DE2853724C3 - Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen HerstellungInfo
- Publication number
- DE2853724C3 DE2853724C3 DE2853724A DE2853724A DE2853724C3 DE 2853724 C3 DE2853724 C3 DE 2853724C3 DE 2853724 A DE2853724 A DE 2853724A DE 2853724 A DE2853724 A DE 2853724A DE 2853724 C3 DE2853724 C3 DE 2853724C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- sliding
- particles
- harder
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 13
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000004880 explosion Methods 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 9
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims description 9
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001996 bearing alloy Substances 0.000 claims description 6
- 238000009749 continuous casting Methods 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 238000010120 permanent mold casting Methods 0.000 claims description 2
- 229910001371 Er alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims 1
- 239000008267 milk Substances 0.000 claims 1
- 210000004080 milk Anatomy 0.000 claims 1
- 235000013336 milk Nutrition 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 45
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 16
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 13
- 239000012791 sliding layer Substances 0.000 description 13
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 8
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910017132 AlSn Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 3
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004881 precipitation hardening Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010010144 Completed suicide Diseases 0.000 description 1
- 229910002480 Cu-O Inorganic materials 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 241000357293 Leptobrama muelleri Species 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000978 Pb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000012824 chemical production Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007596 consolidation process Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013528 metallic particle Substances 0.000 description 1
- 238000010310 metallurgical process Methods 0.000 description 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- -1 oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D69/00—Friction linings; Attachment thereof; Selection of coacting friction substances or surfaces
- F16D69/02—Composition of linings ; Methods of manufacturing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0688—Cermets, e.g. mixtures of metal and one or more of carbides, nitrides, oxides or borides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
- C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/12—Structural composition; Use of special materials or surface treatments, e.g. for rust-proofing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/14—Special methods of manufacture; Running-in
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/24—Brasses; Bushes; Linings with different areas of the sliding surface consisting of different materials
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2204/00—Metallic materials; Alloys
- F16C2204/20—Alloys based on aluminium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2204/00—Metallic materials; Alloys
- F16C2204/20—Alloys based on aluminium
- F16C2204/22—Alloys based on aluminium with tin as the next major constituent
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2223/00—Surface treatments; Hardening; Coating
- F16C2223/30—Coating surfaces
- F16C2223/60—Coating surfaces by vapour deposition, e.g. PVD, CVD
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Lubricants (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich zunächst auf einen Schichtwerkstoff oder ein Schichiwerkstück mit auf
einer Trägerschicht im Drahtcxplosionsverfahren oder
Kathodcnz.crstäubiingsvcrfahrcn (sputtering) aufgebrachter, im wesentlichen metallischer Gleit- oder
Reibschicht.
Aus der DE-AS 25 21286 ist in Anwendung des
Drahtcxplosionszcrstäubungsverfahrcns. bei dem durch Stromstoßentladung ein Draht versprüht wird, in einem
Verfahren zur Beschichtung der inneren Gleitflächcn eines ar. einer Aluminiumlegierung bestehenden
Zylinders eines Verbrennungsmotors bekannt. Es ist auch bekannt, Glcitschichlcn aus PTf-E durch Kathodenzerstäubung (sputtering) zu erzeugen (Thin solid
Films, 3 [1969] 109 - 117. Elsevier. Lausanne).
Weiterhin ist es bekannt, die wesentlichen Eigenschaften wie Härte. Zug- und Druckfestigkeit, vor allem
aber Abriebfestigkeit von metallischen Materialien, insbesondere Legierungen, durch sogenannte Dispersionshärtung zu variieren (R. Irmann: Aluminium, 33
[1957], S. 250: M. Gensamcr: Proc. AM. Sex.·. Met. 36
[I946J, S. 44; E. Orowan: Symp. Internal Stresse. Inst.
Met. Lond.[l954lS.45l:II.Unckc!:METAi,L22[19b8).
s. m% bog).
In der heutigen Technik heiuitzt in,in in zunehmendem
Malte die Dispersifins\crfesiigimg metallischer
Werkstoffe zur Erhöhung der mechanischen Lustigkeit. Warmfestigkeit und Warm verschleißfestigkeit.
Das Prinzip der DispersKnisverfesiigung besteht
tiarin, daß harte nichtmetallische Teilchen möglichst
gleichmäßig in einer weichen Metallmatrix verteilt
werden. Die Festigkeitssteigerung ist darauf zurückzuführen, daß die Partikel als mechanische Hindernnisse,
teilweise durch den Aufbau weitreichender Spannungsfelder und als Quellen neuer, nicht immer gleitfähiger
Versetzungen, die Gleitprozesse in den Matrixmetallen und die Wanderung von Korngrenzen bei Raumtemperatur
und erhöhter Temperatur behindern sowie weitgehend das Korn wachs turn und die Rekristallisation
einschränken und somit eine hohe Warrn- und Kriechfestigkeit bewirken. Die Wannbeständigkeit bei
hohen Temperaturen wird dadurch fast bis zum Schmelzpunkt des Matrixmetalls ei höht, da die
eingebaute Feststoffphase auch bei hohen Temperaturen unlöslich ist. Der Einbau von extrem harten
Partikeln wie Karbiden, Oxyden, Nitriden und Suiziden u. a. erhöht den Verschleißwiderstand solcher Dispersionslegierungen
beträchtlich. Je nach der gewählten Matrix und der dispergierten Feststoffphase werden
Werkstoffe mit völlig neuen Eigenschaften gewonnen. Es gibt eine Reihe von Methoden und Produktionsverfahren
zur Herstellung dispersionsverfestigter Metalle und metallischer Oberzüge. Wenngleich dl; Dispersionshärtung
schon längere Zeit bekannt ist, befindet sich die Verfahrenstechnik teilweise noch in der
F.ntwicklung. Ein Hauptproblem ist die Schwierigkeit, das Dispersat als zweite Phase gleichmäßig in der
Matrix zu verteilen und gleichzeitig das Dispersal mit sehr kleinem Partikeldurchmesser herzustellen.
Im Rahmen geforderter Leistungssteigerung an Gleitscliichten und Reibschichten, insbesondere der
Forderung nach Gleitschichten mit höherer Dauerfestigkeit und Warmverschleißfestigkeit wäre es für die
Technik von besonderem Interesse, auch an Gleitschichten und Reibschichten solche Dispersionsverfestigung
vorzusehen. Jedoch eröffnet keines der bisherigen Verfahren zum Herstellen dispersionsverfestigter metallischer
Körper eine brauchbare Möglichkeit zur Bildung dispersionsverfesiigter Gleitschichten und
Reibschichten:
I. Pulvermelallurgische Verfahren
Die Arbeitsweise besteht im Herstellen des Pulvergemisches aus Matrixwerkstoff und Dispersat — Kaltpressen-·
Sintern-» Heißpressen, wobei auch Kombinationen von Sintern mit Heißpressen bzw. Heißpressen mit
Strangpressen oder anderen War;numformverfahren wie Schmieden oder Walzen möglich sind. Das
Verfahren isl vom Ablauf und daher für die Herstellung von Gleit- und Reibwerkstoffen zu sehr aufwendig.
Das Mischen von M<»!rixwerkstoffen und Dispersat
ist zwar das einfachste, aber sicher das am wenigsten wirkungsvollste Verfahren. Die Nachteile liegen hauptsächlich
in der Verteilung des Dispcrsates im Matrixwerkstoff infolge von Agglomcralionsvorgängen, elektrischen
Aufladungen und Adsorptionsvorgängen begründet. Für die Herstellung von Gleit- und Reibschichten
ist das Verfahren nicht befriedigend.
2. Kombination metallurgischer und chemischer
Prozesse
Prozesse
Hier win'l ein anorganisches SaI'/ des Oiindmetnlles
aus der Suspension des Dispersates ausgefüllt, wobei
sich das Crutidmctall z.U. als Hydroxid auf dem
Dispersat abscheidet. Anschließend wird das mit dein
Dispergens bedeckte Dispersat getrocknet, die nachfolgende Reduktion reduziert das abgeschiedene Hydroxid
zum Metall. Auf diese Weise wird zum Beispiel das bekannte TD-Nickcl hergestellt. Eine weitere Möglichkeil
besteht darin, zwei Salze beider Phasen aus einer Lösung auszufällen und anschließend unier reduzierender
Atmosphäre zu glühen. Hierbei wird das weniger stabile Oxid des Matrixmetalles reduziert, wahrend die
, oxidische Phase des Dispersats erhalten bleibt. Zur Herstellung von dispersionsverfestigten Gleit- oder
Reibwerkstoffen ist das Verfahren ebeso umständlich.
3. Verdüsungsverfahren
in Man hat versucht, Metalle in einer bestimmten
Atmosphäre zu verdüsen (z. B. Bleilegierungen unter oxydierenden Bedingungen, wodurch oxidhaltige Bleipulver
entstehen) oder zwei Metalle gleichzeitig zu versprühen. So erhaltene Pulver können dann aber nur
π nach pulvermetallurgischen Methoden (siehe oben) weiterverarbeitet werden.
4. Innere Oxidation
Hierunter wird die selektive Oxidation eines in einer
al edlen Metallmatrix vorhandenen sauerstoffaffinen,
reaktiven Metalles verstanden. Da <iie Oxidation des sauerstoffaffinen Dispersats von der Diffusionsgeschwindigkeit
des Sauerstoffs abhängt, ist das Verfahren für technische Zwecke der Herstellung von Gleit- und
2"> Reibschichten unwirtschaftlich.
Aucl. eine Herstellung von dispersionsverfestigten Überzugsschcichten, die eine oder mehrere nichtmetallische,
möglichst gleichmäßig verteilte Phasen enthalten, auf elektromagnetischem oder chemischem Wege hat
ι» sich für die Bildung von Gleit- und Reibschichien als
ungeeignet erwiesen. Bei solcher elektrochemischer oder chemischer Erzeugung dispersionsverfestigter
Überzugsschichien wird dem Elektrolyten das möglichst feinpulvrige und notwendigerweise gegenüber
r> diesem inerte Material zugegeben und durch geeignete
Methoden (Verrühren oder Umpumpen) in Schwebe gehalten und im Zuge der Metallabscheidurig an der
Kathode in den Überzug eingebaut. Bei durchgeführten Versuchen, die Dauerfestigkeit und Verschleißfestigkeit
in der galvanischen hergestellten Gleitschichten von
Dreistofflagern zu erhöhen, zeigte sich jedoch, daß offensichtlich das Gegenteil erreicht wird. Die verhältnismäßig
kleinen inkorporierten Feststoffpartikel zwischen 0,1 und 5 um Korngröße sind offenbar bei einer
4Ί Wechsclbeanspruchung noch zu grob und wirken als innere Kerben und mindern damit die Dauerfestigkeit.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Schichtwerkstoff oder ein Schichtwerkstiick der im
Gattungsbegriff des Anspruchs I beschriebenen Art
"•ii dahingehend zu verbessern, daß seine Dauerfesiigkeit.
Warmhärte und Warmvcrschlcißfestigkeit erhöht ist, wobei eine Versprödung vermieden werden soll.
Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die
fjlgtndi'n Merkmale gelöst:
Vi a) die Gleit-bzw. Reibschicht besteht aus dispersionsverfesiigtem
Verbundstoff, dessen wesentlich hiirtere
Teilchen in wesentlich unter I Gcw.-% liegender Menge in feinster Verteilung vorliegen.
b) die härteren Teilchen sind in der elektrischen wi Gasentladung gebildete und in statu nascendi in das
Metall der Gleit- b/w. Reibschicht eingelagerte
Kleinstteikhen aus Oxiden von in dem Metall
enthaltenen Bestandteilen und
c) die härteren Teilchen sind aus Oxiden solcher "· Metalle gebildet, für die gilt, daß das Metalloxid
größeres Volumen als das Metall selbst hat.
Die Aufgabe ist somit nicht einfach durch eine im Drahtcxplosions- oder KMlhodenzerstäubiingsv ei fan-
Die Aufgabe ist somit nicht einfach durch eine im Drahtcxplosions- oder KMlhodenzerstäubiingsv ei fan-
ren gebildete dispersionsverfesiigtc Gleit· oder Reibschicht
mil einer bestimmten Menge fcinsvertcilter härterer Teilchen gelöst, sondern dadurch, daß bei er
Bildung der Schicht auch die Bedingungen b) und c) eingehalten sind.
Was dieses erbringt, wird an folgendem Beispiel deutlich.
Um auf eine Glcillagerschale mil dem Aufbau
Stahl/CuPb 22 Sn eine durch A I)O ι dispersions verfest igte
Gleitschicht aus AISn 20 Cu aufzubringen, könnte man sich z. B. folgende Verfahrensführung vorstellen.
Man stellt auf pulvcrmetallurgischem Wege ein Target aus AISn 20 C'u/AbOi her — wobei man liier die
Möglichkeit hat. den Grad der Dispersionsverfestigung über den Gehalt an AI>O| zu steuern — und zerstäubt in
einer inerten Atmosphäre. Neben dem Nachteil dieser Verfahrensweise, daß die Herstellung des Targets auf
pulvermetallurgischcm Wege (Pressen. Sintern) relativ
aufwendig ist. hat es sich aber überraschend gezeigt, dall bereits dem Al-Pulver zugemischte Al>Oi-Gchalie unter
I Gew.-% die aufgesplitterte AISn 20 Cii-Gleiischicht
so stark verfestigt, daß sie spröde und als Geleitschicht
ungeeignet wird. Entsprechendes gilt auch für Reibschichten. Demgegenüber hat die Erfindung ergeben,
daß überraschenderweise bereits in normalem Strangguß aus AISn 20 Cu vorhandene Gehalte an Sauerstoff
und Oxiden genügen, um in einer aus dieser Legierung aufgesplitterten Gleitschicht eine erstaunliche Dispersionsverfestigung
zu erreichen, wobei sich überraschenderweise die beste Dauerfestigkeit. Wannhärte und
Warmverschleißfestigkeit dann ergeben haben, wenn fiir das Matrix-Metall, aus dem die harten Oxidteilchen
gebildet werden.gilt:
Volumen des Oxids
Volumen des Metalls
Volumen des Metalls
(Merkmal el
Ist dieses Verhältnis <
1. so sind nur schwache oder gar keine Steigerungen der Dauerfestigkeit und Wiirnucrschleißfestigkcit zu verzeichnen.
In Ausgestaltung der Erfindung weist die Gleit- oder
» r\r\z
Nutzung mehrerer Targets in mindestens eines dieser Targets eingelagert wird,
oder
oder
während der Drahtexplosions- bzw. der Kalodenzer >
stäubung dem dabei benutzten Plasmagas zugegeben wird.
In Ausgestaltung des ersten Verfahrens ist vorgesehen.
daß das bzw. die Targei(s) durch Strangguß oder ι Kokillenguß aus Gleitlagerlegierung gebildet wird bzw.
werden,
oder
oder
daß das bzw. die Target(s) einer kombinierten Vakuum-Wärmebehandlung zur Einstellung eines für
die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderlichen Gehaltes an gasförmigem Sauerstoff unterworfen wird
bzw. werden.
In Ausgestaltung des zweiten Verfahrens ist vorgesehen,
daß man das bzw. die Target(s) aus Gleitlagcrlcgierung
in Strangguß oder Kokillenguß in Vakuum oder unter Inertgasatmosphäre praktisch frei von Sauerstoff
bildet. In allen Fällen kann Argon als Plasmagas benutzt werden.
Bei .Schichtwerkstoffen oder Schichtwcrkstücken mit
einer das Substrat bildenden Metallschicht beispielsweise Stahlschicht, einer aus Notlaufeigenschaften aufweisenden
Material, beispielsweise Bleibronze oder Zinnbronze bestehenden Zwischenschicht, und der Gleitoder
Reibschicht empfiehlt es sich, /wischen der Zwischenschicht und der Gleit bzw. Reibschichi eine
dünne oxidfreic Diffusionssperrschicht anzuordnen, und
es ist in Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, sie entweder aus einer NickelChroml.egierung. insbesondere
einer solchen Legierung mit etwa 20 Gew.-1Vo Chromgehalt, oder aus reinem Chrom zu bilden und im
Drahtexplosions- oder Kathodenzcrstäubungsvcrfahren aufzubringen. Das Aufbringen der Sperrschicht und
der Gleit- bzw. Reibschicht kann vorteilhaft in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinanderfolgend
nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigt
0.050 mm. vorzugsweise 0.010 mm bis 0.030 mm auf.
Die Erfindung hat besondere Vorteile fur Schichtwerkstoffe
oder Schichtwcrkstüekc. bei denen das
metallische Material der Matrix eine herkömmliche Gleitlagcrlegierung z. B. eines oder mehrerer der
Metalle aus der Gruppe Muminium. Blei. Kadmium. Zinn. Zink. Nickel. Kupfer ist und die härteren Teilchen
aus Oxiden eines oder mehrerer dieser Metalle bestehen. In Versuchen hat sich als besonders
vorteilhaft herausgestellt, wenn die Matrix ,ms einer
Legierung der Art AISn 20 oder AISn 40. beispielsweise AISn 20 Cu bzw. AlSn 40 Cu besieht und in diese Matrix
die härteren Teilchen aus AI.O. eingelagert sind.
D:c- Erfindung betrifft sodann ei- Verfahrer zum
Herstellen der zunächst vorgeschlagenen Schichtwerks'offe
oder Schichtwerkstücke, bei dem die Gleit oder
Reibschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstaubungsverfahren
aufgebracht wird.
Gemäß diesem Teil der Erfindung ist ein derartiges
Verfahren in der Weise ausgestattet, daß der fur die
Bildung der härteren Oxidteilchen erforderliche Sauer stoff in Gasform
entweder
entweder
durch Nbsorption in das bei ,!er Drahtexplosions- oder
der Kathodenzerstäubung benut/te T,--get h/v. bei
Reibschicht im Schnitt, stark vergrößert und
Fig. 2 Schichtwerkstoff bzw. ein Mehrschichtglcitlager
mit dispcrsionsverfestigter Gleitschicht im Schnitt,
vergrößert.
Für die Herstellung der in F i g. I gezeigten dispersionsverfestigten Gleitschicht wurde ein Target
aus einer im Strangguß hergestellten Platte von 18 mm Dicke herausgearbeitet und unter nachfolgenden
Bedingungen auf Gleitlagerschalen mit dem Aufbau
Stahl/CuPb 22 Sn aufgesputiert.
Bei zehnminütigem Ätzen des Substrates und einer Zerstäubungsdauer von 10 Minuten in einer Argon-Atmosphäre
wurden etwa 10 um dicke Schichten aus AlSn 20 Cu erhalten, die eine Vickershärte von 130
aufw lesen, wogegen normales, stranggegossenes AISn 20 Cu nur eine Solche von 35 Vickers aufweist.
Eine bemerkenswerte Beständigkeit der aufgestäubten Schicht in der Wärme kommt dadurch zum Ausdruck,
daß die Härte auch nach einer lOOstündigcn Wärmebehandlung
bei 170'C — die bei althergebrachten
Gleitschichten zu einem erheblichen Härteabfall führt — noch in der ursprünglichen Höhe von 130
Vickers vorhanden war. Die so hergestellten !.agerschaien
zeigten bei Tests auf Lagcrprulmaschinen nach 250
Stunden bei emer Belastung von 70 N/mm-' und einer
gemessenen l.agerrückentemperatiir von 160 C keinen
meßbaren Verschleiß. Es hat sich durch anschließende Versuche gezeigt, daß sich auf diese Weise sämtliche
herkömmlichen Gleitlagerlegierungen auf für Gleitlager geeignete Substrate als Gleitschichten von 5 bis
50 μιτι Dicke aufsputtern lassen, die die extrem
getigerten Eigenschaften in bezug auf Festigkeit. Wain.'härte und Warmverschleißfestigkeil aufweisen.
Die nachstehende Tabelle gibt einige solcher metallischer Legierungskomponenten zusammen mit
den für die Dispersionsverfestigung in Betracht kommenden Oxiden und den entsprechenden Volumenverhältniszahlen
an.
| Metall | Oviil | Volumen- \erhallni·. |
| Natrium | Na,O | OJl |
| Kalium | K,O | 0.5 1 |
| Strontium | SrO | 0.69 |
| Magnesium | MgO | (1.84 |
| Aluminium | A1,O, | 1.46 |
| Blei | PM) | 1.31 |
| Kadmium | CdO | 1.32 |
| Zinn | SnO- | 1.33 |
| Zink | ZnO | 1.59 |
| Nickel | NiO | 1.68 |
| Nickel | Ni,O. | 2.58 |
| Kupfer | Cu-O | 1.67 |
| Kupfer | CuO | 1.75 |
Wie F i g. 1 zeigt, wird beim Drahtexplosions- bzw.
beim Kathodenzerstäuben in dem Target in geringer Menge enthaltenes Oxid und am Target oder im
Plasmagas enthaltene gasförmige Sauerstoff zur Bildung feinster Teilchen 3 herangezogen. Diese feinsten
Teilchen 3 werden dann bei dem Drahtexplosions- bzw. dem Kathodenzerstäuben in das dabei gebildete Metall
2 der Gleit-bzw. Reibschicht I eingebaut.
Bekanntlich können bei Mehrschichtwerkstoffen
werden, wie dies beispielsweise vom System Stahl/ CuPb 22 Sn/PbCu 2 Sn 10 bekannt ist. Zur Vermeidung
der Bildung der Sprödphase Cu>,Sni an der Bindungszone
CuPb 22 Sn/PbCu 2 Sn IO ist es bekannt, einen Nickeidamm oder eine Nickelsperrschicht aufzubringen.
Auch bei den erfindungsgemäß hergestellten Mehrschichtwerkstoffen mit dispersionsverfestigter Gleit-
bzw. Reibschicht kann man eine Diffusionssperrschicht
vorsehen. Beispielsweise empfiehlt sich eine solche Diffusionssperrschicht, wenn eine aus AlSn 20 CuI
bestehende Schicht auf eine Bronze (z. B. CuPb 22 Sn) aufgesputtert wird. Da sich jedoch Nickel wegen seiner
ferromagnetischen Eigenschaften schlecht für Kathodenzerstäubung eignet, kann man statt dessen auch eine
Nickel-Chrom-Legierung, insbesondere eine solche mit etwa 20 Gew.% Chrom, als Diffusionssperrschicht
aufbringen. Eine solche Nickel-Chrom-Legierung läßt sich sehr gut sputtern und zeichnet sich durch
hervorragende Haftfestigkeit auf dem Träger und hohe Wirksamkeit als Diffusionssperrschicht aus. Auch die
Bildung einer Diffusionssperrschicht aus Chrom hat sich in dieser Hinsicht bewährt.
Anstelle der genanten Legierung AlSu 20 CuI können auch andere Gleitlagerlegierungen, beispielsweise
AlSu 40 Cu eingesetzt werden.
F i g. 2 zeigt ein Mehr-.chichtgleitlager bzw. einen
Schichtwerkstoff mit einem Stahlriicken II, einer Zwischenschicht 12 aus einer Notlaufeigenschaften
aufweisenden Legierung, beispielsweise CuPb 22 Sn, einer Diffusionssperrschicht 13 aus Nickel-Chrom-l.egierung
mit 20 Gew.-°/o Chromeehalt und einer durch Kathodenzerstäubung aufgebrachten dispersionsverfestigten
Gleitschicht 14 aus AISn 20 CuI.
Während im zuvor geschilderten Ausführungsbeispiel die Dispersionsverfestigung der aufgestäubten Schicht
dadurch bewerkstelligt wurde, daß ein aus Strangguß oder Kokillenguß gefertigtes, geringe Ovidmengen und
gasförmigen Sauerstoff enthaltendes Target verwendet wurde, so kann auch eine zweite Möglichkeit herangezogen
werden, durch geeignete Wahl der Zusammensetzung der Plasmagase in definierter Weise eine
Dispersionsverfestigung zu erzielen. Zum besseren Verständnis sei als Modell die Zerstäubung eines reinen
Metalls, nämlich Kupfer, gewählt.
Als Plasmagas soll ein Oj/Ar-Gemisch verwendet werden. Allgemein ist die Bruttozusammensetzung der
gesputterten Schichten durch die Raten auf d·" Substratoberfläche auftreffenden Teilchen gegeben.
[lariiit rpciiltiprt daß hei hohen Sauerstoffdrücken und
kleinen Metallzerstäubungsraten oxidische Phasen entstehen. Im Fall großer Metallzerstäubungsraten und
kleiner O2-Drücke sind die Niederschläge metallisch.
Dazwischen lassen sich — durch die Wahl der Plasmagaszusamrrensetzung und der eingestellten Metallzerstäubungsraten
— reproduzierbar Übergangsphasen oder Gemische aus Metall und Metalloxiden in
den aufgesputterten Schichten bilden.
Hierzu 1 Blatt Zcichnunccn
Claims (1)
- Patentansprüche:1. Schichtwerkstoff oder -werkstück mit auf einer Trägerschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstäubungsverfahren (sputtering) aufgebrachter im wesentlichen metallischer Gleit- oder Reibschicht, gekennzeichnet durch die Merkmale:a) die Gleit- bzw. Reibschicht (I1 14) besteht aus dispersionsverfestigtem Verbundstoff, dessen wesentlich härtere Teilchen (3) in wesentlich unter 1 Gew.-% liegender Menge in kleinster Verteilung vorliegen,b) die härteren Teilchen (3) sind in der elektrischen Gasentladung gebildete und in statu nascendi in das Metall (2) der Gleit- bzw. Reibschicht eingelagerte Kleinstteilchen aus Oxiden von in dem Metall enthaltenen Bestandteilen undc) die härteren Teilchen (3) sind aus Oxiden solcher Metalle gebildet, für die gilt, daß das Metalloxid größeres Volumen als das Metall selbst hat.2. Schichtwerkstoff oder Schichtwerkslück nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitbzw. Reibschicht (1, 14) eine Dicke zwischen 0,005 mm und 0,050 mm, vorzugsweise 0,010 mm bis 0,030 mm aufweist.3. Schichtwerkstoff oder Schichtwcrkstöck nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei Benutzung rir.er Legierung als metallisches Material die härteren Teilchen aus Oxiden mehrerer der Legierungsmetalle bestehen.4. Schichtwerkstoff oder Schiehlwerkslück nach einem der Ansprüche I bis 3, Cidurch gekennzeichnet, daß das metallische Material eine Gleitlagcrlcgientng mit einem oder mehreren der Metalle ;uis der Gruppe von Aluminium. Blei, Kadmium, /inn. Zink, Nickel, Kupfer ist.5. Schichtwerkstoff oder Schichtwcrkstück nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das metallische Material im wesentlichen aus einer Legierung der Art AISn 20 oder AISn 40. beispielsweise AISn 20 Cu bzw. AISn 40 Cu besteht und die härteren Teilchen aus AIjO ι bestehen.6. Verfahren zum Herstellen eines Schichtwcrksioffs oder eines Schichtwerkstückcs nach einem der Ansprüche I bis 5. dadurch gekennzeichnet, daß der für die Bildung der härteren Oxidicilchcn erforderliche Sauerstoff in Gasform durch Absorption in den bei der Drahtexplosions- oder der Kathodenzerstäubung benutzten Target bzw. bei Benutzung mehrerer Targets in mindestens einem dieser Targels eingelagert wird.7. Verfahren zum Herstellen eines .Schichtwerkstoffs oder Schichtwerkstücks nach einem der Ansprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der für die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderliche Sauerstoff in Gasform während der Drahtexplosions- bzw. der Kathodenzerstäubung dem dabei benutzten Plasmagas zugegeben wird.8. Verfahren nach Anspruch b. dadurch gekennzeichnet, daU das bzw. die Ta rget(s) durch Strangguß oder Kokillenguß aus (ileitlagerlegicrung gebildet wird bzw. werden.9. Verfahren nach Anspruch h. dadurch gekennzeichnet, daß man das bzw. die Target(s) einer kombinierten Vakuum-Wärmebehandlung zur I instellung eines für die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderlichen Gehaltes an gasförmigem Sauerstoff unterwirft.'.Ο, Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das bzw. die Target(s) aus Gleitlagerlegierung in Strangguß oder Kokillenguß in Vakuum oder unter Inertgasatmosphäre praktisch frei von Sauerstoff bildet.11. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das Target bzw. die Targets vor Beginn der Drahtexplosionszerstäubung bzw. der Kathodenzerstäubung durch Entgasen, ggf. unier Wärmeeinwirkung praktisch frei von Sauerstoff macht.12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis II. dadurch gekennzeichnet, daß Argon als Plasmagas benutzt wird.13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer oxidfreien Sperrschicht zwischen der Trägerschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht, diese Sperrschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstäubungsverfahren aufgebracht wird.14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Material der Sperrschicht eine Nickel-Chromlegierung, insbesondere mit einem Chromg-^-halt von etwa 20% (Gew.), oder reines Chrom verwendet wird.15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Sperrschicht und der Gleit- bzw. Reibschichi in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinander folgend nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgt.
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2853724A DE2853724C3 (de) | 1978-12-13 | 1978-12-13 | Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| GB7942319A GB2040315B (en) | 1978-12-13 | 1979-12-07 | Laminar material or element and a process for its manufacture |
| IT41668/79A IT1124496B (it) | 1978-12-13 | 1979-12-11 | Materiale stratiforme,ad esempio quale elemento di scivolamento o di sfregamento e procedimento per la sua fabbricazione |
| BR7908132A BR7908132A (pt) | 1978-12-13 | 1979-12-12 | Material de revestimento ou elemento de deslizamento ou de friccao e processo para sua preparacao |
| AR279274A AR225907A1 (es) | 1978-12-13 | 1979-12-12 | Elemento antifriccion o friccionante y procedimiento para su fabricacion |
| ES486870A ES486870A1 (es) | 1978-12-13 | 1979-12-13 | Procedimiento para la produccion de elementos de desliza- miento o friccion |
| JP16088779A JPS5581147A (en) | 1978-12-13 | 1979-12-13 | Laminated material* sliding or friction material* and method of making said materials |
| MX180499A MX154711A (es) | 1978-12-13 | 1979-12-13 | Mejoras en estructura de particulas de una capa de deslizamiento o de friccion de cojinetes de deslizamiento o friccionales y similares |
| MX588A MX161666A (es) | 1978-12-13 | 1979-12-13 | Proceso para la fabricacion de un material laminado de apoyo |
| FR7930619A FR2443926A1 (fr) | 1978-12-13 | 1979-12-13 | Materiau stratifie de glissement ou de frottement et procede pour sa fabrication |
| US06/312,110 US4404263A (en) | 1978-12-13 | 1981-10-16 | Laminated bearing material and process for making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2853724A DE2853724C3 (de) | 1978-12-13 | 1978-12-13 | Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2853724A1 DE2853724A1 (de) | 1980-06-19 |
| DE2853724B2 DE2853724B2 (de) | 1980-11-13 |
| DE2853724C3 true DE2853724C3 (de) | 1981-07-16 |
Family
ID=6057000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2853724A Expired DE2853724C3 (de) | 1978-12-13 | 1978-12-13 | Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5581147A (de) |
| DE (1) | DE2853724C3 (de) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3606529A1 (de) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | Glyco Metall Werke | Verfahren zur herstellung von schichtwerkstoff oder schichtwerkstuecken durch aufdampfen mindestens eines metallischen werkstoffes auf ein metallisches substrat |
| DE3629451A1 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-21 | Balzers Hochvakuum | Verbundwerkstoff mit mindestens einer durch kathodenzerstaeubung (sputtering) aufgebrachten gleitschicht, verfahren zu seiner herstellung und verwendung derselben |
| EP0288677A1 (de) * | 1987-04-30 | 1988-11-02 | Balzers Aktiengesellschaft | Bauteil, insbesondere Maschinenelement |
| AT391106B (de) * | 1986-01-20 | 1990-08-27 | Glyco Metall Werke | Schichtverbundwerkstoff mit diffusionssperr- schicht, insbesondere fuer gleit- und reibelemente,sowie verfahren zu seiner herstellung |
| DE4027362A1 (de) * | 1989-09-28 | 1991-04-11 | Daido Metal Co Ltd | Verfahren zum herstellen eines gleitlagers |
| DE19525330A1 (de) * | 1995-07-12 | 1997-01-16 | Glyco Metall Werke | Schichtwerkstoff |
| DE19514835C1 (de) * | 1995-04-21 | 1997-01-23 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung gleitflächenseitig konkav gekrümmter Gleitelemente |
| EP0571481B2 (de) † | 1991-02-20 | 2004-09-29 | Dana Corporation | Lager |
| DE102005006719A1 (de) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Ks Gleitlager Gmbh | Pleuellagerschale oder -buchse oder Hauptlagerschale bei Verbrennungsmotoren |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5893837A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-03 | Toyota Motor Corp | 複合材料及びその製造方法 |
| JPS5954817A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-29 | Taiho Kogyo Co Ltd | 軸受の製造方法 |
| JPH0662978B2 (ja) * | 1985-08-16 | 1994-08-17 | 日本電信電話株式会社 | 固体潤滑膜の作製方法 |
| DE3601439C1 (de) * | 1986-01-20 | 1987-04-09 | Glyco Metall Werke | Schichtverbundwerkstoff,insbesondere fuer Gleit- und Reibelemente,sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| JPS62177170A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 含フツ素系高分子潤滑膜 |
| DE3640767A1 (de) * | 1986-10-30 | 1988-05-05 | Kolbenschmidt Ag | Lagerung |
| ATE80671T1 (de) * | 1986-12-23 | 1992-10-15 | Balzers Hochvakuum | Verbundwerkstoff mit einer durch kathodenzerstaeubung aufgebrachten gleitschicht. |
| AT389356B (de) * | 1987-07-24 | 1989-11-27 | Miba Gleitlager Ag | Hochbelastbares gleitlager |
| JP2708834B2 (ja) * | 1988-01-04 | 1998-02-04 | 花王株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| AT414128B (de) † | 2004-08-03 | 2006-09-15 | Miba Gleitlager Gmbh | Aluminiumlegierung für tribologisch beanspruchte flächen |
| GB0421566D0 (en) * | 2004-09-29 | 2004-10-27 | Dana Corp | Bearing materials and method for the production thereof |
| DE102009001495A1 (de) * | 2009-03-11 | 2010-09-23 | Federal-Mogul Deva Gmbh | Gleitstopfen und Gleitelement |
| TWI482301B (zh) * | 2009-03-30 | 2015-04-21 | Fujifilm Corp | 光電轉換裝置及其製造方法、太陽電池以及靶材 |
| ITBG20120023A1 (it) * | 2012-05-08 | 2013-11-09 | Technymon Srl | Composizione e metodo per l'ottenimento di un cuscinetto a strisciamento multistrato |
| AT517717B1 (de) * | 2016-01-28 | 2017-04-15 | Miba Gleitlager Austria Gmbh | Verfahren zur Abscheidung einer Schicht auf einem Gleitlagerelementrohling |
| CN106838065B (zh) * | 2017-04-17 | 2019-02-05 | 湖南世鑫新材料有限公司 | 一种高速列车制动盘及制备方法和应用 |
-
1978
- 1978-12-13 DE DE2853724A patent/DE2853724C3/de not_active Expired
-
1979
- 1979-12-13 JP JP16088779A patent/JPS5581147A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT391106B (de) * | 1986-01-20 | 1990-08-27 | Glyco Metall Werke | Schichtverbundwerkstoff mit diffusionssperr- schicht, insbesondere fuer gleit- und reibelemente,sowie verfahren zu seiner herstellung |
| DE3606529A1 (de) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | Glyco Metall Werke | Verfahren zur herstellung von schichtwerkstoff oder schichtwerkstuecken durch aufdampfen mindestens eines metallischen werkstoffes auf ein metallisches substrat |
| DE3629451A1 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-21 | Balzers Hochvakuum | Verbundwerkstoff mit mindestens einer durch kathodenzerstaeubung (sputtering) aufgebrachten gleitschicht, verfahren zu seiner herstellung und verwendung derselben |
| EP0288677A1 (de) * | 1987-04-30 | 1988-11-02 | Balzers Aktiengesellschaft | Bauteil, insbesondere Maschinenelement |
| DE4027362A1 (de) * | 1989-09-28 | 1991-04-11 | Daido Metal Co Ltd | Verfahren zum herstellen eines gleitlagers |
| EP0571481B2 (de) † | 1991-02-20 | 2004-09-29 | Dana Corporation | Lager |
| DE19514835C1 (de) * | 1995-04-21 | 1997-01-23 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung gleitflächenseitig konkav gekrümmter Gleitelemente |
| DE19525330A1 (de) * | 1995-07-12 | 1997-01-16 | Glyco Metall Werke | Schichtwerkstoff |
| DE19525330C2 (de) * | 1995-07-12 | 1998-07-09 | Glyco Metall Werke | Schichtwerkstoff |
| DE102005006719A1 (de) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Ks Gleitlager Gmbh | Pleuellagerschale oder -buchse oder Hauptlagerschale bei Verbrennungsmotoren |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6351865B2 (de) | 1988-10-17 |
| JPS5581147A (en) | 1980-06-18 |
| DE2853724B2 (de) | 1980-11-13 |
| DE2853724A1 (de) | 1980-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2853724C3 (de) | Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE1775322C2 (de) | Mehrschichtiges Lagermaterial, dessen Vormaterial und Verfahren zur Herstellung des Vormaterials | |
| EP0256226B1 (de) | Verbundwerkstoff mit mindenstens einer durch Kathodenzerstäubung (Sputtering) aufgebrachten Gleitsischt, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung desselben | |
| AT411229B (de) | Schichtverbundwerkstoff für gleitelemente und verfahren zu seiner herstellung | |
| EP0270670B1 (de) | Lagermetallschicht und verfahren zu deren herstellung | |
| DE4106001C2 (de) | Gleit- bzw. Schiebematerial und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE2625212A1 (de) | Verfahren zur herstellung von gesinterten formkoerpern | |
| DE4308371C2 (de) | Verschleißbeständige Legierung eines Gleitmaterials | |
| DE2540542A1 (de) | Gusserzeugnis und verfahren zu dessen herstellung | |
| WO2006120016A1 (de) | Gleitlagerverbundwerkstoff, verwendung und herstellungsverfahren | |
| DE3881979T2 (de) | Legiertes Stahlpulver für Pulvermetallurgische Verfahren. | |
| DE3137752C2 (de) | ||
| DE102005023308B4 (de) | Gleitlagerverbundwerkstoff, Verwendung und Herstellungsverfahren | |
| DE102006031043A1 (de) | Mit Lagermaterial beschichtetes Gleitelement und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE8717379U1 (de) | Gleitelement | |
| DE2201515B2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer bei hohen Temperaturen verschleißfesten Sinterlegierungen | |
| DE2919478A1 (de) | Kupfer-zink-legierung und ihre verwendung | |
| DE3730082C2 (de) | ||
| DE3519452C2 (de) | Schichtwerkstoff für Gleitlagerelemente mit Antifriktionsschicht aus einem Lagerwerkstoff auf Aluminiumbasis | |
| DE3444214A1 (de) | Gegenstand mit einem gussmetallteil und einem gesinterten, metallischen teil, sowie verfahren zu dessen herstellung | |
| DE4443375A1 (de) | Kupfer-Blei-Legierungs-Lager | |
| DE2038929B2 (de) | Kontakt für eine Schaltvorrichtung der Nachrichtentechnik | |
| EP0265937A2 (de) | Gleitlagerung | |
| DE1817038C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Materials für Gleitlager | |
| WO2017127858A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines gleitlagerelementes |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OAP | Request for examination filed | ||
| OD | Request for examination | ||
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: GLYCO AG, 6200 WIESBADEN, DE |
|
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: GLYCO-METALL-WERKE GLYCO B.V. & CO KG, 6200 WIESBA |