JP2624693B2 - スパッタリングによって蒸着された少なくとも１つの平滑層を有する複合材料及びその製造方法 - Google Patents

スパッタリングによって蒸着された少なくとも１つの平滑層を有する複合材料及びその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、陰極吹付け（スパッタリング）によって蒸
着される少なくとも１つの平滑層を有し、該平滑層が緊
密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属材料
と固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
も更にもう１つの金属材料から成る統計的に配分されて
吹付けられる粒子の混合物から構成されている複合材料
に関する。本発明は、更に、前記の類の複合材料の製造
方法に関する。
〔従来の技術及びその問題点〕
複合材料の表面層としての平滑層は、例えば、内燃機
関の軸受に利用され、その他の特性と並び次の特性を有
していなければならない：シャフトの材料より低い硬
度、動的交番荷重に対する高度な強度、高度なせん断抵
抗、熱安定的な機械的特性ならびに高度な耐腐食性。こ
うした要件を満たすものは、相関した母材の形成により
層に機械的強度を付与すると共に腐食耐性を具え且つ錫
あるいは鉛に対して溶解性を持たない例えばアルミニウ
ム，クロムもしくはニッケル等の金属と鉛もしくは錫と
の混合物である。鉛もしくは錫を含有した平滑層を備え
た複合材料ならびに陰極吹付け（スパッタリング）によ
る該材料の製造方法はDE−PS〔ドイツ特許公報〕第2853
724号及び第2914618号ならびにDE−OS〔西ドイツ特許公
開公報〕第3404880号に記述されている。しかしながら
該方法の利用にあたり、下地とその上に蒸着される平滑
層との間の高度な粘着力と結合力の達成に関し相当な困
難が存することが判明した。更に該方法によれば、数μ
ｍの偶然的に分布した直径を有する錫もしくは鉛の塊が
埋封された比較的粗い構造を有する平滑層が結果する。
この種の層構造は腐食耐性を損なうこととなる。
前記技術水準に於いて、更に、在来のスチール−CuPb
−３層配置に於いてAlSn20の合金組成をベースとし陰極
吹付けによって蒸着される平滑層が少なくとも、従来の
方法で巻き付けられた層よりも精細に分布したSn含有粒
子を有していることが強調されているとは云え、この種
の層も一義的に定義しにくい。アルミニウムと錫との不
均質な混合物を結果させることを否定することはできな
い。この種の平滑層における平均粒子サイズと該平滑層
を製造するための再現性ある反応条件とに関する精密な
記述は今日までのところなんら知られるに至っていない
〔以下参照:U.エンゲル，最近のエンジンベアリング用
の新多層材料の開発及びテスト（U.Engel,Development
and Testing of New Multi−Layer Materials for Mode
r Engine Bearings）:Part2−スパッタ表面層を具えた
銅−鉛−３層ベアリング（Copper−Lead−Three−Layer
Bearings with Sputtered Overlay）,SAE Technical P
aper Series,Int.Congress and Exposition,デトロイ
ト,1986年２月24〜28日、76及び77ページ）。
前記技術水準に於いて提案されている酸化物の意図的
埋封による母材の強化（分散強化）も実際には著しい困
難をもたらした。例えばアルミニウム製の母材につき0.
1〜0.5重量％の酸化物粒子濃度が規定された（DE−PS第
2914618号，第５段）が、この種の濃度は、例えば滑り
軸受の大量生産に際し、その順守が極めて困難である
か、もしくはそもそも順守が不可能であり、こうしたこ
とが再び結果として層特性の激しい変動をもたらすと共
に該層製造方法の総じて不十分な再現性をもたらすこと
となる。
したがって本発明の目的は、本発明の冒頭に述べた類
の複合材料を改良し、その粘着力と腐食耐性とを大幅に
向上させ、従来その製造方法に欠如していた再現性を達
成することである。
〔問題点を解決するための手段〕
前記目的は本発明による以下の特徴を以って解決が図
られる。（ａ）母材中で不溶の材料が母材材料よりも低
い融点を有すること、及び、（ｂ）母材中で不溶の材料
製の粒子の直径が＜0.8μｍの平均値を有した統計的
正規分布を示すこと。したがって前記目的は陰極吹付け
法で形成される平滑層により単純に解決され得るのでは
なく、本発明による平滑層に意図的な方法で固有の特性
が付与されることによって解決され得る。その際驚異的
な形で判明した事実は、本発明による平滑層が前記技術
水準に於いて公知となれる層に比較して、酸化物粒子の
関与がなくとも、不溶性材料を含んだ粒子の約10倍に達
する精細な分布により平滑層に必要とされる機械的特性
を保持することである。例えば連続鋳造されたAlSn20Cu
はビッカース硬度35を有し、酸化物粒子による分散強化
後にビッカース硬度130に達する（DE−PS第2853724号、
第６段）が、本発明による層は酸化物の関与なしに最低
180のビッカース硬度（HV0.1）を達成する。更にこの硬
度はmax、0.2重量％の酸化物の意図的な添加により約20
0にまで高めることができる。また本発明による層は前
記技術水準に於いて公知となれる層に比較して大幅に高
い焼戻し耐性を示す。従来の平滑層を170℃で300時間に
亘って熱処理する場合には相当な硬度低下が生ずる（DE
−PS第2853724号参照）が、本発明による層の硬度はこ
の種の熱処理後にも170ビッカース以下に低下すること
はない。
本発明による層は、更に、酸化物により分散強化され
た層よりも大幅に高い腐食耐性を示すが、これは母材と
不溶性粒子との間の空隙の大きさが僅かであることに帰
着される。また更に、平滑層に於いて母材中で不溶の粒
子の精細で均質な分布が達成されることにより該層中に
該不溶性材料をほぼ任意のパーセンテージで封入するこ
とが可能となり、またその結果、粒子が機械的荷重つま
り動的交番荷重により母材から引き離されたり、その
際、内部切欠き効果により平滑層中にひび割れが生じた
りする危険もない。本発明による平滑層が従来の平滑層
に比較して動的交番荷重に対して有する大幅に高い強度
ならびに該層の機械的特性の高度な熱的安定性は前記の
事情に由来している。
個々の点について論ずれば、母材中で不溶な成分とし
て、少なくとも、比較的融点の低い元素−錫（融点231.
89℃），鉛（327.4℃）あるいはインジウム（融点156.4
℃）−のいずれかを使用するように本発明を構成するこ
とができる。但し特別な利用のためにその他の低温融解
金属とそれらの合金を使用することも排除されているわ
けではない（カドミウム，融点320.9℃；ビスマス、融
点271.3℃；タリウム、融点302℃；亜鉛、融点419.5
℃；カリウム、融点29.8℃）。本発明は母材形成材料が
少なくとも以下の元素−アルミニウム、クロム、ニッケ
ル、マグネシウムもしくは銅−のいずれかを主たる構成
要素とした在来の滑り軸受合金を含んだ複合材料ないし
複合加工部材にとって特別な長所を有している。実際
に、平滑層が以下の組合せ−AlCuSn AlCuPb,AlCuSnPb,A
lSiSn,AlSiPb,AlSiSnPb,CuSn,CuPb,CuSnPb−のいずれか
を有した組成を全体として有している場合には、特に有
利であることが判明した。本発明による平滑層の厚さは
10〜30μｍであるのが好ましいが、大半の利用事例にと
っては該範囲の下側半分の厚さ（12〜16μｍ）で十分で
ある。この限りで前記技術水準に於いて提案されている
18μｍという在来の２成分平滑層の最適厚さは確証し得
なかった〔エンゲル（Engel），前記文献p76,参照〕。
本発明の構成に於いて、母材中で不溶の材料製の粒子
の直径は平均値が0.05〜0.4μｍの範囲にある統計的
正規分布を示すのが好ましいが、実験は例えば＜0.8
μｍの値までなお本発明による効果を見込み得ることを
明らかにした。
技術水準〔DE−Ｐ（西ドイツ特許）第2914618,第５
段;DE−PS 2853724,第５段〕より0.1〜1.57.（体積）の
酸化物含有量がいわゆる分散強化を結果させることが公
知である。驚くべきことに、これに対し、製造にあたっ
て特別な対策（不活性ガス雰囲気中で製造されたターゲ
ットの使用）によりO2含有量が0.2重量％以下に低下さ
れた本発明による層が前記の類の分散強化された平滑層
と同じ機械的特性のみならず、該層に比し大幅に改善さ
れた機械的特性を有することが明らかとなった。したが
って分散させられた酸化物粒子による強化を埋封される
粒子の直径の低下による強化に代えることができる。
本発明による平滑層は、優れた非常滑り特性を具えた
材料製の支持層が基材（軸受の背）と平滑層との間に設
けられる３層滑り軸受の表面層として特に適している。
中間挿入される該層については極めて多様な物質組成が
考えられるが、その際には該層の硬度が平滑層の硬度よ
り低い点に注意しさえすればよい。個々に云えば該層は
錫，鉛，アンチモン，銅等の元素あるいは公知の合金、
例えば銀青銅，錫鉛青銅（DIN 1705,1716,1718及び1766
2,参照）もしくはホワイトメタル（DIN 1703,参照）を
含むことができる〔M.J.ニール（M.J.NEALE）（編
集），潤滑工学ハンドブック（Tribology Handbook），
ロンドン1975,表Ｃ−1,参照のこと）。その際、中間挿
入される該支持層のブリネル硬度は30〜100kp/m2である
べきであろう。
更に、平滑層と基材との間に、同じく陰極吹付けによ
り蒸着され、平滑層から基材中ないし中間挿入された支
持層中への金属の拡散を防止する薄い遮断層を設けるの
が有利であると判明した。該拡散防止層の厚さは約２μ
ｍであるのが有利であり、主たる構成要素として平滑層
の母材形成材料のいずれかを含むことができる。この場
合、クロムとニッケルから構成される組成が特に適切で
あることが判明した。該拡散防止層は平滑層とその下に
設けられる支持層との間に置かれるのが有利である。但
し特別な利用のため、該遮断層を前記支持層と基材（軸
受の背）との間に設けることも排除されているわけでは
ない。同じく、特別な利用のため、複数の平滑層を互い
に重ねて配置することもできる。
本発明は、更に、平滑層が陰極吹付け（スパッタリン
グ）によって蒸着される前記提案の複合材料の製造方法
に関する。この場合、該方法に関する本発明の目的は、
従来の技術水準に於いて公知となる製造方法の再現性の
欠如を取り除き、それによりコンスタントな機械的特性
及び防腐特性を具えた製品の確保を達成することであっ
た。前記目的は前記方法に関する本発明により、コーテ
ィングされる支持体の温度をコーティング処理のあいだ
150℃以下に保つことによってその解決が図られる。驚
くべき形で判明したように、陰極吹付け処理に際するこ
の種の支持体温度の低下は母材中で不溶の粒子の平均直
径が数μｍから0.05〜0.8μｍへと予想外に低下する結
果をもたらし、それと共に、蒸着された平滑層の高い両
振り疲れ限度及び腐食耐性等の本発明による特性を結果
する。
前記のコーティング温度の低下の他に、従来の技術水
準に比して高いコーティング速度（１分あたり0.2μｍ
以上）も本発明による不溶成分の精細分布に貢献する。
こうした関係は本発明の実施のために十分な量の冷却水
が得られないような状況下で意図的に活用することがで
きる。
本製造方法の構成に於いて、平滑層の種々の材料、し
たがって母材を形成する材料と母材中で不溶な材料とを
陰極吹付け法により同時に下地に蒸着させ、これにより
本発明による不溶成分の精細分布を更に向上させること
が意図されている。これは、好ましくは、本方法に於い
て使用されるターゲットの1/2以上に母材の主たる構成
要素ならびに母材中で不溶の材料の双方を共に含ませる
ことによって達成することができる。その際、所望の平
滑層の組成に応じ、特に以下の組成−AlCuSn,AlCuPb,Al
SiSn,AlSiPb,AlSiSnPb,CuSn,CuPb,CuSnPb−を有した合
金を使用することができる。この場合、平滑層の酸素な
いし酸化物含有量を0.2重量％以下に保つため、問題と
なるターゲットを真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で
酸素を締め出して鋳込むことが必要である。
本方法の別な構成に於いて、平滑層の種々の成分を時
間的に順次に下地に蒸着させることも行なわれる。この
ためには、平滑層の主たる成分−したがって例えば純ア
ルミニウム及び純錫−製のターゲットを使用し、当該コ
ーティング装置の種々相異したポジションでスパッタす
るのが有利である。その際、拡散防止層と平滑層とを形
成するための同じターゲットを使用し、相異した両層を
直接に重ねて被コーティング加工材上に付するのが特に
有利である。本発明による方法の更に別な構成に於い
て、母材形成成分が母材中で不溶な成分より高い温度で
蒸着されるように支持体温度が変化させられる。これ
は、前記の別な構成に於いて、平滑層の母材形成成分を
高い支持体温度で時間的に不溶成分に先行して蒸着さ
せ、温度を該コーティング処理中に低下させることによ
って行なうことができる。更にまた、コーティングさる
べき支持体にかけられる電圧を具体的な利用事例の所与
条件に応じて変化させることによっても本発明による方
法の別な構成が結果する。これは、高い融点を有した成
分、したがって例えば母材形成成分ないし拡散防止層の
主たる成分を母材中で不溶な低い融点を有した成分より
も高い電圧で蒸着させることによって有利に行なうこと
ができる。
本発明による平滑層はあらゆる種類の滑り軸受に有利
に使用することができる。軸受荷重が80N/mm2〜120N/mm
2,軸受の背の温度が150℃〜200℃におけるいわゆる３成
分軸受ないし３層軸受に於いて本平滑層を使用するのが
特に合理的であると判明した。本発明による層は該条件
下に於いて720時間に亘る連続荷重試験後にもなんら測
定し得るほどの摩耗を示さない。
〔実施例〕
以下に図面に基き本発明の２種の実施例を詳しく説明
する。
第１図の実施例に於いて、スチールの背（基材）１上
に非常滑り特性を具えた材料製の厚さ200μｍ〜700μｍ
の支持層２が付されている。該支持層用に鉛青銅ないし
鉛錫青銅が使用される場合には、該層は50〜100kp/mm2
のブリネル硬度を達成する。
前記支持層上に陰極吹付け法により通例数μｍ（２〜
４μｍ）の厚さの薄い拡散防止層３が蒸着されている。
該拡散防止層３は平滑層の母材形成材料の１つもしくは
複数の元素−例えばニッケル，クロムないしこれら両者
の合金−から構成されているのが有利である。該遮断層
３を覆って本発明による平滑層４が陰極吹付け法によっ
て蒸着されている。成分間重量比が80:20:1である平滑
層を表わしている第２図の金属走査電子顕微鏡写真か
ら、従来の平滑層に比較して著しく精細な不溶相分布が
看取される。
本発明による複合材料の製造にあたって順守された反
応条件を下記に事例的に示すこととする： 例 １ コーティングは、リング状の密なプラズマが磁場によ
って陰極の直前に集中されるそれ自体公知の陰極吹付け
装置で実施された、該装置は円筒状のプロセスチャンバ
を有しており、該チャンバの外側に各々322.6cm2の面積
を有したmax4個までのソースが垂直に取り付けられた。
コーティングさるべき支持体が回転駆動装置により回転
されるキャリアに同じく垂直に取り付けられた。該駆動
装置は１分あたり0.2〜24.5回転の範囲で調節可能であ
った〔例えば、バルファー（BALZER）製品情報（Produk
tinformation）BB800246 PD/1985年８月，ならびにBB8
00039RD/1985年７月，参照〕。
非合金工具鋼（例えば、材料ナンバーNo.1.162,略称C
80W2）製の軸受が前記吹付け装置中で、支持体温度60
℃、アルゴン雰囲気−0.8重量％の酸素が混和−の圧力
1.2Paで、８時間に亘ってコーティングされた。該支持
体温度を保持するため、コーティングされるべき各軸受
あたり0.024m3/時の冷却水が要された。ターゲットとし
ては一方で純アルミニウムが電圧470Vで、他方で組成Sn
Cu5の錫青銅が電圧620Vで使用された。支持体を15回転
／分の定回転速度で回転させる場合、処理終了時の層の
厚さ150μｍに対応して約0.3μm/分のコーティング速度
が達成された。
前記方法で製造された層はAl:Sn:cu＝80:20:1の重量
比（AlSn20Cu 1の組成に対応）と0.2重量％の酸化物含
有量を有していた。該層のブリネル硬度は83に達し、17
0℃で200時間に亘る熱処理後にも変化は認められなかっ
た。荷重70N/mm2,軸受の背の温度Ｔ＝160℃で250時間に
亘る軸受試験機でのテストに際し該層はなんら測定し得
るほどの摩耗を示さなかった。
例 ２ 浸漬法で付されたCuPb23Sn4（鉛青銅）製の厚さ200μ
ｍの支持層を備えた前記と同じ工具鋼（材料ナンバーN
o.1.1625）製の軸受が、支持体温度30℃，酸素を全面的
に排除し、その他は例１と同じ条件でコーティングされ
た。この場合、必要とされた冷却水の量はコーティング
さるべき各軸受あたり0.035m3/時であった。平滑層を付
するため以下のターゲット及び出力密度が使用された:2
−AlSiターゲット（20kW/322cm2）,1−錫ターゲット（1
0.3kW/322cm2）及び１−鉛ターゲット（11kW/322c
m2）。以上からAlSi45Sn15Pb10の組成を有した平滑層が
結果したが、該層のビッカース硬度は175（HV0.1）であ
った。
例 ３ 例２に述べたのと同じ、鉛青銅製の支持層を具えた軸
受に、平滑層を付する前に、薄い拡散防止層が付され
た。このためには30℃にて12分間に亘りAlSi−合金製の
２個のターゲットが使用されたにすぎなかった（20kW/3
22cm2）。こうして得られた拡散防止層の厚さは約２μ
ｍであった。次いで別な２個のターゲットが接続され、
例２と同じ条件下でコーティングが完了された。
例 ４ 本例に於いては例３の処理条件が変化させられ、AlSi
−合金製の拡散防止層を付するため支持体は12時間に亘
り冷却されず、それにより200℃の支持体温度が生ずる
ように調整された。次いで別な２個のターゲットが接続
され、支持体温度が80℃に降下するように冷却調節され
た。その他については例２と同じ条件下でコーティング
が続行された。
例 ５ 本例に於いては例１の条件が変化させられ、20℃の支
持体温度から出発して、該支持体温度が平滑層の蒸着
中、適切な冷却出力調節により190℃に引き上げられ
た。該処理により、不溶成分の平均粒子サイズが表面に
比して大きくなり、それに応じて硬度が連続的に低下す
る平滑層が得られた。
例 ６ 本例に於いては例２と例３の処理条件が変化させら
れ、拡散防止層が50℃、支持体電圧−200Vで蒸着され、
他方、平滑層は４個の異なったターゲットを用い、支持
体電圧−40Vで蒸着されるように為された。
該平滑層の組成は例２の平滑層の組成（AlSi4Sn15Pb1
0）と同じであったが、硬度はやや高くなり約180ビッカ
ース（HV0.1）であった。
例 ７ 厚さ1.5μｍのNiCu30製の拡散防止層上に、例１と同
じ条件下で、酸素を完全に排除して、およそAlSn20Cu1
の組成の平滑層が蒸着させられた。その際、平滑層の多
孔性を回避するため、130℃の支持体温度が維持され、
支持体電圧は全体として50分に亘る処理時間中連続的に
−40Vから−180Vに高められた。該処理により得られた
層は、例１の層に比し、高い腐食耐性を示した。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による複合材料の拡大断面図、第２図は
本発明による平滑層（ｂ）ならびに従来の平滑層（ａ）
の各表面の金属走査電子顕微鏡写真を示す。
フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン ブラウス ドイツ連邦共和国，デー 6909 バルド ルフ，ヨハン ヤコブ アストル シュ トラーセ 53 (56)参考文献 特開 昭55−81147（ＪＰ，Ａ)

Claims (23)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】スパッタリングによって蒸着される少なく
    とも１つの平滑層を有する複合材料であって、該平滑層
    が、 −緊密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属
    材料と、 −固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
    も更にもう１つの金属材料と、 から成る統計的に配分されて吹付けられる粒子の混合物
    から構成されている、複合材料に於いて、 （ａ）母材中で不溶の材料が母材材料より低い融点を有
    し、 （ｂ）母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が＜0.
    8μｍの平均値を有した統計的正規分布を示す ことを特徴とする複合材料。
  2. 【請求項２】母材中で不溶の材料が主たる構成要素とし
    て次の元素−錫，鉛，インジウム，亜鉛−のうちの少な
    くともいずれか１つを含んでいることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項記載の複合材料。
  3. 【請求項３】母材を形成する材料が合金を含んでおり、
    該合金の主たる構成要素が次の元素−アルミニウム，ク
    ロム，ニッケル，マグネシウム，銅−のうちの少なくと
    もいずれか１つであることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項又は第２項に記載の複合材料。
  4. 【請求項４】前記平滑層が以下の組成−AlCuSn,AlCuPb,
    AlCuSnPb,AlSiSn,AlSiPb,AlSiSnSb,CuSn,CuPb,CuSnPb−
    のいずれかを備えた合金を含んでいることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれかに記載の複合
    材料。
  5. 【請求項５】前記平滑層の厚さが10〜30μｍであること
    を特徴とする特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれか
    に記載の複合材料。
  6. 【請求項６】母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が
    0.05〜0.4μｍの平均値Ｘを有した統計的正規分布を有
    することを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第５項の
    いずれかに記載の複合材料。
  7. 【請求項７】前記平滑層の酸素含有量が0.2重量％以下
    であることを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第６項
    のいずれかに記載の複合材料。
  8. 【請求項８】基材と平滑層との間に優れた非常滑り特性
    を備えた材料製の支持層を有することを特徴とする特許
    請求の範囲第１項〜第７項のいずれかに記載の複合材
    料。
  9. 【請求項９】前記支持層が以下の元素もしくは材料−
    錫，鉛、アンチモン，銅，錫青銅，錫鉛青銅，ホワイト
    メタル−のいずれか１つを含んでいることを特徴とする
    特許請求の範囲第８項記載の複合材料。
  10. 【請求項１０】基材と平滑層との間に支持層の他に更に
    陰極吹付けによって蒸着される拡散防止層を有すること
    を特徴とする特許請求の範囲第８項又は第９項記載の複
    合材料。
  11. 【請求項１１】前記拡散防止層がアルミニウム，クロ
    ム，ニッケル，マグネシウム，銅の少なくとも１つの母
    材形成材料を特徴とする特許請求の範囲第10項記載の複
    合材料。
  12. 【請求項１２】複数の平滑層を有することを特徴とする
    特許請求の範囲第１項〜第11項のいずれかに記載の複合
    材料。
  13. 【請求項１３】スパッタリングによって蒸着される少な
    くとも１つの平滑層を有する複合材料であって、該平滑
    層が、 −緊密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属
    材料と、 −固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
    も更にもう１つの金属材料から成る統計的に配分されて
    吹付けられる粒子の混合物から構成されている、複合材
    料に於いて、 （ａ）母材中で不溶の材料が母材材料より低い融点を有
    し、 （ｂ）母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が＜0.
    8μｍの平均値を有した統計的正規分布を示す複合材料
    の製造方法に於いて、コーティング処理中の支持体の温
    度が150℃以下であることを特徴とする複合材料の製造
    方法。
  14. 【請求項１４】コーティング処理速度が0.2μm/分以上
    であることを特徴とする特許請求の範囲第13項記載の方
    法。
  15. 【請求項１５】前記平滑層の種々の材料が同時に蒸着さ
    れることを特徴とする特許請求の範囲第13項又は第14項
    記載の方法。
  16. 【請求項１６】使用されるターゲットの少なくとも50％
    が母材の主たる構成要素ならびに母材中で不溶の材料の
    双方を含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第13
    項〜第15項のいずれかに記載の方法。
  17. 【請求項１７】使用されるターゲットの少なくとも50％
    以下のいずれかの組成−AlCuSn,AlCuPb,AlCuSnPb,AlSiS
    n,AlSiPb,AlSiSnSb,CuSn,CuPb,CuSnPb−を有する合金を
    含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第16項記載
    の方法。
  18. 【請求項１８】前記平滑層の種々の構成要素が時間的に
    順次に蒸着されることを特徴とする特許請求の範囲第13
    項又は第14項記載の方法。
  19. 【請求項１９】前記拡散防止層が前記平滑層と同じター
    ゲットを使用して蒸着されることを特徴とする特許請求
    の範囲第18項記載の方法。
  20. 【請求項２０】母材成形成分が母材中で不溶の成分より
    も高い支持体温度で蒸着されることを特徴とする特許請
    求の範囲第18項又は第19項記載の方法。
  21. 【請求項２１】母材成形成分が母材中で不溶性成分より
    前に蒸着され、支持体温度がコーティング処理中に低下
    させられることを特徴とする特許請求の範囲第20項記載
    の方法。
  22. 【請求項２２】高い融点を有した成分が低い融点を有し
    た成分よりも高い支持体電圧で蒸着されることを特徴と
    する特許請求の範囲第18項〜第21項のいずれかに記載の
    方法。
  23. 【請求項２３】前記拡散防止層が前記平滑層の構成要素
    より高い支持体温度で蒸着されることを特徴とする特許
    請求の範囲第13項〜第22項のいずれかに記載の方法。
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