JP2614875B2 - 高温耐食性焼結材料の製造方法 - Google Patents
高温耐食性焼結材料の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、例えば真空中で金属を蒸発させる際に用い
られる高温耐食性焼結材料の製造方法に関するものであ
る。
られる高温耐食性焼結材料の製造方法に関するものであ
る。
＜従来の技術＞ 金属の真空蒸着を行なう際には、２ホウ化チタン（Ti
B2）、２ホウ化ジルコニウム（ZrB2）等の如き、導電性
耐食物質と窒化硼素（BN）、窒化アルミニウム（AlN）
等の如き電気絶縁性耐食物質の焼結体からなるボートに
蒸発させる金属を入れ、真空中でボートに電流を流し金
属を真空蒸発させる方法が知られている（特公昭55−16
234号公報）。
B2）、２ホウ化ジルコニウム（ZrB2）等の如き、導電性
耐食物質と窒化硼素（BN）、窒化アルミニウム（AlN）
等の如き電気絶縁性耐食物質の焼結体からなるボートに
蒸発させる金属を入れ、真空中でボートに電流を流し金
属を真空蒸発させる方法が知られている（特公昭55−16
234号公報）。
またその耐食性焼結体の製造方法については、上記組
成から成る原料をホットプレス焼結することが知られて
いる（特公昭55−8586号公報、特公昭58−2260号公
報）。
成から成る原料をホットプレス焼結することが知られて
いる（特公昭55−8586号公報、特公昭58−2260号公
報）。
ホットプレスは、真空またはアルゴン、窒素などの非
酸化性雰囲気下、1700〜2150℃にて100kg/cm2を超える
圧力をかけて実施するものであるため、大型形状品は得
られず、また、複雑形状品の製造には適さない等の問題
がある。しかも、現在市販されている耐食性焼結体は、
一旦、円柱状にホットプレスされた焼結体を機械加工し
て最終製品形状に仕上げる方法がとられているので高価
格となる。
酸化性雰囲気下、1700〜2150℃にて100kg/cm2を超える
圧力をかけて実施するものであるため、大型形状品は得
られず、また、複雑形状品の製造には適さない等の問題
がある。しかも、現在市販されている耐食性焼結体は、
一旦、円柱状にホットプレスされた焼結体を機械加工し
て最終製品形状に仕上げる方法がとられているので高価
格となる。
このような問題を解決するための手段として常圧焼結
法が考えられるが、BNやTiB2は焼結性が悪いため現在ま
でのところ溶融金属に対して高い耐食性を有する焼結体
は得られていない。
法が考えられるが、BNやTiB2は焼結性が悪いため現在ま
でのところ溶融金属に対して高い耐食性を有する焼結体
は得られていない。
これらの理由で、溶融金属に対する優れた耐食性、耐
摩耗性、耐熱衝撃性等を有し、安価に容易にかつ効率良
く製造できる高温耐食性焼結体の出現が待たれている。
摩耗性、耐熱衝撃性等を有し、安価に容易にかつ効率良
く製造できる高温耐食性焼結体の出現が待たれている。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 本発明は、このような耐食性焼結体の形状制約と生産
性を改善し大型形状品、複数形状品を効率良く製造で
き、しかもホットプレス品と同等以上の溶融金属に対す
る優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する高温耐
食性焼結材料の提供を目的するものである。
性を改善し大型形状品、複数形状品を効率良く製造で
き、しかもホットプレス品と同等以上の溶融金属に対す
る優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する高温耐
食性焼結材料の提供を目的するものである。
＜問題点を解決するための手段＞ すなわち、本発明は、２ホウ化チタン及び／又は２ホ
ウ化ジルコニウム、窒化硼素並びに窒化アルミニウムが
重量％で図面の三角図に示すＡ点（40,20,40）、Ｂ点
（50,10,40）、Ｃ点（70,10,20）、Ｄ点（70,20,10）、
Ｅ点（40,50,10）で囲まれた範囲の割合の微粉末100重
量部にアルミニウム微粉末１〜７重量部を添加混合し、
次いでこの混合粉末を5ton/cm2以上の圧力にて成形した
後、非酸化性雰囲気下、温度1100〜2100℃で常圧焼結す
ることを特徴とする曲げ強さ530kg/cm2以上、ショア硬
度41以上の高温耐食性焼結材料の製造方法である。
ウ化ジルコニウム、窒化硼素並びに窒化アルミニウムが
重量％で図面の三角図に示すＡ点（40,20,40）、Ｂ点
（50,10,40）、Ｃ点（70,10,20）、Ｄ点（70,20,10）、
Ｅ点（40,50,10）で囲まれた範囲の割合の微粉末100重
量部にアルミニウム微粉末１〜７重量部を添加混合し、
次いでこの混合粉末を5ton/cm2以上の圧力にて成形した
後、非酸化性雰囲気下、温度1100〜2100℃で常圧焼結す
ることを特徴とする曲げ強さ530kg/cm2以上、ショア硬
度41以上の高温耐食性焼結材料の製造方法である。
以下本発明についてさらに詳しく説明する。
本発明では、導電性物質としてTiB2及び／又はZrB2を
電気絶縁性物質としてBNとAlNを結合材としてAlを用い
ることが特徴である。
電気絶縁性物質としてBNとAlNを結合材としてAlを用い
ることが特徴である。
本発明で用いるBN粉末は、市販品で良いが望ましくは
結晶性の高い六方晶のBN粉末である。この粉末は、予備
成形時の可塑変形性に優れているため高密度の予備成形
が得られ易い。
結晶性の高い六方晶のBN粉末である。この粉末は、予備
成形時の可塑変形性に優れているため高密度の予備成形
が得られ易い。
AlN粉末は、市販品で良いが望ましくは純度99.0％以
上、平均粒子径４μｍ以下のものである。AlNの粒度
は、BN、TiB2、ZrB2粉末と同等あるいは微細粒ほど焼結
体密度及び強度が向上する。
上、平均粒子径４μｍ以下のものである。AlNの粒度
は、BN、TiB2、ZrB2粉末と同等あるいは微細粒ほど焼結
体密度及び強度が向上する。
TiB2、ZrB2粉末は、市販品で良いが望ましくは純度99
％以上、平均粒子径５μｍ以下のものである。粒度は、
BN、AlNH粉末と同等あるいは微細粒ほど焼結体密度及び
強度が向上する。
％以上、平均粒子径５μｍ以下のものである。粒度は、
BN、AlNH粉末と同等あるいは微細粒ほど焼結体密度及び
強度が向上する。
アルミニウム（Al）粉は市販品で良いが、望ましくは
アトマイズ品、純度99.0％以上、粒度250メッシュ下品
である。その理由は、Alは焼成中（１）式に示すように
BNと反応してAlNとホウ素（Ｂ）を生成し、さらにこの
Ｂは（２）式に示すようにAlと反応してAl−Ｂ化合物と
なりBNとAlN、TiB2及び／又はZrB2の粒界を強固に結合
させ焼結体強度を向上させる働きがあるので反応性の高
い微粉末が得られるからである。
アトマイズ品、純度99.0％以上、粒度250メッシュ下品
である。その理由は、Alは焼成中（１）式に示すように
BNと反応してAlNとホウ素（Ｂ）を生成し、さらにこの
Ｂは（２）式に示すようにAlと反応してAl−Ｂ化合物と
なりBNとAlN、TiB2及び／又はZrB2の粒界を強固に結合
させ焼結体強度を向上させる働きがあるので反応性の高
い微粉末が得られるからである。
Al＋BN→AlN＋Ｂ （１） Ｂ＋Al→Al−Ｂ （２） 以上の原料粉末を、TiB2及び／又はZrB2、BN並びにAl
Nが重量％で図面に示す三角図のＡ点（40,20,40）、Ｂ
点（50,10,40）、Ｃ点（70,10,20）、Ｄ点（70,20,1
0）、Ｅ点（40,50,10）で囲まれた範囲の割合の微粉末1
00重量部とAl微粉末１〜７重量部の割合で混合する。Ａ
点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点、Ｅ点で定められた範囲外の割合
では、ホットプレス品と同等以上の溶融金属に対する優
れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を達成することがで
きない。また、Al微粉末が１重量部未満では焼結体強度
の向上が認められず、一方、７重量部を超えると得られ
た焼結体中に未反応のAl粉が存在し、耐食性、耐熱衝撃
性が低下するばかりでなく、高温下で使用した場合、軟
化変形を起こし易くなる。
Nが重量％で図面に示す三角図のＡ点（40,20,40）、Ｂ
点（50,10,40）、Ｃ点（70,10,20）、Ｄ点（70,20,1
0）、Ｅ点（40,50,10）で囲まれた範囲の割合の微粉末1
00重量部とAl微粉末１〜７重量部の割合で混合する。Ａ
点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点、Ｅ点で定められた範囲外の割合
では、ホットプレス品と同等以上の溶融金属に対する優
れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を達成することがで
きない。また、Al微粉末が１重量部未満では焼結体強度
の向上が認められず、一方、７重量部を超えると得られ
た焼結体中に未反応のAl粉が存在し、耐食性、耐熱衝撃
性が低下するばかりでなく、高温下で使用した場合、軟
化変形を起こし易くなる。
本発明は、上記したTiB2及び／又はZrB2、BN、AlN、A
l粉末の混合物を粉砕せずにそのまま成形用混合粉末と
して用いるか、比表面積が入手時の２倍以上なるまで微
粉砕したBN粉末とそれ以外の粉末の混合物を成形用混合
粉末として使用するか、さらにはまた、全ての粉末の混
合物を比表面積が２倍以上になるように破断、せん断、
磨砕等の粉砕を行なって粉末の焼結性を高めた後、それ
を5ton/cm2以上の圧力にて成形し、次いで非酸化性雰囲
気下、温度1100〜2100℃で焼成するものである。
l粉末の混合物を粉砕せずにそのまま成形用混合粉末と
して用いるか、比表面積が入手時の２倍以上なるまで微
粉砕したBN粉末とそれ以外の粉末の混合物を成形用混合
粉末として使用するか、さらにはまた、全ての粉末の混
合物を比表面積が２倍以上になるように破断、せん断、
磨砕等の粉砕を行なって粉末の焼結性を高めた後、それ
を5ton/cm2以上の圧力にて成形し、次いで非酸化性雰囲
気下、温度1100〜2100℃で焼成するものである。
本発明においては、BN、AlN、TiB2、ZrB2、Alの原料
は粉砕することが望ましく、それには一般に良く知られ
ているボールミル、振動ボールミル、アトライター、ラ
イカイ機等が使用される。粉砕は、元の粉末の比表面積
の２倍以上好ましくは10倍以上になるまで行なう。２倍
末満の粉砕では耐摩耗性と耐食性を十分に高めた高温耐
食性焼結体を得ることが困難である。
は粉砕することが望ましく、それには一般に良く知られ
ているボールミル、振動ボールミル、アトライター、ラ
イカイ機等が使用される。粉砕は、元の粉末の比表面積
の２倍以上好ましくは10倍以上になるまで行なう。２倍
末満の粉砕では耐摩耗性と耐食性を十分に高めた高温耐
食性焼結体を得ることが困難である。
なお、粉砕を行なう場合、それを酸化雰囲気で行なう
と酸化物の生成がみられ、そのまま焼成すると耐食性、
耐摩耗性、耐熱衝撃性の低下をきたすばかりでなく焼結
体にクラックが発生する。従って、粉砕は、酸化物が生
成しないような例えばN2、Ar等の非酸化性雰囲気下で行
なう必要がある。粉砕を行なったものの方が耐摩耗性、
耐食性に優れる理由は、結晶の格子不整及び部分的な非
晶質化が進むと同時に新たに形成された粒子面が現われ
て所謂メカノケミカル効果により活性化された粉末とな
ったためと考えられる。
と酸化物の生成がみられ、そのまま焼成すると耐食性、
耐摩耗性、耐熱衝撃性の低下をきたすばかりでなく焼結
体にクラックが発生する。従って、粉砕は、酸化物が生
成しないような例えばN2、Ar等の非酸化性雰囲気下で行
なう必要がある。粉砕を行なったものの方が耐摩耗性、
耐食性に優れる理由は、結晶の格子不整及び部分的な非
晶質化が進むと同時に新たに形成された粒子面が現われ
て所謂メカノケミカル効果により活性化された粉末とな
ったためと考えられる。
本発明で用いる成形装置としては、一般に良く知られ
ている金型成形機、冷間等方圧成形機（CIP）等が挙げ
られる。成形圧力は5ton/cm1以上望ましくは7ton/cm2以
上で行なう。5ton/cm2未満の成形圧力では、耐摩耗性と
耐食性に優れた焼結体を得ることができない。
ている金型成形機、冷間等方圧成形機（CIP）等が挙げ
られる。成形圧力は5ton/cm1以上望ましくは7ton/cm2以
上で行なう。5ton/cm2未満の成形圧力では、耐摩耗性と
耐食性に優れた焼結体を得ることができない。
焼成は、1100〜2100℃の非酸化性雰囲気下で行なう。
焼成温度が1100℃未満では、（１）、（２）式に示すよ
うな反応が起こりにくいため高強度の焼結体が得られな
い。一方、2100℃を超えるとBN,AlNの熱分解が起こりそ
の本来の性質を失うことになる。特に高強度、高耐食性
の焼結体を得るには1400〜1700℃の非酸化性雰囲気下で
焼成することが好ましい。非酸化性雰囲気としては、H
e,Ar,N2等の不活性雰囲気かまたは真空中である。酸化
性雰囲気で焼成すると耐食性、熱衝撃性が著しく低下す
るばかでなく焼結体にクラックが発生する。焼成装置と
しては、タンマン炉、抵抗加熱炉、高周波炉等が用いら
れる。
焼成温度が1100℃未満では、（１）、（２）式に示すよ
うな反応が起こりにくいため高強度の焼結体が得られな
い。一方、2100℃を超えるとBN,AlNの熱分解が起こりそ
の本来の性質を失うことになる。特に高強度、高耐食性
の焼結体を得るには1400〜1700℃の非酸化性雰囲気下で
焼成することが好ましい。非酸化性雰囲気としては、H
e,Ar,N2等の不活性雰囲気かまたは真空中である。酸化
性雰囲気で焼成すると耐食性、熱衝撃性が著しく低下す
るばかでなく焼結体にクラックが発生する。焼成装置と
しては、タンマン炉、抵抗加熱炉、高周波炉等が用いら
れる。
＜実施例＞ 以下本発明を実施例並びに比較例をもってさらに具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。
実施例１ 市販のBN粉末（六方晶、純度99.0％、比表面積6m2/
g）30重量部にAlN粉末（純度99％、比表面積4m2/g）15
重量部、TiB3粉末（純度99％、比表面積2m2/g）55重量
部、Al粉末（−250メッシュ、純度99％、比表面積0.5m2
/g）４重量部を添加した後振動ボールミルにて混合し成
形用混合粉末を得た。
g）30重量部にAlN粉末（純度99％、比表面積4m2/g）15
重量部、TiB3粉末（純度99％、比表面積2m2/g）55重量
部、Al粉末（−250メッシュ、純度99％、比表面積0.5m2
/g）４重量部を添加した後振動ボールミルにて混合し成
形用混合粉末を得た。
この混合粉末を5ton/cm2の圧力で冷間等方圧成形し
た。得られた予備成形体を前記BN粉末の入った黒鉛容器
中に埋め込み高周波炉にて1700℃、60分間、N2雰囲気下
で焼成した。得られた焼結体の気孔率、曲げ強さ、ショ
アー硬度、耐食性の測定結果を表に示す。
た。得られた予備成形体を前記BN粉末の入った黒鉛容器
中に埋め込み高周波炉にて1700℃、60分間、N2雰囲気下
で焼成した。得られた焼結体の気孔率、曲げ強さ、ショ
アー硬度、耐食性の測定結果を表に示す。
実施例２ 導電性物質としてTiB2の替りにZrB2粉末（純度99％、
比表面積3m2/g）を用いたこと以外は実施例１と同様の
方法にて実施した。
比表面積3m2/g）を用いたこと以外は実施例１と同様の
方法にて実施した。
実施例３ 成形圧力を7ton/cm2及び焼成温度を1600℃としたこと
以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
実施例４ 硼酸とメラミンとを1:1の重量比率で混合し、それを
アンモニアガス気流にて1200℃、４時間、加熱処理して
BN純度90％、比表面積50m2/gのBN粉末を得た。この粉末
をＸ線回接した結果、非晶質BNであることが判った。こ
の粉末20重量部にAlN30重量部、TiB250重量部、Al2重量
部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。この混合粉末を用い成形圧力を7ton/cm2及び焼成
温度を1600℃としたこと以外は実施例１と同様の方法に
て実施した。
アンモニアガス気流にて1200℃、４時間、加熱処理して
BN純度90％、比表面積50m2/gのBN粉末を得た。この粉末
をＸ線回接した結果、非晶質BNであることが判った。こ
の粉末20重量部にAlN30重量部、TiB250重量部、Al2重量
部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。この混合粉末を用い成形圧力を7ton/cm2及び焼成
温度を1600℃としたこと以外は実施例１と同様の方法に
て実施した。
実施例５ 実施例１で用いたBN粉末をアトライターで比表面積が
50m2/gになるまでN2雰囲気下にて粉砕しBN微粉末を得
た。比表面積はBET法にて測定した。この粉末20重量部
にAlN20重量部、TiB230重量部、ZrB230重量部、Al3重量
部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様
の方法にて実施した。
50m2/gになるまでN2雰囲気下にて粉砕しBN微粉末を得
た。比表面積はBET法にて測定した。この粉末20重量部
にAlN20重量部、TiB230重量部、ZrB230重量部、Al3重量
部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様
の方法にて実施した。
実施例６ 実施例５で得たBN微粉末30重量部にAlN25重量部、TiB
245重量部、Al5重量部を添加した後ボールミルにて混合
し成形用混合粉末を得た。この混合粉末を用い、焼成温
度を1400℃としたこと以外は実施例１と同様の方法にて
実施した。
245重量部、Al5重量部を添加した後ボールミルにて混合
し成形用混合粉末を得た。この混合粉末を用い、焼成温
度を1400℃としたこと以外は実施例１と同様の方法にて
実施した。
実施例７ 実施例１で用いたBN40重量部にAlN15重量部、ZrB245
重量部、Al7重量部添加した後アトライターで比表面積
が60m2/gになるまでAr雰囲気下にて粉砕し成形用混合粉
末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と
同様の方法にて実施した。
重量部、Al7重量部添加した後アトライターで比表面積
が60m2/gになるまでAr雰囲気下にて粉砕し成形用混合粉
末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と
同様の方法にて実施した。
実施例８ 実施例７で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を7t
on/cm2及び焼成温度を1600℃としたこと以外は実施例１
と同様の方法にて実施した。
on/cm2及び焼成温度を1600℃としたこと以外は実施例１
と同様の方法にて実施した。
実施例９〜11 実施例５で用いたBN微粉末、AlN粉末、TiB2粉末及びA
l粉末を表に示す割合で各種配合した後ボールミルにて
混合し成形用混合粉末を得た。これらの混合粉末を用い
たこと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
l粉末を表に示す割合で各種配合した後ボールミルにて
混合し成形用混合粉末を得た。これらの混合粉末を用い
たこと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
比較例１〜７ 実施例１で用いたBT粉末、AlN粉末、TiB2粉末及びAl
粉末を表に示す割合で配合した後振動ボールミルにて混
合し成形用混合粉末を得た。これらの混合粉末を用いた
こと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
粉末を表に示す割合で配合した後振動ボールミルにて混
合し成形用混合粉末を得た。これらの混合粉末を用いた
こと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
比較例８ 実施例１で得た成形用混合粉末を用い、成形方法を2t
on/cm2の金型成形としたこと以外は実施例１と同様の方
法によって実施した。
on/cm2の金型成形としたこと以外は実施例１と同様の方
法によって実施した。
比較例９ 実施例５で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を2t
on/cm2としたここ以外は実施例１と同様の方法にて実施
した。
on/cm2としたここ以外は実施例１と同様の方法にて実施
した。
比較例10〜11 焼成温度を1000℃（比較例10）又は2200℃（比較例1
1）としたこと以外は実施例１と同様の方法にて実施し
た。
1）としたこと以外は実施例１と同様の方法にて実施し
た。
尚、表に記載した各物性の測定は、次の方法によっ
た。
た。
（１） 気孔率…JIS R2205に準拠した。
（２） 常温曲げ強さ…JIS R1601に準拠した。
（３） ショアー硬度…JIS R2246に準拠した。
（４） ボート寿命…得られた焼結体より長さ100mm、
幅4mm、厚さ4mmの角材に加工し、この棒にボート状の窪
みを掘り（長さ30mm、幅5mm、深さ3mm）、通常真空蒸着
に使用されているタングステンボートと同様に両端を電
極にクランプし、直接電流を通じてこのボート状容器を
約1500℃に急加熱しAl線0.6gを蒸発させたのち室温まで
急冷した。このテストを繰り返し、反り、割れを生じ、
電流が流れなくなるまでのAl線の蒸発回数をボート寿命
とし、耐食性及び耐衝撃性の指標とした。
幅4mm、厚さ4mmの角材に加工し、この棒にボート状の窪
みを掘り（長さ30mm、幅5mm、深さ3mm）、通常真空蒸着
に使用されているタングステンボートと同様に両端を電
極にクランプし、直接電流を通じてこのボート状容器を
約1500℃に急加熱しAl線0.6gを蒸発させたのち室温まで
急冷した。このテストを繰り返し、反り、割れを生じ、
電流が流れなくなるまでのAl線の蒸発回数をボート寿命
とし、耐食性及び耐衝撃性の指標とした。
＜発明の効果＞ 本発明の方法によれば、従来のホットプレス法で実現
できなかった大型形状品、複雑形状品を安価に効率良く
製造でき、しかも、ホットプレス品と同等以上の溶融金
属に対する優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有す
る高温耐食性焼結材料を製造することができる。
できなかった大型形状品、複雑形状品を安価に効率良く
製造でき、しかも、ホットプレス品と同等以上の溶融金
属に対する優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有す
る高温耐食性焼結材料を製造することができる。
図面は、本発明で用いるTiB2及び／又はZrB2、BN並びに
AlNからなる微粉末の配合組成（重量％）の範囲を表わ
した三角図である。
AlNからなる微粉末の配合組成（重量％）の範囲を表わ
した三角図である。
Claims (1)
- 【請求項１】２ホウ化チタン及び／又は２ホウ化ジルコ
ニウム、窒化硼素並びに窒化アルミニウムが重量％で図
面の三角図に示すＡ点（40,20,40）、Ｂ点（50,10,4
0）、Ｃ点（70,10,20）、Ｄ点（70,20,10）、Ｅ点（40,
50,10）で囲まれた範囲の割合の微粉末100重量部にアル
ミニウム微粉末１〜７重量部を添加混合し、次いでこの
混合粉末を5ton/cm2以上の圧力にて成形した後、非酸化
性雰囲気下、温度1100〜2100℃で常圧焼結することを特
徴とする曲げ強さ530kg/cm2以上、ショア硬度41以上の
高温耐食性焼結材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286486A JP2614875B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 高温耐食性焼結材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286486A JP2614875B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 高温耐食性焼結材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131072A JPH01131072A (ja) | 1989-05-23 |
| JP2614875B2 true JP2614875B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=17705025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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-
1987
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Also Published As
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|---|---|
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