JP2617001B2 - ダイシングマシン - Google Patents
ダイシングマシンInfo
- Publication number
- JP2617001B2 JP2617001B2 JP1265784A JP26578489A JP2617001B2 JP 2617001 B2 JP2617001 B2 JP 2617001B2 JP 1265784 A JP1265784 A JP 1265784A JP 26578489 A JP26578489 A JP 26578489A JP 2617001 B2 JP2617001 B2 JP 2617001B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- wafer
- air
- cover
- dicing machine
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、顕微鏡でアライメントされた切断線に沿っ
てウエハを切断するダイシングマシンに係り、特にウエ
ハの切断時に、顕微鏡の周辺の雰囲気が冷却水の散乱に
よるミストとウエハ切削粉によるダストで満たされるダ
イシングマシンに関する。
てウエハを切断するダイシングマシンに係り、特にウエ
ハの切断時に、顕微鏡の周辺の雰囲気が冷却水の散乱に
よるミストとウエハ切削粉によるダストで満たされるダ
イシングマシンに関する。
ダイシングマシンの顕微鏡はミスト、ダスト等を高濃
度に含有する雰囲気内で用いられる。
度に含有する雰囲気内で用いられる。
即ち、ダイシングマシンは、顕微鏡を用いてウエハの
切断線をアライメントした後、回転砥石で前記切断線を
切断する。この際、回転砥石を冷却する為に、冷却水噴
出装置から回転砥石に冷却水を噴き付け、回転砥石及び
ウエハを冷却する。この時、顕微鏡の周辺は、前記冷却
水の散乱によるミストとウエハ切削粉によるダストで満
たされる。
切断線をアライメントした後、回転砥石で前記切断線を
切断する。この際、回転砥石を冷却する為に、冷却水噴
出装置から回転砥石に冷却水を噴き付け、回転砥石及び
ウエハを冷却する。この時、顕微鏡の周辺は、前記冷却
水の散乱によるミストとウエハ切削粉によるダストで満
たされる。
この為、顕微鏡の近傍には一対のエア噴出ノズルが配
せられ、一方のエア噴出ノズルが顕微鏡の下端、即ち、
対物レンズの取付け位置に向けて設けられて前記対物レ
ンズに付着するミスト、ダストを吹飛ばし、また、他方
のエア噴出ノズルがウエハの表面、即ち顕微鏡の視野内
に向けて設けられ、雰囲気内のミスト、ダストがウエハ
に付着するのを阻止している。
せられ、一方のエア噴出ノズルが顕微鏡の下端、即ち、
対物レンズの取付け位置に向けて設けられて前記対物レ
ンズに付着するミスト、ダストを吹飛ばし、また、他方
のエア噴出ノズルがウエハの表面、即ち顕微鏡の視野内
に向けて設けられ、雰囲気内のミスト、ダストがウエハ
に付着するのを阻止している。
しかしながら、前記エア噴出ノズルを設けても、ノズ
ルから吹出すエアーと共に顕微鏡の周面に付着した水滴
及び切削粉等が視野内に侵入するので、クリーンな視野
を確保することができないという欠点がある。
ルから吹出すエアーと共に顕微鏡の周面に付着した水滴
及び切削粉等が視野内に侵入するので、クリーンな視野
を確保することができないという欠点がある。
また、エア噴出ノズルからエアーを吹出すと、雰囲気
内のミストやダストが乱流して顕微鏡のレンズに付着す
るので、顕微鏡のレンズを定期的に清浄しなければなら
ないという欠点がある。
内のミストやダストが乱流して顕微鏡のレンズに付着す
るので、顕微鏡のレンズを定期的に清浄しなければなら
ないという欠点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、
顕微鏡のクリーンな視野を確保することができるダイシ
ングマシンを提供することを目的とする。
顕微鏡のクリーンな視野を確保することができるダイシ
ングマシンを提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するために、ウエハの切断
線のアライメント用顕微鏡を備え、回転砥石とウエハに
冷却水を噴き付けながら、該回転砥石でウエハを前記切
断線に沿って切断するダイシングマシンにおいて、前記
顕微鏡の対物レンズに筒状のカバーが被せられ、前記カ
バー内にエアーを供給するノズルが設けられると共に、
前記カバーの先端部は先細状に形成されて、該先端部か
らエアーをウエハの表面に向けて吹出すことを特徴とし
ている。
線のアライメント用顕微鏡を備え、回転砥石とウエハに
冷却水を噴き付けながら、該回転砥石でウエハを前記切
断線に沿って切断するダイシングマシンにおいて、前記
顕微鏡の対物レンズに筒状のカバーが被せられ、前記カ
バー内にエアーを供給するノズルが設けられると共に、
前記カバーの先端部は先細状に形成されて、該先端部か
らエアーをウエハの表面に向けて吹出すことを特徴とし
ている。
本発明によれば、カバー内にエアーが吹き出されてい
るので、顕微鏡の対物レンズの表面にミストやダストが
付着するのを防止することができ、また、カバーの先端
部からウエハ表面に吹き出されるエアーによって、顕微
鏡の視野内にミストやダストが侵入するのを防止するこ
とができ、更に、先端部を先細状に形成して先端部から
吹き出されるエアーを勢い良く吹き出すようにしたの
で、顕微鏡が観察しているウエハの表面にミストやダス
トが付着するのを防止することができる。
るので、顕微鏡の対物レンズの表面にミストやダストが
付着するのを防止することができ、また、カバーの先端
部からウエハ表面に吹き出されるエアーによって、顕微
鏡の視野内にミストやダストが侵入するのを防止するこ
とができ、更に、先端部を先細状に形成して先端部から
吹き出されるエアーを勢い良く吹き出すようにしたの
で、顕微鏡が観察しているウエハの表面にミストやダス
トが付着するのを防止することができる。
以下添付図面に従って本発明に係るダイシングマシン
の好ましい実施例を詳説する。
の好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係るダイシングマシンに適用された
ダイシングマシン用顕微鏡の実施例を示す要部斜視図が
示されている。
ダイシングマシン用顕微鏡の実施例を示す要部斜視図が
示されている。
第１図に於いて、顕微鏡10の下方には、ワークテーブ
ル14上にウエハ16が吸着載置されている。前記ワークテ
ーブル14は、Ｘ−Ｙ軸駆動機構20、21によりＸ−Ｙ方向
に駆動し、また回転駆動機構18により所定角度θ゜回転
することができる。
ル14上にウエハ16が吸着載置されている。前記ワークテ
ーブル14は、Ｘ−Ｙ軸駆動機構20、21によりＸ−Ｙ方向
に駆動し、また回転駆動機構18により所定角度θ゜回転
することができる。
第１図中顕微鏡10の先端には筒状のカバー本体22が被
せられ、このカバー本体22の下端は第２図に示すよう
に、コーン状に形成される。また、前記カバー本体22の
コーン状部22bには、Ｌ字形状のノズル24が貫通して取
付けら、このノズル24はパイプ26を介して図示しないエ
ア供給源に連通される。前記ノズル24の吹出し口24aは
顕微鏡10の対物レンズ10aに向けて設置される。これに
よって、吹出し口24aからのエアーが対物レンズ10aに衝
突するので、対物レンズ10aの表面にダスト等が付着さ
れるのを阻止できる。また、前記エアーは、カバー本体
22の内部に形成された先細状のエアー通路を介して、カ
バー本体22の下端に形成された吹出し口22aから第１
図、第２図に示すウエハ16の被検査面に向けて吹出され
る。前記吹出し口22aは、顕微鏡10の対物レンズ10aの視
野を妨げない位置に形成される。
せられ、このカバー本体22の下端は第２図に示すよう
に、コーン状に形成される。また、前記カバー本体22の
コーン状部22bには、Ｌ字形状のノズル24が貫通して取
付けら、このノズル24はパイプ26を介して図示しないエ
ア供給源に連通される。前記ノズル24の吹出し口24aは
顕微鏡10の対物レンズ10aに向けて設置される。これに
よって、吹出し口24aからのエアーが対物レンズ10aに衝
突するので、対物レンズ10aの表面にダスト等が付着さ
れるのを阻止できる。また、前記エアーは、カバー本体
22の内部に形成された先細状のエアー通路を介して、カ
バー本体22の下端に形成された吹出し口22aから第１
図、第２図に示すウエハ16の被検査面に向けて吹出され
る。前記吹出し口22aは、顕微鏡10の対物レンズ10aの視
野を妨げない位置に形成される。
次に、前記の如く構成されたダイシングマシン用顕微
鏡のカバーの作用について説明する。
鏡のカバーの作用について説明する。
エア供給源からエアーをパイプ26、ノズル24を介して
カバー本体22内の対物レンズ10aに向けて吹出し、この
エアーをカバー本体22の吹出し口22aからウエハ16の被
検査面に向けて吹出す。これによって、ウエハ16の被検
査面に付着したミスト、ダストを前記エアーによって顕
微鏡10の視野内から吹飛ばすことができる。
カバー本体22内の対物レンズ10aに向けて吹出し、この
エアーをカバー本体22の吹出し口22aからウエハ16の被
検査面に向けて吹出す。これによって、ウエハ16の被検
査面に付着したミスト、ダストを前記エアーによって顕
微鏡10の視野内から吹飛ばすことができる。
また、第２図中カバー本体22の周面に冷却液28が付着
し、その冷却液28の自重によりカバー本体22の表面を伝
わってウエハ16の被検査面に落下しようとすると、カバ
ー本体22の吹出し口22aから吹出される前記エアーによ
って、第２図に示すように前記視野外に冷却液28を吹飛
ばすことができる。従って、本発明に係る顕微鏡のレン
ズカバーによれば、カバー本体22の吹出し口22aからウ
エハ16の被検査面に向けてエアーを吹出すようにしたの
で、顕微鏡10の視野内にミスト、ダストの侵入を阻止す
ることができる。更に、ウエハ16の被検査面に付着した
ミスト、ダストを吹飛ばすことができるので、顕微鏡10
のクリーンな視野を確保できる。
し、その冷却液28の自重によりカバー本体22の表面を伝
わってウエハ16の被検査面に落下しようとすると、カバ
ー本体22の吹出し口22aから吹出される前記エアーによ
って、第２図に示すように前記視野外に冷却液28を吹飛
ばすことができる。従って、本発明に係る顕微鏡のレン
ズカバーによれば、カバー本体22の吹出し口22aからウ
エハ16の被検査面に向けてエアーを吹出すようにしたの
で、顕微鏡10の視野内にミスト、ダストの侵入を阻止す
ることができる。更に、ウエハ16の被検査面に付着した
ミスト、ダストを吹飛ばすことができるので、顕微鏡10
のクリーンな視野を確保できる。
更に、カバー本体22にテーパ面22bを形成したので、
第２図中顕微鏡10の左側に隣接されたハロゲンランプ30
から照射される斜光30aを遮断することなく、ウエハ16
の被検査面に照射することができる。
第２図中顕微鏡10の左側に隣接されたハロゲンランプ30
から照射される斜光30aを遮断することなく、ウエハ16
の被検査面に照射することができる。
以上説明したように、本発明に係るダイシングマシン
によれば、ダイシングマシン用顕微鏡の対物レンズにカ
バーを被せ、このカバーの開口部から顕微鏡の視野内に
向けてエアーを吹出し、顕微鏡の視野内のミスト、ダス
ト等を視野外に吹飛ばすようにしたので、顕微鏡のクリ
ーンな視野を確保することができる。
によれば、ダイシングマシン用顕微鏡の対物レンズにカ
バーを被せ、このカバーの開口部から顕微鏡の視野内に
向けてエアーを吹出し、顕微鏡の視野内のミスト、ダス
ト等を視野外に吹飛ばすようにしたので、顕微鏡のクリ
ーンな視野を確保することができる。
第１図は本発明に係るダイシングマシンのダイシングマ
シン用顕微鏡の実施例を示す斜視図、第２図は第１図に
於ける要部断面図である。 22……カバー本体、22a……吹出し口、24……ノズル。
シン用顕微鏡の実施例を示す斜視図、第２図は第１図に
於ける要部断面図である。 22……カバー本体、22a……吹出し口、24……ノズル。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハの切断線のアライメント用顕微鏡を
備え、回転砥石とウエハに冷却水を噴き付けながら、該
回転砥石でウエハを前記切断線に沿って切断するダイシ
ングマシンにおいて、 前記顕微鏡の対物レンズに筒状のカバーが被せられ、前
記カバー内にエアーを供給するノズルが設けられると共
に、前記カバーの先端部は先細状に形成されて、該先端
部からエアーをウエハの表面に向けて吹出すことを特徴
とするダイシングマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1265784A JP2617001B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | ダイシングマシン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1265784A JP2617001B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | ダイシングマシン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03126909A JPH03126909A (ja) | 1991-05-30 |
| JP2617001B2 true JP2617001B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=17421995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1265784A Expired - Fee Related JP2617001B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | ダイシングマシン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2617001B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180138527A (ko) | 2017-06-21 | 2018-12-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7463244B2 (en) | 2005-05-19 | 2008-12-09 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical mouse and method for removing contaminants in an optical mouse |
| JP2023148462A (ja) | 2022-03-30 | 2023-10-13 | 株式会社東京精密 | 顕微鏡用エアノズル |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE412127B (sv) * | 1978-06-15 | 1980-02-18 | Aga Ab | Anordning for ett optiskt element |
| JPS5621381A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | Controlling method of current amplification for avalanche photodiode |
| JPS57135738U (ja) * | 1981-02-19 | 1982-08-24 | ||
| JPS5898198A (ja) * | 1981-12-07 | 1983-06-10 | Ebara Infilco Co Ltd | 下水汚泥の処理方法 |
| JPS5896532U (ja) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | 日本電気株式会社 | レンズの防塵装置 |
| JPS606124U (ja) * | 1983-06-25 | 1985-01-17 | 株式会社トーキン | 反射形光センサの防塵ソケツト |
| JPS61209338A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Chino Works Ltd | 光学的測定装置 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP1265784A patent/JP2617001B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180138527A (ko) | 2017-06-21 | 2018-12-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03126909A (ja) | 1991-05-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |