JP2624581B2 - 光ファイバとその製造方法、および光電子パッケージ - Google Patents
光ファイバとその製造方法、および光電子パッケージInfo
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/10—Non-chemical treatment
- C03B37/16—Cutting or severing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C25/66—Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment
- C03C25/68—Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment by etching
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/245—Removing protective coverings of light guides before coupling
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- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ化された端面を
有する光ファイバを作る技術に関し、特に、所望の形の
レンズを形成するためにウエット・ケミカル・エッチン
グ処理を利用するファイバ・レンズ化技術に関する。
有する光ファイバを作る技術に関し、特に、所望の形の
レンズを形成するためにウエット・ケミカル・エッチン
グ処理を利用するファイバ・レンズ化技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】ほとんどの光通信システムにおいて、光
ファイバと素子（例えば、レーザ、ＬＥＤ、フォトダイ
オード、または他の光ファイバ）との間で光波信号を結
合する必要がある。ごく普通の装置では、信号をファイ
バのコア領域に結合したり、ファイバのコア領域から信
号を結合するために、ファイバの前の光路にバルク形式
の個別のレンズが挿入される。これらの構造には、部品
の配列、個別の光学部品の大きさ、信号の損失、全体的
な費用などについて問題がある。ファイバの端面に個別
のレンズ要素を直接（例えば、エポキシ化して）取り付
けるという部分的な解決策が開発された。この方法によ
って、信号の損失と構造の全体的な複雑さは軽減されて
も、ファイバへのレンズのエッチングに伴う処理は、時
間がかかり、不要に費用を増加させる可能性もある。さ
らに、長期間になると、粘着性がなくなり、レンズが、
ずれたり、ファイバから完全に脱落することもある。
ファイバと素子（例えば、レーザ、ＬＥＤ、フォトダイ
オード、または他の光ファイバ）との間で光波信号を結
合する必要がある。ごく普通の装置では、信号をファイ
バのコア領域に結合したり、ファイバのコア領域から信
号を結合するために、ファイバの前の光路にバルク形式
の個別のレンズが挿入される。これらの構造には、部品
の配列、個別の光学部品の大きさ、信号の損失、全体的
な費用などについて問題がある。ファイバの端面に個別
のレンズ要素を直接（例えば、エポキシ化して）取り付
けるという部分的な解決策が開発された。この方法によ
って、信号の損失と構造の全体的な複雑さは軽減されて
も、ファイバへのレンズのエッチングに伴う処理は、時
間がかかり、不要に費用を増加させる可能性もある。さ
らに、長期間になると、粘着性がなくなり、レンズが、
ずれたり、ファイバから完全に脱落することもある。
【０００３】エポキシ化レンズ法に対する１つの代替方
法は、次のような認識に基づく。即ち、ファイバの形成
に使用される別個にドープされたガラス材料は、フッ化
水素酸および緩衝処理をしたフッ化水素酸のような共通
のフッ素ベースのエッチング液にさらすと、異なる速度
でエッチングされる。種々のエッチング・パラメータ
（例えば、強さ、時間、温度）を制御することにより、
例えば、クラッド層をコアに対して優先的にエッチング
（により除去）し、露出した隆起部を残すことができる
ことが発見された。「エレクトロニック・レターズ（El
ectronic Letters）」（１９８１年）、１７（１２）、
p.４００のピー・カイヤン（P.Kayoun）他によれば、こ
のような「隆起部は、レンズのような性質を持った位相
回折体として作用する」（ｐ．４０１、１段）。しか
し、そのレンズは、中央に窪みがあり、わずか３５％の
結合効率しか示さなかった。また、ピー・カイヤンの米
国特許第4,406,732号も参照のこと。両参照文献におい
て、純粋なシリカ・コアとホウ素をドープしたクラッド
層とを有するＭＣＶＤシングル・モード・ファイバ上に
レンズを形成するために４０％の濃度のフッ化水素酸が
使用された。「エレクトロニック・レターズ」（１９８
２年）、１８（２）、p.７１のカワチ他の記述によれ
ば、窪みのために高品質の微小レンズを得られないこと
が分かった。彼らの説明では、ゲルマニウムをドープし
たコアと純粋なシリカのクラッド層とを有するＶＡＤシ
ングル・モード・ファイバの端面にメサ状部分または
「円錐体」（図１）を生成するために緩衝処理をしたフ
ッ化水素酸を用いる。メサ状部分または「円錐体」は、
火仕上げ（fire polishing）によって丸い形の微小レン
ズへと変わる（p.７１、２段）が、結合効率または再生
産性については報告されていない。
法は、次のような認識に基づく。即ち、ファイバの形成
に使用される別個にドープされたガラス材料は、フッ化
水素酸および緩衝処理をしたフッ化水素酸のような共通
のフッ素ベースのエッチング液にさらすと、異なる速度
でエッチングされる。種々のエッチング・パラメータ
（例えば、強さ、時間、温度）を制御することにより、
例えば、クラッド層をコアに対して優先的にエッチング
（により除去）し、露出した隆起部を残すことができる
ことが発見された。「エレクトロニック・レターズ（El
ectronic Letters）」（１９８１年）、１７（１２）、
p.４００のピー・カイヤン（P.Kayoun）他によれば、こ
のような「隆起部は、レンズのような性質を持った位相
回折体として作用する」（ｐ．４０１、１段）。しか
し、そのレンズは、中央に窪みがあり、わずか３５％の
結合効率しか示さなかった。また、ピー・カイヤンの米
国特許第4,406,732号も参照のこと。両参照文献におい
て、純粋なシリカ・コアとホウ素をドープしたクラッド
層とを有するＭＣＶＤシングル・モード・ファイバ上に
レンズを形成するために４０％の濃度のフッ化水素酸が
使用された。「エレクトロニック・レターズ」（１９８
２年）、１８（２）、p.７１のカワチ他の記述によれ
ば、窪みのために高品質の微小レンズを得られないこと
が分かった。彼らの説明では、ゲルマニウムをドープし
たコアと純粋なシリカのクラッド層とを有するＶＡＤシ
ングル・モード・ファイバの端面にメサ状部分または
「円錐体」（図１）を生成するために緩衝処理をしたフ
ッ化水素酸を用いる。メサ状部分または「円錐体」は、
火仕上げ（fire polishing）によって丸い形の微小レン
ズへと変わる（p.７１、２段）が、結合効率または再生
産性については報告されていない。
【０００４】以上述べたようなエッチング／仕上げ法で
は、ファイバ内のコアの位置の片寄りとは無関係に、レ
ンズとコアが自然に整列する。さらに、エッチング直後
のレンズの形は、あまり重要ではない。なぜなら、その
形はどうあれ、次の火仕上げの間の表面張力作用によっ
て、形が球状に変わるからである。
は、ファイバ内のコアの位置の片寄りとは無関係に、レ
ンズとコアが自然に整列する。さらに、エッチング直後
のレンズの形は、あまり重要ではない。なぜなら、その
形はどうあれ、次の火仕上げの間の表面張力作用によっ
て、形が球状に変わるからである。
【０００５】このファイバ・レンズを形成するケミカル
・エッチング法は、実行可能な代案ではあるが、その比
較的低い結合効率（約４０〜５０％のη）および火仕上
げ処理の慎重な制御の必要性を含め、問題が幾つか残さ
れている。さらに、火仕上げは、処理の他の面（例え
ば、ファイバ上にプラスチックのコーティングやエポキ
シ樹脂があったり、処理するべきファイバの露出部分が
短く僅かしか利用できないなど）と両立しない場合が多
い。
・エッチング法は、実行可能な代案ではあるが、その比
較的低い結合効率（約４０〜５０％のη）および火仕上
げ処理の慎重な制御の必要性を含め、問題が幾つか残さ
れている。さらに、火仕上げは、処理の他の面（例え
ば、ファイバ上にプラスチックのコーティングやエポキ
シ樹脂があったり、処理するべきファイバの露出部分が
短く僅かしか利用できないなど）と両立しない場合が多
い。
【０００６】さらに最近では、「光および量子の電子工
学（Optical and Quantum Electronics）」（１９８８
年）２０、p.４９３においてエィチ・ガフォウリ=シェ
ラッツ（H.Ghafoari-Sheraz）は、ゲルマニウムをドー
プしたコアと純粋なシリカクラッド層とを有するアルミ
ニウム被覆したＶＡＤシングル・モード・ファイバの端
面上に円錐状の微小レンズを作るために、緩衝処理した
フッ化水素酸を用いた。約３ｄＢの最小結合損失が報告
されたが、これは、５０％を下回る結合効率に相当す
る。その著者は、それらの実験において火仕上げを用い
なかったが、球状の微小レンズを形成するためには、そ
の可能性もあることを明白に認めている。
学（Optical and Quantum Electronics）」（１９８８
年）２０、p.４９３においてエィチ・ガフォウリ=シェ
ラッツ（H.Ghafoari-Sheraz）は、ゲルマニウムをドー
プしたコアと純粋なシリカクラッド層とを有するアルミ
ニウム被覆したＶＡＤシングル・モード・ファイバの端
面上に円錐状の微小レンズを作るために、緩衝処理した
フッ化水素酸を用いた。約３ｄＢの最小結合損失が報告
されたが、これは、５０％を下回る結合効率に相当す
る。その著者は、それらの実験において火仕上げを用い
なかったが、球状の微小レンズを形成するためには、そ
の可能性もあることを明白に認めている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従って、従来の技術に
は、微妙な製造作業を含まず、火仕上げを必要とせず、
さらに５０％を越える結合効率を再現性を持って達成で
きるレンズ形成方法が必要である。
は、微妙な製造作業を含まず、火仕上げを必要とせず、
さらに５０％を越える結合効率を再現性を持って達成で
きるレンズ形成方法が必要である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、本発明の
レンズ化された端面を有する光ファイバの製造方法、特
に、レンズに所望の曲率を形成するためにウエット・ケ
ミカル・エッチング処理を利用するファイバ・レンズ化
方法によって、解決することができる。この他にも、本
発明によれば、エッチング段階のパラメータおよびファ
イバのドーピングプロフィールによって別個の所望のレ
ンズ形状を作ること、ファイバの外径を計ることによっ
て端点の検出を行うこと、および電気メッキ処理により
ファイバを金属化することも可能である。
レンズ化された端面を有する光ファイバの製造方法、特
に、レンズに所望の曲率を形成するためにウエット・ケ
ミカル・エッチング処理を利用するファイバ・レンズ化
方法によって、解決することができる。この他にも、本
発明によれば、エッチング段階のパラメータおよびファ
イバのドーピングプロフィールによって別個の所望のレ
ンズ形状を作ること、ファイバの外径を計ることによっ
て端点の検出を行うこと、および電気メッキ処理により
ファイバを金属化することも可能である。
【０００９】一般的に、エッチング液にさらした場合、
第１および第２の速度で腐食する第１および第２の部分
を有し、それらの部分を前記エッチング液と同時に処理
剤にもさらすことによりエッチング速度の少なくとも一
方を他方に比べて変化させることを特徴とする光ファイ
バを与えることである。それらの部分は、例えばコアと
クラッド層のようなファイバ端面の２つの領域である。
具体的には、処理剤は、それ自体はファイバを実質的に
は腐食しない酸（例えば、酢酸塩ベースの酸またはクエ
ン酸塩ベースの酸）である。本発明の特徴は、エッチン
グ液と処理剤との組み合わせによって、異なる組成の種
々のファイバからレンズの形成を可能にする新たな自由
度が与えられることである。
第１および第２の速度で腐食する第１および第２の部分
を有し、それらの部分を前記エッチング液と同時に処理
剤にもさらすことによりエッチング速度の少なくとも一
方を他方に比べて変化させることを特徴とする光ファイ
バを与えることである。それらの部分は、例えばコアと
クラッド層のようなファイバ端面の２つの領域である。
具体的には、処理剤は、それ自体はファイバを実質的に
は腐食しない酸（例えば、酢酸塩ベースの酸またはクエ
ン酸塩ベースの酸）である。本発明の特徴は、エッチン
グ液と処理剤との組み合わせによって、異なる組成の種
々のファイバからレンズの形成を可能にする新たな自由
度が与えられることである。
【００１０】そのようなレンズを形成できることは、不
揃いにドープされたコアを有するファイバ、これは主要
なファイバ製造方法（ＣＶＤおよびＭＣＶＤ）による疎
漏ではあるがありふれた加工物であるが、このようなフ
ァイバにレンズを作る場合は特に重要である。既に述べ
たように、そのようなファイバの端面に形成されたレン
ズは、一般に円錐形であるが、コアの中心部分は周囲の
部分に比べて腐食が速すぎるため、円錐部分の頂点は、
そこに出来る尖頭（ＣＵＳＰ）または窪み（図１）によ
って消し去られる。本発明の一実施例によれば、エッチ
ング液と同時に処理剤にファイバをさらすことによっ
て、中央部分のエッチング速度が周辺部分と比較して変
化するが、これによって中央部分のエッチング速度は低
下する。
揃いにドープされたコアを有するファイバ、これは主要
なファイバ製造方法（ＣＶＤおよびＭＣＶＤ）による疎
漏ではあるがありふれた加工物であるが、このようなフ
ァイバにレンズを作る場合は特に重要である。既に述べ
たように、そのようなファイバの端面に形成されたレン
ズは、一般に円錐形であるが、コアの中心部分は周囲の
部分に比べて腐食が速すぎるため、円錐部分の頂点は、
そこに出来る尖頭（ＣＵＳＰ）または窪み（図１）によ
って消し去られる。本発明の一実施例によれば、エッチ
ング液と同時に処理剤にファイバをさらすことによっ
て、中央部分のエッチング速度が周辺部分と比較して変
化するが、これによって中央部分のエッチング速度は低
下する。
【００１１】典型的な実施例において、エッチング液
は、フッ素ベースのエッチング液（例、緩衝処理したフ
ッ化水素酸）からなり、処理剤は、酸（例、酢酸または
クエン酸）からなる。シングル・モード・ファイバにつ
いては、このエッチング方法により、錐角θ1を有する
第１の円錐の錐台、および前記錐台上にありθ2＜θ1で
あるような錐角θ2を有する第２の円錐からなる独特な
複合（合成）レンズの形が都合良く生成される。このレ
ンズの形によって、約８０％の平均結合効率がもたらさ
れ、本発明の処理によって、結合効率の極端に狭い確率
分布（即ち、±２％を下回る標準偏差）が実現した。こ
れらの特性は、エッチング・パラメータ（例、時間、温
度、濃度）の選択における相当な柔軟性と共に、高度な
製造可能性のある処理をすべて示している。
は、フッ素ベースのエッチング液（例、緩衝処理したフ
ッ化水素酸）からなり、処理剤は、酸（例、酢酸または
クエン酸）からなる。シングル・モード・ファイバにつ
いては、このエッチング方法により、錐角θ1を有する
第１の円錐の錐台、および前記錐台上にありθ2＜θ1で
あるような錐角θ2を有する第２の円錐からなる独特な
複合（合成）レンズの形が都合良く生成される。このレ
ンズの形によって、約８０％の平均結合効率がもたらさ
れ、本発明の処理によって、結合効率の極端に狭い確率
分布（即ち、±２％を下回る標準偏差）が実現した。こ
れらの特性は、エッチング・パラメータ（例、時間、温
度、濃度）の選択における相当な柔軟性と共に、高度な
製造可能性のある処理をすべて示している。
【００１２】円錐という言葉は、３角形の断面を暗示す
るが、実際には、所望により円錐の側面は、幾分（凹ま
たは凸に）湾曲していても良い。このような湾曲は、反
射を減らしたり、結合効率を向上させる上で役立つこと
もある。
るが、実際には、所望により円錐の側面は、幾分（凹ま
たは凸に）湾曲していても良い。このような湾曲は、反
射を減らしたり、結合効率を向上させる上で役立つこと
もある。
【００１３】上述の独特なレンズの形から、本発明のも
う１つの特徴である光電子アセンブリが生まれる。この
光電子アセンブリは、光電子素子（例えば、レーザ、フ
ォトダイオード、または他のファイバ）、この素子に結
合された光ファイバの端部、および前記端部表面に形成
され、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台と前記錐台上
にありθ2＜θ1であるような錐角θ2を有する第２の円
錐とからなることを特徴とする合成レンズからなる。
う１つの特徴である光電子アセンブリが生まれる。この
光電子アセンブリは、光電子素子（例えば、レーザ、フ
ォトダイオード、または他のファイバ）、この素子に結
合された光ファイバの端部、および前記端部表面に形成
され、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台と前記錐台上
にありθ2＜θ1であるような錐角θ2を有する第２の円
錐とからなることを特徴とする合成レンズからなる。
【００１４】製造の点からみた本発明のもう１つの特徴
は、時間を計ったり、レンズの形を直接観察したりして
（非常に小さいので、判断上の僅かな誤差でも、レンズ
の形に大きな狂いを生じることがある）、エッチング処
理の終点を監視する必要がないというものである。むし
ろ、終点は、ファイバのはるかに大きな外経（ＯＤ＝ou
tside diameter）を監視することによって決定すること
ができることを発見した。ＯＤは、エッチング処理の間
は徐々に減少するが、これが所定の寸法に達したとき、
エッチングを終了すれば、所望のレンズ形状が得られ
る。
は、時間を計ったり、レンズの形を直接観察したりして
（非常に小さいので、判断上の僅かな誤差でも、レンズ
の形に大きな狂いを生じることがある）、エッチング処
理の終点を監視する必要がないというものである。むし
ろ、終点は、ファイバのはるかに大きな外経（ＯＤ＝ou
tside diameter）を監視することによって決定すること
ができることを発見した。ＯＤは、エッチング処理の間
は徐々に減少するが、これが所定の寸法に達したとき、
エッチングを終了すれば、所望のレンズ形状が得られ
る。
【００１５】レンズ化した光ファイバの表面への金属層
の形成に関する実施例もある。具体的には、ファイバを
エッチング液と比較的高濃度の処理剤との混合液にさら
すことによって、ファイバの外表面につや消し仕上げを
形成する。次に、ファイバを金属で電気メッキするが、
この時、つや消し仕上げは、適当な粘着性を保証するの
に効果がある。そして、ファイバの端を前記のようにレ
ンズ化する。このメッキ処理は、金属を堆積させるため
にファイバ表面への金属セラミックのスパッタリングま
たは焼き付けを用いる従来の技術より、はるかに単純で
費用もかからない。その上、電気メッキは、現在実施さ
れているスパッタリング法より一様な層が出来る。
の形成に関する実施例もある。具体的には、ファイバを
エッチング液と比較的高濃度の処理剤との混合液にさら
すことによって、ファイバの外表面につや消し仕上げを
形成する。次に、ファイバを金属で電気メッキするが、
この時、つや消し仕上げは、適当な粘着性を保証するの
に効果がある。そして、ファイバの端を前記のようにレ
ンズ化する。このメッキ処理は、金属を堆積させるため
にファイバ表面への金属セラミックのスパッタリングま
たは焼き付けを用いる従来の技術より、はるかに単純で
費用もかからない。その上、電気メッキは、現在実施さ
れているスパッタリング法より一様な層が出来る。
【００１６】
【実施例】従来のエッチングされた多くのファイバ・レ
ンズにおける結合効率の問題は、一部には、コアの極中
央の部分に出来る尖頭または窪みに帰する。図１は、レ
ンズ１０の先端に形成されたエッチングによる窪み１２
を例示するシングル・モード・ファイバの端の略図であ
る。光ファイバのプリフォーム（母材）が、チューブの
コラップスによって形成される場合、プリフォームの中
心部分ではドーパント（添加物）濃度がずっと低くなる
（つまり、中央部分は、本質的にドープされていないシ
リカ・ガラスで出来ている）ことが分かった。それか
ら、線引きされたファイバは、同様の特性を有すること
になる。レンズを形成するために、この種のファイバを
従来の緩衝処理された酸化物エッチング液（ＢＯＥ=buf
fered oxide etchant）にさらすと、コアの極中央部分
のドープされていないシリカ材が、コアのドープされて
いる周辺領域よりはるかに速く腐食する。このようにエ
ッチング速度が異なるために、（レンズが形成される）
コアの中央部分に窪みが形成される結果となり、このた
めに、結合効率は比較的低くなる（一般に、およそ５０
％未満）。
ンズにおける結合効率の問題は、一部には、コアの極中
央の部分に出来る尖頭または窪みに帰する。図１は、レ
ンズ１０の先端に形成されたエッチングによる窪み１２
を例示するシングル・モード・ファイバの端の略図であ
る。光ファイバのプリフォーム（母材）が、チューブの
コラップスによって形成される場合、プリフォームの中
心部分ではドーパント（添加物）濃度がずっと低くなる
（つまり、中央部分は、本質的にドープされていないシ
リカ・ガラスで出来ている）ことが分かった。それか
ら、線引きされたファイバは、同様の特性を有すること
になる。レンズを形成するために、この種のファイバを
従来の緩衝処理された酸化物エッチング液（ＢＯＥ=buf
fered oxide etchant）にさらすと、コアの極中央部分
のドープされていないシリカ材が、コアのドープされて
いる周辺領域よりはるかに速く腐食する。このようにエ
ッチング速度が異なるために、（レンズが形成される）
コアの中央部分に窪みが形成される結果となり、このた
めに、結合効率は比較的低くなる（一般に、およそ５０
％未満）。
【００１７】この問題に対する調査により、一般的な解
決方法として、コアの中央部分のエッチング速度を周辺
部分に対し遅くするために、エッチング液に処理剤を添
加する方法があることが分かった。処理剤が、少なくと
もある程度までは中央部分に選択的に固まり、その部分
をエッチング液から覆い隔てて、そのエッチング速度を
下げているものと考えられる。適切な処理剤としては、
それ自体は実質的にファイバを腐食しない酸（例えば、
酢酸またはクエン酸）がある。既に述べたように、処理
剤の存在により、異なる組成の種々のファイバからレン
ズを形作ることを可能とする自由度が加わる。
決方法として、コアの中央部分のエッチング速度を周辺
部分に対し遅くするために、エッチング液に処理剤を添
加する方法があることが分かった。処理剤が、少なくと
もある程度までは中央部分に選択的に固まり、その部分
をエッチング液から覆い隔てて、そのエッチング速度を
下げているものと考えられる。適切な処理剤としては、
それ自体は実質的にファイバを腐食しない酸（例えば、
酢酸またはクエン酸）がある。既に述べたように、処理
剤の存在により、異なる組成の種々のファイバからレン
ズを形作ることを可能とする自由度が加わる。
【００１８】例Ｉ この例により、ＢＯＥ（緩衝処理された酸化物エッチン
グ液）と酢酸との混合液を用いて光ファイバの端部にレ
ンズを形成する方法を説明する。
グ液）と酢酸との混合液を用いて光ファイバの端部にレ
ンズを形成する方法を説明する。
【００１９】ファイバ自体は、８μｍのコアと１２５μ
ｍの外経（ＯＤ）を有する標準の、ステップ・インデッ
クス形のディプレスト（Ｗ型）クラッド層のＭＣＶＤシ
ングル・モード・シリカ・ファイバであった。コアに
は、ゲルマニウムをドープしたので、中央コア領域は、
周辺のコア領域よりドーパント濃度がはるかに低かっ
た。クラッド層は、ＰおよびＦがドープされた内側のク
ラッド層と本質的にドープされていない外側のクラッド
層とを備えていた。
ｍの外経（ＯＤ）を有する標準の、ステップ・インデッ
クス形のディプレスト（Ｗ型）クラッド層のＭＣＶＤシ
ングル・モード・シリカ・ファイバであった。コアに
は、ゲルマニウムをドープしたので、中央コア領域は、
周辺のコア領域よりドーパント濃度がはるかに低かっ
た。クラッド層は、ＰおよびＦがドープされた内側のク
ラッド層と本質的にドープされていない外側のクラッド
層とを備えていた。
【００２０】ファイバの端を平に切り、３：１のＢＯＥ
と９９％の酢酸とを体積で等しい割合で含んだ２０゜Ｃ
の混合液に８０分間浸した。ＢＯＤは、４９％のＨＦと
４０％のＮＨ4Ｆとを体積で１対３の割合で含んでい
る。結果的に、窪みも尖頭も出来なかった。そのかわ
り、エッチング処理によって、図２の略図によって示し
たような２重の円錐型の独特なレンズ２０が生成され
た。レンズ２０は、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台
２２、および前記錐台上に配置されθ2＜θ1（例えば、
θ1＝５０゜、θ2＝２０゜）であるような錐角θ2を
有する第２の円錐からなる。同図のように、第１の円錐
の底面は、その錐台の上部とは同一の広がりを持つが、
これは必然ではない。
と９９％の酢酸とを体積で等しい割合で含んだ２０゜Ｃ
の混合液に８０分間浸した。ＢＯＤは、４９％のＨＦと
４０％のＮＨ4Ｆとを体積で１対３の割合で含んでい
る。結果的に、窪みも尖頭も出来なかった。そのかわ
り、エッチング処理によって、図２の略図によって示し
たような２重の円錐型の独特なレンズ２０が生成され
た。レンズ２０は、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台
２２、および前記錐台上に配置されθ2＜θ1（例えば、
θ1＝５０゜、θ2＝２０゜）であるような錐角θ2を
有する第２の円錐からなる。同図のように、第１の円錐
の底面は、その錐台の上部とは同一の広がりを持つが、
これは必然ではない。
【００２１】その他のＢＯＥ構成（例えば、３：１乃至
７：１）でも匹敵する結果が得られると予想されるが、
その場合は、混合温度、処理剤濃度、またはその両方が
異なるものを必要とする可能性がある。
７：１）でも匹敵する結果が得られると予想されるが、
その場合は、混合温度、処理剤濃度、またはその両方が
異なるものを必要とする可能性がある。
【００２２】約２６００乃至２７００μＷの光エネルギ
ーを発する周知の被覆メサ埋め込みヘテロ接合（ＣＭＢ
Ｈ=covered mesa buried heterostructure）のＩｎＰ／
ＩｎＧａＡｓＰレーザからの１．３μｍの光をレンズを
介してファイバに結合した。このレンズは、従来技術の
火仕上げ処理のようなレンズ整形処理をさらに必要とせ
ず、±２％未満の標準偏差で、約７８％の平均結合効率
を示した。これらの本発明の特徴は、１つの目標が一定
の品質と高収益の製品を与えることであるような製造環
境においては特に重要である。
ーを発する周知の被覆メサ埋め込みヘテロ接合（ＣＭＢ
Ｈ=covered mesa buried heterostructure）のＩｎＰ／
ＩｎＧａＡｓＰレーザからの１．３μｍの光をレンズを
介してファイバに結合した。このレンズは、従来技術の
火仕上げ処理のようなレンズ整形処理をさらに必要とせ
ず、±２％未満の標準偏差で、約７８％の平均結合効率
を示した。これらの本発明の特徴は、１つの目標が一定
の品質と高収益の製品を与えることであるような製造環
境においては特に重要である。
【００２３】さらに詳細には、図３は、本実施例に従っ
て形成された統計的に多数のレンズ化ファイバに対する
結合効率の正規確率のグラフである。このデータは、本
発明のレンズ化ファイバは、一般に、高い結合効率（平
均で７８％）と、締まった確率分布とを有することを示
している。本発明の方法を繰り返して実験を続けた結
果、約８０％という高い平均結合効率と、同様の標準偏
差が得られた。
て形成された統計的に多数のレンズ化ファイバに対する
結合効率の正規確率のグラフである。このデータは、本
発明のレンズ化ファイバは、一般に、高い結合効率（平
均で７８％）と、締まった確率分布とを有することを示
している。本発明の方法を繰り返して実験を続けた結
果、約８０％という高い平均結合効率と、同様の標準偏
差が得られた。
【００２４】例II 例Ｉにおいて説明したようなファイバおよびエッチング
混合液を用いて、複数のファイバに対して、２０゜Ｃに
おいてエッチング時間を７０分から８５分まで変化させ
た。レンズ化された各ファイバに対し、ＣＭＢＨ半導体
レーザに対する結合効率の変化を前記のようにレーザと
ファイバのレンズとの間の軸方向の距離の変化Δｚの関
数として決定するべく、図４に示した種類の曲線が観測
された。レンズ化されたファイバのすべての結合エネル
ギー・データを７０分から８５分のエッチング時間に対
して取ったが、適切なエッチング時間は、使用される特
定のエッチング液の組成によって１５分から１５０分の
範囲に渡る。
混合液を用いて、複数のファイバに対して、２０゜Ｃに
おいてエッチング時間を７０分から８５分まで変化させ
た。レンズ化された各ファイバに対し、ＣＭＢＨ半導体
レーザに対する結合効率の変化を前記のようにレーザと
ファイバのレンズとの間の軸方向の距離の変化Δｚの関
数として決定するべく、図４に示した種類の曲線が観測
された。レンズ化されたファイバのすべての結合エネル
ギー・データを７０分から８５分のエッチング時間に対
して取ったが、適切なエッチング時間は、使用される特
定のエッチング液の組成によって１５分から１５０分の
範囲に渡る。
【００２５】測定で使用される特定のレンズ化ファイバ
によるデータから、約６５％から８０％の最大結合効率
が、約４乃至８μｍのΔｚに対して起こったことが分か
る。
によるデータから、約６５％から８０％の最大結合効率
が、約４乃至８μｍのΔｚに対して起こったことが分か
る。
【００２６】例III 例Ｉにおいて説明したファイバおよび３：１のＢＯＥ比
率を用いて、２０Ｃ゜で９９％の酢酸の体積百分率を４
０％から７５％まで変化させた。約４０乃至５５％の酢
酸の場合、許容可能なレンズを生成するが、約５５％を
越えると、ガラス・ファイバはつやのない仕上がりを呈
するようになることが分かった。
率を用いて、２０Ｃ゜で９９％の酢酸の体積百分率を４
０％から７５％まで変化させた。約４０乃至５５％の酢
酸の場合、許容可能なレンズを生成するが、約５５％を
越えると、ガラス・ファイバはつやのない仕上がりを呈
するようになることが分かった。
【００２７】例IV 例Ｉで述べたようなファイバおよびエッチング液を用い
て、温度を２０から３０゜Ｃの範囲に渡って増加させる
一方、対応するエッチング時間を１５０から１５分の範
囲に渡って減少させた。概して、温度の高い方が、時間
の短い方に対応する。図５に示したように、ファイバの
外径（ＯＤ）のエッチング速度は、約０.１６５μｍ／
分から０.３μｍ／分まで変化した。さらに、最大結合
効率ηmaxは、温度の増加と共に２０゜Ｃで７５％、２
５゜Ｃで７２％、そして３０゜Ｃで６８％と減少した
が、わずか１０゜Ｃの温度変化でエッチング速度が倍に
なったという事実にもかかわらず、ηmaxは、ほぼ同じ
ＯＤ（例えば、１０２μｍ±１μｍ）で起こった。この
データは、本発明の処理の安定性を実証している。つま
り、ファイバのＯＤによって、所望のレンズの形、換言
すれば、最大の結合効率が達成されたことを確実に知る
ことができる。
て、温度を２０から３０゜Ｃの範囲に渡って増加させる
一方、対応するエッチング時間を１５０から１５分の範
囲に渡って減少させた。概して、温度の高い方が、時間
の短い方に対応する。図５に示したように、ファイバの
外径（ＯＤ）のエッチング速度は、約０.１６５μｍ／
分から０.３μｍ／分まで変化した。さらに、最大結合
効率ηmaxは、温度の増加と共に２０゜Ｃで７５％、２
５゜Ｃで７２％、そして３０゜Ｃで６８％と減少した
が、わずか１０゜Ｃの温度変化でエッチング速度が倍に
なったという事実にもかかわらず、ηmaxは、ほぼ同じ
ＯＤ（例えば、１０２μｍ±１μｍ）で起こった。この
データは、本発明の処理の安定性を実証している。つま
り、ファイバのＯＤによって、所望のレンズの形、換言
すれば、最大の結合効率が達成されたことを確実に知る
ことができる。
【００２８】例Ｖ 例Ｉで述べたようなファイバを用いて、次のような条件
の下で酢酸をクエン酸で代用した。即ち、５０ｇのクエ
ン酸結晶と１００ｍｌの水から１００ｍｌの溶液を準備
した。この溶液を３：１ＢＯＥに加えて、５０％のクエ
ン酸と５０％の３：１ＢＯＥの混合液を作った。２０゜
Ｃで７０分間の前記のような実験により、このようにし
て作られたレンズ化ファイバは、同様のレンズ形状を有
し、さらに匹敵する標準偏差で僅かに高い平均結合効率
を有することが実証された。クエン酸は、非常に穏やか
（液面上で蒸気圧が低い）なので、ファイバやエッチン
グ装置のエッチング液の表面上に露出した部分を腐食し
ないという別の利点もある。
の下で酢酸をクエン酸で代用した。即ち、５０ｇのクエ
ン酸結晶と１００ｍｌの水から１００ｍｌの溶液を準備
した。この溶液を３：１ＢＯＥに加えて、５０％のクエ
ン酸と５０％の３：１ＢＯＥの混合液を作った。２０゜
Ｃで７０分間の前記のような実験により、このようにし
て作られたレンズ化ファイバは、同様のレンズ形状を有
し、さらに匹敵する標準偏差で僅かに高い平均結合効率
を有することが実証された。クエン酸は、非常に穏やか
（液面上で蒸気圧が低い）なので、ファイバやエッチン
グ装置のエッチング液の表面上に露出した部分を腐食し
ないという別の利点もある。
【００２９】例VI 例Ｖの手順に従って、例えば１２５ｇのクエン酸と５６
分のエッチング時間、７５ｇのクエン酸と６０分のエッ
チング時間、と言うような異なるクエン酸量と異なるエ
ッチング時間に対して、同様の結果を得た。概して、種
々の異なった種類のファイバについて８０％の結合効率
が得られたので、クエン酸は、処理剤として非常に重要
であることが分かった。
分のエッチング時間、７５ｇのクエン酸と６０分のエッ
チング時間、と言うような異なるクエン酸量と異なるエ
ッチング時間に対して、同様の結果を得た。概して、種
々の異なった種類のファイバについて８０％の結合効率
が得られたので、クエン酸は、処理剤として非常に重要
であることが分かった。
【００３０】本発明のもう１つの特徴は、金属で被覆し
たファイバを開口を通して金属容器に挿入し、そこに半
田で封じ止めるような密閉パッケージ化に関することで
ある。具体的には、前記の例IIIで述べたように酢酸の
濃度が比較的高い３：１ＢＯＥと酢酸との混合液にファ
イバをさらすことによって、ファイバの外表面につや消
し仕上げを形成した。ＮｉおよびＡｕのような金属の層
を堆積させるために、つや消ししたファイバを標準的な
電気メッキ液に浸す。既に述べたように、ファイバの端
にやがてレンズが形成される。金属層は、例えば、半田
付けにより密閉封の形成に使用される。
たファイバを開口を通して金属容器に挿入し、そこに半
田で封じ止めるような密閉パッケージ化に関することで
ある。具体的には、前記の例IIIで述べたように酢酸の
濃度が比較的高い３：１ＢＯＥと酢酸との混合液にファ
イバをさらすことによって、ファイバの外表面につや消
し仕上げを形成した。ＮｉおよびＡｕのような金属の層
を堆積させるために、つや消ししたファイバを標準的な
電気メッキ液に浸す。既に述べたように、ファイバの端
にやがてレンズが形成される。金属層は、例えば、半田
付けにより密閉封の形成に使用される。
【００３１】本発明のもう１つの特徴は、レンズのエッ
チング処理の終点の検出に関することである。仮に、レ
ンズ自体がコアの大きさと同じような寸法（例えば、シ
ングル・モード・ファイバならば１０μｍ未満）であれ
ば、レンズの大きさを直接測定することは極めて信頼性
を欠くことになる。測定における誤差は小さくても、小
さいレンズの大きさと比較すれば大きな割合の誤差とな
るからである。そうする代わりに、ファイバの外側の表
面も、端の面と同時にエッチングされる（図６）のであ
るから、ファイバのＯＤを所望のレンズの形に経験的に
相関させることもできる。従って、所定のＯＤに達した
ときに、エッチングを停止する。特定のＯＤは、レンズ
（例えば、８μｍ）よりはるかに大きいので、この手続
きは、測定における誤差に対して許容度がより高い。
チング処理の終点の検出に関することである。仮に、レ
ンズ自体がコアの大きさと同じような寸法（例えば、シ
ングル・モード・ファイバならば１０μｍ未満）であれ
ば、レンズの大きさを直接測定することは極めて信頼性
を欠くことになる。測定における誤差は小さくても、小
さいレンズの大きさと比較すれば大きな割合の誤差とな
るからである。そうする代わりに、ファイバの外側の表
面も、端の面と同時にエッチングされる（図６）のであ
るから、ファイバのＯＤを所望のレンズの形に経験的に
相関させることもできる。従って、所定のＯＤに達した
ときに、エッチングを停止する。特定のＯＤは、レンズ
（例えば、８μｍ）よりはるかに大きいので、この手続
きは、測定における誤差に対して許容度がより高い。
【００３２】以上の説明は、本発明の原理の応用を説明
するために考え得る特定の実施例を示したもので、この
技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例が考
えられるが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包
含される。特に、先の説明では通常のシングル・モード
・ファイバ上でのレンズ形成に重点を置いたが、マルチ
・モード・ファイバ、分散シフト・ファイバ、または偏
波面保存ファイバにも応用可能である。さらに、当分野
では周知であるが、結合効率と配列の許容度との間には
妥協を要する点がある。つまり、結合効率を高めようと
すると、厳格な配列（小さい許容度）を必要とし、逆に
言えば、配列が厳格なほど結合効率が高まる。言うまで
もなく、配列がより厳格であることは、環境条件（例え
ば、温度変化）が問題となるような場合特にそうである
が、より高度な機械的安定性を与えるように設計された
パッケージを意味する。そのようなパッケージを再生産
できるように製造することは困難であるため、配列と製
造を簡単にする代わりに結合効率をある程度犠牲にする
ことが望ましい場合もある。レンズの形を、従来の技術
の結合効率（例えば、４０乃至５０％）より何れも高く
比較的広い範囲の結合効率（例えば、６５乃至８０％）
で、任意の所定の数に調節できるので、本発明は、前記
のような妥協に特に良く適している。
するために考え得る特定の実施例を示したもので、この
技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例が考
えられるが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包
含される。特に、先の説明では通常のシングル・モード
・ファイバ上でのレンズ形成に重点を置いたが、マルチ
・モード・ファイバ、分散シフト・ファイバ、または偏
波面保存ファイバにも応用可能である。さらに、当分野
では周知であるが、結合効率と配列の許容度との間には
妥協を要する点がある。つまり、結合効率を高めようと
すると、厳格な配列（小さい許容度）を必要とし、逆に
言えば、配列が厳格なほど結合効率が高まる。言うまで
もなく、配列がより厳格であることは、環境条件（例え
ば、温度変化）が問題となるような場合特にそうである
が、より高度な機械的安定性を与えるように設計された
パッケージを意味する。そのようなパッケージを再生産
できるように製造することは困難であるため、配列と製
造を簡単にする代わりに結合効率をある程度犠牲にする
ことが望ましい場合もある。レンズの形を、従来の技術
の結合効率（例えば、４０乃至５０％）より何れも高く
比較的広い範囲の結合効率（例えば、６５乃至８０％）
で、任意の所定の数に調節できるので、本発明は、前記
のような妥協に特に良く適している。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、比
較的高い結合効率を選択することができ、しかも、受け
入れ易い許容度でパッケージを設計することができる。
この利点をさらに高めるのは、本発明によれば、選択さ
れた特定の結合効率に関わらず狭い範囲の統計分布を有
するレンズ化ファイバが生成されると言うことである。
較的高い結合効率を選択することができ、しかも、受け
入れ易い許容度でパッケージを設計することができる。
この利点をさらに高めるのは、本発明によれば、選択さ
れた特定の結合効率に関わらず狭い範囲の統計分布を有
するレンズ化ファイバが生成されると言うことである。
【図１】中央に尖頭または窪みを有する従来の技術でエ
ッチングされたファイバ・レンズを例示する略図であ
る。
ッチングされたファイバ・レンズを例示する略図であ
る。
【図２】本発明の一実施例に従ってエッチングされ形成
されたレンズを例示する略図である。
されたレンズを例示する略図である。
【図３】３：１のＢＯＥと酢酸の混合液を用いた本発明
の一実施例に従って形成されたレンズ化ファイバの結合
効率の正規確率の点を例示するグラフである。
の一実施例に従って形成されたレンズ化ファイバの結合
効率の正規確率の点を例示するグラフである。
【図４】結合されるエネルギーを、図３に関連して説明
した本発明の実施例に従って作られたレンズ化したファ
イバと光源との間の分離の変化（Δｚ）の関数として、
例示したグラフである。
した本発明の実施例に従って作られたレンズ化したファ
イバと光源との間の分離の変化（Δｚ）の関数として、
例示したグラフである。
【図５】ファイバの外経（ＯＤ）のエッチング速度が温
度と共にどのように変化するかを例示したグラフであ
る。
度と共にどのように変化するかを例示したグラフであ
る。
【図６】エッチング過程でファイバのＯＤが減少すると
共に最大の結合効率ηmaxがどのように変化するかを例
示したグラフである。従って、このグラフによって、η
ma xとエッチング時間とが相互に関係付けられる。
共に最大の結合効率ηmaxがどのように変化するかを例
示したグラフである。従って、このグラフによって、η
ma xとエッチング時間とが相互に関係付けられる。
１０ 従来のレンズ １２ ＣＵＳＰ ２０ 本発明のレンズ ２２ 錐台（第１の円錐） ２４ 第２の円錐
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 バートランド ハロルド ジョンソン アメリカ合衆国 07974 ニュージャー ジィ、マレー ヒル、ポッサム ウェイ 60 (56)参考文献 特開 平３−189607（ＪＰ，Ａ)
Claims (16)
- 【請求項１】 ａ）エッチング液にさらされると第１お
よび第２の速度でそれぞれエッチングされる、第１およ
び第２の部分を有する光ファイバを与えるステップと、 ｂ）前記第１および第２の部分を前記エッチング液と同
時に処理剤にさらすステップと、からなり、 これにより前記エッチング速度の少なくとも一方を他方
と相対的に変化させる、 ことを特徴とする光ファイバの製造方法。 - 【請求項２】 前記第１の部分が前記ファイバのコアの
中央部分（２４）からなり、前記第２の部分が前記コア
の周辺部分（２２）からなることを特徴とする請求項１
の製造方法。 - 【請求項３】 前記コアの前記中央部分が、前記周辺部
分より低いドーピング濃度を有することを特徴とする請
求項２の製造方法。 - 【請求項４】 前記中央部分を前記エッチング液にさら
した場合に前記周辺部分より速い速度で腐食されて、前
記レンズの中央に窪み（１２）を形成することになるよ
うな前記ファイバの端面にレンズを形成する場合におい
て、 前記中央部分を前記処理剤にさらすことにより、前記中
央部分のエッチング速度が減少することになって前記窪
みを消滅させることを特徴とする請求項３の製造方法。 - 【請求項５】 前記ファイバが、シングル・モード・フ
ァイバからなることを特徴とする請求項１乃至４のいず
れかの製造方法。 - 【請求項６】 前記処理剤が、それ自体は前記ファイバ
を実質的に腐食しない酸からなることを特徴とする請求
項１乃至４のいずれかの製造方法。 - 【請求項７】 前記エッチング液が、フッ素ベースのエ
ッチング液からなり、前記処理剤が、酢酸ベースの酸ま
たはクエン酸ベースの酸からなることを特徴とする請求
項１乃至４のいずれかの製造方法。 - 【請求項８】 前記エッチング液が、Ｈ2Ｏ、ＮＨ4Ｆお
よびＨＦからなり、 前記処理剤が、酢酸からなることを特徴とする請求項７
の製造方法。 - 【請求項９】 前記エッチング液が、Ｈ2Ｏ、ＮＨ4Ｆお
よびＨＦからなり、 前記処理剤が、クエン酸からなることを特徴とする請求
項７の製造方法。 - 【請求項１０】 ａ）前記光ファイバが、ドープされた
コア領域、ドープされた内側のクラッド層、およびドー
プされていない外側のクラッド層とを備え、 ｂ）前記ファイバの端部が、緩衝処理されたフッ化水素
酸と、並びに酢酸およびクエン酸からなるグループから
選択される処理剤とからなる混合液にさらされ、 ｃ）前記エッチングが、前記コア領域と前記クラッド層
とを腐食して前記コア領域の上にレンズの形を形成する
に十分な所定の期間に渡り継続することを特徴とする請
求項１の製造方法。 - 【請求項１１】 光電子素子と、 前記素子に結合される端部を有する光ファイバであっ
て、前記端部が複合レンズを備えることとからなり、さ
らに、 この複合レンズが、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台
と、前記錐台上にあり、θ2＜θ1であるような錐角θ2
を有する第２の円錐とを備えたことを特徴とする光電子
パッケージ。 - 【請求項１２】 前記第２の円錐の底面が、前記錐台の
上部と本質的に同一の広がりを持つことを特徴とする請
求項１１の光電子パッケージ。 - 【請求項１３】 前記ファイバのコアが、中央部分と周
辺部分とを有し、前記中央部分が、前記周辺部分より、
低濃度でドープされることを特徴とする請求項１１の光
電子パッケージ。 - 【請求項１４】 端部を有する光ファイバにおいて、 前記端部が、複合レンズを備え、 この複合レンズが、錐角θ1を有する第１の円錐の錐台
と、前記錐台上にあり、θ2＜θ1であるような錐角θ2
を有する第２の円錐とを備えたことを特徴とする光ファ
イバ。 - 【請求項１５】 前記第２の円錐の底面が、前記錐台の
上部と本質的に同一の広がりを持つことを特徴とする請
求項１４の光ファイバ。 - 【請求項１６】 前記ファイバのコアが、中央部分と周
辺部分とを有し、前記中央部分が、前記周辺部分より、
低濃度でドープされることを特徴とする請求項１４の光
ファイバ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US486630 | 1983-04-20 | ||
| US07/486,630 US5101457A (en) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Optical fiber with an integral lens at its end portion |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333234A JPH05333234A (ja) | 1993-12-17 |
| JP2624581B2 true JP2624581B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=23932630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3042350A Expired - Lifetime JP2624581B2 (ja) | 1990-02-28 | 1991-02-15 | 光ファイバとその製造方法、および光電子パッケージ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5101457A (ja) |
| EP (2) | EP0722105B1 (ja) |
| JP (1) | JP2624581B2 (ja) |
| KR (1) | KR940000721B1 (ja) |
| DE (2) | DE69132602T2 (ja) |
| HK (1) | HK178796A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111650700A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-11 | 上海交通大学 | 一种光芯片接口封装结构及方法 |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP3307370B2 (ja) | 1999-07-16 | 2002-07-24 | 日本電気株式会社 | 半導体製造装置用治具及びその使用方法 |
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| JP4367816B2 (ja) * | 2000-05-19 | 2009-11-18 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスの表面処理方法 |
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