JP2573942Y2 - 常時開放型バルブ駆動機構 - Google Patents
常時開放型バルブ駆動機構Info
- Publication number
- JP2573942Y2 JP2573942Y2 JP1993029521U JP2952193U JP2573942Y2 JP 2573942 Y2 JP2573942 Y2 JP 2573942Y2 JP 1993029521 U JP1993029521 U JP 1993029521U JP 2952193 U JP2952193 U JP 2952193U JP 2573942 Y2 JP2573942 Y2 JP 2573942Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- plunger
- diaphragm
- solenoid
- magnetic material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、多種多様な流体の質量
流量を精密に自動制御するバルブ駆動機構で、常時開放
型バルブ駆動機構に関するものである。
流量を精密に自動制御するバルブ駆動機構で、常時開放
型バルブ駆動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来超ＬＳＩの製造に使用される、多種
多様な流体の質量流量を精密に自動制御するバルブ駆動
機構として、特開平３−１７７６７０号（特願平１−２
９６５７４号）のバルブ駆動機構があった。
多様な流体の質量流量を精密に自動制御するバルブ駆動
機構として、特開平３−１７７６７０号（特願平１−２
９６５７４号）のバルブ駆動機構があった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、このバルブ駆
動機構では、プランジャコイルに通電しない通常の状態
で、バルブ本体が流体入口を閉鎖している。即ち常時閉
鎖型バルブ駆動機構になっている。従って常時開放型と
して使用する場合には、常時プランジャコイルに通電し
ていなければならない欠点があった。
動機構では、プランジャコイルに通電しない通常の状態
で、バルブ本体が流体入口を閉鎖している。即ち常時閉
鎖型バルブ駆動機構になっている。従って常時開放型と
して使用する場合には、常時プランジャコイルに通電し
ていなければならない欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は、上記欠点を皆
無にするためになされたものであって、その特徴とする
ところは、流体の質量流量を制御するバルブとして、フ
ラットプラグバルブを用い、フラットプラグの駆動部を
高強度、高靭性な材料よりなる円環状ダイヤフラムで支
持された、軟磁性材よりなるプランジャと、プランジャ
を吸引する軟磁性材よりなる磁極を具備した、いわゆる
直進型ソレノイドで構成したバルブ駆動機構において、
スプリング１７で、バルブ本体１５の突出部１８が、バ
ルブダイヤフラム１９の中心部を押上げ、常時流体シー
ル部１６を開放し、プランジャ２４のガイドピン３６の
下部突出部４５の先端が、バルブ本体１５の突出部１８
に対向して、バルブダイヤフラム１９の中心部に接触さ
せ、ガイドピン３６が内部で滑動し得るように保持した
軟磁性材よりなる磁極２７を、プランジャ２４との間に
磁気空隙３９が構成されるように軟磁性材よりなるヨー
ク２５にねじ込み、プランジャ２４のガイドピン３６が
ねじ込まれた反対側でソレノイドダイヤフラム２８の内
周をクランプし、ソレノイドダイヤフラム２８の外周
を、軟磁性材よりなるヨーク２６にクランプして構成し
たことにある。
無にするためになされたものであって、その特徴とする
ところは、流体の質量流量を制御するバルブとして、フ
ラットプラグバルブを用い、フラットプラグの駆動部を
高強度、高靭性な材料よりなる円環状ダイヤフラムで支
持された、軟磁性材よりなるプランジャと、プランジャ
を吸引する軟磁性材よりなる磁極を具備した、いわゆる
直進型ソレノイドで構成したバルブ駆動機構において、
スプリング１７で、バルブ本体１５の突出部１８が、バ
ルブダイヤフラム１９の中心部を押上げ、常時流体シー
ル部１６を開放し、プランジャ２４のガイドピン３６の
下部突出部４５の先端が、バルブ本体１５の突出部１８
に対向して、バルブダイヤフラム１９の中心部に接触さ
せ、ガイドピン３６が内部で滑動し得るように保持した
軟磁性材よりなる磁極２７を、プランジャ２４との間に
磁気空隙３９が構成されるように軟磁性材よりなるヨー
ク２５にねじ込み、プランジャ２４のガイドピン３６が
ねじ込まれた反対側でソレノイドダイヤフラム２８の内
周をクランプし、ソレノイドダイヤフラム２８の外周
を、軟磁性材よりなるヨーク２６にクランプして構成し
たことにある。
【０００５】
【作用】プランジャコイル４１に通電しなければ、スプ
リング１７の作用で、流体シール部１６が開放されてい
て、常時開放状態にある。プランジャコイル４１に通電
すれば、プランジャ２４が磁極２７に吸引され、ガイド
ピン３６を介して、バルブダイヤフラム１９を変形さ
せ、流体シール部１６の間隔δ１が狭くなり、流体流量
が少なくなる。従ってプランジャコイル４１への供給電
力を増減することにより、流体の質量流量を制御するこ
とができる。
リング１７の作用で、流体シール部１６が開放されてい
て、常時開放状態にある。プランジャコイル４１に通電
すれば、プランジャ２４が磁極２７に吸引され、ガイド
ピン３６を介して、バルブダイヤフラム１９を変形さ
せ、流体シール部１６の間隔δ１が狭くなり、流体流量
が少なくなる。従ってプランジャコイル４１への供給電
力を増減することにより、流体の質量流量を制御するこ
とができる。
【０００６】
【実施例】以下図面について詳細に説明する。図１は、
本考案の実施例を示す側断面図で、バルブ部１１と駆動
部２１とよりなっている。バルブ部１１は、バルブ筐体
１２の一方の壁に流体の入口１３及び出口１４を設け、
入口１３からの流体流量は、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロフ
ルオエチレン）よりなるバルブ本体１５の上下移動によ
り、流体シール部１６（間隔をδ１とする）を開閉させ
て制御するようになっている。即ちバルブ本体１５は、
フラットプラグになっている。バルブ本体１５は、スプ
リング１７で押上げられ、バルブ本体１５の突出部１８
で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げる構造に
なっている。バルブ筐体１２、バルブダイヤフラム１９
及び入、出口のパイプはすべてＳＵＳ−３１６（ステン
レススチール）でできていて、フッ素化合物、塩素化合
物などの腐触性気体にも安心して使用できるようにして
ある。又バルブ本体１５をＰＣＴＦＥで、弁座（バルブ
筐体）をＳＵＳ−３１６で構成することにより、パーテ
ィクルな塵埃の発生を防止している。２１は、本考案の
駆動部として用いた直進型ソレノイドで、ソレノイド部
２２と、軟磁性材よりなるケース２３より構成される。
２４は、軟磁性材よりなるプランジャ２５及び２６は軟
磁性材よりなるヨーク、２７はプランジャ２４を吸引す
る軟磁性材よりなる磁極。２８は例えば、ニッケル、コ
バルト、クローム、モリブデン鋼（９％Ｎｉ、９％Ｃ
ｏ、８％Ｃｒ、４％Ｍｏ、０．１％Ａｌ、０．４％Ｔ
ｉ，０．０１％Ｃ、残りＦｅ）を真空中又は水素中で４
８０°Ｃ５時間時効硬化処理し、高強度、高靭性とした
材料よりなる薄いソレノイドダイヤフラムで、その内周
をプランジャ２４とクランプリング３２で挟み、ナット
３３をプランジャ２４の先端ねじ部３４にねじ込みクラ
ンプする。又ソレノイドダイヤフラム２８の外周は、ヨ
ーク２６の突出円筒部２９とリング３０で挟み、小ねじ
３１でクランプしてある。而してプランジャ２４は、中
心部に保持され、ヨーク２６との間に磁気空隙３５が構
成される。３６は非磁性材よりなるガイドピンでプラン
ジャ２４の下部にねじ込み固着し、磁極２７に埋め込ま
せた軸受３７内を滑動するようになっている。３８はク
ランプねじで、プランジャ２４と磁極２７との間にでき
る磁気空隙３９の空隙長δ２を磁極２７で調整後、磁極
２７をクランプする。４０は絶縁材よりなるボビン、４
１はボビン４０にプランジャ２４を周回するように捲か
れたプランジャコイル、４２はリード線である。以上で
ソレノイド部２２を構成している。４３は、波形ワッシ
ヤ、４４はリングねじで、リングねじ４４をねじ込むこ
とにより、ソレノイド部２２は、波形ワッシャ４３を変
形させ、ケース２３内部に固定される。４５はガイドピ
ン３６の下部突出部、４６は駆動部２１の取付座、４７
は取付座４６の底面である。バルブ本体１５は、スプリ
ング１７で押上げられ、バルブ本体１５の突出部１８
で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げている
が、バルブダイヤフラム１９の反対面が、取付座４６の
底面４７に密着している図１の状態で停止し、流体シー
ル部１６の間隔はδ１に保持される。δ１は高々０．１
ｍｍ程度である。ソレノイド部２２は、磁気空隙３９の
空隙長δ２がδ２＞δ１になるように外部で調整し、ケ
ース２３に挿入、リングねじ４４をねじ込むことによ
り、波形ワッシャ４３を変形させ、ガイドピン３６の下
部突出部４５の先端がバルブダイヤフラム１９の中心部
に接触した位置に固定する。図１はこの状態を図示して
ある。
本考案の実施例を示す側断面図で、バルブ部１１と駆動
部２１とよりなっている。バルブ部１１は、バルブ筐体
１２の一方の壁に流体の入口１３及び出口１４を設け、
入口１３からの流体流量は、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロフ
ルオエチレン）よりなるバルブ本体１５の上下移動によ
り、流体シール部１６（間隔をδ１とする）を開閉させ
て制御するようになっている。即ちバルブ本体１５は、
フラットプラグになっている。バルブ本体１５は、スプ
リング１７で押上げられ、バルブ本体１５の突出部１８
で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げる構造に
なっている。バルブ筐体１２、バルブダイヤフラム１９
及び入、出口のパイプはすべてＳＵＳ−３１６（ステン
レススチール）でできていて、フッ素化合物、塩素化合
物などの腐触性気体にも安心して使用できるようにして
ある。又バルブ本体１５をＰＣＴＦＥで、弁座（バルブ
筐体）をＳＵＳ−３１６で構成することにより、パーテ
ィクルな塵埃の発生を防止している。２１は、本考案の
駆動部として用いた直進型ソレノイドで、ソレノイド部
２２と、軟磁性材よりなるケース２３より構成される。
２４は、軟磁性材よりなるプランジャ２５及び２６は軟
磁性材よりなるヨーク、２７はプランジャ２４を吸引す
る軟磁性材よりなる磁極。２８は例えば、ニッケル、コ
バルト、クローム、モリブデン鋼（９％Ｎｉ、９％Ｃ
ｏ、８％Ｃｒ、４％Ｍｏ、０．１％Ａｌ、０．４％Ｔ
ｉ，０．０１％Ｃ、残りＦｅ）を真空中又は水素中で４
８０°Ｃ５時間時効硬化処理し、高強度、高靭性とした
材料よりなる薄いソレノイドダイヤフラムで、その内周
をプランジャ２４とクランプリング３２で挟み、ナット
３３をプランジャ２４の先端ねじ部３４にねじ込みクラ
ンプする。又ソレノイドダイヤフラム２８の外周は、ヨ
ーク２６の突出円筒部２９とリング３０で挟み、小ねじ
３１でクランプしてある。而してプランジャ２４は、中
心部に保持され、ヨーク２６との間に磁気空隙３５が構
成される。３６は非磁性材よりなるガイドピンでプラン
ジャ２４の下部にねじ込み固着し、磁極２７に埋め込ま
せた軸受３７内を滑動するようになっている。３８はク
ランプねじで、プランジャ２４と磁極２７との間にでき
る磁気空隙３９の空隙長δ２を磁極２７で調整後、磁極
２７をクランプする。４０は絶縁材よりなるボビン、４
１はボビン４０にプランジャ２４を周回するように捲か
れたプランジャコイル、４２はリード線である。以上で
ソレノイド部２２を構成している。４３は、波形ワッシ
ヤ、４４はリングねじで、リングねじ４４をねじ込むこ
とにより、ソレノイド部２２は、波形ワッシャ４３を変
形させ、ケース２３内部に固定される。４５はガイドピ
ン３６の下部突出部、４６は駆動部２１の取付座、４７
は取付座４６の底面である。バルブ本体１５は、スプリ
ング１７で押上げられ、バルブ本体１５の突出部１８
で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げている
が、バルブダイヤフラム１９の反対面が、取付座４６の
底面４７に密着している図１の状態で停止し、流体シー
ル部１６の間隔はδ１に保持される。δ１は高々０．１
ｍｍ程度である。ソレノイド部２２は、磁気空隙３９の
空隙長δ２がδ２＞δ１になるように外部で調整し、ケ
ース２３に挿入、リングねじ４４をねじ込むことによ
り、波形ワッシャ４３を変形させ、ガイドピン３６の下
部突出部４５の先端がバルブダイヤフラム１９の中心部
に接触した位置に固定する。図１はこの状態を図示して
ある。
【０００７】
【考案の効果】以上図面について詳細に説明したが、本
考案によるバルブ駆動機構では、プランジャコイル４１
に通電しない通常の状態では流体シール部１６は常にδ
１の間隔で開放している。従って常時開放型として作用
する効果がある。プランジャコイル４１に通電すれば、
プランジャ２４が磁極２７に吸引され、ガイドピン３６
を介して、バルブダイヤフラム１９を変形させ、流体シ
ール部１６の間隔δ１が狭くなるように作用し、プラン
ジャコイル４１への供給電力を増減することにより、流
体の質量流量を制御する効果があり、又δ２＞δ１に調
整されているから、プランジャコイル４１への供給電力
をある程度以上供給すれば、δ１は零となり、流体の流
量を遮断する効果がある。
考案によるバルブ駆動機構では、プランジャコイル４１
に通電しない通常の状態では流体シール部１６は常にδ
１の間隔で開放している。従って常時開放型として作用
する効果がある。プランジャコイル４１に通電すれば、
プランジャ２４が磁極２７に吸引され、ガイドピン３６
を介して、バルブダイヤフラム１９を変形させ、流体シ
ール部１６の間隔δ１が狭くなるように作用し、プラン
ジャコイル４１への供給電力を増減することにより、流
体の質量流量を制御する効果があり、又δ２＞δ１に調
整されているから、プランジャコイル４１への供給電力
をある程度以上供給すれば、δ１は零となり、流体の流
量を遮断する効果がある。
【図１】本考案の実施例を示す側断面図
１１ バルブ部 １５ バルブ本体 １６ 流体シール部 １７ スプリング １９ バルブダイヤフラム ２１ 駆動部 ２２ ソレノイド部 ２３ ケース ２４ プランジャ ２５、２６ ヨーク ２７ 磁極 ２８ ソレノイドダイヤフラム ３５、３９ 磁気空隙 ３６ ガイドピン ４１ プランジャコイル ４３ 波形ワッシャ ４４ リングねじ ４７ 取付座４６の底面
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−177670（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−366077（ＪＰ，Ａ) 特公 昭62−25908（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16K 31/06
Claims (1)
- 【請求項１】 流体の質量流量を制御するバルブとし
て、フラットプラグバルブを用い、フラットプラグの駆
動部を高強度、高靭性な材質よりなる円環状ダイヤフラ
ムで支持された、軟磁性材よりなるプランジャと、プラ
ンジャを吸引する軟磁性材よりなる磁極を具備した、い
わゆる直進型ソレノイドで構成したバルブ駆動機構にお
いて、スプリング１７で、バルブ本体１５の突出部１８
が、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げ、常時流
体シール部１６を開放し、プランジャ２４のガイドピン
３６の下部突出部４５の先端が、バルブ本体１５の突出
部１８に対向して、バルブダイヤフラム１９の中心部に
接触させ、ガイドピン３６が内部で滑動し得るように保
持した軟磁性材よりなる磁極２７を、プランジャ２４と
の間に磁気空隙３９が構成されるように軟磁性材よりな
るヨーク２５にねじ込み、プランジャ２４のガイドピン
３６がねじ込まれた反対側でソレノイドダイヤフラム２
８の内周をクランプし、ソレノイドダイヤフラム２８の
外周を軟磁性材よりなるヨーク２６にクランプして構成
したことを特徴とする常時開放型バルブ駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993029521U JP2573942Y2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 常時開放型バルブ駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993029521U JP2573942Y2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 常時開放型バルブ駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0718081U JPH0718081U (ja) | 1995-03-31 |
| JP2573942Y2 true JP2573942Y2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=12278414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993029521U Expired - Lifetime JP2573942Y2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 常時開放型バルブ駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573942Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015187873A1 (en) | 2014-06-04 | 2015-12-10 | Bright Lite Structures Llc | Reinforced composite structure |
| CN107614766B (zh) | 2015-04-03 | 2021-04-27 | 明亮简化结构有限责任公司 | 用于可控制地切割纤维的装置及相关方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225908A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-03 | 井関農機株式会社 | 移植機 |
| JP2553398B2 (ja) * | 1989-11-14 | 1996-11-13 | タカノ株式会社 | バルブ駆動機構 |
| JPH04366077A (ja) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Nippon M K S Kk | 制御弁 |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP1993029521U patent/JP2573942Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718081U (ja) | 1995-03-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |