JP2555519Y2 - 表面実装樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
表面実装樹脂封止型半導体装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、樹脂封止型半導体装置
の構造、特に、表面実装用に適した樹脂封止型半導体装
置に関するものである。
の構造、特に、表面実装用に適した樹脂封止型半導体装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置の一般的な形状と
して、図1の断面構造図に示すごときものが知られてい
る。図1の1は封止樹脂、2はリ−ド端子、3は金属ベ
−スであり、平滑な金属ベ−ス3上に、ダイオ−ド、ト
ランジスタ、サイリスタなどの半導体チップ4を直接又
は金属板を介して、固着し、リ−ド端子2と半導体チッ
プ4を内部ワイヤ−5で配線し、次いで、エポキシ樹脂
などの封止樹脂1でモ−ルドしている。通常、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2はリ−ドフレ−ムによって形成され
る。又、内部ワイヤ−5は板状の接続片を用いることも
ある。なお、パワ−用半導体装置においては、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2は銅材を用い、又、太線アルミワイ
ヤ−の使用の関係等により、銅材の表面にニッケルメッ
キ層6を形成するのが一般的である。
して、図1の断面構造図に示すごときものが知られてい
る。図1の1は封止樹脂、2はリ−ド端子、3は金属ベ
−スであり、平滑な金属ベ−ス3上に、ダイオ−ド、ト
ランジスタ、サイリスタなどの半導体チップ4を直接又
は金属板を介して、固着し、リ−ド端子2と半導体チッ
プ4を内部ワイヤ−5で配線し、次いで、エポキシ樹脂
などの封止樹脂1でモ−ルドしている。通常、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2はリ−ドフレ−ムによって形成され
る。又、内部ワイヤ−5は板状の接続片を用いることも
ある。なお、パワ−用半導体装置においては、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2は銅材を用い、又、太線アルミワイ
ヤ−の使用の関係等により、銅材の表面にニッケルメッ
キ層6を形成するのが一般的である。
【0003】図1において、金属ベ−ス3の下面、即
ち、半導体チップ4の固着面と反対 (2) の面は樹脂被覆されず、露出して、表面実装におけるろ
う付け部7を形成する。このような半導体装置をプリン
ト配線板等の基板8に表面実装する場合、基板8上に前
記せるろう付け部7をろう材9により固着する。
ち、半導体チップ4の固着面と反対 (2) の面は樹脂被覆されず、露出して、表面実装におけるろ
う付け部7を形成する。このような半導体装置をプリン
ト配線板等の基板8に表面実装する場合、基板8上に前
記せるろう付け部7をろう材9により固着する。
【0004】従って、半導体装置はろう付け時に200
℃以上の高温にさらされるため、封止樹脂1と、リ−ド
端子2、金属ベ−ス3又は半導体チップ4の接する面が
熱膨張係数の違いによる熱ストレスにより剥離し、1、
2間、1、3間、又は1、4間にすき間が発生する。そ
のため、実装前、即ち、高温にさらされる前に比して耐
湿信頼性が大幅に低下する欠点があった。(図4の「従
来品サンプル」を参照のこと。)
℃以上の高温にさらされるため、封止樹脂1と、リ−ド
端子2、金属ベ−ス3又は半導体チップ4の接する面が
熱膨張係数の違いによる熱ストレスにより剥離し、1、
2間、1、3間、又は1、4間にすき間が発生する。そ
のため、実装前、即ち、高温にさらされる前に比して耐
湿信頼性が大幅に低下する欠点があった。(図4の「従
来品サンプル」を参照のこと。)
【0005】
【考案が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、樹脂封止型半導体装置を基板上にろう付けするこ
とに起因して発生する樹脂と、金属ベ−ス、半導体チッ
プ又はリ−ド端子間の剥離等による耐湿信頼性の低下す
る点である。
点は、樹脂封止型半導体装置を基板上にろう付けするこ
とに起因して発生する樹脂と、金属ベ−ス、半導体チッ
プ又はリ−ド端子間の剥離等による耐湿信頼性の低下す
る点である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本考案は封止樹脂と金属
ベースの接する部分全面にニッケルメッキ層を介してポ
リイミド系樹脂を被着するものであり、これにより樹脂
と金属ベースが剥離するのを防止した。
ベースの接する部分全面にニッケルメッキ層を介してポ
リイミド系樹脂を被着するものであり、これにより樹脂
と金属ベースが剥離するのを防止した。
【0007】
【実施例】図2は本考案の実施例を示す断面構造図であ
り、図1と同一符号は同一部分をあらわしている。
り、図1と同一符号は同一部分をあらわしている。
【0008】図2において、ニッケルメッキ層6を表面
に形成した銅材から成る金属ベ−ス3及び半導体チップ
4の封止樹脂1と接触する表面にポリイミド系樹脂1 (3) 0を被着介在させた。実施例では、ポリイミド系樹脂1
0を厚さ数μmから10μm程度、塗布により被着し
た。
に形成した銅材から成る金属ベ−ス3及び半導体チップ
4の封止樹脂1と接触する表面にポリイミド系樹脂1 (3) 0を被着介在させた。実施例では、ポリイミド系樹脂1
0を厚さ数μmから10μm程度、塗布により被着し
た。
【0009】図3はポリイミド系樹脂の塗布と接着強度
の関係を実験により求めたもので、リ−ドフレ−ム状に
形成した金属ベ−ス3を銅材のままのものと、ニッケル
メッキ層6をもつものとに区分して測定した。図3から
本考案構造のNiメッキ処理をしたリ−ドフレ−ムにポ
リイミド系樹脂を塗布したものは接着強度が80Kg/
cm2を超えて、測定用リ−ドが破断し、測定不能とな
る程であった。又、銅材のままのリ−ドフレ−ムのも
の、及びNiメッキ処理したリ−ドフレ−ムでもポリイ
ミド系樹脂の無いものはいずれも40Kg/cm2以下
となった。なお、銅材のままのリ−ドフレ−ムにポリイ
ミド系樹脂を塗布しても接着強度が低下する原因は、ポ
リイミド系樹脂硬化時に大気中で熱処理された酸素によ
り銅材の表面に強度の弱い酸化膜が成長したためと考え
られる。
の関係を実験により求めたもので、リ−ドフレ−ム状に
形成した金属ベ−ス3を銅材のままのものと、ニッケル
メッキ層6をもつものとに区分して測定した。図3から
本考案構造のNiメッキ処理をしたリ−ドフレ−ムにポ
リイミド系樹脂を塗布したものは接着強度が80Kg/
cm2を超えて、測定用リ−ドが破断し、測定不能とな
る程であった。又、銅材のままのリ−ドフレ−ムのも
の、及びNiメッキ処理したリ−ドフレ−ムでもポリイ
ミド系樹脂の無いものはいずれも40Kg/cm2以下
となった。なお、銅材のままのリ−ドフレ−ムにポリイ
ミド系樹脂を塗布しても接着強度が低下する原因は、ポ
リイミド系樹脂硬化時に大気中で熱処理された酸素によ
り銅材の表面に強度の弱い酸化膜が成長したためと考え
られる。
【0010】又、図4に従来品と本考案品の耐湿性試験
結果図を示す。図4は熱処理(260℃、10秒)後の
プレッシャ−クッカ−試験(121℃、100%、2気
圧)の試験時間に対する不良率を示しており、本考案品
が従来品に比し、優れていることがわかる。
結果図を示す。図4は熱処理(260℃、10秒)後の
プレッシャ−クッカ−試験(121℃、100%、2気
圧)の試験時間に対する不良率を示しており、本考案品
が従来品に比し、優れていることがわかる。
【0011】図2の実施例において、ポリイミド系樹脂
の被着は金属ベ−ス3及び半導体チップ4の表面に形成
したが、必要に応じ、リ−ド端子2の表面に形成しても
よく、又、半導体チップの上には被着しないようにして
もよい。しかして、表面実装におけるはんだ侵漬等のろう
付時に高温にさらされる金属部分には特に、被着するこ
とが望ましい。
の被着は金属ベ−ス3及び半導体チップ4の表面に形成
したが、必要に応じ、リ−ド端子2の表面に形成しても
よく、又、半導体チップの上には被着しないようにして
もよい。しかして、表面実装におけるはんだ侵漬等のろう
付時に高温にさらされる金属部分には特に、被着するこ
とが望ましい。
【0012】本考案装置はその他、実施例の形状に限定
するものではなく、例えば、半導体チップの複数固着、
他部品との混成固着、リ−ド端子の増減や引出し方向 (4) の変更、金属ベ−スや樹脂の形状変更など、本考案の要
旨の範囲で種々の選択をなし得る。
するものではなく、例えば、半導体チップの複数固着、
他部品との混成固着、リ−ド端子の増減や引出し方向 (4) の変更、金属ベ−スや樹脂の形状変更など、本考案の要
旨の範囲で種々の選択をなし得る。
【0013】
【考案の効果】以上、説明したように本考案の樹脂封止
型半導体装置は、表面実装時のろう付けによる高温処理
を行っても耐湿信頼性を低下させないため、プリント配
線板等の基板へのろう付けに適したものであり、電子機
器等に利用して、産業上の効果大なるものである。
型半導体装置は、表面実装時のろう付けによる高温処理
を行っても耐湿信頼性を低下させないため、プリント配
線板等の基板へのろう付けに適したものであり、電子機
器等に利用して、産業上の効果大なるものである。
【図1】従来装置の断面構造図である。
【図2】本考案の実施例を示す断面構造図である。
【図3】接着強度試験結果図である。
【図4】耐湿性試験結果図である。
1 封止樹脂 2 リ−ド端子 3 金属ベ−ス 4 半導体チップ 5 内部ワイヤ− 6 ニッケルメッキ層 7 ろう付け部 8 基板 9 ろう材 10 ポリイミド系樹脂
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体チップと、一面に直接又は金属板
を介して半導体チップを固着し他面にろう付け部を有す
る金属ベースと、リード端子と、封止樹脂とから成る表
面実装樹脂封止型半導体装置において、前記の半導体チ
ップ、金属ベース及びリード端子の封止樹脂と接する全
面に、ニッケルメッキ層を介し、ポリイミド系樹脂を被
着したことを特徴とする表面実装樹脂封止型半導体装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991085816U JP2555519Y2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 表面実装樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991085816U JP2555519Y2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 表面実装樹脂封止型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0529155U JPH0529155U (ja) | 1993-04-16 |
JP2555519Y2 true JP2555519Y2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=13869385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1991085816U Expired - Fee Related JP2555519Y2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 表面実装樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2555519Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01145840A (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-07 | Nec Corp | 樹脂封止半導体装置 |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP1991085816U patent/JP2555519Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0529155U (ja) | 1993-04-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |