JPH04138212A - スライシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、ワーク、例えば半導体インゴット等を切断し
て薄片、例えば半導体ウェハ等を切出すスライシング装
置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来より、スライシング装置として、円形状の内周刃を
持つブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記ブ
レードを回転させながら、前記ブレードまたはワークを
前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、前
記ワークの一端部を切断して薄片を切出すように構成さ
れたものが知られている。

このスライシング装置は、ブレードが切断中に撓み易く
、これによって加工精度の低下を招くという問題点があ
る。

そこで、ブレードの撓み量を検出するブレード撓み量検
出センサと、このブレード撓み量検出センサの検出結果
に基づいて、流体圧、磁気力等によりブレードの局部的
な撓みを軸方向に抑−ｊするブレード撓み修正手段とを
設け、ブレードに撓みが生じたときに、その撓みをブレ
ード撓み量検出センサで検出してブレード撓み修正手段
で修正できるようにしたものが開発されている。

第５図に示すように、上記従来の装置は、ブレード撓み
量検出センサ２９を、ワーク３０が切断送りによって移
動する軌跡Ｃ上を避けた位置で、かつブレード１０のワ
ーク切断部位（Ｐ１〜Ｐ２　）の入口部Ｐ１近傍、つま
り回転方向く図中、矢印Ｂ方向）上流端Ｐ１近傍の１か
所のみに設けている。そして、このブレード撓み量検出
センサ２９の近傍にブレード撓み修正手段２８を設け、
上記ブレード撓み量検出センサ２９の検出結果のみに基
づいてブレード撓み修正手段２８でワーク切断部位の入
口部Ｐ１近傍の局部的な撓みを修正するようにしている
。

（発明が解決しようとする課題〕 切断中、ブレード１０は、ワーク切断部位の入口部Ｐ１
近傍でほとんど撓んでいなくとも、ワーク切断部位の出
口部（回転方向下流端）Ｐ２近傍で大きく撓んでいる場
合がある。また、入口部Ｐ１近傍が撓んでいても、出口
部Ｐ２近傍で撓んでいない場合がある。

したがって、上記従来の装置の構成では、入口部Ｐ１近
傍の撓み量しか検出することができず、かつブレード１
０の入口部Ｐ１近傍の撓みしか修正することができず、
しかもその修正を入口部Ｐ１近傍の検出結果のみに基づ
いて行うことしかできないため、ブレード１０の撓みを
正しく修正することができず、加工１１１１１１の低下
を招いていた。

また、上記従来の装置では、内周刃１１の切れ味が低下
してもブレード１０の撓みが大きくなり、加工精度が悪
くなるため、ドレス装置（図示省略）を設けて、ブレー
ド１０の撓みが大きくなれば内周刃１１をドレスして内
周刃１１の切れ味を回復させるようにしている。しかし
ながら、従来は、上記ドレス装置でドレスを行う時期（
ドレスタイミング）も入口部Ｐ１近傍に設けたブレード
撓み量検出センサ２９の検出結果のみに基づいて制御し
ていたため、ワーク全面に対してブレード１０の撓みを
正確に反映してドレスタイミングが制御されず、必要な
時にドレスが行なわれなかったり、必要以上にドレスが
行なわれたりするという問題が発生していた。

以上の事情に鑑みて、本発明は、加工精度を向上させる
ことができ、しかも、適正な時期にドレスを行わせるこ
とができるスライシング装置を提供しようとするもので
ある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明にかかるスライシング装置は、円形状の内周刃を
持つブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記ブ
レードを回転させながら、前記ブレードまたはワークを
前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、前
記ワークの一端部を切断して薄片を切り出すスライシン
グ装置において、前記ブレードの撓み量を検出するブレ
ード撓み量検出手段が前記ブレードのワーク切断部位の
入口部近傍と出口部近傍との２か所にそれぞれ設けられ
、前記入口部近傍と出口部近傍とにそれぞれ前記ブレー
ドの局部的な撓みを軸方向に抑制するブレード撓み修正
手段が設けられ、これら両ブレード撓み修正手段はそれ
ぞれ前記両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づい
て制御されるように構成されたものである（請求項１）
。

好ましくは、ブレード全体の撓みを軸方向に調整するブ
レード撓み調整手段を設け、このブレード撓み調整手段
を両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて制御
するように構成する（請求項２）。

また、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段と、こ
のドレス手段のドレスタイミングをｉｌＪ　ｍするドレ
スタイミング制御手段とを設け、このドレスタイミング
制御手段を両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づ
いて制御するように構成する（ＩＩ請求項）。

さらに、両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づい
てブレードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量を演
算する中央部撓み量演算手段を設けるようにしてもよい
（Ｍ求項４）。

〔作用〕

請求項１の構成によれば、ブレードのワーク切断部位の
入口部近傍の局部的な撓みおよび出口部近傍の局部的な
撓みが、それぞれ入口部近傍および出口部近傍に設けら
れたブレード撓み量検出手段によって精度良く検出され
、その精度良く検出された検出結果に基づいて各ブレー
ド撓み修正手段で確実に修正されることとなる。

また、請求項２の構成によれば、両ブレード撓み量検出
手段の検出結果に基づいてブレード撓み調整手段でブレ
ード全体の撓みを精度良く調整することができる。

さらに、請求項３の構成によれば、両ブレード撓み量検
出手段の検出結果に基づいてドレスタイミング制御手段
でドレスタイミングを精度良く制御することができる。

また、請求項４の構成によれば、加工精度に最も影響を
及ぼすブレードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量
が演算により求められ、その演算結果に基づいてブレー
ドの局部的な撓み修正、ブレード全体の撓み調整または
ドレスタイミングの制御を行うことができるために、そ
れぞれのＩＩＩ向上を図ることができる。

〔実施例〕

第１図から第３図は、本発明にかかるスライシング装置
の一実施例を示している。

第１図および第２図に示すように、このスライシング装
置は、基台１上に設置されたガイドレール２と、このガ
イドレール２に沿ってスライド自在に支持されたスライ
ドテーブル（第２のブレード撓み調整手段の一部）３と
、このスライドテーブル３に対向して上記基台１上に設
置された主軸台４とを有している。

主軸台４の上部には主軸受け４ａが設けられ、この主軸
受け４ａには、主軸６が回転自在に支持されているとと
もに、ベルト伝動機１７を介して主軸６を回転駆動する
主軸駆動モータ８が取付けられている。主軸６の先端部
にはテンションディスク（第１のブレード撓み調整手段
の一部）９が固着され、このテンションディスク９は、
主軸６、ベルト伝動機構７および主軸駆動モータ８から
なる回転駆動手段（第１のブレード撓み調整手段の一部
）５により、回転駆動されるように構成されている。

上記テンションディスク９の周縁部にはドーナツ状の薄
板からなるブレード１０が装着され、このブレード１０
の内周縁にはダイヤモンド粒子等からなる内周刃１１が
固着され、このブレード１０は、テンションディスク９
が回転して、その回転数Ｎが変化することにより、回転
数Ｎに応じて主軸６の軸方向（ブレード１０の回転軸方
向）に変位するように構成されている。つまり、テンシ
ョンディスク９が回転すると、テンションディスク９の
周縁部に回転数Ｎに応じた遠心力が作用し、これによっ
てテンションディスク９からブレード１０に付与される
回転軸方向の変位の大きさおよび方向が決定されるよう
になっている。

上記スライドテーブル３上には保持部材１５が主軸６の
軸方向にスライド可能に載置され、保持部材１５にはシ
リコンからなる半導体インゴット（ワーク３０）が保持
されている。保持部材１５は、ボールねじ１６と、この
ボールねじ１６を回転駆動する保持部材駆動モータ１７
とを有する割出し送り手段１８により、上記主軸６の軸
方向にスライド駆動されるように構成されている。この
ため、保持部材１５を主軸６側にスライドさせることに
よって、ワーク３０の一端部をブレード１０の表面１０
ａ側（ワーク保持ＩＩ）からブレード１０の内側に挿通
してブレード１０の裏面１０ｂ側へ微小量突出させるこ
とができるようになっている。

また、上記スライドテーブル３には、内周刃１１をドレ
スするドレスｆｉ！＜ドレス手段）１９がその工具先端
をブレード１０の内側に臨ませるようにして設けられて
いる。

上記スライドテーブル３は、ホールねじ１２と、このボ
ールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ１３とを有
する切断送り手段（第２のブレード撓み調整手段の一部
）１４により、上記ガイドレール２に沿って主軸６と直
交する方向にスライド駆動されるように構成されている
。このため、スライドテーブル３を第１図の向う側にス
ライド駆動させることによって、ワーク３０をブレード
１０の半径方向く第２図中、矢印へ方向）に切断送りす
ることができるようになっている。そして、ブレード１
０を回転させつつ、ブレード１０の内側に一端部を臨ま
せたワーク３０をブレード１０の半径方向に切断送りす
ることにより、ワーク３０の一端部を内周刃１１によっ
てスライスしてウェハ（薄片）を切出すことができるよ
うになっている。

ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部分、すなわち
内周刃１１で最終的に切断されるワーク３０部分には、
カーボン等からなるスライスベース３１が固着されてい
る。このスライスベース３１は、ワーク３０を切断し終
わる時にブレード１０に掛かる切断抵抗が急に解放され
る結果、上記ワーク３０の最終切断部分が欠けるのを防
止するために設けられたものである。

ブレード１０の表面１０ａの近傍には、ブレード１０の
撓み量を検出する磁気センサ等の非接触型のブレード撓
み量検出センサ（ブレード撓み量検出手段＞２０．２１
が２か所に設けられている。

すなわち、両ブレード撓み量検出センサ２０．２１は、
共にワーク３０が切断送りによって移動する軌跡Ｃ上を
避けた位置であって、ブレード１０の表面１０ａに対向
する位置に配置されている。

しかも、一方のブレード撓み量検出センサ２０はブレー
ド１０のワーク切断部位（Ｐ１〜Ｐ２　）の入口部Ｐ１
近傍、つまり回転方向く第２図中、矢印Ｂ方向）上流端
Ｐ１近傍に配置され、他方のブレード撓み量検出センサ
２１はブレード１０のワーク切断部位の出口部Ｐ２近傍
、つまり回転方向下流端Ｐ２近傍に配置されている。

上記両ブレード撓み量検出センサ２０，２１の近傍には
、それぞれブレード１０の局部的な撓みを軸方向に抑制
するブレード撓み修正手段２５゜２６が設けられている
。各ブレード撓み修正手段２５．２６としては、例えば
ブレード１ｏの表裏面１０ａ、１０ｂに向けて流体、磁
界等を作用させ、ブレード１０とは非接触でブレード１
０の撓み修正を行うものが用いられている。

第３図は、このスライシング装置の制御部４０の構成を
示している。

この制御部４０は、入口部基準変位記憶装Ｍ４３、出口
部基準変位記憶＠置４５、主軸駆動モータ制御ｌｌ装置
Ｉ（第１のブレード撓み調整手段の一部）４９、切断送
りモータ制御装置（第２のブレード撓み調整手段の一部
）５２、ドレスＩｔ　Ｉ［ｌ　＠置（ドレスタイミング
制御手段の一部）６２、入口部撓み制ｍ装置７２、出口
部撓み制ａ装置１７４等を有している。

入口部基準変位配憶装置４３および出口部基準変位記憶
装！４５には、上記入口部Ｐ１近傍に設けられたブレー
ド撓み量検出センサ（以下、「入口部センサ」という）
２０の検出結果および上記出口部Ｐ２近傍に設けられた
ブレード撓み量検出センサ（以下、Ｕ出口部センサ」と
いう）２１の検出結果がそれぞれ入力される。入口部基
準変位記憶装置４３は、切断送りモータ１３によってワ
ーク３０が切断開始直前の位置（第２図に左側の二点鎖
線で示す位置よりも優かに左寄りの位ＩＩ）に移動させ
られた時に入口部センサ２０で検出される入口１ｇＰｔ
近傍のブレード１０の撓み量を入口部基準撓み量Ｓａ１
として記憶するように構成されている。また、出口部基
準変位記憶装置４５は、ワーク３０が切断開始直前の位
置に移動させられた時に出口部センサ２１で検出される
出口部Ｐ２近傍のブレード１０の撓み―を出口部基準撓
み量Ｓａ２として記憶するように構成されている。

なお、ワーク３ｏが切断開始直前の位置に移動させられ
たことは、切断送りモータ１３と切断送りモータ制御装
置５２とによって検出されるようになっている。

入口部基準変位記憶装置４３に記憶された入口部基準撓
み量Ｓａ１および出口部基準変位記憶装置４５に記憶さ
れた出口部基準撓み量Ｓａ２は、それぞれ入口部変位比
較器４４および出口部変位比較器４６に出力される。入
口部変位比較器４４には、上記入口部基準撓み量Ｓａ１
の他に、入口部センサ２０で検出される入口部Ｐ１近傍
のブレード１０の現在撓みＩｓ　ｂｚが入力され、この
入口部変位比較器４４は、上記入口部センサみ量Ｓｂ１
から入口部基準撓み量Ｓａ１を差し引いて真の入口部撓
み量（切断によって実際にブレード１Ｏの入口部Ｐ１近
傍が撓んだ量）Ｓｌを検出するように構成されている。

また、出口部変位比較器４６には、上記出口部基準撓み
量Ｓａ２の他に、出口部センサ２１で検出される出口部
Ｐ２近傍のブレード１０の現在撓み量Ｓｂ２が入力され
、この出口部変位比較器４６は、上記出口部センサみ量
Ｓｂ２から出口部基準撓み量Ｓ８２を差し引いて真の出
口部撓み量Ｓ２を検出するように構成されている。

入口部変位比較器４４で検出された入口部撓み量８１は
中央部撓み量演算装置（中央部撓み量演舞手段）４７、
切断送り速度演算装［（第２のブレード撓み調整手段の
一部）５１、ドレスタイミング判定装置Ｉ（ドレスタイ
ミング制御手段の一部）６１および入口部撓み演＊装置
７１にそれぞれ出力され、出口部変位比較器４６で検出
された出口部撓み１８２は中央部撓み口演算装＠４７、
切断送り速度演算装置５１、ドレスタイミング判定装置
６１および出口部撓み演算装［７３にそれぞれ出力され
る。

中央部撓み量演ｖｉ装置４７は、入口部変位比較器４４
で検出された入口部撓み量Ｓ１と出口部変位比較器４６
で検出された出口部撓み１８２とに基づいてブレード１
０のワーク切断部位の中央部Ｐ３　　（第２図参照）近
傍の撓み量Ｓ３を演算するように構成されている。すな
わち、予め経験的に求めておいた入口部撓みｌｓ＋およ
び出口部撓み量Ｓ２に対する中央部撓み量Ｓ３の関数と
、入口部撓み量Ｓ１および出口部撓み量Ｓ２とから中央
部撓み量Ｓ３を演算するようになっている。

中央部撓み量演算装置４７で演算された中央部撓み量Ｓ
３は、回転数演算装置（第１のブレード撓み調整手段の
一部）４８、切断送り速度演算装置５１、ドレスタイミ
ング判定装置６１、入口部撓み演算装置１７１および出
口部撓み演算装［７３にそれぞれ出力される。

回転数演算装置４８は、ワーク３０が所定の切断送り位
置に移動したときに、現在のテンションディスク９の回
転数Ｎと中央部撓み量演算装置４７で演算された中央部
撓み量Ｓ３とに基づいて、上記中央部撓み量Ｓ３を零に
するために必要なテンションディスク９の目標回転数Ｎ
ａを演算し、その演算結果に対応した信号を主軸駆動モ
ータ鯖ｌ１ｌＩＡ置４９に出力するように構成されてい
る。

主軸駆動モータ制御装置４９は、回転数演舞装置４８か
ら信号を受けたときにはテンションディスク９の回転数
Ｎが回転数演算装置４８で求められた目標回転数Ｎａと
なるように、それ以外は予め設定記憶された基本回転数
Ｎｏとなるように主軸駆動モータ８を制御するように構
成されている。

切断送り速度演算装置５１は、ワーク３０が所定の切断
送り位置に移動したときに、入口部変位比較器４４で検
出された入口部撓みＩＳｌと出口部変位比較器４６で検
出された出口部撓みＩｓ２と中央部撓み量演算装置４７
で演算された中央部撓み量Ｓ３とに基づいて、中央部撓
みＩｓ３　、入口部撓み量Ｓ１と中央部撓み量Ｓ３との
差または出口部撓みｌｌ５２と中央部撓みＩｓ３との差
を小さくするために必要な目標切断送り速度ｙａを演御
し、その演算結果に対応した信号を切断送りモ−タ制’
ｍ＠＠５２に出力するように構成されている。

上記目標切断送り速度ｖａの演算は、例えば下記式■に
よって行われる。

Ｖａ−ｖＯ−ｋｓ−＠　＊■ ここで、Ｖｏは予め設定記憶された基本切断送り速度、
ｋは演舞係数を示し、ＳにはＳ３の絶対値、５ｌ−８３
の絶対値、８２−８３の絶対値の中で最大の値を代入す
る。

また、切断送り速度演算装置５１は、Ｓｌ、Ｓ２、Ｓ３
に基づいて所定の切断送り速度演算条件であるか否かを
判定し、その結果、所定の切断送り速度演算条件でない
場合（Ｓが所定の値以下のとき）には、上記目標切断送
り速度Ｖａの演算を行わず、切断送すモータ制御１ｌｆ
ｉ置５２に信号を出力しないようにも構成されている。

切断送りモータ制ｍ装置５２は、切断送り速度演算装Ｗ
５１から信号を受けたときには切ｌｌｉ送り速度Ｖが切
断送り速度演算装置５１で求められた目標切断送り速度
ｖａとなるように、それ以外は基本切断送り速度Ｖｏと
なるように切断送すモータ１３を制御するように構成さ
れている。また、切断送りモータ制御装置５２は切断送
り位置検出手段を有していて、この切断送り位置検出手
段は、切断送りモータ１３から検出されるパルス信号に
基づいてワーク３０の切断送り位Ｎ（切断送り方向の位
置）を検出するように構成されている。

ドレスタイミング判定装置６１は、ワーク３０が所定の
切断送り位置に移動したときに、ドレスをドレス装置１
９に行わせる時期か否かを８１８２　、Ｓ３に基づいて
判定するように構成されている。

ドレス制御装置６２は、ドレスタイミング判定装置ｆ６
１でドレスタイミングであると判定した場合（後で詳述
する）に、所定の時期にドレス装置１９にドレス指令信
号を出力するように構成されている。

入口部撓み演算装置７１は、ワーク３０が所定の切断送
り位置に移動したときに、入口部撓み■Ｓ１と中央部撓
み量Ｓ３とに基づいて入口部撓み置Ｓ１と中央部撓み量
Ｓ３との差を求めるように構成されている。

入口部撓み制御装置７２は、入口部撓み演算装置７１で
求められた入口部撓み量Ｓ１と中央部撓み量Ｓ３との差
に基づいて、その差を縮めるように入口部センサ２０の
近傍に設けられたブレード撓み修正手段（以下、「入口
部ブレード撓み修正手段」という）２５の流体圧、磁気
力等を制御するように構成されている。

一方、出口部撓み演舞装置７３は、ワーク３０が所定の
切断送り位置に移動したときに、出口部撓み量Ｓ２と中
央部撓み量Ｓ３とに基づいて出口部撓み量Ｓ２と中央部
撓み量Ｓ３との差を求めるように構成されている。

出口部撓み制ｍ装置７４は、出口部撓み演算装置７３で
求められた出口部撓み量Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３との差
に基づいて、その差を縮めるように出口部センサ２１の
近傍に設けられたブレード撓み修正手段（以下、［出口
部ブレード撓み修正手段」という）２６の流体圧、磁気
力等を＠御するように構成されている。

なお、制御部４０では、ワーク３０をブレード１０に対
して割出送りするための保持部材駆動モータ１７等の制
御も行なわれるようになっている。

また、切断送り速度演算装置５１およびドレスタイミン
グ判定装置６１には、入口部変位比較器４４で検出され
た入口部撓み量Ｓ１および出口部変位比較器４６で検出
された出口部撓み量Ｓ２の代りに、入口部撓み演ｌｌ装
Ｗ！７１の演算結果および出口部撓み演算装置１７３の
演算結果をそれぞれ入力するようにしてもよい。

ここに、スライシング加工を行うときの上記制御１１部
４０の制御の具体例を第４図に示す。

この制御を開始するに当たっては、先ず、回転駆動手段
５の主軸駆動モータ８を駆動させて、テンションディス
ク９を基本回転数ＮＯで回転させる（ステップＳ１）と
ともに、割出し送り手段１８の保持部材駆動モータ１７
を駆動させて、保持部材１５に保持したワーク３０を主
軸６側にスライドさせる（ステップＳ２）、これにより
、ワーり３０の一端部がブレード１０の表面１０ａ側か
らブレード１０の内側に挿通させられてブレード１０の
裏面１０ｂ側へ微小量突出させられる。

次に、切断送り手段１４の切断送りモータ１３を駆動さ
せて、ワーク３０をブレード１０の半径方向に基本切断
送り速ｒｘｖＯで移動させる（ステップ３３　）。

上記ワーク３０の移動と同時に、切断送りモータ制御装
置５２でワーク３０の切断送り位置を検出する（ステッ
プ８４　＞とともに、各センサ２０゜２１で入口部現在
撓みｌ５ｂ１および出口部現在撓み量Ｓｂ２の検出を行
う〈ステップＳ５　）。そして、ワーク３０が切断開始
直前の位置を越えているか否かを判定しくステップＳ６
）、ステップＳ６で切断開始直前位置を越えていないと
判定した場合は、さらに切断開始直前位置に移動したか
否かを判定しくステップＳ７）、このステップＳ７で切
断開始直前位置に移動したと判定（ｒＹＥＳ」と判定）
されるまでステップＳ４以降を繰返す。

このステップＳ７で切断開始直前位置に移動した、つま
り切断が開始される直前であると判定すると、ｒＹＥｓ
Ｊと判定する直前に検出された入口部現在撓み量Ｓｂ１
および出口部現在撓み量Ｓｂ２を入口部基準撓み量Ｓａ
ｔおよび出口部基準撓み量Ｓ８２として入口部基準変位
記憶装Ｗ１４３および出口部基準変位記憶装置４５でそ
れぞれ記憶（ステップＳ８）した後、入口部変位比較器
４４および出口部変位比較器４６でそれぞれ入口部撓み
置Ｓ１および出口部撓み量Ｓ２を検出しくステップＳ９
およびステップＳｖ）、中央部撓み量演算装置４７で中
央部撓み量Ｓ３を演算する（ステップ５１１）ロ 一方、ステップＳ６で切断開始直前位置（後述する切断
開始位置に達していない位置）を越えていると判定した
場合は、ステップＳ７およびステップＳ８を飛ばして上
記ステップ８９〜ステツプＳ１１を実行する。

ステップ８１１実行後は、ワーク３０が切断開始位置（
第２図に左側の二点鎖線で示す位置）を越えているか否
かを判定する（ステップ５１２）。このステップＳ１２
でワーク３０が切断開始位置を越えていると判定した場
合は、ステップＳ１３の判定を飛ばして、後述するステ
ップＳ１４およびステップＳ５を実行する。

一方、上記ステップＳ１２でワーク３０が切断開始位置
を越えていないと判定した場合は、さらに切断開始位置
に移動したか否かを判定しくステップ５１３）、このス
テップＳ１３で切断開始位置に移動したと判定（ｒＹＥ
ｓＪと判定）されるまでステップＳ４以降を繰返す。そ
して、ステップＳ１３で切断開始位置に移動した、つま
り切断が開始されたと判定すると、回転数演算装置４８
で中央部撓み量Ｓ３に基づいてテンションディスク９の
目標回転数Ｎａを演算しくステップ５１４）、主軸駆動
モータ制御装置４９でテンションディスク９の回転数Ｎ
が目標回転数Ｎａとなるように主軸駆動モータ８を制御
する（ステップ５１５）。これにより、テンションディ
スク９の回転数Ｎが目標回転数ＮａＧ、：制御され、そ
の目標回転数Ｎａに応じてブレード１０が軸方向に変位
して、ブレード１０の中央部Ｐ３近傍の撓み量が零とな
るようにブレード１０全体の撓みが調整される。

上記ステップＳ％およびステップＳ！ｓを実行するとき
に、この実行に並行してステップＳｓおよびステップＳ
ｖも行われる。すなわち、入口部撓み演算装置２７１お
よび出口部撓み演算装置７３でそれぞれ入口部撓みｌｌ
５１と中央部撓み−８３との差および出口部撓み量Ｓ２
と中央部撓み量Ｓ３との差が求められ（ステップＳｓ）
、入口部撓み制御装＠７２で入口部撓み演算装置１７１
の演算結果に基づいて入口部ブレード撓み修正手段２５
が制御されるとともに、出口部撓み制ａ装置７４で出口
部撓み演算装置７３の演算結果に基づいて出口部ブレー
ド撓み修正手段２６が制御される（ステップ５１７）。

これにより、入口部ブレード撓み修正手段２５および出
口部ブレード撓み修正手段２６がそれぞれ駆動して、入
口部撓み量Ｓ１と中央部撓み量Ｓ３との差および出口部
撓み量Ｓ２と中央部撓みＩ　Ｓ　３との差が縮まるよう
に、プレ−ド１０の入口部Ｐ１近傍の局部的な撓みと出
口部Ｐ２近傍の局部的な撓みとが修正される。

さらに、上記ステップ８１４〜ステツプＳｖを実行する
ときに、その実行に並行して、切断送り速度演算装置５
１で所定の切断送り速度演算条件であるか否かが判定さ
れる（ステップ５１８）。すなわち、上記Ｓ３の絶対値
、５ｌ−８３の絶対値およびＳ２−５３の絶対値がそれ
ぞれ予め設定された許容の限界値Ｒ１を上回っているか
否かが判定される。

ステップＳ１８で切断送り速度演算条件である、つまり
Ｒ１＜１８３１であると判定した場合、Ｒ１＜１ｓ１−
８３　１であると判定した場合およびＲ１＜１５２−３
３　１であると判定した場合は、同じく切断送り速度演
算装置５１で入口部撓み量Ｓ１、出口部撓みｌ１Ｓ２お
よび中央部撓みＩＳ３に基づいて目標切断送り速度Ｖａ
を演算しくステップＳｓ）、切断送りモータ制ｍ装［５
２で切断送り速度Ｖが目標切断送り速度ｙａとなるよう
に切断送りモータ１３を制御する（ステップ５２０）。

これにより、切断送り速度■が目標切断送り速度Ｖａに
ｉｌＪ　ＩＩＩされ（切断送り速度Ｖが低下し）、切断
抵抗が減少して、ブレード１０の弾性複元力によってブ
レード１０の中央部撓み量Ｓ３、入口部撓み量Ｓ１と中
央部撓み量Ｓ３との差または出口部撓み量Ｓ２と中央部
撓み量Ｓ３との差が小さくなるようにブレード１０全体
の軸方向の撓みが調整される。

一方、ステップ８１Ｂで切断送り速度演算条件でない、
つまりＲ１上１Ｓ３　ｌ、Ｒ１上１ｓｔ　−８３ｊおよ
びＲ１上１８２−８３＋であると判定した場合は、ステ
ップＳ１９およびステップ８２０を行わずに、ステップ
８２１を行う。

ステップ８２１では、ドレスタイミング判定装置６１で
８１．８２．３３に基づいて所定のドレスタイミング条
件であるか否かを判定する。すなわち、Ｓ３の絶対値が
限界値Ｒ２（＞Ｒ＋　）を上回っているか否かと、５ｌ
−８３の絶対値およびＳ２−＄３の絶対値がそれぞれ限
界値Ｒ３（＞Ｒ１）を上回っているか否かとを判定する
。

ステップ８２１でドレスタイミング条件である、つまり
Ｒ２＜１８３１であると判定した場合、Ｒ３＜：Ｓ＋　
−８３１であると判定した場合およびＲ３＜１８２−８
３　１であると判定した場合は、ドレスｉｌＪ　ｍ装置
ｆ６２がドレス装置！１９にドレス指令する（ステップ
５２２）。これにより、現在切断中のワーク３０の加工
が完了した後にドレス装置１９によフてドレスが行われ
る。上記ステップ８２２実行後は、ステップ８２３を行
う。

一方、ステップＳ　２１でドレスタイミング条件でない
、つまりＲ２上１ｓ３１、Ｒ３上１８１−８３　）およ
びＲ３上１５２−８３１であると判定した場合は、ステ
ップＳ　２２を行わずにステップ８２３を行う。

ステップ８２３では、ワーク３０が全切断完了位置く第
２図に右側の二点鎖線で示す位置よりもさらに右側に寄
った位置で、スライスベース３１も完全に切断される位
置）に達したか否かを判定し、全切断完了位置に遅して
いないと判定した場合は、全切断完了位置に達したと判
定されるまでステツブＳ４以降を繰返し、全切断完了位
置に達したと判定した場合は、所定の切断完了動作を行
った後、この制御を終了する。

このスライシング装置の構成では、ワーク３０の切断が
開始されてから完了するまで、回転駆動手段５、テンシ
ョンディスク９、回転数演算装置４８および主軸駆動モ
ータ制御装置４９からなる第１のブレード撓み調整手段
によって、各センサ２０．２１の検出結果に基づいてテ
ンションディスク９の回転数Ｎが制御されてブレード１
０全体の撓みが調整される。また、同時に、入口部ブレ
ード撓み修正手段２５および出口部ブレード撓み修正手
段２６によって、各センサ２０，２１の検出結果に基づ
いてブレード１０の入口部Ｐ１近傍の局部的な撓みと出
口部Ｐ２近傍の局部的な撓みとが抑制される。このため
、切断中、常にブレード１０の撓みをワーク切断部位の
入口部、中央部、出口部が同一面になるように修正する
ことができ、ワーク３０を精度良く加工することができ
る。

しかも、このスライシング装置の構成では、上２第１の
ブレード撓み調整手段によってブレード１０全体の撓み
を調整し、かつ入口部ブレード撓み修正手段２５および
出口部ブレード撓み修正手段２６によってブレード１０
の局部的な撓みを修正していてもなお、ブレード１０に
所定値を越える撓みが生じている場合（中央部撓み１８
３の絶対値が限界値Ｒ１を越えている場合、入口部撓み
量Ｓ１と中央部撓み１８３との差の絶対値が限界値Ｒ１
を越えている場合および出口部撓み量Ｓ２と中央部撓み
ｆＩｋＳ３との差の絶対値が限界値Ｒ１を越えている場
合）には、切断送り手段１４、切断送りモータ制御装置
５２および切断送り速度演算装置５１からなる第２のブ
レード撓み調整手段によって、各センサ２０．２１の検
出結果に基づいて切断送り速度Ｖも制御されてブレード
１０全体の撓みが調整される。このため、切断中、ブレ
ード１０の撓みをより確実に除去することができる。

さらに、このスライシング装置の構成では、上記第１お
よび第２のブレード撓み調整手段によってブレード１０
全体の撓みを調整し、かつ各ブレード撓み修正手段２５
．２６によってブレード１０の局部的な撓みを修正して
いてもなお、ブレード１０に所定値を越える撓みが生じ
た場合（中央部撓み量Ｓ３の絶対値が限界値Ｒ２を越え
た場合、入口部撓み置Ｓ１と中央部撓み１８３との差の
絶対値が限界値Ｒ３を越えた場合および出口部撓み置Ｓ
２と中央部撓み１８３との差の絶対値が限界値Ｒ３を越
えた場合）には、ドレス制御装Ｒ６２およびドレスタイ
ミング演算装［６１からなるドレスタイミング制御手段
が内周刃１１の切れ味が悪くなったためにブレード１０
の撓みが大きくなったと判断して、ドレス装置１９がド
レスを行うようになっている。このため、切断中、内周
刃１１の切れ味を良好な状態に保つことができ、ブレー
ド１０の撓みを軽減することができる。

また、このスライシング装置の構成では、ブレード撓み
量検出センサ２０．２１をブレード１０のワーク切断部
位の入口部Ｐ１近傍と出口部Ｐ２近傍との２か所に設け
るとともに、ブレード撓み修正手段２５．２６を両ブレ
ード撓み量検出センサ２０，２１の近傍にそれぞれ設け
るようにしている。このため、ブレード１０の入口部Ｐ
１近傍と出口部Ｐ２近傍との２か所の撓みｌｓｌ、８２
を検出することができるとともに、ブレード１０の入口
部Ｐ１近傍の局部的な撓みと出口部Ｐ２近傍の局部的な
撓みとを修正することができる。しかも、各ブレード撓
み修正手段２５．２６がそれぞれ両ブレード撓み量検出
センサ２０，２１の検出結果に基づいて局部的な撓み抑
詞を行うように構成されているために、ブレード１０の
入口部Ｐ１近傍の撓みを考慮しながら出口部Ｐ２近傍の
局部的な撓みを修正し、あるいはブレード１０の出口部
Ｐ２近傍の撓みを考慮しながら入口部Ｐ１近傍の局部的
な撓みを修正することができる。

さらに、ブレード１０の入口部Ｐ１近傍と出口部Ｐ２近
傍との２か所の撓み量Ｓ１．Ｓ２を検出することができ
るために、第１のブレード撓み調整手段および第２のブ
レード撓み調整手段によるブレード１０全体の撓み調整
とドレスタイミング制御手段によるドレスタイミング制
御Ｊ御とを精密な撓み検出結果に基づいて行うことがで
き、これによりブレード１０全体の撓みをｆＩ度良く調
整することができるとともに、ドレスタイミングを精度
良く制御することができる。

したがって、このスライシング装置の構成によれば、加
工精度を向上させることができるとともに、適正な時期
にドレスを行わせることができる。

特に、このスライシング装置の構成では、中央部撓み量
演算装置４７を設け、両ブレード撓み量検出センサ２０
．２１でそれぞれ検出した入口部撓み量Ｓ１および出口
部撓み量Ｓ２に基づいてブレード１０のワーク切断部位
の中央部Ｐ３近傍の撓み量Ｓ３を演算し、この演算した
中央部撓み量Ｓ３を基準として第１および第２のブレー
ド撓み調整手段による撓み調整と各ブレード撓み修正手
段２５．２６による撓み修正とドレスタイミング制御手
段によるドレスタイミング制御とを行うようにしている
。

すなわち、第１のブレード撓み１１２手段では、中央部
撓み量Ｓ３が零となるようにテンションディスク９の回
転数Ｎを制御してブレード１０全体の撓みを調整するよ
うにしている。また、第２のブレード撓み調整手段では
、中央部撓み量Ｓ３、入口部撓み量Ｓ１と中央部撓み置
Ｓ３との差または出口部撓み量Ｓ２と中央部撓みＩＳ３
との差が小さくなるように切断送り速度■を調整してブ
レード１０全体の撓みを調整するようにしている。

また、各ブレード撓み修正手段２５．２６では、それぞ
れ入口部撓み量Ｓ１と中央部撓み量＄３との差および出
口部撓み量Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３との差が縮まるよう
にブレード１０を軸方向に抑制してブレード１０の局部
的な撓みを修正するようにしている。また、ドレスタイ
ミング制御手段では、中央部撓み量Ｓ３の絶対値が限界
値Ｒ２を越えた場合、入口部撓み量Ｓ１と中央部撓みｌ
ｌ５３との差の絶対値が限界値Ｒ３を越えた場合および
出口部撓み量Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３との差の絶対値が
限界値Ｒ３を越えた場合にドレスを行わせるようにして
いる。

つまり、ブレード１０のワーク切断部位の中央部Ｐ３近
傍は、ワーク３０を切断し始めてから切断し終わるまで
の間、ワーク３０を最も長く切断し続ける部分であり、
加工精度に最も影響を及ぼす部分である。したがって、
このスライシング装置のように、ブレード１０のワーク
切断部位の中央８ＢＰ３の撓みｌｓ３を演算により求め
、この演算結果を基準として第１および第２のブレード
撓み調整手段による撓み調整と各ブレード撓み修正手段
２５．２６による撓み修正とドレスタイミング制御手段
によるドレスタイミング制御とを行うようにすれば、加
工精度をより一層向上させることができるとともに、ド
レスをより適正な時期に行わせることができる。

なお、各ブレード撓み量検出センサ２０．２１を、上記
実施例ではブレード１０の表面１０ａ側に設けていたが
、ブレード１０の裏面１０ｂ側に設けるようにしてもよ
い。さらに、各ブレード撓み量検出センサ２０．２１を
、上記実施例ではワーク３０が切断送りによって移動す
る軌跡Ｃ上を避けた位置に配置していたが、第２図に二
点鎖線２０ａ、２１ａで示すように、軌跡Ｃ上に配置す
るようにしてもよい。ただし、この場合は、各ブレード
撓み量検出センサ２０ａ、２１ａをブレード１０の裏面
１０ｂ側に設け、ワーク３０を切断する際にワーク３０
の一端面に近接する位置に配置するようにする。

ブレード撓み調整手段は、上記実施例で示したものの他
に、例えばテンションディスク９を回転軸方向に移動さ
せることによりブレード１ｏ全体の撓み量を調整するも
のであってもよい。

切断送りは、ワーク３０の代りに、ブレード１０をその
半径方向に移動させるようにして行ってもよい。

さらに、ブレード１０の全体的な撓み調整は、第１およ
び第２のブレード撓み調整手段のいずれか一方のみによ
って行うようにしてもよい。

〔発明の効果〕

請求ｆ１１のスライシング装置は、ブレードの撓み量を
検出するブレード撓み量検出手段をブレードのワーク切
断部位の入口部近傍と出口部近傍との２か所にそれぞれ
設け、上記入口部近傍と出口部近傍とにそれぞれブレー
ドの局部的な撓みを軸方向に抑制するブレード撓み修正
手段を設け、これら両ブレード撓み修正手段でそれぞれ
両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいてブレー
ドの局部的な撓みを軸方向に抑制するようにしているた
めに、ブレードの入口部近傍の撓みを考慮しながら出口
部近傍の局部的な撓みを修正し、あるいはブレードの出
口部近傍の撓みを考慮しながら入口部近傍の局部的な撓
みを修正することができる。したがって、ブレードの入
口部近傍の局部的な撓みおよび出口部近傍の局部的な撓
みをそれぞれ精度良く修正することができ、加工精度を
向上させることができる。

請求項２のスライシング装置は、ブレード全体の撓みを
軸方向に調整するブレード撓み調整手段を設け、このブ
レード撓み調整手段で両ブレード撓み量検出手段の検出
結果に基づいてブレード全体の撓みを軸方向に調整する
ようにしているために、ブレード全体の撓みも精度良く
除去することができ、加工精度をより一層向上させるこ
とができる。

請求項３のスライシング装置は、ブレードの一周刃をド
レスするドレス手段と、このドレス手すのドレスタイミ
ングを制御するドレスタイミンク制御手段とを設け、こ
のドレスタイミング制粧手段で両ブレード撓み量検出手
段の検出結果に基づいてドレス手段のドレスタイミング
を制御するように構成しているために、ドレスタイミン
グを精度良く制御することができ、適正な時期にドレス
を行わせることができる。

請求項４のスライシング装置は、両ブレード撓み量検出
手段の検出結果に基づいてブレードのワーク切断部位の
中央部近傍の撓み量を演算する中央部撓み量演算手段を
設けているために、加工精度に最も影響を及ぼすブレー
ドのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量を演褌により
求めることができ、その演算結果に基づいてブレードの
局部的な撓み修正、ブレード全体の撓み調整またはドレ
スタイミングの制御を行うことができる。したがって、
それぞれの精度向上を図ることができ、加工精度をより
一層向上させることができるとともに、ドレスをより一
層適正な時期に行わせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかるスライシング装置の一実施例を
示す一部断面正面図、第２図は第１図の■−■線断面図
、第３図は制御部を示すブロック線図、第４図は制御部
の制御の具体例を示すフローチャート、第５図は従来の
スライシング装置におけるブレード撓み量検出手段の設
置位置を示す断面図である。 ５．９，４８．４９・・・第１のブレード撓み調整手段
、１０・・・ブレード、１１・・・内周刃、１４，５１
．５２・・・第２のブレード撓み調整手段、１９・・・
ドレス手段、２０．２０ａ・・・ブレードのワーク切断
部位の入口部近傍に設けたブレード撓み量検出手段、２
１，２１８・・・ブレードのワーク切断部位の出口部近
傍に設けたブレード撓み量検出手段、２５．２６・・・
ブレード撓み修正手段、３０・・・ワーク、４７・・・
中央部撓み量演算手段、６１．６２・・・ドレスタイミ
ング制御手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、円形状の内周刃を持つブレードの内側にワークの一
   端部を臨ませ、前記ブレードを回転させながら、前記ブ
   レードまたはワークを前記ブレードの半径方向に切断送
   りすることにより、前記ワークの一端部を切断して薄片
   を切り出すスライシング装置において、前記ブレードの
   撓み量を検出するブレード撓み量検出手段が前記ブレー
   ドのワーク切断部位の入口部近傍と出口部近傍との２か
   所にそれぞれ設けられ、前記入口部近傍と出口部近傍と
   にそれぞれ前記ブレードの局部的な撓みを軸方向に抑制
   するブレード撓み修正手段が設けられ、これら両ブレー
   ド撓み修正手段はそれぞれ前記両ブレード撓み量検出手
   段の検出結果に基づいて制御されるように構成されてい
   ることを特徴とするスライシング装置。 ２、ブレード全体の撓みを軸方向に調整するブレード撓
   み調整手段が設けられ、このブレード撓み調整手段は両
   ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて制御され
   るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
   のスライシング装置。 ３、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段と、この
   ドレス手段のドレスタイミングを制御するドレスタイミ
   ング制御手段とが設けられ、このドレスタイミング制御
   手段は両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて
   制御されるように構成されていることを特徴とする請求
   項１または２記載のスライシング装置。 ４、両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいてブ
   レードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量を演算す
   る中央部撓み量演算手段が設けられていることを特徴と
   する請求項１から３のいずれかに記載のスライシング装
   置。