JP2576689Y2 - 硬基板塗布装置 - Google Patents
硬基板塗布装置Info
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- JP2576689Y2 JP2576689Y2 JP1992037045U JP3704592U JP2576689Y2 JP 2576689 Y2 JP2576689 Y2 JP 2576689Y2 JP 1992037045 U JP1992037045 U JP 1992037045U JP 3704592 U JP3704592 U JP 3704592U JP 2576689 Y2 JP2576689 Y2 JP 2576689Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ガラス基板を用いた液
晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
装置に関するものである。
晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶板の製造工程の中には、ガラス基板
などの硬基板にフォトレジストやカラーモザイク液など
の塗布液を薄く均一な厚さに塗布する工程がある。従来
はこの塗布のためにスピンコータが用いられていた。こ
のスピンコータは回転させた基板の回転中心付近に塗布
液を滴下し、この液を遠心力を利用して飛散させること
により塗布するものである。
などの硬基板にフォトレジストやカラーモザイク液など
の塗布液を薄く均一な厚さに塗布する工程がある。従来
はこの塗布のためにスピンコータが用いられていた。こ
のスピンコータは回転させた基板の回転中心付近に塗布
液を滴下し、この液を遠心力を利用して飛散させること
により塗布するものである。
【０００３】しかしこのスピンコータを用いる方法では
基板の交換に手間取り作業能率が悪くなるばかりでな
く、飛散して捨てられる液の量が増えることになる。こ
のためコストアップになるという問題があった。そこで
水平に配設された上下一対のローラ間に基板を挟んで塗
布する装置を用いることが考えられている。
基板の交換に手間取り作業能率が悪くなるばかりでな
く、飛散して捨てられる液の量が増えることになる。こ
のためコストアップになるという問題があった。そこで
水平に配設された上下一対のローラ間に基板を挟んで塗
布する装置を用いることが考えられている。
【０００４】この装置は下のローラとなるバーの下部を
塗布液に浸漬し、このバーとこの上方に位置する押圧ロ
−ルとの間に基板を挟んで送りながら、バーにより基板
の下面に塗布するものである。ここにバーのたわみを防
止するために、バーの塗布域の下周面にバ−支持部材を
摺接させる必要がある。またこの場合基板の両縁付近に
おいて塗布液が厚くなる。そこでこの厚くなる部分すな
わちバ−の塗布域両端付近にブレード部材を摺接させる
ことが考えられている。
塗布液に浸漬し、このバーとこの上方に位置する押圧ロ
−ルとの間に基板を挟んで送りながら、バーにより基板
の下面に塗布するものである。ここにバーのたわみを防
止するために、バーの塗布域の下周面にバ−支持部材を
摺接させる必要がある。またこの場合基板の両縁付近に
おいて塗布液が厚くなる。そこでこの厚くなる部分すな
わちバ−の塗布域両端付近にブレード部材を摺接させる
ことが考えられている。
【０００５】
【従来技術の問題点】このブレード部材はバ−支持部材
のバー回転方向側に設けられるが、従来はこのブレード
部材がバーを挾む２つの領域に液面を仕切ってしまう。
このためバーの回転方向側の領域（以下一次側という）
の液がバー表面に付着して基板下面に運び出されるた
め、この一次側の領域の液面が他方（二次側）の領域の
液面より塗布中に下がることになる。
のバー回転方向側に設けられるが、従来はこのブレード
部材がバーを挾む２つの領域に液面を仕切ってしまう。
このためバーの回転方向側の領域（以下一次側という）
の液がバー表面に付着して基板下面に運び出されるた
め、この一次側の領域の液面が他方（二次側）の領域の
液面より塗布中に下がることになる。
【０００６】塗布液はバーの回転によりバ−支持部材と
の摺接面間を通ったり、バ−支持部材の無い部分やブレ
ード部材の下方などを通って二次側から一次側へ流れる
が、この流動量が少ないため前記のように一次側の液面
レベルが下がり、均一性に優れた塗布ができなくなるも
のである。このため製品の歩留まりが悪くなるという問
題があった。
の摺接面間を通ったり、バ−支持部材の無い部分やブレ
ード部材の下方などを通って二次側から一次側へ流れる
が、この流動量が少ないため前記のように一次側の液面
レベルが下がり、均一性に優れた塗布ができなくなるも
のである。このため製品の歩留まりが悪くなるという問
題があった。
【０００７】
【考案の目的】本考案はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、上下のローラ間に硬基板を挟んで送りなが
ら基板の下面に塗布液を塗布する場合に、塗布の厚さを
均一にして製品の歩留まりを向上させることができる硬
基板塗布装置を提供することを目的とする。
ものであり、上下のローラ間に硬基板を挟んで送りなが
ら基板の下面に塗布液を塗布する場合に、塗布の厚さを
均一にして製品の歩留まりを向上させることができる硬
基板塗布装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【考案の構成】本考案によればこの目的は、塗布液槽に
上部を残して水平に浸漬されたバーと、このバーとの間
に硬基板を挾持して送る押圧ロ−ルと、前記バーの塗布
域の周面に下方から摺接するバ−支持部材と、前記塗布
域の両端付近に設けられ前記バ−支持部材のバー回転方
向側でバーに摺接して塗布液面をバーの両側に仕切る一
対のブレード部材とを備える硬基板塗布装置において、
前記ブレード部材にはこれらブレ−ド部材により仕切ら
れた塗布液面を連通する液路が液面にかかるように形成
されていることを特徴とする硬基板塗布装置、により達
成される。
上部を残して水平に浸漬されたバーと、このバーとの間
に硬基板を挾持して送る押圧ロ−ルと、前記バーの塗布
域の周面に下方から摺接するバ−支持部材と、前記塗布
域の両端付近に設けられ前記バ−支持部材のバー回転方
向側でバーに摺接して塗布液面をバーの両側に仕切る一
対のブレード部材とを備える硬基板塗布装置において、
前記ブレード部材にはこれらブレ−ド部材により仕切ら
れた塗布液面を連通する液路が液面にかかるように形成
されていることを特徴とする硬基板塗布装置、により達
成される。
【０００９】
【作用】バーの回転により、塗布液槽の一次側すなわち
基板の進入側の塗布液がバーの表面に付着して引き揚げ
られ、基板下面に付着する。このためこの一次側の塗布
液が減る。バーによって二次側の塗布液の一部はバ−支
持部材との摺動面間を通って二次側に運ばれる。また一
部の塗布液はブレード部材の下を通って一次側に流入す
る。さらにこのブレード部材に形成した液路を通り二次
側の表面付近の液が一次側へ流れる。
基板の進入側の塗布液がバーの表面に付着して引き揚げ
られ、基板下面に付着する。このためこの一次側の塗布
液が減る。バーによって二次側の塗布液の一部はバ−支
持部材との摺動面間を通って二次側に運ばれる。また一
部の塗布液はブレード部材の下を通って一次側に流入す
る。さらにこのブレード部材に形成した液路を通り二次
側の表面付近の液が一次側へ流れる。
【００１０】
【実施例】図１は本考案の一実施例の全体図、図２はそ
の塗布部の平面図、図３はその正面断面図、図４と図５
は図３におけるIV−IV線端面図とＶ−Ｖ線端面図、図６
は塗布部の分解斜視図、図７はその一部拡大図、図８は
ブレード部材付近の断面図である。
の塗布部の平面図、図３はその正面断面図、図４と図５
は図３におけるIV−IV線端面図とＶ−Ｖ線端面図、図６
は塗布部の分解斜視図、図７はその一部拡大図、図８は
ブレード部材付近の断面図である。
【００１１】図１において符号１０はガラス基板、１２
はパスロ−ルであり、ガラス基板１０はその下面の左右
の縁をパスロ−ル１２のローラに載せた状態で図上左か
ら右へ送られる。パスロ−ル１２の途中には塗布部１４
が配設されている。この塗布部１４は小径で断面円形な
バー１６と、その上方に対向する大径の押圧ロ−ル１８
と、バー１６の上部を残してほぼ全体が入る塗布液槽２
０とを有する。
はパスロ−ルであり、ガラス基板１０はその下面の左右
の縁をパスロ−ル１２のローラに載せた状態で図上左か
ら右へ送られる。パスロ−ル１２の途中には塗布部１４
が配設されている。この塗布部１４は小径で断面円形な
バー１６と、その上方に対向する大径の押圧ロ−ル１８
と、バー１６の上部を残してほぼ全体が入る塗布液槽２
０とを有する。
【００１２】塗布液槽２０は、図２ないし図６に示すよ
うに、基板１０の送り方向に直交する方向に長く浅い液
溜め部２２を持ち、この液溜め部２２には給液パイプ２
４（図３、５）から新しい液が供給される一方、排液口
２６（図２、３）から塗布液が排出される。給液パイプ
２４は液溜め部２２の一端寄りの内壁に設けた凹部２８
（図２、５、６）の上方に望み、排液口２６は他端寄り
の底に開口する。このため塗布液が液溜め部２２をその
長手方向に流れて液を均質化するのに適する。なおこの
塗布液の深さは図示しない液面センサにより監視され、
常に一定に管理される。
うに、基板１０の送り方向に直交する方向に長く浅い液
溜め部２２を持ち、この液溜め部２２には給液パイプ２
４（図３、５）から新しい液が供給される一方、排液口
２６（図２、３）から塗布液が排出される。給液パイプ
２４は液溜め部２２の一端寄りの内壁に設けた凹部２８
（図２、５、６）の上方に望み、排液口２６は他端寄り
の底に開口する。このため塗布液が液溜め部２２をその
長手方向に流れて液を均質化するのに適する。なおこの
塗布液の深さは図示しない液面センサにより監視され、
常に一定に管理される。
【００１３】バー１６はその上部が液から露出するよう
に水平に保持されている。すなわち液溜め部２２の両端
には上方に半円弧状に開いた凹部を有する軸受部３０、
３２が設けられ、この軸受部３０、３２とここに上方か
ら被されるキャップ３４、３６との間にバー１６を回転
自在に保持している。
に水平に保持されている。すなわち液溜め部２２の両端
には上方に半円弧状に開いた凹部を有する軸受部３０、
３２が設けられ、この軸受部３０、３２とここに上方か
ら被されるキャップ３４、３６との間にバー１６を回転
自在に保持している。
【００１４】バー１６には一対の小径部１６Ａ、１６Ａ
が形成され、これらに挾まれる範囲が塗布域１６Ｂ（図
６）となっている。すなわちこの塗布域１６Ｂは基板１
０の幅とほぼ等しい（図３参照）。この塗布域１６Ｂの
下周面は、バ−支持部材３８により下方から支持されて
いる。ここにバ−支持部材３８は塗布域１６Ｂより僅か
に短かく、塗布域１６Ｂの両端はこのバ−支持部材３８
の両端より僅かに突出している。
が形成され、これらに挾まれる範囲が塗布域１６Ｂ（図
６）となっている。すなわちこの塗布域１６Ｂは基板１
０の幅とほぼ等しい（図３参照）。この塗布域１６Ｂの
下周面は、バ−支持部材３８により下方から支持されて
いる。ここにバ−支持部材３８は塗布域１６Ｂより僅か
に短かく、塗布域１６Ｂの両端はこのバ−支持部材３８
の両端より僅かに突出している。
【００１５】このバ−支持部材３８は、摺動性に優れた
硬質の合成樹脂で作られ、その上面に長手方向に沿って
形成された半円形の溝がバー１６に下方から当接してバ
ー１６のたわみを防止するものである。なおこのバ−支
持部材３８の高さは、この下方に配列された多数の調整
ねじ４０により塗布液槽２０の下面から微調整可能とな
っている。
硬質の合成樹脂で作られ、その上面に長手方向に沿って
形成された半円形の溝がバー１６に下方から当接してバ
ー１６のたわみを防止するものである。なおこのバ−支
持部材３８の高さは、この下方に配列された多数の調整
ねじ４０により塗布液槽２０の下面から微調整可能とな
っている。
【００１６】バー１６の一端（図６における奥側の端）
は塗布液槽２０により後方へ突出し、この突出端は着脱
自在な継手４２によって電動モータ４４に接続されてい
る。この電動モータ４４はガラス基板１０の送り速度が
パスロ−ル１２と等速になるようにその回転が管理され
ている。
は塗布液槽２０により後方へ突出し、この突出端は着脱
自在な継手４２によって電動モータ４４に接続されてい
る。この電動モータ４４はガラス基板１０の送り速度が
パスロ−ル１２と等速になるようにその回転が管理され
ている。
【００１７】４６、４６は一対のブレード部材である。
このブレード部材４６は図６、７に示すようにバ−支持
部材３８の両端に側方から挿入され、このバ−支持部材
３８と液留め部２２内壁との間に保持される（図８
（Ａ）参照）。すなわちバ−支持部材３８側には水平な
溝３８Ａが形成される一方、ブレード部材４６側にはこ
の溝３８Ａに係合する凸条４６Ａが形成され、両者の係
合によりブレード部材４６の上下移動が規制される。
このブレード部材４６は図６、７に示すようにバ−支持
部材３８の両端に側方から挿入され、このバ−支持部材
３８と液留め部２２内壁との間に保持される（図８
（Ａ）参照）。すなわちバ−支持部材３８側には水平な
溝３８Ａが形成される一方、ブレード部材４６側にはこ
の溝３８Ａに係合する凸条４６Ａが形成され、両者の係
合によりブレード部材４６の上下移動が規制される。
【００１８】このブレード部材４６は摺動性に優れる硬
質の合成樹脂で作られ、そのバー１６に対向する面は、
バ−支持部材３８の上面の円弧に連続する円弧状の断面
形状を持つ。ブレード部材４６は上部が液面Ｈより上に
位置し、下部は液留め部２２の底面より高くこの底面と
の間に液路４８を形成する。
質の合成樹脂で作られ、そのバー１６に対向する面は、
バ−支持部材３８の上面の円弧に連続する円弧状の断面
形状を持つ。ブレード部材４６は上部が液面Ｈより上に
位置し、下部は液留め部２２の底面より高くこの底面と
の間に液路４８を形成する。
【００１９】このためブレード部材４６、４６は液面を
２つの領域、すなわちブレード部材４６、４６とバー１
６と液留め部２２内壁とで囲まれる一次側の領域５０
と、他の二次側の領域５２（図２、４、５参照）とに仕
切ることになる。バ−１６は一次側の液面から液を引き
上げて基板１２に塗布する。
２つの領域、すなわちブレード部材４６、４６とバー１
６と液留め部２２内壁とで囲まれる一次側の領域５０
と、他の二次側の領域５２（図２、４、５参照）とに仕
切ることになる。バ−１６は一次側の液面から液を引き
上げて基板１２に塗布する。
【００２０】ここにブレード部材４６、４６には、液面
Ｈにかかる高さに水平な液路５４、５４が形成されてい
る。この液路５４は図８（Ａ）に示すような円形の貫通
孔であってもよいし、図８（Ｂ）に示すような溝形の液
路５４Ａであってもよい。このためこの液路５４、５４
Ａにより一次側および二次側の液面が互いに連続するこ
とになる。
Ｈにかかる高さに水平な液路５４、５４が形成されてい
る。この液路５４は図８（Ａ）に示すような円形の貫通
孔であってもよいし、図８（Ｂ）に示すような溝形の液
路５４Ａであってもよい。このためこの液路５４、５４
Ａにより一次側および二次側の液面が互いに連続するこ
とになる。
【００２１】前記押圧ロ−ル１８の表面は導電性ゴムで
作られ、バー１６との間にガラス基板１０を挟んだ状態
でガラス基板１０に所定の挟圧力を付与するように保持
されている。
作られ、バー１６との間にガラス基板１０を挟んだ状態
でガラス基板１０に所定の挟圧力を付与するように保持
されている。
【００２２】従ってパスロ−ル１２により図１で左側か
ら右側へ送られるガラス基板１０は、バー１６と押圧ロ
−ル１８との間に進入する。バー１６の表面にはその回
転により液溜め部２２の塗布液が付着しているから、こ
のバー１６の回転に伴いガラス基板１０の下面にこの塗
布液が塗布されて行く。
ら右側へ送られるガラス基板１０は、バー１６と押圧ロ
−ル１８との間に進入する。バー１６の表面にはその回
転により液溜め部２２の塗布液が付着しているから、こ
のバー１６の回転に伴いガラス基板１０の下面にこの塗
布液が塗布されて行く。
【００２３】ここにバー１６の塗布域１６Ｂの両端付近
にはブレード部材４６、４６が摺接しているから、この
両端付近に付着した余分な塗布液がこのブレード部材４
６でかき落される。このため基板１０の両縁付近で塗布
が厚くなることがなく、全体が均一な厚さになる。
にはブレード部材４６、４６が摺接しているから、この
両端付近に付着した余分な塗布液がこのブレード部材４
６でかき落される。このため基板１０の両縁付近で塗布
が厚くなることがなく、全体が均一な厚さになる。
【００２４】また塗布中には二次側５２の塗布液はバー
１６に付着してバ−支持部材３８との摺接面間を通り一
次側に入る。またブレード部材４６の下の液路４８を通
っても一次側５０へ入る。さらにブレード部材４６に形
成した液路５４、５４Ａを通って液面の塗布液が一次側
５０へ入る。
１６に付着してバ−支持部材３８との摺接面間を通り一
次側に入る。またブレード部材４６の下の液路４８を通
っても一次側５０へ入る。さらにブレード部材４６に形
成した液路５４、５４Ａを通って液面の塗布液が一次側
５０へ入る。
【００２５】このように多くの経路を通り液が一次側５
０に流れ込むから、一次側の液面レベルＨが安定する。
ここに液溜め部２２の液面のレベルと、押圧ロ−ル１８
による挟圧力とは一定に管理されているから、ガラス基
板１０の下面に塗布される液の厚さは十分に薄くかつ高
精度に管理され得る。
０に流れ込むから、一次側の液面レベルＨが安定する。
ここに液溜め部２２の液面のレベルと、押圧ロ−ル１８
による挟圧力とは一定に管理されているから、ガラス基
板１０の下面に塗布される液の厚さは十分に薄くかつ高
精度に管理され得る。
【００２６】
【考案の効果】本考案は以上のように、バーの塗布域の
両端付近に設けるブレード部材に、一次側および二次側
の液面にかかる液路を形成したから、塗布中における二
次側から一次側への液の流れが円滑になる。このため一
次側の液面レベルが安定し、基板の塗布面の厚さを高精
度かつ均一に管理することができる。
両端付近に設けるブレード部材に、一次側および二次側
の液面にかかる液路を形成したから、塗布中における二
次側から一次側への液の流れが円滑になる。このため一
次側の液面レベルが安定し、基板の塗布面の厚さを高精
度かつ均一に管理することができる。
【図１】本考案の一実施例の全体図
【図２】その塗布部の平面図
【図３】同じく正面断面図
【図４】図３におけるIV−IV線端面図
【図５】図３におけるＶ−Ｖ線端面図
【図６】塗布部の分解斜視図
【図７】その一部拡大図
【図８】ブレード部付近の断面図
１０ ガラス基板 １４ 塗布部 １６ バー １６Ｂ 塗布域 １８ 押圧ロ−ル ２０ 塗布液槽 ２２ 液留め部 ３８ バ−支持部材 ４６ ブレード部材 ５０ 一次側領域 ５２ 二次側領域 ５４、５４Ａ 液路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 尾崎 正文 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフイックス株式会社内 (72)考案者 江本 辰弥 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフイックス株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−258085（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−61956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−160161（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B05C 1/02 102 B05C 1/08 - 1/12 B05D 1/28 G03F 7/16 501
Claims (1)
- 【請求項１】 塗布液槽に上部を残して水平に浸漬され
たバーと、このバーとの間に硬基板を挾持して送る押圧
ロ−ルと、前記バーの塗布域の周面に下方から摺接する
バ−支持部材と、前記塗布域の両端付近に設けられ前記
バ−支持部材のバー回転方向側でバーに摺接して塗布液
面をバーの両側に仕切る一対のブレード部材とを備える
硬基板塗布装置において、前記ブレード部材にはこれら
ブレ−ド部材により仕切られた塗布液面を連通する液路
が液面にかかるように形成されていることを特徴とする
硬基板塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992037045U JP2576689Y2 (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 硬基板塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992037045U JP2576689Y2 (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 硬基板塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588665U JPH0588665U (ja) | 1993-12-03 |
| JP2576689Y2 true JP2576689Y2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=12486630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992037045U Expired - Fee Related JP2576689Y2 (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 硬基板塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2576689Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-05-06 JP JP1992037045U patent/JP2576689Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0588665U (ja) | 1993-12-03 |
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