JP2557523B2 - プロービング装置 - Google Patents
プロービング装置Info
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- JP2557523B2 JP2557523B2 JP1073989A JP7398989A JP2557523B2 JP 2557523 B2 JP2557523 B2 JP 2557523B2 JP 1073989 A JP1073989 A JP 1073989A JP 7398989 A JP7398989 A JP 7398989A JP 2557523 B2 JP2557523 B2 JP 2557523B2
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- Japan
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- metal wire
- holding means
- stylus
- inspected
- holding
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子回路部品の機能検査を行うために触針
を被検査物に押し付けるプロービング装置に係り、特
に、触針を定期的に再生することが容易なプロービング
装置に関する。
を被検査物に押し付けるプロービング装置に係り、特
に、触針を定期的に再生することが容易なプロービング
装置に関する。
プロービング装置に使用される触針として、たとえ
は、特開昭60−47433号公報や特開昭61−40041号公報に
提案されているように、Ｗ、BeCuなどの固い金属を用
い、その表面に金めっきあるいはロジウムめっきなどを
施したものと、特開昭63−10536号公報に提案されてい
るように、金線などの比較的軟らかい金属を用いるもの
とが実施されている。
は、特開昭60−47433号公報や特開昭61−40041号公報に
提案されているように、Ｗ、BeCuなどの固い金属を用
い、その表面に金めっきあるいはロジウムめっきなどを
施したものと、特開昭63−10536号公報に提案されてい
るように、金線などの比較的軟らかい金属を用いるもの
とが実施されている。
このような触針を被検査物に接触させる場合には、所
要の接触圧を得るために、触針自体に弾性をもたせる
か、触針を移動可能にし、ばねなどの弾性部材で付勢す
ることが行われている。
要の接触圧を得るために、触針自体に弾性をもたせる
か、触針を移動可能にし、ばねなどの弾性部材で付勢す
ることが行われている。
固い金属を用いた触針では、触針先端部の変形を抑
え、触針の長寿命化が図れる反面、触針が変形しないた
め、被検査物に触針を接触させた時の圧力がそのまま被
検査物にかかり、被検査物に局部的な変形を発生させ、
あるいは薄膜回路部品のように機械的な強度が弱い被検
査物などの場合には、被検査物を破損させることがあ
る。
え、触針の長寿命化が図れる反面、触針が変形しないた
め、被検査物に触針を接触させた時の圧力がそのまま被
検査物にかかり、被検査物に局部的な変形を発生させ、
あるいは薄膜回路部品のように機械的な強度が弱い被検
査物などの場合には、被検査物を破損させることがあ
る。
軟らかい金属を用いた触針では、触針を被検査物に接
触させた時、触針の先端が変形して、被検査物にかかる
圧力を低減させ、被検査物を保護することができる反
面、触針の変形が進行して、触針の寿命が短くなり、そ
の保守管理が煩雑になる。
触させた時、触針の先端が変形して、被検査物にかかる
圧力を低減させ、被検査物を保護することができる反
面、触針の変形が進行して、触針の寿命が短くなり、そ
の保守管理が煩雑になる。
上記の事情に鑑み、本発明の目的は、軟質金属を用い
た触針を自動的に再生できるようにしたプロービング装
置を提供することにある。
た触針を自動的に再生できるようにしたプロービング装
置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明においては、触針
を構成する金属線を支持する支持手段と、前記金属線の
外径より若干大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金
属線を貫通させて保持する保持手段と、この保持手段を
貫通して突出する金属線を挾持し、保持手段との相対移
動により金属線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持
手段から突出する金属線を所定の長さに切断する切断手
段とを設けた。
を構成する金属線を支持する支持手段と、前記金属線の
外径より若干大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金
属線を貫通させて保持する保持手段と、この保持手段を
貫通して突出する金属線を挾持し、保持手段との相対移
動により金属線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持
手段から突出する金属線を所定の長さに切断する切断手
段とを設けた。
被検査物の機能検査を行うために触針を被検査物に押
し付けるプロービング装置において、触針を構成する金
属線を支持する支持手段と、前記金属線の外径より若干
大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金属線を貫通さ
せて保持する保持手段と、この保持手段を貫通して突出
する金属線を挾持し、保持手段との相対移動により金属
線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持手段から突出
する金属線を所定の長さで溶融させ、金属線を切断する
と共に、その先端を球形に整形する加熱手段とを設け
た。
し付けるプロービング装置において、触針を構成する金
属線を支持する支持手段と、前記金属線の外径より若干
大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金属線を貫通さ
せて保持する保持手段と、この保持手段を貫通して突出
する金属線を挾持し、保持手段との相対移動により金属
線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持手段から突出
する金属線を所定の長さで溶融させ、金属線を切断する
と共に、その先端を球形に整形する加熱手段とを設け
た。
また、触針を構成する金属線を支持する支持手段と、
前記金属線の外径より若干大きい貫通穴が形成され、こ
の貫通穴に金属線を貫通させて保持する保持手段と、こ
の保持手段を貫通して突出する金属線を挾持し、保持手
段との相対的移動により金属線を所定量引き出す挾持手
段と、前記保持手段から突出する金属線を所定の長さに
切断する切断手段と、切断された金属線の保持手段側の
端部を加熱して、前記貫通穴より大径の球形に整形する
加熱手段とを設けた。
前記金属線の外径より若干大きい貫通穴が形成され、こ
の貫通穴に金属線を貫通させて保持する保持手段と、こ
の保持手段を貫通して突出する金属線を挾持し、保持手
段との相対的移動により金属線を所定量引き出す挾持手
段と、前記保持手段から突出する金属線を所定の長さに
切断する切断手段と、切断された金属線の保持手段側の
端部を加熱して、前記貫通穴より大径の球形に整形する
加熱手段とを設けた。
触針の先端の変形が大きくなると、挾持手段で触針の
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、金
属線を切断し、触針を再生する。
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、金
属線を切断し、触針を再生する。
触針の先端の変形が大きくなると、挾持手段で触針の
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、引
き出された金属線の所定の位置を加熱溶融させ、金属線
を切断すると共に、溶融金属の表面針力により、金属線
の先端を球形に整形し、触針を再生する。
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、引
き出された金属線の所定の位置を加熱溶融させ、金属線
を切断すると共に、溶融金属の表面針力により、金属線
の先端を球形に整形し、触針を再生する。
触針の先端の変形が大きくなると、挾持手段で触針の
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、保
持手段の先端に、金属線の先端を球形に整形するのに必
要な長さを残し切断手段で引き出された金属線を切断す
る。ついで、保持手段から突出する金属線を加熱手段で
加熱して溶融させ、溶融金属の表面張力により、金属線
の先端を球形に整形し、触針を再生する。
先端を挾持し、挾持手段と保持手段を所定量相対移動さ
せ、金属線を保持手段から所定量引き出す。そして、保
持手段の先端に、金属線の先端を球形に整形するのに必
要な長さを残し切断手段で引き出された金属線を切断す
る。ついで、保持手段から突出する金属線を加熱手段で
加熱して溶融させ、溶融金属の表面張力により、金属線
の先端を球形に整形し、触針を再生する。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明によるプロービング装置の斜視図で
ある。同図において、架台１上には、移動手段２と、被
検査物３を装着するソケット４と、第１ハンド５と、カ
ッタ６と、トーチ７がそれぞれ所定の位置に設置されて
いる。制御手段７は架台１に付設され、 前記移動手段２は、架台１に固定された摺動台201
と、この摺動台201にＸ軸方向に移動可能に支持された
移動ステージ202と、この移動ステージ202の上端に設置
されたＺ軸駆動モータ203によってＺ軸方向に移動する
ブラケット204と、このブラケット204の先端部上面に固
定された第２ハンド206と、前記ブラケット204の先端部
下面に固定され、軸心部に貫通穴が形成されたキャピラ
リ208と、このキャピラリ208の下端に固定され、後述す
る金線の外径より大きく、金線の先端に形成される球形
部より小さい貫通穴が形成された荷重検出手段８と、前
記ブラケット204の側面に回転可能に支持され、触針と
なる金線205を巻回したリール210と、前記ブラケット20
4に回転可能に支持され、前記リール210から巻き出され
た金線を案内するプーリ209とを備えている。そして、
キャピラリ208に接続された導線207は、図示しない検査
装置の入力部に接続されている。
ある。同図において、架台１上には、移動手段２と、被
検査物３を装着するソケット４と、第１ハンド５と、カ
ッタ６と、トーチ７がそれぞれ所定の位置に設置されて
いる。制御手段７は架台１に付設され、 前記移動手段２は、架台１に固定された摺動台201
と、この摺動台201にＸ軸方向に移動可能に支持された
移動ステージ202と、この移動ステージ202の上端に設置
されたＺ軸駆動モータ203によってＺ軸方向に移動する
ブラケット204と、このブラケット204の先端部上面に固
定された第２ハンド206と、前記ブラケット204の先端部
下面に固定され、軸心部に貫通穴が形成されたキャピラ
リ208と、このキャピラリ208の下端に固定され、後述す
る金線の外径より大きく、金線の先端に形成される球形
部より小さい貫通穴が形成された荷重検出手段８と、前
記ブラケット204の側面に回転可能に支持され、触針と
なる金線205を巻回したリール210と、前記ブラケット20
4に回転可能に支持され、前記リール210から巻き出され
た金線を案内するプーリ209とを備えている。そして、
キャピラリ208に接続された導線207は、図示しない検査
装置の入力部に接続されている。
前記制御手段７は、前記荷重検出部201に接続された
荷重入力部701と、荷重入力部701に接続され、あらかじ
め設定された荷重と荷重入力部701から印加された荷重
とを比較し、ブラケット204の移動方向と移動量を算出
し、制御信号を出力する演算処理手段702と、演算処理
手段702の出力に基づいて、Ｚ軸駆動モータ203の駆動を
制御するモータ駆動制御手段703とを備えている。
荷重入力部701と、荷重入力部701に接続され、あらかじ
め設定された荷重と荷重入力部701から印加された荷重
とを比較し、ブラケット204の移動方向と移動量を算出
し、制御信号を出力する演算処理手段702と、演算処理
手段702の出力に基づいて、Ｚ軸駆動モータ203の駆動を
制御するモータ駆動制御手段703とを備えている。
前記被検査物３は、第２図に示すように、その上面に
複数個のプロービング用電極301が直列に配置され、下
面には、複数個のリード302が配置されている。
複数個のプロービング用電極301が直列に配置され、下
面には、複数個のリード302が配置されている。
前記ソケット４は、第３図に示すように、その上面に
前記被検査物３のリード302を挿入する複数個の穴401が
形成され、かつ、前記検査装置の入力部に接続するため
の導線402が接続されている。
前記被検査物３のリード302を挿入する複数個の穴401が
形成され、かつ、前記検査装置の入力部に接続するため
の導線402が接続されている。
このような構成で、第１図に示すように、ソケット４
に被検査物３を装着し、移動テージ202を移動させて、
金線205の先端に形成された球形部205aを、被検査物３
の上面の所要のプロービング用電極301の上方に移動さ
せる。そして、Ｚ軸駆動モータ203を移動させ、ブラケ
ット204を下降させて、第４図に示すように、金線205の
先端の球形部205をプロービング用電極301に接触させ
る。
に被検査物３を装着し、移動テージ202を移動させて、
金線205の先端に形成された球形部205aを、被検査物３
の上面の所要のプロービング用電極301の上方に移動さ
せる。そして、Ｚ軸駆動モータ203を移動させ、ブラケ
ット204を下降させて、第４図に示すように、金線205の
先端の球形部205をプロービング用電極301に接触させ
る。
この時、金線205の先端の球形部205とプロービング用
電極301の接続荷重は、荷重検出手段８で検出され、制
御装置７の荷重入力701に入力される。すると、制御装
置７の演算処理部702で予め設定された荷重と比較さ
れ、ブラケット204の移動方向と移動量が算出される。
この算出結果に基づいて、制御信号が出力されモータ駆
動制御手段703がＺ軸駆動モータ203を駆動制御して、球
形部205とプロービング用電極301の接触荷重を適正値に
設定する。
電極301の接続荷重は、荷重検出手段８で検出され、制
御装置７の荷重入力701に入力される。すると、制御装
置７の演算処理部702で予め設定された荷重と比較さ
れ、ブラケット204の移動方向と移動量が算出される。
この算出結果に基づいて、制御信号が出力されモータ駆
動制御手段703がＺ軸駆動モータ203を駆動制御して、球
形部205とプロービング用電極301の接触荷重を適正値に
設定する。
この状態で、導線207および導線402を介して被検査物
３と検査装置との間で検査信号の授受が行われ、被検査
物３の検査が遂行される。
３と検査装置との間で検査信号の授受が行われ、被検査
物３の検査が遂行される。
このようにして、金線205の球形部205aとプロービン
グ用電極301の接触位置を順次替えながら被検査物３の
検査が遂行されると、球形部205aは、プロービング用電
極301に繰返し押し付けられるため徐々に変形、あるい
は汚染皮膜の付着などその特性が劣化する。
グ用電極301の接触位置を順次替えながら被検査物３の
検査が遂行されると、球形部205aは、プロービング用電
極301に繰返し押し付けられるため徐々に変形、あるい
は汚染皮膜の付着などその特性が劣化する。
この球形部205aの劣化は、球形部205aとプロービング
用電極301の押し付け回数に比例するため、予め実験に
より、その許容押し付け回数を設定しておき、押し付け
回数が設定された値に達したら球形部205aを再生する。
用電極301の押し付け回数に比例するため、予め実験に
より、その許容押し付け回数を設定しておき、押し付け
回数が設定された値に達したら球形部205aを再生する。
この球形部205aの再生は、第５図および第６図に示す
ような工程で行う。第２ハンド206で金線205を挾持した
状態で、移動ステージ202を第１ハンド５の上方へ移動
させる。そして、ブラケット204を下降させ、第５図
（ａ）に示すように、球形部205aを第１ハンド５で挾持
可能な位置へ移動させる。すると、第５図（ｂ）に示す
ように、第１ハンド５が作動して、球形部205aを挾持す
る。同時に、第２ハンド206が作動して、金線205を開放
する。すると、ブラケット204が所定量上昇し、金線205
が荷重検出手段８の下端から所定量引き出された形にな
る。すると、第５図（ｃ）に示すように、第２ハンド20
6が作動して、金線250を挾持する。この状態でカッタ６
が作動して、金線205を所定の位置で切断する。そし
て、カッタ６が戻ると、第１ハンド５が作動して、挾持
していた球形部205aを開放する。
ような工程で行う。第２ハンド206で金線205を挾持した
状態で、移動ステージ202を第１ハンド５の上方へ移動
させる。そして、ブラケット204を下降させ、第５図
（ａ）に示すように、球形部205aを第１ハンド５で挾持
可能な位置へ移動させる。すると、第５図（ｂ）に示す
ように、第１ハンド５が作動して、球形部205aを挾持す
る。同時に、第２ハンド206が作動して、金線205を開放
する。すると、ブラケット204が所定量上昇し、金線205
が荷重検出手段８の下端から所定量引き出された形にな
る。すると、第５図（ｃ）に示すように、第２ハンド20
6が作動して、金線250を挾持する。この状態でカッタ６
が作動して、金線205を所定の位置で切断する。そし
て、カッタ６が戻ると、第１ハンド５が作動して、挾持
していた球形部205aを開放する。
このようにして、金線205（触針）を球形にする必要
のない場合には、金線205を切断するだけで容易に再生
することができる。
のない場合には、金線205を切断するだけで容易に再生
することができる。
また、金線205（触針）の先端に球形部205aを形成す
る場合には、移動ステージ202が移動して、第６図
（ａ）に示すように、切断された金線205の先端がトー
チ6aと所定の間隔で対向する位置へ移動する。この状態
で、トーチ6aに点火し、その火災で金線205の先端を加
熱する。すると、金線205の先端が溶融し、その表面張
力で、第６図（ｂ）に示すように球形部205aが形成され
る。そして、金線205の先端が所定量溶融したらトーチ6
aの発火を止め、球形部205aを凝固させる。
る場合には、移動ステージ202が移動して、第６図
（ａ）に示すように、切断された金線205の先端がトー
チ6aと所定の間隔で対向する位置へ移動する。この状態
で、トーチ6aに点火し、その火災で金線205の先端を加
熱する。すると、金線205の先端が溶融し、その表面張
力で、第６図（ｂ）に示すように球形部205aが形成され
る。そして、金線205の先端が所定量溶融したらトーチ6
aの発火を止め、球形部205aを凝固させる。
このようにして、所定の使用間隔ごとに金線205の球
形部205aを容易に再生させることができる。
形部205aを容易に再生させることができる。
また、前記球形部205aの再生は、第７図に示すような
工程で行うこともできる。第７図においては、第１図に
示すカッタ６に替えて放電電極９を配置し、トーチ6aを
廃止したものである。
工程で行うこともできる。第７図においては、第１図に
示すカッタ６に替えて放電電極９を配置し、トーチ6aを
廃止したものである。
第２ハンドル206で金線205を挾持した状態で、移動ス
テージ202を第１ハンド５の上方へ移動させる。そし
て、ブラケット204を下降させ、第７図（ａ）に示すよ
うに、球形部205aを第１ハンドル５で挾持可能合な位置
へ移動させる。
テージ202を第１ハンド５の上方へ移動させる。そし
て、ブラケット204を下降させ、第７図（ａ）に示すよ
うに、球形部205aを第１ハンドル５で挾持可能合な位置
へ移動させる。
すると、第７図（ｂ）に示すように、第１ハンドル５
が作動して、球形部205aを挾持する。同時に、第２ハン
ドル206が作動して、金線205を開放する。すると、ブラ
ケット204が所定量上昇し、金線205が荷重検出手段８の
下端から所定量引き出された形になる。
が作動して、球形部205aを挾持する。同時に、第２ハン
ドル206が作動して、金線205を開放する。すると、ブラ
ケット204が所定量上昇し、金線205が荷重検出手段８の
下端から所定量引き出された形になる。
すると、第７図（ｃ）に示すように、第２ハンドル20
6が作動して、金線250を挾持する。この状態で、移動ス
テージ202を移動させ、荷重検出手段８の下端から引き
出された金線205を、放電電極９に近付ける。
6が作動して、金線250を挾持する。この状態で、移動ス
テージ202を移動させ、荷重検出手段８の下端から引き
出された金線205を、放電電極９に近付ける。
そして、放電電極から金線205に向けて放電させる
と、その放電エネルギーによって金線205が溶融し、第
７図（ｄ）に示すように、その溶融部分から切断される
と共に、溶融部が表面張力によって球形に整形され、球
形部205aが形成される。
と、その放電エネルギーによって金線205が溶融し、第
７図（ｄ）に示すように、その溶融部分から切断される
と共に、溶融部が表面張力によって球形に整形され、球
形部205aが形成される。
なお、前記金線205の先端に形成される球形部205a
は、前記荷重検出手段８に形成された貫通穴の直径より
大きな外径をもつようにする。
は、前記荷重検出手段８に形成された貫通穴の直径より
大きな外径をもつようにする。
以上述べたごとく、本発明によれば、触針となる金属
線の先端が変形したとき、その先端部を容易に再生する
ことができる。また、触針の保守管理が容易になり、作
業性を向上させることができる。さらに、触針の先端を
定期的に再生することにより、触針と被検査物との接触
状態を安定させることができ、検査の信頼性を向上させ
ることができる。
線の先端が変形したとき、その先端部を容易に再生する
ことができる。また、触針の保守管理が容易になり、作
業性を向上させることができる。さらに、触針の先端を
定期的に再生することにより、触針と被検査物との接触
状態を安定させることができ、検査の信頼性を向上させ
ることができる。
第１図は、本発明によるプロービング装置の斜視図、第
２図は、被検査物の一例を示す斜視図、第３図は、被検
査物を装着するソケットを示す斜視図、第４図は、触針
と被検査物の接触状態を示す側面断面図、第５図、第６
図および第７図は、触針の再生工程を示す工程図であ
る。 ３……被検査物、５……第１ハンド、６……カッタ、6a
……トーチ、８……荷重検出手段、９……放電電極、20
5……金線、208……キャピラリ。
２図は、被検査物の一例を示す斜視図、第３図は、被検
査物を装着するソケットを示す斜視図、第４図は、触針
と被検査物の接触状態を示す側面断面図、第５図、第６
図および第７図は、触針の再生工程を示す工程図であ
る。 ３……被検査物、５……第１ハンド、６……カッタ、6a
……トーチ、８……荷重検出手段、９……放電電極、20
5……金線、208……キャピラリ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 照享 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 沼田 清 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (72)発明者 奥平 弘明 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所生産技術研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】被検査物の機能検査を行うために触針を被
検査物に押し付けるプロービング装置において、触針を
構成する金属線を支持する支持手段と、前記金属線の外
径より若干大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金属
線を貫通させて保持する保持手段と、この保持手段を貫
通して突出する金属線を挾持し、保持手段との相対移動
により金属線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持手
段から突出する金属線を所定の長さに切断する切断手段
とを設けたことを特徴とするプロービング装置。 - 【請求項２】被検査物の機能検査を行うために触針を被
検査物に押し付けるプロービング装置において、触針を
構成する金属線を支持する支持手段と、前記金属線の外
径より若干大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金属
線を貫通させて保持する保持手段と、この保持手段を貫
通して突出する金属線を挾持し、保持手段との相対移動
により金属線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持手
段から突出する金属線を所定の長さで溶融させ、金属線
を切断すると共に、その先端を球形に整形する加熱手段
とを設けたことを特徴とするプロービング装置。 - 【請求項３】被検査物の機能検査を行うために触針を被
検査物に押し付けるプロービング装置において、触針を
構成する金属線を支持する支持手段と、前記金属線の外
径より若干大きい貫通穴が形成され、この貫通穴に金属
線を貫通させて保持する保持手段と、この保持手段を貫
通して突出する金属線を挾持し、保持手段との相対移動
により金属線を所定量引き出す挾持手段と、前記保持手
段から突出する金属線を所定の長さに切断する切断手段
と、切断された金属線の保持手段側の端部を加熱して、
前記貫通穴より大径の球形に整形する加熱手段とを設け
たことを特徴とするプロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073989A JP2557523B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | プロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073989A JP2557523B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | プロービング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253167A JPH02253167A (ja) | 1990-10-11 |
| JP2557523B2 true JP2557523B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=13534031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1073989A Expired - Lifetime JP2557523B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | プロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2557523B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4239532C1 (de) * | 1992-11-25 | 1994-02-10 | Kernforschungsz Karlsruhe | Verwendung von Mikro-Carbonfasern |
| JP4584140B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2010-11-17 | 志忠 王 | プローブカードに設置されたプローブ針表面の処理方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6140041A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Yokowo Mfg Co Ltd | 電子部品の検査装置 |
| JPS635542A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 半導体ウエハプロ−バ |
| JPS6310536A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-18 | Nec Corp | Ｉｃ測定用プロ−ブカ−ド |
| JPS63298171A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JPH01169367A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微小電極抵抗測定用プローブ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63174068U (ja) * | 1986-12-20 | 1988-11-11 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP1073989A patent/JP2557523B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6140041A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Yokowo Mfg Co Ltd | 電子部品の検査装置 |
| JPS635542A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 半導体ウエハプロ−バ |
| JPS6310536A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-18 | Nec Corp | Ｉｃ測定用プロ−ブカ−ド |
| JPS63298171A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JPH01169367A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微小電極抵抗測定用プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253167A (ja) | 1990-10-11 |
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