JPH0718081U - 常時開放型バルブ駆動機構 - Google Patents

常時開放型バルブ駆動機構

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JPH0718081U
JPH0718081U JP2952193U JP2952193U JPH0718081U JP H0718081 U JPH0718081 U JP H0718081U JP 2952193 U JP2952193 U JP 2952193U JP 2952193 U JP2952193 U JP 2952193U JP H0718081 U JPH0718081 U JP H0718081U
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plunger
diaphragm
solenoid
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正次 大川
龍彦 古門
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Lintec Corp
Takano Co Ltd
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Lintec Corp
Takano Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目 的】 多種多様な流体の質量流量を精密に自動制
御するバルブ駆動機構で、常時開放型バルブ駆動機構を
提供するにある。 【構 成】 バルブとして、フラットプラグバルブを用
い、スプリング１７でバルブ本体１５を介してバルブダ
イヤフラム１９の中心部を押上げ、常時バルブシール部
１６を開放させ、円環状ソレノイドダイヤフラム２８に
支持されたプランジャ２４のガイドピン３６の先端が、
バルブ本体１５と対向してバルブダイヤフラム１９の中
心部に接触させた構成である。 【効 果】 プランジャコイル４１に通電しなければ、
バルブシール部１６が開放されているので常時開放型と
して動作する効果がある。プランジャコイル４１への供
給電力を増減すれば、バルブシール部１６の間隔δ１が
減増し、流体の質量流量を制御できる効果がある。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、多種多様な流体の質量流量を精密に自動制御するバルブ駆動機構で 、常時開放型バルブ駆動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来超ＬＳＩの製造に使用される、多種多様な流体の質量流量を精密に自動制 御するバルブ駆動機構として、特開平３−１７７６７０号（特願平１−２９６５ ７４号）のバルブ駆動機構があった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
しかし、このバルブ駆動機構では、プランジャコイルに通電しない通常の状態 で、バルブ本体が流体入口を閉鎖している。即ち常時閉鎖型バルブ駆動機構にな っている。従って常時開放型として使用する場合には、常時プランジャコイルに 通電していなければならない欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案は、上記欠点を皆無にするためになされたものであって、その特徴とす るところは、流体の質量流量を制御するバルブとして、フラットプラグバルブを 用い、フラットプラグの駆動部を高強度、高靭性な材料よりなる円環状ダイヤフ ラムで支持された、軟磁性材よりなるプランジャと、プランジャを吸引する軟磁 性材よりなる磁極を具備した、いわゆる直進型ソレノイドで構成したバルブ駆動 機構において、スプリング１７で、バルブ本体１５の突出部１８が、バルブダイ ヤフラム１９の中心部を押上げ、常時流体シール部１６を開放し、プランジャ２ ４のガイドピン３６の下部突出部４５の先端が、バルブ本体１５の突出部１８に 対向して、バルブダイヤフラム１９の中心部に接触させ、ガイドピン３６が内部 で滑動し得るように保持した軟磁性材よりなる磁極２７を、プランジャ２４との 間に磁気空隙３９が構成されるように軟磁性材よりなるヨーク２５にねじ込み、 プランジャ２４のガイドピン３６がねじ込まれた反対側でソレノイドダイヤフラ ム２８の内周をクランプし、ソレノイドダイヤフラム２８の外周を、軟磁性材よ りなるヨーク２６にクランプして構成したことにある。
【０００５】
【作用】
プランジャコイル４１に通電しなければ、スプリング１７の作用で、流体シー ル部１６が開放されていて、常時開放状態にある。 プランジャコイル４１に通電すれば、プランジャ２４が磁極２７に吸引され、 ガイドピン３６を介して、バルブダイヤフラム１９を変形させ、流体シール部１ ６の間隔δ１が狭くなり、流体流量が少なくなる。従ってプランジャコイル４１ への供給電力を増減することにより、流体の質量流量を制御することができる。
【０００６】
【実施例】
以下図面について詳細に説明する。 図１は、本考案の実施例を示す側断面図で、バルブ部１１と駆動部２１とより なっている。 バルブ部１１は、バルブ筐体１２の一方の壁に流体の入口１３及び出口１４を 設け、入口１３からの流体流量は、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロフルオエチレン）よ りなるバルブ本体１５の上下移動により、流体シール部１６（間隔をδ１とする ）を開閉させて制御するようになっている。即ちバルブ本体１５は、フラットプ ラグになっている。バルブ本体１５は、スプリング１７で押上げられ、バルブ本 体１５の突出部１８で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げる構造になっ ている。 バルブ筐体１２、バルブダイヤフラム１９及び入、出口のパイプはすべてＳＵ Ｓ−３１６（ステンレススチール）でできていて、フッ素化合物、塩素化合物な どの腐触性気体にも安心して使用できるようにしてある。又バルブ本体１５をＰ ＣＴＦＥで、弁座（バルブ筐体）をＳＵＳ−３１６で構成することにより、パー ティクルな塵埃の発生を防止している。 ２１は、本考案の駆動部として用いた直進型ソレノイドで、ソレノイド部２２ と、軟磁性材よりなるケース２３より構成される。 ２４は、軟磁性材よりなるプランジャ２５及び２６は軟磁性材よりなるヨーク 、２７はプランジャ２４を吸引する軟磁性材よりなる磁極。２８は例えば、ニッ ケル、コバルト、クローム、モリブデン鋼（９％Ｎｉ、９％Ｃｏ、８％Ｃｒ、４ ％Ｍｏ、０．１％Ａｌ、０．４％Ｔｉ，０．０１％Ｃ、残りＦｅ）を真空中又は 水素中で４８０°Ｃ５時間時効硬化処理し、高強度、高靭性とした材料よりなる 薄いソレノイドダイヤフラムで、その内周をプランジャ２４とクランプリング３ ２で挟み、ナット３３をプランジャ２４の先端ねじ部３４にねじ込みクランプす る。又ソレノイドダイヤフラム２８の外周は、ヨーク２６の突出円筒部２９とリ ング３０で挟み、小ねじ３１でクランプしてある。而してプランジャ２４は、中 心部に保持され、ヨーク２６との間に磁気空隙３５が構成される。 ３６は非磁性材よりなるガイドピンでプランジャ２４の下部にねじ込み固着し 、磁極２７に埋め込ませた軸受３７内を滑動するようになっている。 ３８はクランプねじで、プランジャ２４と磁極２７との間にできる磁気空隙３ ９の空隙長δ２を磁極２７で調整後、磁極２７をクランプする。 ４０は絶縁材よりなるボビン、４１はボビン４０にプランジャ２４を周回する ように捲かれたプランジャコイル、４２はリード線である。以上でソレノイド部 ２２を構成している。 ４３は、波形ワッシヤ、４４はリングねじで、リングねじ４４をねじ込むこと により、ソレノイド部２２は、波形ワッシャ４３を変形させ、ケース２３内部に 固定される。 ４５はガイドピン３６の下部突出部、４６は駆動部２１の取付座、４７は取付 座４６の底面である。 バルブ本体１５は、スプリング１７で押上げられ、バルブ本体１５の突出部１ ８で、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げているが、バルブダイヤフラム １９の反対面が、取付座４６の底面４７に密着している図１の状態で停止し、流 体シール部１６の間隔はδ１に保持される。δ１は高々０．１ｍｍ程度である。 ソレノイド部２２は、磁気空隙３９の空隙長δ２がδ２＞δ１になるように外 部で調整し、ケース２３に挿入、リングねじ４４をねじ込むことにより、波形ワ ッシャ４３を変形させ、ガイドピン３６の下部突出部４５の先端がバルブダイヤ フラム１９の中心部に接触した位置に固定する。図１はこの状態を図示してある 。
【０００７】
【考案の効果】
以上図面について詳細に説明したが、本考案によるバルブ駆動機構では、プラ ンジャコイル４１に通電しない通常の状態では流体シール部１６は常にδ１の間 隔で開放している。従って常時開放型として作用する効果がある。 プランジャコイル４１に通電すれば、プランジャ２４が磁極２７に吸引され、 ガイドピン３６を介して、バルブダイヤフラム１９を変形させ、流体シール部１ ６の間隔δ１が狭くなるように作用し、プランジャコイル４１への供給電力を増 減することにより、流体の質量流量を制御する効果があり、又δ２＞δ１に調整 されているから、プランジャコイル４１への供給電力をある程度以上供給すれば 、δ１は零となり、流体の流量を遮断する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例を示す側断面図
【符号の説明】
１１ バルブ部 １５ バルブ本体 １６ 流体シール部 １７ スプリング １９ バルブダイヤフラム ２１ 駆動部 ２２ ソレノイド部 ２３ ケース ２４ プランジャ ２５、２６ ヨーク ２７ 磁極 ２８ ソレノイドダイヤフラム ３５、３９ 磁気空隙 ３６ ガイドピン ４１ プランジャコイル ４３ 波形ワッシャ ４４ リングねじ ４７ 取付座４６の底面

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体の質量流量を制御するバルブとし
    て、フラットプラグバルブを用い、フラットプラグの駆
    動部を高強度、高靭性な材質よりなる円環状ダイヤフラ
    ムで支持された、軟磁性材よりなるプランジャと、プラ
    ンジャを吸引する軟磁性材よりなる磁極を具備した、い
    わゆる直進型ソレノイドで構成したバルブ駆動機構にお
    いて、スプリング１７で、バルブ本体１５の突出部１８
    が、バルブダイヤフラム１９の中心部を押上げ、常時流
    体シール部１６を開放し、プランジャ２４のガイドピン
    ３６の下部突出部４５の先端が、バルブ本体１５の突出
    部１８に対向して、バルブダイヤフラム１９の中心部に
    接触させ、ガイドピン３６が内部で滑動し得るように保
    持した軟磁性材よりなる磁極２７を、プランジャ２４と
    の間に磁気空隙３９が構成されるように軟磁性材よりな
    るヨーク２５にねじ込み、プランジャ２４のガイドピン
    ３６がねじ込まれた反対側でソレノイドダイヤフラム２
    ８の内周をクランプし、ソレノイドダイヤフラム２８の
    外周を軟磁性材よりなるヨーク２６にクランプして構成
    したことを特徴とする常時開放型バルブ駆動機構。
JP1993029521U 1993-04-22 1993-04-22 常時開放型バルブ駆動機構 Expired - Lifetime JP2573942Y2 (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10399307B2 (en) 2014-06-04 2019-09-03 Bright Lite Structures Llc Reinforced composite structure
US10967583B2 (en) 2015-04-03 2021-04-06 Bright Lite Structures Llc Apparatus for controllably cutting fibers and related methods
US12053963B2 (en) 2018-11-19 2024-08-06 Bright Lite Structures Llc High-strength low-heat release composites

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6225908A (ja) * 1985-07-26 1987-02-03 井関農機株式会社 移植機
JPH03177670A (ja) * 1989-11-14 1991-08-01 Takano Kk バルブ駆動機構
JPH04366077A (ja) * 1991-06-13 1992-12-17 Nippon M K S Kk 制御弁

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6225908A (ja) * 1985-07-26 1987-02-03 井関農機株式会社 移植機
JPH03177670A (ja) * 1989-11-14 1991-08-01 Takano Kk バルブ駆動機構
JPH04366077A (ja) * 1991-06-13 1992-12-17 Nippon M K S Kk 制御弁

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10399307B2 (en) 2014-06-04 2019-09-03 Bright Lite Structures Llc Reinforced composite structure
US10406789B2 (en) 2014-06-04 2019-09-10 Bright Lite Structures Llc Multicomponent polymer resin, methods for applying the same, and composite laminate structure including the same
US10780677B2 (en) 2014-06-04 2020-09-22 Bright Lite Structures Llc Composite structure exhibiting energy absorption and/or including a defect free surface
US10786977B2 (en) 2014-06-04 2020-09-29 Bright Lite Structures Llc Composite sandwich having a high bending stiffness
US11241867B2 (en) 2014-06-04 2022-02-08 Bright Lite Structures Llc Multicomponent polymer resin, methods for applying the same, and composite laminate structure including the same
US10967583B2 (en) 2015-04-03 2021-04-06 Bright Lite Structures Llc Apparatus for controllably cutting fibers and related methods
US12053963B2 (en) 2018-11-19 2024-08-06 Bright Lite Structures Llc High-strength low-heat release composites

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