JP2555519Y2 - 表面実装樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

表面実装樹脂封止型半導体装置

Info

Publication number
JP2555519Y2
JP2555519Y2 JP1991085816U JP8581691U JP2555519Y2 JP 2555519 Y2 JP2555519 Y2 JP 2555519Y2 JP 1991085816 U JP1991085816 U JP 1991085816U JP 8581691 U JP8581691 U JP 8581691U JP 2555519 Y2 JP2555519 Y2 JP 2555519Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
semiconductor device
semiconductor chip
metal base
encapsulated semiconductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1991085816U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0529155U (ja
Inventor
高弘 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
Priority to JP1991085816U priority Critical patent/JP2555519Y2/ja
Publication of JPH0529155U publication Critical patent/JPH0529155U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2555519Y2 publication Critical patent/JP2555519Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、樹脂封止型半導体装置
の構造、特に、表面実装用に適した樹脂封止型半導体装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置の一般的な形状と
して、図1の断面構造図に示すごときものが知られてい
る。図1の1は封止樹脂、2はリ−ド端子、3は金属ベ
−スであり、平滑な金属ベ−ス3上に、ダイオ−ド、ト
ランジスタ、サイリスタなどの半導体チップ4を直接又
は金属板を介して、固着し、リ−ド端子2と半導体チッ
プ4を内部ワイヤ−5で配線し、次いで、エポキシ樹脂
などの封止樹脂1でモ−ルドしている。通常、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2はリ−ドフレ−ムによって形成され
る。又、内部ワイヤ−5は板状の接続片を用いることも
ある。なお、パワ−用半導体装置においては、金属ベ−
ス3やリ−ド端子2は銅材を用い、又、太線アルミワイ
ヤ−の使用の関係等により、銅材の表面にニッケルメッ
キ層6を形成するのが一般的である。
【0003】図1において、金属ベ−ス3の下面、即
ち、半導体チップ4の固着面と反対 (2) の面は樹脂被覆されず、露出して、表面実装におけるろ
う付け部7を形成する。このような半導体装置をプリン
ト配線板等の基板8に表面実装する場合、基板8上に前
記せるろう付け部7をろう材9により固着する。
【0004】従って、半導体装置はろう付け時に200
℃以上の高温にさらされるため、封止樹脂1と、リ−ド
端子2、金属ベ−ス3又は半導体チップ4の接する面が
熱膨張係数の違いによる熱ストレスにより剥離し、1、
2間、1、3間、又は1、4間にすき間が発生する。そ
のため、実装前、即ち、高温にさらされる前に比して耐
湿信頼性が大幅に低下する欠点があった。(図4の「従
来品サンプル」を参照のこと。)
【0005】
【考案が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、樹脂封止型半導体装置を基板上にろう付けするこ
とに起因して発生する樹脂と、金属ベ−ス、半導体チッ
プ又はリ−ド端子間の剥離等による耐湿信頼性の低下す
る点である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本考案は封止樹脂と金属
ベースの接する部分全面にニッケルメッキ層を介してポ
リイミド系樹脂を被着するものであり、これにより樹脂
と金属ベースが剥離するのを防止した。
【0007】
【実施例】図2は本考案の実施例を示す断面構造図であ
り、図1と同一符号は同一部分をあらわしている。
【0008】図2において、ニッケルメッキ層6を表面
に形成した銅材から成る金属ベ−ス3及び半導体チップ
4の封止樹脂1と接触する表面にポリイミド系樹脂1 (3) 0を被着介在させた。実施例では、ポリイミド系樹脂1
0を厚さ数μmから10μm程度、塗布により被着し
た。
【0009】図3はポリイミド系樹脂の塗布と接着強度
の関係を実験により求めたもので、リ−ドフレ−ム状に
形成した金属ベ−ス3を銅材のままのものと、ニッケル
メッキ層6をもつものとに区分して測定した。図3から
本考案構造のNiメッキ処理をしたリ−ドフレ−ムにポ
リイミド系樹脂を塗布したものは接着強度が80Kg/
cm2を超えて、測定用リ−ドが破断し、測定不能とな
る程であった。又、銅材のままのリ−ドフレ−ムのも
の、及びNiメッキ処理したリ−ドフレ−ムでもポリイ
ミド系樹脂の無いものはいずれも40Kg/cm2以下
となった。なお、銅材のままのリ−ドフレ−ムにポリイ
ミド系樹脂を塗布しても接着強度が低下する原因は、ポ
リイミド系樹脂硬化時に大気中で熱処理された酸素によ
り銅材の表面に強度の弱い酸化膜が成長したためと考え
られる。
【0010】又、図4に従来品と本考案品の耐湿性試験
結果図を示す。図4は熱処理(260℃、10秒)後の
プレッシャ−クッカ−試験(121℃、100%、2気
圧)の試験時間に対する不良率を示しており、本考案品
が従来品に比し、優れていることがわかる。
【0011】図2の実施例において、ポリイミド系樹脂
の被着は金属ベ−ス3及び半導体チップ4の表面に形成
したが、必要に応じ、リ−ド端子2の表面に形成しても
よく、又、半導体チップの上には被着しないようにして
もよい。しかして、表面実装におけるはんだ侵漬等のろう
付時に高温にさらされる金属部分には特に、被着するこ
とが望ましい。
【0012】本考案装置はその他、実施例の形状に限定
するものではなく、例えば、半導体チップの複数固着、
他部品との混成固着、リ−ド端子の増減や引出し方向 (4) の変更、金属ベ−スや樹脂の形状変更など、本考案の要
旨の範囲で種々の選択をなし得る。
【0013】
【考案の効果】以上、説明したように本考案の樹脂封止
型半導体装置は、表面実装時のろう付けによる高温処理
を行っても耐湿信頼性を低下させないため、プリント配
線板等の基板へのろう付けに適したものであり、電子機
器等に利用して、産業上の効果大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来装置の断面構造図である。
【図2】本考案の実施例を示す断面構造図である。
【図3】接着強度試験結果図である。
【図4】耐湿性試験結果図である。
【符号の説明】
1 封止樹脂 2 リ−ド端子 3 金属ベ−ス 4 半導体チップ 5 内部ワイヤ− 6 ニッケルメッキ層 7 ろう付け部 8 基板 9 ろう材 10 ポリイミド系樹脂

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップと、一面に直接又は金属板
    を介して半導体チップを固着し他面にろう付け部を有す
    る金属ベースと、リード端子と、封止樹脂とから成る表
    面実装樹脂封止型半導体装置において、前記の半導体チ
    ップ、金属ベース及びリード端子の封止樹脂と接する全
    面に、ニッケルメッキ層を介し、ポリイミド系樹脂を被
    着したことを特徴とする表面実装樹脂封止型半導体装
    置。
JP1991085816U 1991-09-25 1991-09-25 表面実装樹脂封止型半導体装置 Expired - Fee Related JP2555519Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991085816U JP2555519Y2 (ja) 1991-09-25 1991-09-25 表面実装樹脂封止型半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991085816U JP2555519Y2 (ja) 1991-09-25 1991-09-25 表面実装樹脂封止型半導体装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0529155U JPH0529155U (ja) 1993-04-16
JP2555519Y2 true JP2555519Y2 (ja) 1997-11-26

Family

ID=13869385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1991085816U Expired - Fee Related JP2555519Y2 (ja) 1991-09-25 1991-09-25 表面実装樹脂封止型半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2555519Y2 (ja)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01145840A (ja) * 1987-12-01 1989-06-07 Nec Corp 樹脂封止半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0529155U (ja) 1993-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100222157B1 (ko) 반도체 패키지
US8736052B2 (en) Semiconductor device including diffusion soldered layer on sintered silver layer
JPH06236946A (ja) ヒートスプレッダ及びリードとプラスチックパッケージとの間の強化接着を有する半導体デバイス
WO2001059839A1 (en) Mounting structure for semiconductor chip, semiconductor device, and method of manufacturing semiconductor device
JPH03268351A (ja) 半導体装置
JP2895920B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH0590451A (ja) 半導体集積回路及びその実装装置製造方法
JPS62202548A (ja) 半導体装置
JP2501953B2 (ja) 半導体装置
JP2734443B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
JP2555519Y2 (ja) 表面実装樹脂封止型半導体装置
JPH0638458B2 (ja) チツプキヤリアとその製造方法
JPH0345542B2 (ja)
JPS622778Y2 (ja)
JP2892055B2 (ja) 樹脂封止型半導体素子
JPH1197569A (ja) 半導体パッケージ
JP3215851B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置およびその製造法
JP2504465B2 (ja) 半導体装置
JP2596387B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPS62249461A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH01296647A (ja) 樹脂封止形半導体装置
JPH01166530A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPS63250164A (ja) ハイパワ−用混成集積回路基板とその集積回路
JPH04251967A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPS6329533A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees