JP2554079Y2 - スライシング装置におけるブレード撓み量検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体インゴット等の
ワークをブレードの内周刃で切断して半導体ウエハ等の
薄片を切り出すスライシング装置において、上記ブレー
ドの撓み量を検出する検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記のようなスライシング装置と
しては、円形状の内周刃をもつブレードの内側にワーク
の一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させながらワー
クに対してブレードの半径方向に相対移動させることに
より上記ワークから薄片を切り出すように構成されたも
のが知られている。しかしながら、この装置では切断中
にブレードが撓み易く、加工精度の低下を招くといった
問題点を有している。

【０００３】そこで、実開昭６２−７０９０４号公報、
特開平１−１８２０１５号公報等においては、ブレード
の撓み量を検出するブレード撓み量検出センサと、この
ブレード撓み量検出センサの検出結果に基づいてブレー
ド全体の撓みを調整するブレード撓み調整手段とを備
え、ブレード撓みを自動的に修正するようにした装置が
提案されるに至っている。

【０００４】図１１は、上記従来の装置における撓み量
検出センサ２９の配設位置を示したものである。図示の
ように、上記撓み量検出センサ２９は、ワーク３０が切
断送りによって移動する軌跡Ｃ上を避けた位置で、かつ
ブレード１０のワーク切断部位（Ｐ₁〜Ｐ₂）の入口部
（すなわち回転方向（図では矢印Ｂ方向）上流端）Ｐ₁
近傍の位置に配され、この撓み量検出センサ２９の検出
結果に基づいてブレード１０全体の撓みを軸方向に調整
するといった制御がなされている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】上記スライシング装置
では、ワークスライシング中、ワーク切断部位の入口部
Ｐ₁近傍ではブレード１０がほとんど撓んでいなくて
も、ワーク切断部位の中央部（すなわち回転方向上流端
Ｐ₁から回転方向下流端Ｐ₂までの中間部分）Ｐ₃近傍で
はブレード１０が大きく撓んでいる場合がある。このブ
レード１０の中央部近傍部分は、ワーク３０のスライシ
ング時に最も長くワーク３０と接触している部分であ
り、この部分の撓み量がワーク３０の加工精度に最も強
く影響するので、上記撓み量検出センサ２９は、なるべ
くブレード１０のワーク切断部位に対応する位置、より
好ましくは上記中央部Ｐ₃近傍の位置に配することが望
ましい。

【０００６】しかし、このような位置に単純に撓み量検
出センサ２９を配設すると、この撓み量検出センサ２９
と、切断送りされるワーク３０とが互いに干渉してしま
うので、従来はこのような干渉が起こらない位置、すな
わち、ワーク３０の移動軌跡Ｃから外れた入口部Ｐ₁近
傍の位置に配設することがやむなく行われている。従っ
て、この従来装置では、上記中央部Ｐ₃近傍の位置で実
際にブレード１０が大きく撓んでいてもこれを正確に検
出できない場合があり、これによってブレード１０の撓
みが適切に調整されず、加工精度の低下を招く不都合が
ある。

【０００７】また近年は、上記ブレード１０の撓み量に
基づいてドレスを行うべき時期（すなわちドレスタイミ
ング）を判定し、このタイミングで内周刃１１をドレス
することにより内周刃１１の切れ味を回復させるといっ
た制御も行われているが、この場合にも、ブレード１０
のワーク切断部位の撓み量が直接検出されないことによ
り、適切なタイミングでドレスが行われず、実際にドレ
スが必要な時にドレスが行われなかったり、必要以上に
ドレスが行われたりする不都合が生じる。

【０００８】そこで本出願人は、上記ワークの切断時に
このワークの前端面と対向する位置に撓み量検出センサ
を設けることにより、上記ブレードにおけるワーク切断
部位、特に中央部近傍の撓み量を直接検出することを先
に提案しているが（特願平２−２６２１１７号）、この
装置においてブレードの表面に切削用、冷却用のクーラ
ントが供給されると、このクーラントが上記ワークの前
端面と撓み量検出センサとの間にトラップされ、このク
ーラントに撓み量検出センサが反応することによりその
検出結果に悪影響が与えられるとともに、上記クーラン
トの表面張力により、ワークから切り出された薄片が撓
み量検出センサ側に引張られ、外側に反るおそれがあ
り、その改善が新たな課題となっている。

【０００９】本考案は、このような事情に鑑み、ブレー
ドにおけるワーク切断部位の撓みを正確に検出すること
ができるブレード撓み量検出装置を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本考案は、円形状の内周
刃をもつブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、上
記ブレードを回転させた状態でこのブレードの表面にク
ーラントを供給しながらこのブレードに対してワークを
ブレードの半径方向に相対移動させることにより上記ワ
ークから薄片を切り出すスライシング装置において、上
記ブレードのワーク切断部位に対応する位置であって上
記ワークの切断時にこのワークの前端面と対向する位置
に、上記ブレードの撓み量を検出する検出装置本体を設
けるとともに、この検出装置本体と上記ワーク前端面と
の間にクーラント除去エアを吹き付ける手段として、上
記ワークの割出し送り方向と平行な方向に延び、内部に
クーラント除去エアが供給されるエア供給管を備え、こ
のエア供給管において上記ワークと対向する側の端部に
終端壁を設け、この終端壁の直手前側の部分にエア噴出
口を設け、このエア噴出口を上記検出装置本体とワーク
前端面との間の位置に向けたものである。

【００１１】

【作用】上記装置によれば、検出装置本体をブレードの
ワーク切断部位に対応する位置に配することにより、こ
の部位の撓み量を直接検出することができる。しかも、
エア供給管内において上記ワークの割出し送り方向と平
行な方向にクーラント除去エアが供給され、このエアが
終端壁で行き止まってその直手前のエア噴出口から上記
検出本体とワーク前端面との間の位置に吹き付けられる
ため、上記位置にクーラントがトラップされることが防
がれる。また、このクーラント除去エアの吹き付け方向
はワーク前端面にほぼ沿う方向であるため、このエアの
圧力によって薄片が撓むことはほとんどない。

【００１２】

【実施例】本考案の一実施例を図面に基づいて説明す
る。

【００１３】図４，５に示すスライシング装置は、基台
１を備え、この基台１上にガイドレール２が設置されて
おり、このガイドレール２に沿ってスライド可能にスラ
イドテーブル３が支持されている。

【００１４】上記基台１上において、スライドテーブル
３に対向する位置には主軸台４が設置されている。この
主軸台４の上部には主軸受４ａが設けられ、この主軸受
４ａによって主軸６が回転可能に支持されるとともに、
この主軸６にベルト伝動機構を介して主軸駆動モータ８
の出力軸が連結されている。主軸６の先端部にはテンシ
ョンディスク９が固着され、このテンションディスク９
が、上記主軸６、ベルト伝動機構７、及び主軸駆動モー
タ８からなる回転駆動手段５により回転駆動されるよう
になっている。

【００１５】テンションディスク９の周縁部には、ドー
ナツ状の薄板からなるブレード１０が装着され、このブ
レード１０の内周縁にダイヤモンド粒子等からなる内周
刃１１が固着されている。そして、上記テンションディ
スク９の回転中にその回転数Ｎが変化することにより、
この回転数Ｎに応じて上記ブレード１０が主軸６の軸方
向（すなわちブレード１０の回転軸方向）に変位するよ
うになっている。すなわち、テンションディスク９が回
転すると、このテンションディスク９の周縁部に回転数
Ｎに比例した遠心力が作用するため、この回転数Ｎによ
ってテンションディスク９からブレード１０に付与され
る回転軸方向の変位の大きさ及び方向が決定されること
となる。

【００１６】上記スライドテーブル３上には、保持部材
１５及び割出し送り手段１８が設けられ、保持部材１５
にはシリコン製半導体インゴット等からなるワーク３０
が保持されている。割出し送り手段１８は、ボールねじ
１６と、このボールねじ１６を回転駆動する保持部材駆
動モータ１７とを有し、この割出し送り手段１８によっ
て上記保持部材１５が上記主軸６の軸方向にスライド駆
動されることにより、上記ワーク３０の一端部がブレー
ド１０の表面１０ａ側（ワーク保持側）からブレード１
０の中央孔を通じて裏面１０ｂ側へ微小量突出すること
が可能となっている。

【００１７】また、このスライドテーブル３上には、内
周刃１１をドレスするためのドレス装置１９が設けら
れ、このドレス装置１９は、その工具先端がブレード１
０の内側に臨む位置に配されている。

【００１８】上記基台１上には切断送り手段１４が設置
されている。この切断送り手段１４は、ボールねじ１２
と、このボールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ
１３とを備え、この切断送り手段１４によって、上記ス
ライドテーブル３全体がガイドレール２に沿って主軸６
と直交する方向にスライド駆動される。従って、このス
ライドテーブル３を図４の手前から奥へスライドさせる
ことにより、ワーク３０がブレード１０に対してその半
径方向（図５では矢印Ａ方向）に相対移動し（すなわち
切断送りされ）、このブレード１０を回転させかつブレ
ード１０の内側にワーク３０の一端部を臨ませた状態で
上記切断送りを行うことにより、ワーク３０の一端部が
内周刃１１によってスライスされ、ウエハ（薄片）が切
り出されることとなる。

【００１９】ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部
分、すなわち、ワーク３０において内周刃１１で最終的
に切断される部分には、カーボン等からなるスライスベ
ース３１が固着されている。このスライスベース３１の
固着により、ワーク３０の切断終了時にブレード１０に
作用する切断抵抗が急に開放されて上記ワーク３０の最
終切断部分が欠けることが防がれる。

【００２０】ブレード１０の近傍の３個所には、その撓
み量を検出する撓み量検出センサ２０，２１，２４が設
けられている。これらの撓み量検出センサ２０，２１，
２４は、磁気センサで構成され、図５〜図７に示すよう
な位置に配設されている。

【００２１】すなわち、撓み量検出センサ２０，２１
は、ワーク３０が切断送りによって移動する軌跡Ｃ上か
ら外れ、かつブレード１０の表面（図４，６では右側
面）１０ａに対向する位置に配置されている。より具体
的に、撓み量検出センサ（以下、「入口部センサ」とい
う）２０は、ブレード１０のワーク切断部位（Ｐ₁〜
Ｐ₂）の入口部（すなわち回転方向（図５の矢印Ｂ方
向）上流端）Ｐ₁近傍に配置され、撓み量検出センサ
（以下、「出口部センサ」という）２１は、ブレード１
０のワーク切断部位の出口部（すなわち回転方向下流
端）Ｐ₂近傍に配置されている。

【００２２】これに対し、撓み量検出センサ（本考案の
検出装置本体；以下「中央部センサ」という）２４は、
上記軌跡Ｃ上であって、ブレード１０の裏面１０ｂに対
向する位置に配置されており、より具体的には、ワーク
３０を切断する際にその前端面（図１，６では左側端
面）に近接しながら対向する位置であって、ブレード１
０のワーク切断部位の中央部Ｐ₃の近傍の位置に配置さ
れている。すなわち、この中央部センサ２４は、微小厚
みＤｗでもってワーク３０から切り出されるウェハＷ超
しにブレード１０の撓み量を検出する位置に配されてい
る。

【００２３】次に、この中央部センサ２４を含む中央の
撓み量検出装置全体の構造を図１〜図３に基づいて説明
する。この装置は、前側ブロック３３、後側ブロック３
２、及びエア供給管３４を備え、上記中央部センサ２４
は両ブロック３３，３２を貫通する状態でその前端面
（検出面）２４ａが上記ワーク３０の前端面に対向する
位置に配設されている。

【００２４】前側ブロック３３は、全体が合成樹脂で形
成され、後側ブロック３２の前端面に固定されている。
この前側ブロック３３の前端部には、図１，３に示すよ
うに下方にのみ開放された凹部３３ａが形成されてお
り、この凹部３３ａの前端面３３ｂと上記中央部センサ
２４の前端面２４ａとが合致している。この凹部３３ａ
の形成により、中央部センサ２４の前端面２４ａがワー
ク３０の前端面（すなわちウェハＷの表面）に直接接触
することが防がれている。後側ブロック３２は、全体が
ステンレス鋼で形成され、前側ブロック３３の側面から
さらに側方に突出する取付部３２ａを有しており、この
取付部３２ａに設けられた取付穴３２ｂにボルト３６を
挿通することにより、このボルト３６を用いて、テンシ
ョンディスク９側の所定の位置に設けられた装着部に後
側ブロック３２が固定されるようになっている。しか
も、この後側ブロック３２の装着位置、及び上記凹部３
３ａの深さ寸法ｄ₂（図１）は、上記中央部センサ２４
の前端面２４ａからワーク３０の前端面までの離間寸法
ｄがブレード撓み量検出可能な微小寸法以下となるよう
に設定されている。

【００２５】エア供給管３４は、中央にエア供給通路３
４ａを有し、上記中央部センサ２４の直上方の位置に設
けられており、この中央部センサ２４と平行な方向、す
なわちワーク割出し送り方向と平行な方向に両ブロック
３２，３３を貫通している。このエア供給管３４の後端
部は撓み可能なホース３５を介して図外のエア供給ポン
プに接続されている。これに対し、前端部、すなわち上
記ワーク３０の前端面に対向する側の端部（図１では左
側端部）には、上記エア供給通路３４ａを塞ぐ終端壁３
４ｂが設けられ、この終端壁３４ｂの直手前の位置に、
図２（ｂ）にも示すような下方に開口するエア噴出口３
４ｃが設けられている。そして、上記終端壁３４ｂの前
端面が前側ブロック３３の前端面と合致し、上記エア噴
出口３４ｃが上記凹部３３ａに上方から臨む位置にセッ
トされている。

【００２６】従って、上記エア供給管３４のエア供給通
路３４ａ内に図外のエア供給ポンプからホース３５を介
してクーラント除去エアが供給されることにより、この
エアが終端壁３４ｂで行き止まり、その手前のエア噴出
口３４ｃからワーク前端面とセンサ前端面２４ａとの間
の位置に吹き付けられるようになっている。

【００２７】一方、このスライシング装置は、図８に示
すような制御部４０を備えている。

【００２８】同図に示す中央部基準変位記憶装置４１、
入口部基準変位記憶装置４３、及び出口部基準変位記憶
装置４５は、それぞれ、上記中央部センサ２４、入口部
センサ２０、出口部センサ２１の検出信号を取り込み、
中央部基準変位記憶装置４１は、切断送りモータ１３の
駆動によってワーク３０が切断開始直前の位置（図５に
左側の二点鎖線で示す位置よりも僅かに左寄りの位置；
以下、直前位置と称する）に移動した時点（以下、基準
時と称する）で中央部センサ２４で検出されるブレード
１０の撓み量を中央部基準撓み量Ｓａ₃として記憶す
る。同様に、入口部基準変位記憶装置４３は、上記基準
時に入口部センサ２０で検出されるブレード１０の撓み
量を入口部基準撓み量Ｓａ₁として記憶し、出口部基準
変位記憶装置４５は、上記基準時に出口部センサ２１で
検出されるブレード１０の撓み量を出口部基準撓み量Ｓ
ａ₂として記憶する。なお、ワーク３０が上記直前位置
に移動したことは、後述の切断送りモータ制御装置５２
の切断送り位置検出手段５２１によって検出される。

【００２９】上記のように記憶された各基準撓み量Ｓａ
₃，Ｓａ₁，Ｓａ₂は、中央部変位比較器４２、入口部変
位比較器４４、及び出口部変位比較器４６にそれぞれ入
力される。中央部変位比較器４２は、上記中央部基準撓
み量Ｓａ₃の他、中央部センサ２４で検出される現在撓
み量Ｓｂ₃を所定のサンプリング周期Δｔごとに取り込
み、後者から前者を差し引いた値を基準状態からの撓み
量（切断に起因してブレード１０の中央部Ｐ₃が撓んだ
量）Ｓ₃として算出し、出力する。同様に、入口部変位
比較器４４は、上記入口部基準撓み量Ｓａ₁と、入口部
センサ２０で検出される現在撓み量Ｓｂ₁とを取り込
み、後者から前者を差し引いた値を基準状態からの入口
部撓み量Ｓ₁として算出、出力し、出口部変位比較器４
６は、上記出口部基準撓み量Ｓａ₂と、出口部センサ２
１で検出される現在撓み量Ｓｂ₂とを取り込み、後者か
ら前者を差し引いた値を基準状態からの出口部撓み量Ｓ
₂として算出、出力する。

【００３０】上記各変位比較器４２，４４，４６で算出
された撓み量Ｓ₃，Ｓ₁，Ｓ₂は、切断送り速度演算装置
５１及びドレスタイミング判定装置６１に入力され、さ
らに、中央部撓み量Ｓ₃は回転数演算装置４８に入力さ
れる。

【００３１】この回転数演算装置４８は、後述の切断送
りモータ制御装置５２の命令手段５２３から駆動命令信
号を受けたときに、現在のテンションディスク９の回転
数Ｎと、中央部変位比較器４２で検出された中央部撓み
量Ｓ₃とに基づいて、上記中央部撓み量Ｓ₃を０にするた
めに必要なテンションディスク９の目標回転数Ｎａを演
算し、この演算値に対応する信号を主軸駆動モータ制御
装置４９に出力する。主軸駆動モータ制御装置４９は、
回転数演算装置４８から信号を受けた場合には上記目標
回転数Ｎａを、それ以外は予め設定記憶された基本回転
数Ｎ₀を目標としてテンションディスク９の回転数Ｎを
調節するように主軸駆動モータ８の駆動制御を行う。

【００３２】切断送り速度演算装置５１は、切断送りモ
ータ制御装置５２の命令手段５２３から駆動命令信号を
受けたときに、各変位比較器４４，４６，４２でそれぞ
れ検出された撓み量Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃に基づいて、図９に
示す中央部撓み量Ｓ₃、入口部撓み量Ｓ₁と中央部撓み量
Ｓ₃との差ΔＳ₁、または出口部撓み量Ｓ₂と中央部撓み
量Ｓ₃との差ΔＳ₂を小さくするために必要な目標切断送
り速度Ｖａを演算し、その演算結果に対応した信号を切
断送りモータ制御装置５２に出力する。ここで、上記目
標切断送り速度Ｖａの演算は、例えば次式Ｖａ＝Ｖ₀−
ｋＳに基づいて行われる。同式において、Ｖ₀は予め設
定記憶された基本切断送り速度、ｋは演算係数であり、
ＳにはＳ₃の絶対値、ΔＳ₁の絶対値、ΔＳ₂の絶対値の
中で最大の値を代入するようにする。

【００３３】この切断送り速度演算装置５１は、上記値
Ｓに基づき、現在の状態が所定の切断送り速度演算条件
にあるか否かを判定し、条件に該当しない場合、すなわ
ち上記値Ｓが所定値以下の時には、上記目標切断送り速
度Ｖａの演算を行わず、切断送りモータ制御装置５２に
信号を出力しないように構成されている。

【００３４】切断送りモータ制御装置５２は、切断送り
速度演算装置５１から信号を受けたときには切断送り速
度Ｖが切断送り速度演算装置５１で求められた目標切断
送り速度Ｖａとなるように、それ以外は基本切断送り速
度Ｖ₀となるように切断送りモータ１３を制御するもの
で、具体的には、切断送り位置検出手段５２１、切断送
り位置判定手段５２２、及び命令手段５２３を備えてい
る。

【００３５】切断送り位置検出手段５２１は、切断送り
モータ１３から検出されるパルス信号に基づいてワーク
３０の切断送り位置（切断送り方向の位置）を検出す
る。切断送り位置判定手段５２２は、切断送り位置検出
手段５２１で検出された切断送り位置に基づいてワーク
３０の切断送り位置が切断開始位置（図５に左側の二点
鎖線で示す位置）からスライスベース３１を含まないワ
ーク３０のみの切断終了位置（図５に右側の二点鎖線で
示す位置）までの範囲Ｌ内であるか否かを判定し、範囲
Ｌ内であると判定した時には命令手段５２３から駆動命
令信号を、範囲Ｌ外であると判定した時には命令手段５
２３から停止命令信号をそれぞれ回転数演算装置４８、
切断送り速度演算装置５１、及びドレスタイミング判定
装置６１に出力させる。

【００３６】ドレスタイミング判定装置６１は、上記命
令手段５２３から駆動命令信号を受けた時点で、上記値
Ｓに基づき、現在、ドレス装置１９によるドレスを行う
時期か否かを判定し、ドレスタイミングであると判定し
た場合（詳細後述）にはドレス制御装置６２に指令信号
を出力し、所定の時期にドレス装置１９を作動させる。

【００３７】また、この制御部４０は、ワーク３０をブ
レード１０に対して割出し送りするための保持部材駆動
モータ１７等の制御も行うように構成されている。

【００３８】次に、この制御部４０の制御に伴うスライ
シング装置の動作を図１０のフローチャートを参照しな
がら説明する。

【００３９】制御部４０は、回転駆動手段５によってテ
ンションディスク９を基本回転数Ｎ₀で回転駆動する
（ステップＳ１）とともに、割出し送り手段１８によっ
て、保持部材１５に保持されたワーク３０を主軸６側に
スライド移動させる（ステップＳ２）。これにより、ワ
ーク３０の一端部がブレード１０の表面１０ａ側からブ
レード１０の内側に挿通され、ブレード１０の裏面１０
ｂ側へ微小量突出する状態となる。

【００４０】次に、切断送り手段１４によってワーク３
０をブレード１０の半径方向に基本切断送り速度Ｖ₀で
移動させる（ステップＳ３）と同時に、切断送り位置検
出手段５２１でワーク３０の切断送り位置を、各センサ
２０，２１，２４で現時点での撓み量Ｓｂ₁，Ｓｂ₂，Ｓ
ｂ₃をそれぞれ検出する（ステップＳ４，Ｓ５）。この
検出動作において、入口部センサ２０及び出口部センサ
２１はワーク３０の移動軌跡Ｃ上から外れた位置にある
のに対し、中央部センサ２４は図１，６に示すようにワ
ーク３０の前端面と対向する位置にあるため、図５にお
いて例えば入口部Ｐ₁の回転方向上流側の位置からブレ
ード１０の表面に切削用や冷却用のクーラントを供給す
ると、このクーラントがブレード１０に巻き込まれて上
記中央部センサ２４の前端面２４ａとワーク３０の前端
面との間に侵入する場合があり得る。しかしながら、こ
の位置には下方に向けてエア噴出口３４ｃからクーラン
ト除去エアが吹き付けられているので、この位置にクー
ラントがトラップされることはなく、これによって、中
央部センサ２４による正常な撓み検出が保証される。

【００４１】次に、切断送り位置判定手段５２２がワー
ク３０が切断開始直前位置に達したと判定した時点で
（ステップＳ６でＮＯかつＳ７でＹＥＳ）、この判定直
前に検出された各撓み量Ｓｂ₁，Ｓｂ₂，Ｓｂ₃をそれぞ
れ基準撓み量Ｓａ₁，Ｓａ₂，Ｓａ₃として記憶し（ステ
ップＳ８）、その後は上記憶値に基づいて各撓み量Ｓ₁
〜Ｓ₃の検出を行い（ステップＳ９〜Ｓ１１）、撓み量
の記憶は行わない（ステップＳ６でＹＥＳ）。

【００４２】次に、回転数演算装置４８により中央部撓
み量Ｓ₃に基づいてテンションディスク９の目標回転数
Ｎａを演算し（ステップＳ１４）、この目標回転数Ｎａ
にテンションディスク９の実際回転数Ｎを合わせるよう
に主軸駆動モータ８を制御する（ステップＳ１５）。こ
れにより、ブレード１０はその中央部Ｐ₃近傍の撓み量
が０となる方向に変位し、ブレード１０全体の撓みが調
整される。この動作と並行して、切断送り速度演算装置
５１は、現在の状態が所定の切断送り速度演算条件に該
当するか否か、すなわち、上記各値Ｓ₃，ΔＳ₁，ΔＳ₂
の絶対値が予め設定した許容限界値Ｒ１を上回っている
か否かを判定し（ステップＳ１６）、条件に該当する場
合には、切断送り速度演算装置５１で各部撓み量Ｓ₁，
Ｓ₂，Ｓ₃に基づき目標切断送り速度Ｖａを演算し（ステ
ップＳ１７）、切断送りモータ制御装置５２によって、
切断送り速度Ｖが上記目標切断送り速度Ｖａとなるよう
に切断送りモータ１３の駆動制御を行う（ステップＳ１
８）。これにより、切断送り速度Ｖが目標切断送り速度
Ｖａに近づくように低下し、切断抵抗が減少するため
に、ブレード１０の弾性復元力に起因して、上記撓み量
差ΔＳ₁，ΔＳ₂が縮まる方向にブレード１０全体の軸方
向の撓みが調整される。なお、上記ステップＳ１６にお
いて条件外であると判定した場合には調整を行わない。

【００４３】次に、ドレスタイミング判定装置６１は、
値Ｓに基づいて現在状態が所定のドレスタイミング条件
であるか否かを判定し（ステップＳ１９）、ドレスタイ
ミング条件であると判定した場合、すなわち、Ｓ₃の絶
対値が臨界値Ｒ₂（＞Ｒ₁）を上回るか、ΔＳ₁の絶対値
が臨界値Ｒ₃（＞Ｒ₁）を上回るか、あるいはΔＳ₁の絶
対値が臨界値Ｒ₃を上回る場合にのみ、ドレス制御装置
６２からドレス装置１９へドレス指令信号を出力させる
（ステップＳ２０）。これにより、現在切断中のワーク
３０の加工終了後にドレス装置１９によってドレスが行
われる。

【００４４】以上の動作を切断終了位置に到達するまで
繰り返すが（ステップＳ２１でＮＯ）、到達後は（ステ
ップＳ２１でＹＥＳ）テンションディスク９の回転数Ｎ
を基本回転数Ｎ₀に切換える（ステップＳ２２）ととも
に、切断送り速度Ｖを基本切断送り速度Ｖ₀に切換える
（ステップＳ２３）。そして、ワーク３０全体が切断さ
れる位置、すなわちスライスベース３１をも完全に切断
した位置に達した時点で（ステップＳ２４でＹＥＳ）、
所定の切断完了動作を行い、制御動作を終了する。

【００４５】以上のように、この装置では、ワーク３０
の前端面に対向して中央部センサ２４を配設することに
より、この中央部センサ２４がワーク３０の移動軌跡Ｃ
上に位置するにもかかわらず、両者の干渉を生ずること
なく、ブレード１０のワーク切断部位の中央部Ｐ₃の撓
み量を直接検出することができ、この検出結果（この実
施例では入口部撓み量及び出口部撓み量も併せた結果）
に基づき、ブレード１０の撓み調整やドレスタイミング
の設定を実際の状態に対応して適切に行うことができ
る。しかも、エア噴出口３４ｃからクーラント除去エア
を噴射することにより、上記中央部センサ２４の前端面
２４ａとワーク３０の前端面との間にクーラントがトラ
ップするのを防止できるので、このクーラントのトラッ
プに中央部センサ２４が反応することに起因する検出不
良を防ぐことによって、上記中央部Ｐ₃のブレード撓み
量を常に正確に検出することができるとともに、上記ク
ーラントの表面張力に起因してウェハＷがセンサ側に引
張られることによるウェハＷ自身の反りを防ぐことがで
きる。

【００４６】なお、上記クーラント除去エアをワーク割
出し送り方向と平行な方向に吹き付けた場合には、この
エアの圧力により、ワーク３０から切り出されるウェハ
Ｗが押されてブレード１０に接触する方向に撓み、スラ
イシング不良を引き起こすおそれがあるが、上記装置で
は、ワーク前端面に沿う方向にエアを供給するようにし
ているので、このエアの圧力によってウェハＷが撓むこ
とはほとんどなく、よって正常なスライシングを確保す
ることができる。

【００４７】さらに、この装置では、エアを吹き付ける
具体的な手段として、中央部センサ２４と同方向に延び
るエア供給管３４に沿ってエアをクーラント除去エアを
供給し、このエアを終端壁３４ｂで行き止まらせてその
手前のエア噴出口３４ｃから噴射するようにしているの
で、中央部センサ２４の感度との関係等からセンサ前端
面２４ａとワーク前端面との間に極めて微小な距離ｄし
か確保できない場合でも、この間に確実にエアを吹き込
むことができる。

【００４８】また、この装置では、前後のブロックのう
ち前側ブロック３３を合成樹脂で形成しているので、仮
にウェハＷが撓んで前側ブロック３３に接触しても、こ
れによってウェハＷが損傷するおそれは極めて少ない。

【００４９】なお、本考案は上記実施例に限定されるも
のでなく、例として次のような態様をとることも可能で
ある。

【００５０】(1) 上記実施例では、本考案装置を中央部
センサ２４に適用した場合を示したが、例えば入口部セ
ンサ２０や出口部センサ２１の位置を図５，６に二点鎖
線２０ａ，２１ａに示す位置、すなわち、中央部センサ
２４と同様にワーク３０の前端面に対向してブレード１
０におけるワーク切断部位の撓みを検出する位置に変更
したい場合にも、これら入口部センサ２０や出口部セン
サ２１に本考案を適用することにより、クーラントの介
在に起因する誤検出を未然に防ぐことができる。また、
本考案はこのように複数の撓み量検出センサを設ける場
合に限らず、ワーク３０の前端面に対向する少なくとも
一つの位置に撓み量検出手段を設ける場合に適用するこ
とにより、その効果を得ることができるものである。

【００５１】(2) 上記実施例では、中央部センサ２４の
上方の位置にエア供給管３４を設け、センサ前端面２４
ａとワーク前端面との間の位置に対して上から下へ向け
てクーラント除去エアを吹き付けるものを示したが、例
えば上記位置に対して側方からエアを吹き付けるように
してもよい。

【００５２】

【考案の効果】以上のように本考案は、ワーク切断時に
おけるワークの前端面に対向する位置にブレード撓み検
出装置の検出装置本体を配設するとともに、この検出装
置本体と上記ワーク前端面との間にクーラント除去エア
を吹き付ける手段を備えたものであるので、ワークの移
動軌跡上に検出装置本体を配するにもかかわらず、この
ワークと検出装置本体とを干渉させることなく、ブレー
ドのワーク切断部位の撓み量を直接検出することがで
き、これによってブレードの撓み調整やドレスタイミン
グの設定等を適切に行うことができるとともに、上記ク
ーラント除去エアの吹き付けによって検出装置本体とワ
ーク前端面との間にクーラントがトラップされるのを防
ぐことができる。従って、このクーラントのトラップに
起因する検出不良を未然に防ぐことができ、これにより
ブレード撓み量の正確な検出を確保することができると
ともに、上記クーラントの表面張力に起因してウェハＷ
がセンサ側に引張られ、ウェハＷ自身が反るといった不
都合も未然に防ぐことができる。しかも、エアを吹き付
ける具体的な手段としてエア供給管を備え、このエア供
給管に沿ってクーラント除去エアをワーク割出し送り方
向と同方向に供給し、このエアを終端壁で行き止まらせ
てその手前のエア噴出口から噴射するようにしているの
で、検出装置の感度等の関係から検出装置本体前端面と
ワーク前端面とを極めて微小な距離しか離間させること
ができない場合でも、この間に確実にエアを吹き込むこ
とができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例におけるスライシング装置に
設けられたブレード撓み量検出装置の断面側面図であ
る。

【図２】（ａ）は上記ブレード撓み量検出装置の要部を
示す拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【図３】上記ブレード撓み量検出装置の斜視図である。

【図４】上記スライシング装置の一部断面正面図であ
る。

【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】上記スライシング装置におけるブレードのワー
ク切断部位近傍の側面図である。

【図７】上記ワーク切断部位近傍の平面図である。

【図８】上記スライシング装置に設けられる制御部の機
能構成を示すブロック図である。

【図９】上記ブレードの各撓み量を示すグラフである。

【図１０】上記スライシング装置において実行される制
御動作を示すフローチャートである。

【図１１】従来のスライシング装置の一例を示す一部断
面正面図である。

【符号の説明】

１０ ブレード １１ 内周刃 ２４ ブレード撓み量検出センサ（検出装置本体） ３０ ワーク ３４ エア供給管 ３４ｂ 終端壁 ３４ｃ エア噴出口 Ｗ ウェハ（薄片）

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 円形状の内周刃をもつブレードの内側に
   ワークの一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させた状
   態でこのブレードの表面にクーラントを供給しながらこ
   のブレードに対してワークをブレードの半径方向に相対
   移動させることにより上記ワークから薄片を切り出すス
   ライシング装置において、上記ブレードのワーク切断部
   位に対応する位置であって上記ワークの切断時にこのワ
   ークの前端面と対向する位置に、上記ブレードの撓み量
   を検出する検出装置本体を設けるとともに、この検出装
   置本体と上記ワーク前端面との間にクーラント除去エア
   を吹き付ける手段として、上記ワークの割出し送り方向
   と平行な方向に延び、内部にクーラント除去エアが供給
   されるエア供給管を備え、このエア供給管において上記
   ワークと対向する側の端部に終端壁を設け、この終端壁
   の直手前側の部分にエア噴出口を設け、このエア噴出口
   を上記検出装置本体とワーク前端面との間の位置に向け
   たことを特徴とするスライシング装置におけるブレード
   撓み量検出装置。