JP2591048B2 - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
- Publication number
- JP2591048B2 JP2591048B2 JP63077263A JP7726388A JP2591048B2 JP 2591048 B2 JP2591048 B2 JP 2591048B2 JP 63077263 A JP63077263 A JP 63077263A JP 7726388 A JP7726388 A JP 7726388A JP 2591048 B2 JP2591048 B2 JP 2591048B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding device
- substrate holding
- transparent insulating
- liquid crystal
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶表示装置に用いられる透明絶縁基板
（以下基板と略記する）の保持に関する。
（以下基板と略記する）の保持に関する。
液晶表示装置に用いられる基板を保持する基板保持装
置において、該基板保持装置の複数個の突起部に対応す
る穴を有する基板の穴に、前記基板保持装置の突起部を
対応させる事により、基板保持を可能にしたものであ
る。
置において、該基板保持装置の複数個の突起部に対応す
る穴を有する基板の穴に、前記基板保持装置の突起部を
対応させる事により、基板保持を可能にしたものであ
る。
液晶表示装置においては、一方の基板に薄膜トランジ
スタを形成したものを用いるアクティブマトリックス方
式と透明導電膜のパターンを付けた基板を用いる単純マ
トリックス方式とがある。この様な液晶表示装置を製造
するにあたり、薄膜形成あるいはパターニング等の工程
を繰り返し行なう必要がある。特にアクティブマトリッ
クス方式に用いられる薄膜トランジスタの製作には、能
動素子となる半導体薄膜の形成、ゲート絶縁膜となる酸
化膜の形成など熱処理も多く用いられる。
スタを形成したものを用いるアクティブマトリックス方
式と透明導電膜のパターンを付けた基板を用いる単純マ
トリックス方式とがある。この様な液晶表示装置を製造
するにあたり、薄膜形成あるいはパターニング等の工程
を繰り返し行なう必要がある。特にアクティブマトリッ
クス方式に用いられる薄膜トランジスタの製作には、能
動素子となる半導体薄膜の形成、ゲート絶縁膜となる酸
化膜の形成など熱処理も多く用いられる。
この場合の熱処理方法は、第２図の様に基板保持装置
11上に基板12をセットし、熱処理炉内に挿入して行なわ
れる。
11上に基板12をセットし、熱処理炉内に挿入して行なわ
れる。
前述の従来技術では、基板保持が基板下方のみで行な
われる為、基板12は傾き、隣接する基板と接触して拡散
や酸化に悪影響をもたらす。
われる為、基板12は傾き、隣接する基板と接触して拡散
や酸化に悪影響をもたらす。
さらには、たとえば基板にガラス基板を用いる場合に
は、ガラス基板の軟化点に近い状態での加工を行うと基
板に大きなソリが発生する。この場合はやはり基板の下
方のみの保持が原因である。
は、ガラス基板の軟化点に近い状態での加工を行うと基
板に大きなソリが発生する。この場合はやはり基板の下
方のみの保持が原因である。
近年の液晶表示装置は表示サイズの大型化の傾向にあ
り、それに伴なって使用する基板も大口径化を余儀なく
なっている。又、表示方式もアクティブマトリックス方
式が主流となってきているので、薄膜形成、熱処理工程
も増え増々基板保持が問題となってきている。
り、それに伴なって使用する基板も大口径化を余儀なく
なっている。又、表示方式もアクティブマトリックス方
式が主流となってきているので、薄膜形成、熱処理工程
も増え増々基板保持が問題となってきている。
本発明はこの様な問題点を解決するものであり、その
目的とするところは、大口径の基板の保持を確実に行な
うとともに、基板のソリを皆無にすることのできる基板
保持装置を提供するところにある。
目的とするところは、大口径の基板の保持を確実に行な
うとともに、基板のソリを皆無にすることのできる基板
保持装置を提供するところにある。
本発明の基板保持装置は、液晶表示装置に用いられる
透明絶縁基板を保持する基板保持装置において、前記透
明絶縁基板の外周部には複数個の引っ掛け穴が形成さ
れ、前記基板保持装置は、前記引っ掛け穴に挿入されて
前記透明絶縁基板を垂直に吊り下げ保持する突起部を有
してなることを特徴とする。
透明絶縁基板を保持する基板保持装置において、前記透
明絶縁基板の外周部には複数個の引っ掛け穴が形成さ
れ、前記基板保持装置は、前記引っ掛け穴に挿入されて
前記透明絶縁基板を垂直に吊り下げ保持する突起部を有
してなることを特徴とする。
以下、本発明について、実施例に基づき詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例を示す図である。
複数個の穴を外周部に設けた基板２の穴４に対応する
突起部３を基板保持装置１の上方部に設け、第１図の様
に基板２を垂直に吊す様に設置する。
突起部３を基板保持装置１の上方部に設け、第１図の様
に基板２を垂直に吊す様に設置する。
この場合の突起部３の数は、基板の穴の数と同等ある
いは少なくすることもできる。又突起部の形状は、基板
を垂直に設置できる形状であれば良く、基板の設置が確
実にできる様に溝付けを行なうこともできる。
いは少なくすることもできる。又突起部の形状は、基板
を垂直に設置できる形状であれば良く、基板の設置が確
実にできる様に溝付けを行なうこともできる。
基板保持装置１の材質としては多々あるが、一般的に
は石英ガラス・炭火硅素やシリコン等が用いられる。
は石英ガラス・炭火硅素やシリコン等が用いられる。
基板保持装置の形状としては種々考えられるが、本発
明においては、基板保持装置の形状にこだわるものでは
なく、基板を垂直に吊す構造である事が重要な点であ
る。
明においては、基板保持装置の形状にこだわるものでは
なく、基板を垂直に吊す構造である事が重要な点であ
る。
以上述べたように、本発明は、基板を垂直に吊す事が
できるので、基板２は隣接する基板と接触することはな
く、拡散や酸化に悪影響をおよぼさない。
できるので、基板２は隣接する基板と接触することはな
く、拡散や酸化に悪影響をおよぼさない。
又ガラス基板を基板に用いた場合でも、垂直に吊るし
ているのでソリの発生が全くない。
ているのでソリの発生が全くない。
さらに、近年の液晶表示装置は表示サイズが大型化の
傾向にあり、それに伴なう基板の大型化には突起部の数
を多くするだけで容易に対処できる。この場合において
も、一本の突起部にかかる重量を考慮するだけで効果は
変わらなく設計できる。
傾向にあり、それに伴なう基板の大型化には突起部の数
を多くするだけで容易に対処できる。この場合において
も、一本の突起部にかかる重量を考慮するだけで効果は
変わらなく設計できる。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明による実施例である。 第２図（ａ）（ｂ）は従来例の図である。 １、11……基板保持装置 ２、12……透明絶縁基板 ３……突起部 ４……基板の穴
Claims (1)
- 【請求項１】液晶表示装置に用いられる透明絶縁基板を
保持する基板保持装置において、 前記透明絶縁基板の外周部には複数個の引っ掛け穴が形
成され、前記基板保持装置は、前記引っ掛け穴に挿入さ
れて前記透明絶縁基板を垂直に吊り下げ保持する突起部
を有してなることを特徴とする基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077263A JP2591048B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077263A JP2591048B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 基板保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01248127A JPH01248127A (ja) | 1989-10-03 |
| JP2591048B2 true JP2591048B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=13628957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63077263A Expired - Lifetime JP2591048B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591048B2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP63077263A patent/JP2591048B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01248127A (ja) | 1989-10-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219 Year of fee payment: 12 |