JP2574667Y2 - 質量流量計 - Google Patents
質量流量計Info
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- JP2574667Y2 JP2574667Y2 JP1992013159U JP1315992U JP2574667Y2 JP 2574667 Y2 JP2574667 Y2 JP 2574667Y2 JP 1992013159 U JP1992013159 U JP 1992013159U JP 1315992 U JP1315992 U JP 1315992U JP 2574667 Y2 JP2574667 Y2 JP 2574667Y2
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- Japan
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- mass flow
- temperature control
- constant temperature
- resistors
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、導管中を流れる流体の
質量流量を測定する質量流量計に関する。
質量流量を測定する質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】前記質量流量計の従来技術として、例え
ば本願出願人に係る特願昭60−273837号に開示されるよ
うなディジタル化質量流量計がある。図２は、このディ
ジタル化質量流量計の構成を概略的に示すもので、この
図において、１は例えば矢印方向に流体Ｆが流れる導管
である。２，３は導管１に対して上流側、下流側に互い
に独立して巻設された、例えば自己加熱形の感熱コイル
よりなる抵抗体である。４，５は抵抗体２，３をそれぞ
れブリッジ回路の構成要素として含む定温度制御回路
で、これらの定温度制御回路４, ５は、互いに同一部品
より構成されており、抵抗体２と抵抗体３との温度が常
に相等しくかつ一定になるように制御し、センサ出力と
しての信号Ｓu ，Ｓd をそれぞれ出力する。
ば本願出願人に係る特願昭60−273837号に開示されるよ
うなディジタル化質量流量計がある。図２は、このディ
ジタル化質量流量計の構成を概略的に示すもので、この
図において、１は例えば矢印方向に流体Ｆが流れる導管
である。２，３は導管１に対して上流側、下流側に互い
に独立して巻設された、例えば自己加熱形の感熱コイル
よりなる抵抗体である。４，５は抵抗体２，３をそれぞ
れブリッジ回路の構成要素として含む定温度制御回路
で、これらの定温度制御回路４, ５は、互いに同一部品
より構成されており、抵抗体２と抵抗体３との温度が常
に相等しくかつ一定になるように制御し、センサ出力と
しての信号Ｓu ，Ｓd をそれぞれ出力する。
【０００３】６は前記センサ出力Ｓu ，Ｓd を順次取り
込むマルチプレクサ、７はマルチプレクサ６によって入
力されるセンサ出力Ｓu ，Ｓd を、順次ＡＤ変換するＡ
Ｄ変換器である。８，９はＡＤ変換器７によってディジ
タル信号に変換されたセンサ出力Ｓu ，Ｓd をそれぞれ
入力とする減算回路、加算回路であり、減算回路８から
は減算出力（Ｓu −Ｓd ）が、また、加算回路７からは
加算出力（Ｓu ＋Ｓd）がそれぞれ出力される。10は前
記出力（Ｓu −Ｓd ），（Ｓu ＋Ｓd ）を入力として、
ｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋Ｓ d ）／ｆ T （Ｓ u ＋Ｓ d ）
なる割算を行い、これに所定の係数を乗じて質量流量を
算出するＣＰＵである。
込むマルチプレクサ、７はマルチプレクサ６によって入
力されるセンサ出力Ｓu ，Ｓd を、順次ＡＤ変換するＡ
Ｄ変換器である。８，９はＡＤ変換器７によってディジ
タル信号に変換されたセンサ出力Ｓu ，Ｓd をそれぞれ
入力とする減算回路、加算回路であり、減算回路８から
は減算出力（Ｓu −Ｓd ）が、また、加算回路７からは
加算出力（Ｓu ＋Ｓd）がそれぞれ出力される。10は前
記出力（Ｓu −Ｓd ），（Ｓu ＋Ｓd ）を入力として、
ｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋Ｓ d ）／ｆ T （Ｓ u ＋Ｓ d ）
なる割算を行い、これに所定の係数を乗じて質量流量を
算出するＣＰＵである。
【０００４】このように構成された質量流量計において
は、周囲温度の影響を効果的に補償することができ、周
囲温度が変化しても出力特性が変化しないといった効果
を奏する。
は、周囲温度の影響を効果的に補償することができ、周
囲温度が変化しても出力特性が変化しないといった効果
を奏する。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】ところで、前記センサ
出力Ｓu ，Ｓd には、流量に起因する信号成分Ｑと温度
に起因する信号成分Ｔとがそれぞれ含まれている。い
ま、Ｄ＝Ｓu −Ｓd 、Ａ＝Ｓu ＋Ｓd とすると、信号Ｄ
はその殆どが流量信号成分Ｑとなり、温度成分信号Ｔは
僅かであり、また、信号Ａはその殆どが温度信号成分Ｔ
となり、流量信号成分Ｑは僅かである。そして、信号レ
ベルとしては、Ｄ≪Ａである。つまり、流量変化による
センサ出力の変化が温度変化によるセンサ出力の変化に
比べて非常に小さい（１／20以下）である。
出力Ｓu ，Ｓd には、流量に起因する信号成分Ｑと温度
に起因する信号成分Ｔとがそれぞれ含まれている。い
ま、Ｄ＝Ｓu −Ｓd 、Ａ＝Ｓu ＋Ｓd とすると、信号Ｄ
はその殆どが流量信号成分Ｑとなり、温度成分信号Ｔは
僅かであり、また、信号Ａはその殆どが温度信号成分Ｔ
となり、流量信号成分Ｑは僅かである。そして、信号レ
ベルとしては、Ｄ≪Ａである。つまり、流量変化による
センサ出力の変化が温度変化によるセンサ出力の変化に
比べて非常に小さい（１／20以下）である。
【０００６】そして、従来の質量流量計においては、前
記センサ出力Ｓu ，Ｓd をそのままＡＤ変換器７に入力
していたので、ＡＤ変換器７が前記流量信号成分Ｑを分
解能よく読み込むことができず、その結果、精度の高い
測定を行うのが困難であった。
記センサ出力Ｓu ，Ｓd をそのままＡＤ変換器７に入力
していたので、ＡＤ変換器７が前記流量信号成分Ｑを分
解能よく読み込むことができず、その結果、精度の高い
測定を行うのが困難であった。
【０００７】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、ＡＤ変換器における
流量信号の分解能を上げることにより、精度の高い測定
を行うことができる質量流量計を提供することにある。
もので、その目的とするところは、ＡＤ変換器における
流量信号の分解能を上げることにより、精度の高い測定
を行うことができる質量流量計を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、ｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋
Ｓ d ）／ｆ T （Ｓ u ＋Ｓ d ）に基づいて導管中の流体の
質量流量を求めるようにした質量流量計において、信号
（Ｓu −Ｓd ）と（Ｓu ＋Ｓd ）とにおける信号レベル
を合わせた後、ＡＤ変換するようにしている。
め、本考案においては、ｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋
Ｓ d ）／ｆ T （Ｓ u ＋Ｓ d ）に基づいて導管中の流体の
質量流量を求めるようにした質量流量計において、信号
（Ｓu −Ｓd ）と（Ｓu ＋Ｓd ）とにおける信号レベル
を合わせた後、ＡＤ変換するようにしている。
【０００９】
【作用】信号（Ｓu −Ｓd ）と（Ｓu ＋Ｓd ）とにおけ
る信号レベルを合わせた後、ＡＤ変換するようにしてい
るので、流量信号成分Ｑの分解能が上がり、それだけ、
精度の高い測定を行うことができる。
る信号レベルを合わせた後、ＡＤ変換するようにしてい
るので、流量信号成分Ｑの分解能が上がり、それだけ、
精度の高い測定を行うことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１１】図１は、本考案に係る質量流量計の構成を
概略的に示すもので、この図において前記図１と同一符
号は同一物を示している。図１において、11, 12はセン
サ出力Ｓu ，Ｓd をそれぞれ入力とするアナログの減算
回路、加算回路であり、それぞれアナログの減算出力
（Ｓu −Ｓd ）、加算出力（Ｓu ＋Ｓd ）を出力する。
そして、13は減算回路11の出力（Ｓu −Ｓd ）をｎ倍
（ｎ＞１、例えば４または８倍）するｎ倍増幅器であ
る。
概略的に示すもので、この図において前記図１と同一符
号は同一物を示している。図１において、11, 12はセン
サ出力Ｓu ，Ｓd をそれぞれ入力とするアナログの減算
回路、加算回路であり、それぞれアナログの減算出力
（Ｓu −Ｓd ）、加算出力（Ｓu ＋Ｓd ）を出力する。
そして、13は減算回路11の出力（Ｓu −Ｓd ）をｎ倍
（ｎ＞１、例えば４または８倍）するｎ倍増幅器であ
る。
【００１２】14は前記ｎ倍増幅器13の出力ｎ（Ｓu −Ｓ
d ）と加算回路12の出力（Ｓu ＋Ｓd ）とを順次取り込
むマルチプレクサ、15はマルチプレクサ14によって入力
される信号を、順次ＡＤ変換するＡＤ変換器である。16
はＣＰＵで、このＣＰＵ16には、ＡＤ変換後の信号ｎ
（Ｓu −Ｓd ）, （Ｓu ＋Ｓd ）が入力される。そし
て、ＣＰＵ16は、信号ｎ（Ｓu −Ｓd ）に１／ｎを乗じ
た後、これを（Ｓu ＋Ｓd）で割算する。その後、前記
割算で得られるｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋Ｓ d ）／ｆ T
（Ｓ u ＋Ｓ d ）に所定の係数を乗じて質量流量を算出す
るように構成されている。
d ）と加算回路12の出力（Ｓu ＋Ｓd ）とを順次取り込
むマルチプレクサ、15はマルチプレクサ14によって入力
される信号を、順次ＡＤ変換するＡＤ変換器である。16
はＣＰＵで、このＣＰＵ16には、ＡＤ変換後の信号ｎ
（Ｓu −Ｓd ）, （Ｓu ＋Ｓd ）が入力される。そし
て、ＣＰＵ16は、信号ｎ（Ｓu −Ｓd ）に１／ｎを乗じ
た後、これを（Ｓu ＋Ｓd）で割算する。その後、前記
割算で得られるｆ Q （Ｓ u −Ｓ d ，Ｓ u ＋Ｓ d ）／ｆ T
（Ｓ u ＋Ｓ d ）に所定の係数を乗じて質量流量を算出す
るように構成されている。
【００１３】上記実施例に示したように、センサ出力Ｓ
u ，Ｓd をＡＤ変換器15に入力する前に、ｎ倍増幅器13
において信号（Ｓu −Ｓd ）をｎ倍（ｎ＞１）している
ので、それだけ流量信号成分Ｑが増幅され、この増幅さ
れた信号をＡＤ変換器15に入力してやることにより、前
記Ｑを分解能よく読み込むことができる。その結果、精
度の高い測定結果を得ることができる。
u ，Ｓd をＡＤ変換器15に入力する前に、ｎ倍増幅器13
において信号（Ｓu −Ｓd ）をｎ倍（ｎ＞１）している
ので、それだけ流量信号成分Ｑが増幅され、この増幅さ
れた信号をＡＤ変換器15に入力してやることにより、前
記Ｑを分解能よく読み込むことができる。その結果、精
度の高い測定結果を得ることができる。
【００１４】本考案は、上述の実施例に限られるもので
はなく、例えば図１における実施例において、ｎ倍増幅
器13を取り去り、加算回路12の直後に加算回路12の出力
（Ｓu ＋Ｓd ）を１／ｎ倍（ｎ＞１）するための乗算回
路を設けて、（Ｓu ＋Ｓd ）／ｎなる信号をＣＰＵ16に
入力し、その後、この（Ｓu ＋Ｓd ）／ｎをｎ倍しても
よい。また、信号（Ｓu −Ｓd ），（Ｓu ＋Ｓd ）をそ
れぞれ相異なる増幅度で増幅して、両者の信号レベルを
合わせるようにしてもよい。
はなく、例えば図１における実施例において、ｎ倍増幅
器13を取り去り、加算回路12の直後に加算回路12の出力
（Ｓu ＋Ｓd ）を１／ｎ倍（ｎ＞１）するための乗算回
路を設けて、（Ｓu ＋Ｓd ）／ｎなる信号をＣＰＵ16に
入力し、その後、この（Ｓu ＋Ｓd ）／ｎをｎ倍しても
よい。また、信号（Ｓu −Ｓd ），（Ｓu ＋Ｓd ）をそ
れぞれ相異なる増幅度で増幅して、両者の信号レベルを
合わせるようにしてもよい。
【００１５】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
流量信号成分をＡＤ変換する場合における分解能が大幅
に改善されるので、精度の高い測定を行うことができる
ようになった。なお、本考案は、質量流量を計測する部
分と流量を制御する部分を併せ持つ構成の流量制御装置
にも適用できる。
流量信号成分をＡＤ変換する場合における分解能が大幅
に改善されるので、精度の高い測定を行うことができる
ようになった。なお、本考案は、質量流量を計測する部
分と流量を制御する部分を併せ持つ構成の流量制御装置
にも適用できる。
【図１】本考案に係る質量流量計の一構成例を概略的に
示す図である。
示す図である。
【図２】従来の質量流量計の構成を概略的に示す図であ
る。
る。
【符号の説明】 １…導管、２，３…抵抗体、４，５…定温度制御回路、
15…ＡＤ変換器、Ｓu，Ｓd …定温度制御回路の出力、
Ｆ…流体。
15…ＡＤ変換器、Ｓu，Ｓd …定温度制御回路の出力、
Ｆ…流体。
Claims (1)
- 【請求項１】 流体が流れる導管に、流体の温度に応じ
て抵抗値が変化する２つの抵抗体を、上流側、下流側に
互いに独立して設けると共に、これらの抵抗体をそれぞ
れ含む２つの定温度制御回路を互いに独立して設け、こ
れらの定温度制御回路によって前記両抵抗体の温度を常
に相等しくかつ一定となるように制御し、上流側に位置
する抵抗体に対応する定温度制御回路の出力Ｓu と、下
流側に位置する抵抗体に対応する定温度制御回路の出力
Ｓd とするとき、ｆQ （Ｓu −Ｓd ，Ｓu ＋Ｓd ）／ｆ
T （Ｓu ＋Ｓd ）に基づいて前記導管中の流体の質量流
量を求めるようにした質量流量計において、信号（Ｓu
−Ｓd ）と（Ｓu ＋Ｓd）とにおける信号レベルを合わ
せた後、ＡＤ変換するようにしたことを特徴とする質量
流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992013159U JP2574667Y2 (ja) | 1992-02-08 | 1992-02-08 | 質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992013159U JP2574667Y2 (ja) | 1992-02-08 | 1992-02-08 | 質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564733U JPH0564733U (ja) | 1993-08-27 |
| JP2574667Y2 true JP2574667Y2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=11825396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992013159U Expired - Fee Related JP2574667Y2 (ja) | 1992-02-08 | 1992-02-08 | 質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2574667Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-08 JP JP1992013159U patent/JP2574667Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0564733U (ja) | 1993-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |