JP2576690Y2 - 硬基板塗布装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ガラス基板を用いた液
晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶板の製造工程の中には、ガラス基板
などの硬基板にフォトレジストやカラーモザイク液など
の塗布液を薄く均一な厚さに塗布する工程がある。従来
はこの塗布のためにスピンコータが用いられていた。こ
のスピンコータは回転させた基板の回転中心付近に塗布
液を滴下し、この液を遠心力を利用して飛散させること
により塗布するものである。

【０００３】しかしこのスピンコータを用いる方法では
基板の交換に手間取り作業能率が悪くなるばかりでな
く、飛散して捨てられる液の量が増えることになる。こ
のためコストアップになるという問題があった。そこで
水平に配設された上下一対のローラ間に基板を挟んで塗
布する装置を用いることが考えられている。

【０００４】この装置は下のローラとなるバーの下部を
塗布液に浸漬し、このバーとこの上方に位置する押圧ロ
−ルとの間に基板を挟んで送りながら、バーにより基板
の下面に塗布するものである。ここにバーのたわみを防
止するために、バーの塗布域の下周面にバ−支持部材を
摺接させている。

【０００５】

【従来技術の問題点】この場合、バーで塗布液槽の液面
は２つの領域に仕切られる。そしてバーの回転方向側の
領域（以下一次側という）の液がバー表面に付着して基
板下面に運び出されるため、この一次側の領域の液面が
他方（二次側）の領域の液面より塗布中に下がることに
なる。

【０００６】一方塗布液はバーの回転によりバ−支持部
材との摺接面間を通ったり、バ−支持部材の無い部分す
なわちバーの塗布域以外の部分の下方などを通って二次
側から一次側へ流れる。ここにバーには、塗布域の両側
に小径部が形成され、余分な液が基板の端縁や押圧ロ−
ルに付着しないようにしている。このためこれらの小径
部の下方を通って二次側から一次側へ流れる液の量が多
くなる。

【０００７】しかしこのように塗布域の両側の小径部か
ら一次側に液が多く流れ込むと、両小径部からの流れが
一次側の中央付近で衝突する。この衝突した液流は一次
側の液面に乱れを発生させ、基板の塗布面に筋模様を発
生させる。このため均一性に優れた塗布ができなくな
る。このため製品の歩留まりが悪くなるという問題があ
った。

【０００８】

【考案の目的】本考案はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、上下のローラ間に硬基板を挟んで送りなが
ら基板の下面に塗布液を塗布する場合に、塗布の厚さを
均一にして製品の歩留まりを向上させることができる硬
基板塗布装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【考案の構成】本考案によればこの目的は、塗布液槽に
上部を残して水平に浸漬され塗布域の両側に小径部が形
成されたバーと、前記塗布域との間に硬基板を挾持して
送る押圧ロ−ルと、前記塗布域の周面に下方から摺接す
るバ−支持部材とを備える硬基板塗布装置において、一
方の前記小径部にこの小径部下方の塗布液の流動を制限
するブロック部材を設けたことを特徴とする硬基板塗布
装置、により達成される。

【００１０】

【作用】バーの回転により、塗布液槽の一次側すなわち
基板の進入側の塗布液がバーの表面に付着して引き揚げ
られ、基板下面に付着する。このためこの一次側の塗布
液が減る。バーによって二次側の塗布液の一部はバ−支
持部材との摺動面間を通って二次側に運ばれる。また一
部の塗布液はバーの塗布域以外の部分の下を通って一次
側に流入する。この時一方の小径部にはブロック部材が
装着され、ここを通る液の流動が制限される。このため
他方の小径部の下方を通る液量が増え、一次側にはこの
小径部側からブロック部材を装着した小径部方向へ向う
流れが生じ流れの乱れが無くなる。

【００１１】

【実施例】図１は本考案の一実施例の全体図、図２はそ
の塗布部の平面図、図３はその正面断面図、図４と図５
は図３におけるIV−IV線端面図とＶ−Ｖ線端面図、図６
は塗布部の分解斜視図、図７はその一部拡大図、図８は
ブレード部材付近の断面図、図９はブロック部材付近を
示す図３におけるIX−IX線断面図である。

【００１２】図１において符号１０はガラス基板、１２
はパスロ−ルであり、ガラス基板１０はその下面の左右
の縁をパスロ−ル１２のローラに載せた状態で図上左か
ら右へ送られる。パスロ−ル１２の途中には塗布部１４
が配設されている。この塗布部１４は小径で断面円形な
バー１６と、その上方に対向する大径の押圧ロ−ル１８
と、バー１６の上部を残してほぼ全体が入る塗布液槽２
０とを有する。

【００１３】塗布液槽２０は、図２ないし図６に示すよ
うに、基板１０の送り方向に直交する方向に長く浅い液
溜め部２２を持ち、この液溜め部２２には給液パイプ２
４（図３、５）から新しい液が供給される一方、排液口
２６（図２、３）から塗布液が排出される。給液パイプ
２４は液溜め部２２の一端寄りの内壁に設けた凹部２８
（図２、５、６）の上方に望み、排液口２６は他端寄り
の底に開口する。このため塗布液が液溜め部２２をその
長手方向に流れて液を均質化するのに適する。なおこの
塗布液の深さは図示しない液面センサにより監視され、
常に一定に管理される。

【００１４】バー１６はその上部が液から露出するよう
に水平に保持されている。すなわち液溜め部２２の両端
には上方に半円弧状に開いた凹部を有する軸受部３０、
３２が設けられ、この軸受部３０、３２とここに上方か
ら被されるキャップ３４、３６との間にバー１６を回転
自在に保持している。

【００１５】バー１６には一対の小径部１６Ａ、１６Ａ
が形成され、これらに挾まれる範囲が塗布域１６Ｂ（図
６、７）となっている。すなわちこの塗布域１６Ｂは基
板１０の幅とほぼ等しい（図３参照）。この塗布域１６
Ｂの下周面は、バ−支持部材３８により下方から支持さ
れている。ここにバ−支持部材３８は塗布域１６Ｂより
僅かに短かく、塗布域１６Ｂの両端はこのバ−支持部材
３８の両端より僅かに突出している。

【００１６】このバ−支持部材３８は、摺動性に優れた
硬質の合成樹脂で作られ、その上面に長手方向に沿って
形成された半円形の溝がバー１６に下方から当接してバ
ー１６のたわみを防止するものである。なおこのバ−支
持部材３８の高さは、この下方に配列された多数の調整
ねじ４０により塗布液槽２０の下面から微調整可能とな
っている。

【００１７】バー１６の一端（図６における奥側の端）
は塗布液槽２０により後方へ突出し、この突出端は着脱
自在な継手４２によって電動モータ４４に接続されてい
る。この電動モータ４４はガラス基板１０の送り速度が
パスロ−ル１２と等速になるようにその回転が管理され
ている。

【００１８】４６、４６は一対のブレード部材である。
このブレード部材４６は図６、７に示すようにバ−支持
部材３８の両端に側方から挿入され、このバ−支持部材
３８と液留め部２２内壁との間に保持される（図８参
照）。すなわちバ−支持部材３８側には水平な溝３８Ａ
が形成される一方、ブレード部材４６側にはこの溝３８
Ａに係合する凸条４６Ａが形成され、両者の係合により
ブレード部材４６の上下移動が規制される。

【００１９】このブレード部材４６は摺動性に優れる硬
質の合成樹脂で作られ、そのバー１６に対向する面は、
バ−支持部材３８の上面の円弧に連続する円弧状の断面
形状を持つ。ブレード部材４６は上部が液面Ｈより上に
位置し、下部は液留め部２２の底面より高くこの底面と
の間に液路４８を形成する。

【００２０】このためブレード部材４６、４６は液面を
２つの領域、すなわちブレード部材４６、４６とバー１
６と液留め部２２内壁とで囲まれる一次側の領域５０
と、他の二次側の領域５２（図２、４、５参照）とに仕
切ることになる。バー１６は一次側の液面から液を引き
上げて基板１２に塗布する。

【００２１】ここにブレード部材４６、４６には、液面
Ｈにかかる高さに水平な液路５４、５４が形成しておい
てもよい。この液路５４は図８に示すような円形の貫通
孔であってもよいし、溝形の液路等であってもよい。こ
のためこの液路５４により一次側および二次側の液面が
互いに連続し一次側の領域５０への液の供給が円滑にな
る。

【００２２】５６は一方の小径部１６Ａに装着されるブ
ロック部材である。この実施例ではこのブロック部材５
６は図７、９に示すように略Ｕ字状に合成樹脂で作ら
れ、その外径は塗布域１６Ｂと略同径に、その内径は小
径部１６Ａと略同径に作られている。その長さは小径部
１６Ａと略同じである。

【００２３】このブロック部材５６は小径部１６Ａに下
方から嵌め込まれるが、その回転を規制するためブレー
ド部材４６に係合する突条５８が形成されている。この
突条５８はブロック部材５６全長に亘って形成する必要
はなく、ブレード部材４６と係合する位置に適宜設けれ
ば足りる。

【００２４】前記押圧ロ−ル１８の表面は導電性ゴムで
作られ、バー１６との間にガラス基板１０を挟んだ状態
でガラス基板１０に所定の挟圧力を付与するように保持
されている。

【００２５】従ってパスロ−ル１２により図１で左側か
ら右側へ送られるガラス基板１０は、バー１６と押圧ロ
−ル１８との間に進入する。バー１６の表面にはその回
転により液溜め部２２の塗布液が付着しているから、こ
のバー１６の回転に伴いガラス基板１０の下面にこの塗
布液が塗布されて行く。

【００２６】ここにバー１６の塗布域１６Ｂの両端付近
にはブレード部材４６、４６が摺接しているから、この
両端付近に付着した余分な塗布液がこのブレード部材４
６でかき落される。このため基板１０の両縁付近で塗布
が厚くなることがなく、全体が均一な厚さになる。

【００２７】また塗布中には二次側５２の塗布液はバー
１６に付着してバ−支持部材３８との摺接面間を通り一
次側に入る。またブレード部材４６の下の液路４８を通
っても一次側５０へ入る。さらにブレード部材４６に液
路５４を形成した場合には、この液路５４を通って液面
の塗布液が一次側５０へ入る。

【００２８】ここに一方の小径部１６Ａにはブロック部
材５６が装着されているから、このブロック部材５６の
下方を通る液量よりもこのブロック部材５６の無い他方
の小径部１６Ａの下方を通る液量の方が多くなる。この
ためブロック部材５６の無い小径部１６Ａを通る液が液
路４８や５４を通って多く一次側５０へ流れ、この一次
側５０には一方向へ向う流れができる。この結果一次側
の液面が安定するから、基板１０の塗布面に筋模様がで
きず基板１０の下面に塗布される液の厚さは十分に薄く
かつ高精度に管理され得る。

【００２９】以上の実施例ではブレード部材４６を設け
ているので一次側液面の平滑化が一層向上するが、本考
案はこれを省いたものも包含する。

【００３０】

【考案の効果】本考案は以上のように、バーの塗布域の
両端に設けた小径部の一方にブロック部材を装着し、こ
の下方の液の流れを制限したから、塗布中における一次
側の液の流れが一方向に安定する。このため一次側の液
面に乱れが無くなり、基板の塗布面に筋模様等ができず
塗布面の厚さを高精度かつ均一に管理することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の全体図

【図２】その塗布部の平面図

【図３】同じく正面断面図

【図４】図３におけるIV−IV線端面図

【図５】図３におけるＶ−Ｖ線端面図

【図６】塗布部の分解斜視図

【図７】その一部拡大図

【図８】ブレード部付近の断面図

【図９】図３におけるIX−IX線断面図

【符号の説明】

１０ ガラス基板 １４ 塗布部 １６ バー １６Ｂ 塗布域 １８ 押圧ロ−ル ２０ 塗布液槽 ２２ 液留め部 ３８ バ−支持部材 ４６ ブレード部材 ５０ 一次側領域 ５２ 二次側領域 ５６ ブロック部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 尾崎 正文 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフイックス株式会社内 (72)考案者 江本 辰弥 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフイックス株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−258085（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−61956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−160161（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B05C 1/02 102 B05C 1/08 - 1/12 B05D 1/28 G03F 7/16 501

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液槽に上部を残して水平に浸漬され
   塗布域の両側に小径部が形成されたバーと、前記塗布域
   との間に硬基板を挾持して送る押圧ロ−ルと、前記塗布
   域の周面に下方から摺接するバ−支持部材とを備える硬
   基板塗布装置において、一方の前記小径部にこの小径部
   下方の塗布液の流動を制限するブロック部材を設けたこ
   とを特徴とする硬基板塗布装置。