するように配置された電極を含む特許請求の範囲第３項
    記載の放射線偏向アセンブリ。
  5. 【請求項５】前記導波路の中の少なくとも１つが前記カ
    ンチレバービーム上に設けられている特許請求の範囲第
    １項記載の放射線偏向アセンブリ。
  6. 【請求項６】前記導波路の中の少なくとも１つが前記カ
    ンチレバービームの長手方向に沿って延びている特許請
    求の範囲第５項記載の放射線偏向アセンブリ。
  7. 【請求項７】前記カンチレバービームが２つの平行なア
    ームで形成されている特許請求の範囲第１項記載の放射
    線偏向アセンブリ。
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Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2025167A1 (en) * 1989-09-25 1991-03-26 Frederick W. Freyre Method and apparatus for signal multiplexing/demultiplexing
FR2660444B1 (fr) * 1990-03-27 1992-10-16 Commissariat Energie Atomique Commutateur et systeme de commutation optiques multivoies integres et procede de fabrication du commutateur.
DE4029569A1 (de) * 1990-09-18 1992-03-19 Hirschmann Richard Gmbh Co Faseroptischer schalter
DE69232082T2 (de) * 1991-11-18 2002-03-07 Sumitomo Electric Industries Einrichtung zum Zusammenstecken von optischen Steckverbindern
FR2697536B1 (fr) * 1992-11-04 1995-01-06 Suisse Electronique Microtech Procédé de fabrication d'un élément de microstructure mécanique.
US5420688A (en) * 1992-12-14 1995-05-30 Farah; John Interferometric fiber optic displacement sensor
US5712609A (en) * 1994-06-10 1998-01-27 Case Western Reserve University Micromechanical memory sensor
FR2726135B1 (fr) * 1994-10-25 1997-01-17 Suisse Electronique Microtech Dispositif de commutation
FR2729232A1 (fr) * 1995-01-10 1996-07-12 Commissariat Energie Atomique Dispositif optique pour application optomecanique
US5506919A (en) * 1995-03-27 1996-04-09 Eastman Kodak Company Conductive membrane optical modulator
US5771321A (en) * 1996-01-04 1998-06-23 Massachusetts Institute Of Technology Micromechanical optical switch and flat panel display
WO1997028476A1 (fr) * 1996-01-31 1997-08-07 Hitachi, Ltd. Interrupteur optique du genre guide d'ondes
US6134207A (en) * 1996-07-30 2000-10-17 Seagate Technology, Inc. Optical data storage system having optical microswitch
US6850475B1 (en) 1996-07-30 2005-02-01 Seagate Technology, Llc Single frequency laser source for optical data storage system
JPH10227986A (ja) 1997-02-17 1998-08-25 Hitachi Ltd 光スイッチとその製造方法及び光スイッチを用いた光通信機器
US5974019A (en) * 1997-05-05 1999-10-26 Seagate Technology, Inc. Optical system for two-dimensional positioning of light beams
US6246657B1 (en) 1997-09-22 2001-06-12 Iolon, Inc. Fiber bundle switch
US6212151B1 (en) 1997-11-12 2001-04-03 Iolon, Inc. Optical switch with coarse and fine deflectors
US6836584B1 (en) 1998-01-13 2004-12-28 Iolon, Inc. Optical microswitch
US5998906A (en) * 1998-01-13 1999-12-07 Seagate Technology, Inc. Electrostatic microactuator and method for use thereof
EP1119792A2 (en) * 1998-09-02 2001-08-01 Xros, Inc. Micromachined members coupled for relative rotation by torsional flexure hinges
US6360032B1 (en) 2000-02-18 2002-03-19 John G. Berger Two beam optical switch and attenuator and method of use
EP1128201A1 (en) * 2000-02-25 2001-08-29 C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa Switching device, particularly for optical switching
US6351580B1 (en) 2000-03-27 2002-02-26 Jds Uniphase Corporation Microelectromechanical devices having brake assemblies therein to control movement of optical shutters and other movable elements
AU2001276817A1 (en) * 2000-04-12 2001-10-23 Lightwave Microsystems Corporation Micro-mechanical waveguide optical devices
CA2314783A1 (en) * 2000-08-01 2002-02-01 Kenneth Lloyd Westra A method of making a high reflectivity micro mirror and a micro mirror
US7085445B2 (en) * 2000-08-04 2006-08-01 Seungug Koh Micro-opto-electro-mechanical waveguide switches
US7003187B2 (en) 2000-08-07 2006-02-21 Rosemount Inc. Optical switch with moveable holographic optical element
US6810176B2 (en) 2000-08-07 2004-10-26 Rosemount Inc. Integrated transparent substrate and diffractive optical element
US6483419B1 (en) 2000-09-12 2002-11-19 3M Innovative Properties Company Combination horizontal and vertical thermal actuator
US6531947B1 (en) 2000-09-12 2003-03-11 3M Innovative Properties Company Direct acting vertical thermal actuator with controlled bending
US6708491B1 (en) 2000-09-12 2004-03-23 3M Innovative Properties Company Direct acting vertical thermal actuator
US6807331B2 (en) * 2000-09-19 2004-10-19 Newport Opticom, Inc. Structures that correct for thermal distortion in an optical device formed of thermally dissimilar materials
US6628856B1 (en) 2000-09-27 2003-09-30 Dicon Fiberoptics, Inc. Optical switch
US6647164B1 (en) 2000-10-31 2003-11-11 3M Innovative Properties Company Gimbaled micro-mirror positionable by thermal actuators
FR2817627B1 (fr) * 2000-12-05 2003-04-04 Opsitech Optical System Chip Dispositif de transmission d'ondes optiques dans une structure a inversions
US6711318B2 (en) 2001-01-29 2004-03-23 3M Innovative Properties Company Optical switch based on rotating vertical micro-mirror
US6885786B2 (en) * 2001-02-07 2005-04-26 Shipley Company, L.L.C. Combined wet and dry etching process for micromachining of crystalline materials
US20030021572A1 (en) * 2001-02-07 2003-01-30 Steinberg Dan A. V-groove with tapered depth and method for making
US6907150B2 (en) * 2001-02-07 2005-06-14 Shipley Company, L.L.C. Etching process for micromachining crystalline materials and devices fabricated thereby
US6964804B2 (en) * 2001-02-14 2005-11-15 Shipley Company, L.L.C. Micromachined structures made by combined wet and dry etching
US6438954B1 (en) 2001-04-27 2002-08-27 3M Innovative Properties Company Multi-directional thermal actuator
US6618519B2 (en) * 2001-07-16 2003-09-09 Chromux Technologies, Inc. Switch and variable optical attenuator for single or arrayed optical channels
US6782153B2 (en) 2001-08-28 2004-08-24 Dicon Fiberoptics, Inc. Hybrid opto-mechanical component
CN100368861C (zh) * 2001-10-04 2008-02-13 迪康公司 主要用于光学应用的开关装置
EP1335232A1 (en) * 2002-02-07 2003-08-13 Corning Incorporated Optical switching devices and methods of making them
CN1316271C (zh) * 2002-03-01 2007-05-16 柔斯芒特公司 带有三维波导的光学开关
US6904191B2 (en) * 2003-03-19 2005-06-07 Xerox Corporation MXN cantilever beam optical waveguide switch
CN100365775C (zh) 2003-05-23 2008-01-30 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 用于显微机械加工晶体材料的蚀刻方法以及由此方法制备的器件
JP4076917B2 (ja) 2003-06-27 2008-04-16 富士通株式会社 平面光回路構造を有する光波長スイッチ
US7116855B2 (en) * 2004-06-30 2006-10-03 Xerox Corporation Optical shuttle system and method used in an optical switch
WO2008154071A1 (en) * 2007-06-08 2008-12-18 Research Triangle Institute Optical switch
GB2489186B (en) * 2010-03-30 2017-05-24 Ibm Integrated electro-mechanical actuator
WO2011146944A2 (en) * 2010-05-21 2011-11-24 Kaiam Corp. Mems-based levers and their use for alignment of optical elements
DE102015200626B3 (de) * 2015-01-16 2016-07-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. MEMS Aktuator, System mit einer Mehrzahl vom MEMS Aktuatoren und Verfahren zum Herstellen eines MEMS Aktuators

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1438974A (en) * 1920-11-13 1922-12-19 Western Electric Co Piezo-electrical voltage indicator
US2586531A (en) * 1950-04-20 1952-02-19 Donald L Gordon Wheeled support having ladder assembly
US2920529A (en) * 1952-05-23 1960-01-12 Blythe Richard Electronic control of optical and near-optical radiation
US3443243A (en) * 1965-06-23 1969-05-06 Bell Telephone Labor Inc Frequency selective laser
US3758199A (en) * 1971-11-22 1973-09-11 Sperry Rand Corp Piezoelectrically actuated light deflector
JPS51139651A (en) * 1975-05-26 1976-12-02 Kazuyo Sekiguchi Fermented soybean container and method of producing fermented soybean having straw fragrance content
US4115747A (en) * 1976-12-27 1978-09-19 Heihachi Sato Optical modulator using a controllable diffraction grating
US4152043A (en) * 1977-08-25 1979-05-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Electrostatic optical switch with electrical connection to coated optical fiber
JPS54161951A (en) * 1978-06-13 1979-12-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Photo switch
US4182544A (en) * 1978-08-03 1980-01-08 Sperry Rand Corporation Resonant multiplexer-demultiplexer for optical data communication systems
CA1150434A (en) * 1978-10-10 1983-07-19 Lawrence S. Frankel Mastic, caulking and sealant compositions having reduced surface tack
US4303302A (en) * 1979-10-30 1981-12-01 Gte Laboratories Incorporated Piezoelectric optical switch
US4317611A (en) * 1980-05-19 1982-03-02 International Business Machines Corporation Optical ray deflection apparatus
JPS5724902A (en) * 1980-07-22 1982-02-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Optical switch for by-pass
JPS587601A (ja) * 1981-07-07 1983-01-17 Fujitsu Ltd 光スイツチ
DE3206919A1 (de) * 1982-02-26 1983-09-15 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Vorrichtung zum optischen trennen und verbinden von lichtleitern
US4450563A (en) * 1982-04-23 1984-05-22 Westinghouse Electric Corp. Rapidly turnable laser system
JPS58199304A (ja) * 1982-05-17 1983-11-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光スイツチ
SE454546B (sv) * 1982-07-01 1988-05-09 Ericsson Telefon Ab L M Fiberoptiskt kopplingsorgan for att omkoppla en optisk signalveg utford med atminstone en fast anordnad fiberende och minst en rorligt anordnad fiberende
GB2127987B (en) * 1982-09-29 1986-09-03 Standard Telephones Cables Ltd Integrated optic devices
US4669817A (en) * 1983-02-04 1987-06-02 Kei Mori Apparatus for time-sharing light distribution
JPS59197002A (ja) * 1983-11-07 1984-11-08 Hitachi Ltd 光フアイバ伝送路用光スイツチ
US4626066A (en) * 1983-12-30 1986-12-02 At&T Bell Laboratories Optical coupling device utilizing a mirror and cantilevered arm
JPS60182403A (ja) * 1984-02-29 1985-09-18 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 光分岐素子
JPS6183515A (ja) * 1984-09-18 1986-04-28 Honda Motor Co Ltd 導光回路ユニツト
JPS6187438A (ja) * 1984-10-04 1986-05-02 Mitsubishi Electric Corp 光信号トロリ−装置
DE3437489A1 (de) * 1984-10-12 1986-04-17 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven Optischer schalter
US4705349A (en) * 1985-01-18 1987-11-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Optical switch
JPH0769520B2 (ja) * 1985-10-16 1995-07-31 ブリティシュ・テレコミュニケ−ションズ・パブリック・リミテッド・カンパニ 可動部材の取付構造
GB8608556D0 (en) * 1986-04-08 1986-05-14 Hamblin B D Control means
JPS6385711A (ja) * 1986-09-30 1988-04-16 Mitsubishi Electric Corp 光スイツチングモジユ−ル
DE3641707A1 (de) * 1986-12-06 1988-06-16 Kabelmetal Electro Gmbh Vorrichtung zum durchverbinden von lichtwellenleitern

Also Published As

Publication number Publication date
DE3878710D1 (de) 1993-04-08
EP0286337B1 (en) 1993-03-03
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AU602078B2 (en) 1990-09-27
AU1543188A (en) 1988-11-02
ATE86394T1 (de) 1993-03-15
CA1315379C (en) 1993-03-30
DE3878710T2 (de) 1993-06-09
US5024500A (en) 1991-06-18
JPH01502782A (ja) 1989-09-21
GB8707854D0 (en) 1987-05-07
EP0286337A1 (en) 1988-10-12

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