JP2589218Y2 - 石英ガラス製バーナ - Google Patents
石英ガラス製バーナInfo
- Publication number
- JP2589218Y2 JP2589218Y2 JP1993059490U JP5949093U JP2589218Y2 JP 2589218 Y2 JP2589218 Y2 JP 2589218Y2 JP 1993059490 U JP1993059490 U JP 1993059490U JP 5949093 U JP5949093 U JP 5949093U JP 2589218 Y2 JP2589218 Y2 JP 2589218Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- slit
- burner
- slit portion
- blowing
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- Gas Burners (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は軸方向に均一な熱分布を
もった石英ガラス製バーナに関する。
もった石英ガラス製バーナに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ウエーハ等の不純物の付着を
嫌う高純度部材の洗浄用角槽、石英ガラス製の口径の大
きい反射ミラー等は、高純度で且つ透明な平板状の大形
石英ガラス板を用いて製造している。そしてこのような
石英ガラス板を形成する方法として図４に示すように、
大口径の石英ガラス管を開いて石英ガラス板を形成する
方法が本出願人によって提案されている。かかる方法
は、管軸方向に所定幅に亙って帯状の切欠き部１ａを有
する石英ガラス管１を用意し、該ガラス管１の所定部位
を加熱バーナ３Ａ、３Ｂにより石英ガラス管１の表裏両
面側より管軸方向全幅に亙って帯状に加熱軟化させなが
ら前記所定部位より略接線方向に引張部材２により引張
させ、これにより前記ガラス管１を平板４化させること
を特徴とするものである。
嫌う高純度部材の洗浄用角槽、石英ガラス製の口径の大
きい反射ミラー等は、高純度で且つ透明な平板状の大形
石英ガラス板を用いて製造している。そしてこのような
石英ガラス板を形成する方法として図４に示すように、
大口径の石英ガラス管を開いて石英ガラス板を形成する
方法が本出願人によって提案されている。かかる方法
は、管軸方向に所定幅に亙って帯状の切欠き部１ａを有
する石英ガラス管１を用意し、該ガラス管１の所定部位
を加熱バーナ３Ａ、３Ｂにより石英ガラス管１の表裏両
面側より管軸方向全幅に亙って帯状に加熱軟化させなが
ら前記所定部位より略接線方向に引張部材２により引張
させ、これにより前記ガラス管１を平板４化させること
を特徴とするものである。
【０００３】この場合、前記加熱バーナ３Ａ、３Ｂは、
多数のバーナノズルを列状に配設したバーナ集積体で構
成されるが、前記バーナノズルは、一般に丸型口径のバ
ーナであり、而もその火炎は焦点を結ぶタイプの為に、
例え前記バーナを列状に集積させても、軸方向に均一な
熱量の火炎を得ることが出来ず、この為従来は、石英ガ
ラス管１軸方向に供給熱量のバラツキを解消させる意味
で、前記バーナ集積体を軸方向に往復動させながら前記
ガラス管１を全幅に亙って帯状に軟化させるているが、
例えこの様な方策を取ってもその往復動の上死点及び下
死点での供給熱量が変化し、この為従来は前記往復動を
複合的に行うように構成している。
多数のバーナノズルを列状に配設したバーナ集積体で構
成されるが、前記バーナノズルは、一般に丸型口径のバ
ーナであり、而もその火炎は焦点を結ぶタイプの為に、
例え前記バーナを列状に集積させても、軸方向に均一な
熱量の火炎を得ることが出来ず、この為従来は、石英ガ
ラス管１軸方向に供給熱量のバラツキを解消させる意味
で、前記バーナ集積体を軸方向に往復動させながら前記
ガラス管１を全幅に亙って帯状に軟化させるているが、
例えこの様な方策を取ってもその往復動の上死点及び下
死点での供給熱量が変化し、この為従来は前記往復動を
複合的に行うように構成している。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な構成を取ると、その往復駆動機構が複雑化してしま
う。又前記石英ガラスバーナは、石英ガラスを所定形状
に加工した後、その表面加工として表面の透明化や、表
面の傷の除去、表面粗さをフラットにするなどのファイ
ヤ加工に用いられているが、この種のファイヤ加工にお
いても丸型口径のバーナでは広域面積に亙って均等にフ
ァイヤ加工するのが困難であった。
な構成を取ると、その往復駆動機構が複雑化してしま
う。又前記石英ガラスバーナは、石英ガラスを所定形状
に加工した後、その表面加工として表面の透明化や、表
面の傷の除去、表面粗さをフラットにするなどのファイ
ヤ加工に用いられているが、この種のファイヤ加工にお
いても丸型口径のバーナでは広域面積に亙って均等にフ
ァイヤ加工するのが困難であった。
【０００５】本考案はかかる従来技術の欠点に鑑み、幅
方向若しくは広域面積に亙って均等に火炎エネルギーを
供給可能な石英ガラス製バーナを提供する事を目的とす
る。
方向若しくは広域面積に亙って均等に火炎エネルギーを
供給可能な石英ガラス製バーナを提供する事を目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本考案は内側に酸素ガス吹
き出し用の第１のスリット部１１を設け、該第１のスリ
ット部１１を囲繞するごとく、その外周側に水素ガス吹
き出し用の第２のスリット部１２を設け、該複数のスリ
ット部１１、１２夫々の開口部を封止するごとく、その
噴き出し側に穴の直径が０．５から２ミリ前後の石英ガ
ラス多孔板２０を配設した石英ガラス製バーナを提案す
る。この場合前記スリット部１１、１２形状は、帯状に
形成しても良く、又必要に応じてコの字状に形成しても
良く、いずれにしても限定されない。又前記第２のスリ
ット部１２に水素ガスを導く導入管１５の一部を膨出さ
せ、バッファタンクとして機能させるのが良い。又前記
多孔板２０は、必ずしも１枚のみに限定されることな
く、各スリット夫々に個別に設けても良く又２段構成に
しても良い。
き出し用の第１のスリット部１１を設け、該第１のスリ
ット部１１を囲繞するごとく、その外周側に水素ガス吹
き出し用の第２のスリット部１２を設け、該複数のスリ
ット部１１、１２夫々の開口部を封止するごとく、その
噴き出し側に穴の直径が０．５から２ミリ前後の石英ガ
ラス多孔板２０を配設した石英ガラス製バーナを提案す
る。この場合前記スリット部１１、１２形状は、帯状に
形成しても良く、又必要に応じてコの字状に形成しても
良く、いずれにしても限定されない。又前記第２のスリ
ット部１２に水素ガスを導く導入管１５の一部を膨出さ
せ、バッファタンクとして機能させるのが良い。又前記
多孔板２０は、必ずしも１枚のみに限定されることな
く、各スリット夫々に個別に設けても良く又２段構成に
しても良い。
【０００７】
【作用】かかる技術手段によれば、前記多孔板２０の上
流側でバッファ機能をもたせる事が出来るために、スリ
ット部１１、１２全域に亙ってガスが廻り込み、均等な
吹き出し圧で酸素ガス及び水素ガスの吹き出しを行う事
が出来、これにより幅方向若しくは広域面積に亙って均
等に火炎エネルギーが供給される。この場合、前記多孔
板２０の穴の直径を０．５ｍｍ以下にすると、円滑な燃
焼エネルギーが得られず、又２ミリ以上にすると幅方向
若しくは広域面積に亙って均等なエネルギーが得られな
い。更に水素ガスの場合はそのバラツキが直接燃焼エネ
ルギーの変動となって洗われるために、前記第２のスリ
ット部１２に水素ガスを導く導入管１５の一部を膨出さ
せ、バッファタンクとして機能させるのが良い。
流側でバッファ機能をもたせる事が出来るために、スリ
ット部１１、１２全域に亙ってガスが廻り込み、均等な
吹き出し圧で酸素ガス及び水素ガスの吹き出しを行う事
が出来、これにより幅方向若しくは広域面積に亙って均
等に火炎エネルギーが供給される。この場合、前記多孔
板２０の穴の直径を０．５ｍｍ以下にすると、円滑な燃
焼エネルギーが得られず、又２ミリ以上にすると幅方向
若しくは広域面積に亙って均等なエネルギーが得られな
い。更に水素ガスの場合はそのバラツキが直接燃焼エネ
ルギーの変動となって洗われるために、前記第２のスリ
ット部１２に水素ガスを導く導入管１５の一部を膨出さ
せ、バッファタンクとして機能させるのが良い。
【０００８】
【実施例】以下、図面に基づいて本考案の実施例を例示
的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている
構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に
特定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。図１
乃至図３はいずれも本考案の実施例にかかる石英ガラス
バーナ１０を示し、内側中央に先側に進むに連れ縮幅化
された酸素吹き出し部２１を、又該酸素吹き出し部２１
を囲繞するごとく、その外周側に相似形に水素吹き出し
部２２を配設する。そして前記酸素吹き出し部２１は石
英ガラス板を溶接して断面台形状で幅方向に長く延設す
るフラット状に形成すると共に、先端部をスリット状に
開口させて形成すると共に、その底辺の適宜箇所に酸素
導入管１４を連設する。そして前記吹き出し部２１の中
央開口のスリット幅は、０．１〜１．５ｍｍに設定して
いる。尚本実施例においては、前記酸素導入管１４の先
側を複数本に分岐させて該分岐管１４ａを前記吹き出し
部２１底辺の長手方向に所定間隔存して連設するように
構成し、前記吹き出し部２１内に長手方向に均等にガス
が供給可能に構成する。
的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている
構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に
特定的な記載がない限りは、この考案の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。図１
乃至図３はいずれも本考案の実施例にかかる石英ガラス
バーナ１０を示し、内側中央に先側に進むに連れ縮幅化
された酸素吹き出し部２１を、又該酸素吹き出し部２１
を囲繞するごとく、その外周側に相似形に水素吹き出し
部２２を配設する。そして前記酸素吹き出し部２１は石
英ガラス板を溶接して断面台形状で幅方向に長く延設す
るフラット状に形成すると共に、先端部をスリット状に
開口させて形成すると共に、その底辺の適宜箇所に酸素
導入管１４を連設する。そして前記吹き出し部２１の中
央開口のスリット幅は、０．１〜１．５ｍｍに設定して
いる。尚本実施例においては、前記酸素導入管１４の先
側を複数本に分岐させて該分岐管１４ａを前記吹き出し
部２１底辺の長手方向に所定間隔存して連設するように
構成し、前記吹き出し部２１内に長手方向に均等にガス
が供給可能に構成する。
【０００９】一方前記水素吹き出し部２２も石英ガラス
板を溶接して酸素吹き出し部２１を囲繞するごとく、そ
の外周側に相似形に断面台形状で幅方向に長く延設する
フラット状に形成すると共に、その底側付近の側壁に分
岐管１５ａを介して適宜箇所に水素導入管１５を連設す
る。又前記分岐管１５ａも長手方向に所定間隔存して連
設するように構成するとともに、図２に示すように、前
記導入管１５の一部を膨出させ、バッファタンク１５Ｂ
として機能させている。そして前記吹き出し部の内周側
のスリット幅も、０．１〜１．５ｍｍになるように相似
形形状を設定する。
板を溶接して酸素吹き出し部２１を囲繞するごとく、そ
の外周側に相似形に断面台形状で幅方向に長く延設する
フラット状に形成すると共に、その底側付近の側壁に分
岐管１５ａを介して適宜箇所に水素導入管１５を連設す
る。又前記分岐管１５ａも長手方向に所定間隔存して連
設するように構成するとともに、図２に示すように、前
記導入管１５の一部を膨出させ、バッファタンク１５Ｂ
として機能させている。そして前記吹き出し部の内周側
のスリット幅も、０．１〜１．５ｍｍになるように相似
形形状を設定する。
【００１０】一方前記複数のスリット部１１、１２の開
口部側には、穴２０ａの直径が０．５から２ミリ前後に
設定した石英ガラス多孔板２０を配設／溶着して封止す
る。多孔板２０は厚みを３〜５ｍｍに設定し、レーザ加
工にて穴明けを行なった。そして前記バーナ１０を用い
て前記図４に示す石英ガラス管の平板化を行なったとこ
ろ、軸方向に加熱エネルギーのバラツキが生じることな
く円滑に平板化が達成できた。
口部側には、穴２０ａの直径が０．５から２ミリ前後に
設定した石英ガラス多孔板２０を配設／溶着して封止す
る。多孔板２０は厚みを３〜５ｍｍに設定し、レーザ加
工にて穴明けを行なった。そして前記バーナ１０を用い
て前記図４に示す石英ガラス管の平板化を行なったとこ
ろ、軸方向に加熱エネルギーのバラツキが生じることな
く円滑に平板化が達成できた。
【００１１】尚本実施例の効果を確認するために、前記
多孔板２０の穴の直径を０．３ｍｍに設定したものと、
３ミリに設定したバーナを用意し、平板化を行なったと
ころ、０．３ｍｍのものでは全く平板化が出来ず、又３
ミリのものでは軸方向中央と端部で熱エネルギーのバラ
ツキが生じ平板化の際に肉厚のバラツキが生じていた。
多孔板２０の穴の直径を０．３ｍｍに設定したものと、
３ミリに設定したバーナを用意し、平板化を行なったと
ころ、０．３ｍｍのものでは全く平板化が出来ず、又３
ミリのものでは軸方向中央と端部で熱エネルギーのバラ
ツキが生じ平板化の際に肉厚のバラツキが生じていた。
【００１２】
【効果】以上記載のごとく本考案によれば、簡単な構成
で幅方向若しくは広域面積に亙って均等に火炎エネルギ
ーを供給可能な石英ガラス製バーナを提供する事が出来
る。
で幅方向若しくは広域面積に亙って均等に火炎エネルギ
ーを供給可能な石英ガラス製バーナを提供する事が出来
る。
【図１】本考案の実施例にかかる石英ガラスバーナを示
す分解斜視図
す分解斜視図
【図２】図１の断面図
【図３】図１の切断斜視図
【図４】本考案のバーナが適用される平板製作図
１１ 第１のスリット部 １２ 第２のスリット部 ２０ 石英ガラス多孔板 １５ 水素ガス導入管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭62−160131（ＪＰ，Ｕ) 実公 平１−33933（ＪＰ，Ｙ２) 実公 平１−33935（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F23D 14/14 F23D 14/32 F23D 14/56
Claims (2)
- 【請求項１】 内側に酸素ガス吹き出し用の第１のスリ
ット部を設け、該第１のスリット部を囲繞するごとく、
その外周側に水素ガス吹き出し用の第２のスリット部を
設け、該複数のスリット部夫々の開口部を封止するごと
く、その噴き出し側に穴の直径が０．５から２ミリ前後
の石英ガラス多孔板を配設したことを特徴とする石英ガ
ラス製バーナ - 【請求項２】 第２のスリット部に水素ガスを導く導入
管の一部を膨出させ、バッファタンクとして機能させた
請求項１記載の石英ガラス製バーナ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993059490U JP2589218Y2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 石英ガラス製バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993059490U JP2589218Y2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 石英ガラス製バーナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0732322U JPH0732322U (ja) | 1995-06-16 |
| JP2589218Y2 true JP2589218Y2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=13114792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993059490U Expired - Lifetime JP2589218Y2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 石英ガラス製バーナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589218Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014122744A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ボイラ及びボイラシステム |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19547506B4 (de) * | 1995-12-19 | 2008-06-05 | Airbus Deutschland Gmbh | Verfahren und Brenner zum Verbrennen von Wasserstoff |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP1993059490U patent/JP2589218Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014122744A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ボイラ及びボイラシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0732322U (ja) | 1995-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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