JPH03173610A - 内周刃式ソーを用いてロッド状のワークピースを薄板にスライス切断する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は内周刃式ソーを用いてロッド状のワークピース
を薄板にスライス切断する方法であって、外周縁で緊締
装置に緊締された回転するソーブレードの切削粒子を備
えた内周縁を半径方向で、ワークピース保持装置によっ
て切断位置に保持された前記ワークピースに通して案内
し、この場合切断過程において目標位置に対する前記ツ
ープレー２ １の実際位置のずれを検出して、このずれに影響を与え
る形式のものに関する。さらに、本発明はこのような形
式の方法を実施する内周刃式ソーに関する。

〔従来の技術〕

ガラス、石英、セラミンク材料または酸化物飼料、たと
えばルビーまたはガリウム−ガドリニウム−ガーネット
から成るよ・うなロソ］−状のワークピース、さらに化
合物半導体＋４Ｆｌまたは元素半導体材料、たとえばガ
リウムヒ素またしＪインジウノ、リンならびに特にシリ
コンまたはゲルマニウムから成るロット状のワークピー
スを薄板に精密にスライス切断するためには、たいてい
の場合、内周刃式ソーが使用される。それというのは、
得られる製品のジオメトり晶質に対するしばしば厳格な
要求が内周刃式ソーの使用によって特に良好に満たされ
得るからである。この場合にソーブレードとしては、円
形の薄板ディスクが用いられ、この薄板ディスクは外周
縁に対して同心的に中心の円形孔、すなわち内孔を有し
ている。このソーブレドの内周範囲は切削被覆体を備え
ており、この切削被覆体は−・般に結合マ（・リックス
と、この結合マＩ・リックスに埋め込まれた硬質物質粒
子とから成っている。

半導体材料、たとえばシリコンから成るロットを、たと
えば電子構成素子または出力構成素子の製造において使
用されるような約０．１〜１　ｍｍの厚ざの薄いウェー
ハにスライス切断するためには、たとえば金属マトリッ
クス、特にニッケルマ１〜リンクスに埋め込まれたダイ
ヤモンド粒子または窒化ホウ素粒子から成る横断面滴形
の切削被覆体が有利であることが判明している。

ソーブレードは、たとえば西ドイツ国特許第３４４２７
３０号明細書、米国特許箱３１７５５．１８号明細書、
同第３０３９２３５号明細書または西ドイツ国特許第２
８４１６５３号明細書に記載の構成によって構成されて
いてよい緊定装置に外周縁で緊定され、切断機の一般に
カップ状に拡張されたロータにできるだけ同軸的にかつ
回転対称的に取り付けられる。スライス切断したいワー
クピース、たとえばシリコ２７口・ントは一般にアダプ
タ装置によってワークピース保持装置に固定されて、送
り込み機構を介して規定の切断位置にもたらされ、この
場所で保持される。

切断過程において、回転するソーブレードとワークピー
スとに相対運動が行なわれ、この相対運動によって切削
縁部は最終的に所望の薄板が分断されるまで、半径方向
でワークピースを貫通ずる。

公知の内周刃式ソーでは、このために種々の変化が用い
られる。すなわち、たとえばソーブレードの固定の位置
においてワークピースが切断運動を実施するか、または
ソーブレートが固定の位置に位置するワークピースを通
って移動させられ、この場合ワークピースは水平の位置
に位置していても、鉛直の位置に位置していてもよく、
このときソーブｌ／−１’は相応して鉛直にもしくは水
平に緊締されている。

一般に前記の各変化形では、切断過程において半径方向
に向ＧＪられた主切断力と共に、ソーブｌ／１・軸方向
の、つまりソーフレート面に対して垂直の付加的な力が
作用し、このような付加的な力はワークピース内でのツ
ーブレー「の軌道に影響を及ぼして、所望の切断線から
のずれを生せしめるおそれがある。考えられる原因とし
ては、切削被覆体の不規則性、たとえば不均一な摩耗、
切削粒子の異なる被覆密度、不均一な切削粒子ジオメト
リまたは除去された材料の切削縁部に沿った異なる堆積
量が挙げられるが、さらに切削ギャップにおける不規則
な圧力特性またはワークピースまたは切断機ロータの変
位も考えられる。

ソーブレードがこのように振れた結果として、得られた
製品、つまり薄板には本来所望した形状からのずれが認
められる。たとえばこのソーブレードが連続する２つの
切断過程において、それぞれ同じ方向に向けられて同し
量だけ理想位置から振らされると、これら２つの切断に
よって形成された薄板の表面は理想的に平らではなく、
平行に湾曲させられている。したがって、この薄板はた
しかに厚さむらを有していないが、しかし「ワプ」すな
わちそりを有している。振れが逆方向でへ あると、厚さむらを有する薄板が生ぜしめられる。

このようなジオメトリ誤差に関して薄板を規定するため
には、規格化された検査法が開発されている。たとえば
ＡＳＴＭ規格Ｆ６Ｓ７−８（ｌに示された方法によれば
、薄板の「ワープ」および／または「パラ」の値を求め
ることができる。この場合に、申し分のない薄板とは狭
い許容誤差範囲内でのみ、所定の目標ジオメトりからず
れてよい。このことば、特に高集積された電子構成素子
の製造において、およびとりわけジオメトリ精密度に対
して特に高い要求が課せられるフォトリソグラフィプロ
セスにおいて使用される半導体ウェーハに特に云えるこ
とである。

したがって、西ドイツ国特許出願公開第３６４０６４５
号明細書もしくは相応する米国特許出願整理番号第１２
２３６９号明細書に記載の方法では、切断過程の間に切
断動作が測定装置によって監視され、かつソーブレード
が切削ギャップに進入する前にソーブレードの少なくと
も一方の側面に流体を施与することにより、ソーブレー
ドのずれが阻止される。

この場合、切削ギャップにおける圧力特性が変化し、振
れ力とは反対の方向の力要素が形成されるので、目標切
断線はより正確に維持され得る。しかしながら、この方
法は器機の点でも調整技術の点でも手間がかかり、殊に
このようなフルイドダイナミック的に形成された調整力
は経験によれば比較的弱いものであって、その上、切断
しようとする材料内でのソーブレードの規定の侵入深さ
が得られた後でしか充分に有効とならないだけになおさ
らのことである。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の課題は、調整技術の点でも器機の点でもあまり
面倒でなく、得られた薄板のジオメトリ品質に対する厳
格な要求が大きな薄板直径においても維持され得るよう
な方法を提供することである。しかも、この方法は面倒
な組換えをすることなく、存在する内周刃式ソーにおい
て用いることができ、場合によっては平らな薄板の製造
だけでなく、片面または両面の規定の曲げ（バラ）を有
するような薄板の製造をも許すことが望ましい。

さらに、本発明の課題はこの方法を実施するために適し
た内周刃式ソーを提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

この課題を解決するために、本発明の方法では冒頭で述
べた形式の方法において、前記ずれを緊締装置とワーク
ピースとの間の並進的な軸方向の相対運動によって少な
くとも部分的に補償するようにした。

〔発明の効果］ したがって本発明による方法では最終的にソーブレード
緊締平面、つまり緊締装置の緊締縁部によって緊定され
たと仮定される仮想平面とワークピースとの相対位置が
、緊締装置の回転軸線を基準にした軸方向に制御されて
変化させられ、その結果、切断個所に位置する実際位置
は目標位置からせいぜい許容値だけずれているようにな
る。

原則的に、並進的な軸方向の相対運動はワークピースの
追従によるか、ソーブレードの追従によるか、またはこ
れら両追従運動の組合わせにより得ることができる。た
いていの場合は、択一的に両可能性のうちの１つが用い
られるだけで充分であるので、原則的には実際に排除さ
れてはいないが、調整技術的にも器機の面でも面倒な前
記組合わせは不要となり得る。

切断過程の間に出現する遊びをできるだけ小さく保持す
るために、−船客こあらゆる形式の追従もワークピース
の充分にしっかりとした緊締を必要とする。このような
要求は一般に汎用のワークピーステーブルによって充分
に満たされる。その理由は、従来の内周刃式ソー切断法
においても正確でかつできるだけ変動の少ないワークピ
ース位置が必要不可欠であったからである。

さらに、切断動作のできるだけ正確な把握、つまりワー
クピースを通る切削縁部の軌道もしくは切断時における
ソーブレードの振れのできるだけ正確なモニタも、本発
明による方法を実施するための重要な前提条件となる。

ワークピース内で回転するソーブレードの実際位置をそ
のつと検出することのできるような測定ユニットは公知
であり、充分に正確な測定を行なうことができれば、そ
の０ よ・うな測定ユニットを本発明による方法で使用するこ
とができる。この場合、各実際位置の直接的な検出を可
能にするような測定センサ、ずなわら測定信号が、牛し
る薄板を通じて形成されるような測定センサも使用可能
でおるし、ワークピース内へのソーブレードの作用範囲
の外には位置する１つ以−にの位置で測定信−号が検出
され、これによってワークピース内でのソーブレートの
実際位置が間接的にｔｔＣ論され得るような測定ユニッ
トも使用可能である。適当な測定ユニットは公知であり
、市販されている。このような測定ユニン１−とはたと
えば、センサとソーブレートとの間の距離変化を誘導電
流を介して記録して、測定信刊に変換することのできる
渦電流センサまたは距舖と共に変化する磁界強さをたと
えば生しる引力を介し゛ζ記録して、信号に変換する磁
気センサである。原則的には、光センサまたは赤外線セ
ンサの使用も排除されていない。適宜な測定装置の選択
にあたっては、場合によって切断したい＋Ａ料も測定６
３二影啓を及はＵ２得るごとを考慮しなりればならない
。

しかしながら一般に云えることは、それぞれ選択された
測定センサを用いたツーブレー１゛の実際位置の検出が
正確であればあるほど、かつ検出の信φ頁性が良ければ
良いほど、得られる結果はよりいっそう良好になる。

切断過程の経過中に、たいていは場合場合に応じて薄板
に要求されている規格に準拠して規定された、許容可能
な限界値よりも大きい値だＧＪ、測定された実際位置が
目標イ））置からずれると、このずれは本発明による方
法により少なくとも部分的に、つまり実際位置が、再び
目標位置を取り四も許容誤差範囲に位置するまで補償さ
れる。所定の値に従う正確性は、約±ｌｌｌ１ｎ以下の
ずれを維長することができるほどにまで高めることがで
きる。

有利には各切断の前に行なわれ目標位置と実際位置との
間のゼＬ１補償調整のためのベースとしても役Ｎ１つご
とのできる出発値としてｂよ、妨害を受けてないソーブ
レート軌道に相当する測定値、つまり自由に回転するツ
ーブレー１”がワークピースと接触する前に測定された
測定値が使用されると有利である。

薄板またはロッドの方向で測定されたずれは１実施態様
によれば、ソーブレードの実際位置が所望の正確性で目
標位置に調整されるまで、ワークピースをずれと同じ方
向に向けられた運動によってこのずれ６．′追従させる
ことにより、少なくとも部分的に補償され得る。このよ
うな追従運動のためには一般に数ρだυの並進運動で充
分であるので、この並進運動を実施するためには、充分
に正確な制御を許しかつ充分に動的な調整特性の点でず
くれているような調整要素しか使用することができない
。原則的にこのためには、必要とされる高度に正確な位
置決めを可能にする限り多種多様のシステム、たとえば
ハイドロツタ式、ニューマチンク式、モータ式または機
械式のシステムが使用可能である。得られる距離分解能
および移動速度の理由から、圧電式の駆動ユニットが使
用されると有利であり、このような圧電式の駆動ユニッ
トにおいては、印加される電圧を変化させることに、１
って、ｌｒＪ　１ｌ１１運動を／Ｉ−ｕ’Ｌ、めで、制
御することができる。このような駆動ユニソ１〜は市販
されている。この駆動ユニットば、ワークピース保持装
置に作用するが、しかし各切断過程の前にワークピース
の送り込みに影響を及ぼさないように取り付けられると
有利である。

原則的な第２の追従手段は、ソーブレートの実際位置が
所望どおりに目標位置と一致するまで、ソーブレート緊
締装置をソーブレードの振れ方向とは逆の方向にシフト
することにある。このことは、たとえば機械床に設けら
れたロータスピンドル支承装置全体を移動させることに
よって行なわれ得るが、しかし軸方向の支承ギャップを
変化させるか、または支承装置内のロータスピンドルを
軸方向に移動させることによっても行なわれ得る。

驚くほど簡単でかつ本発明の範囲内で有利である別の手
段は、切断過程の間にずれに応してソーブレードの回転
数を変えることにある。ごのような回転数変化は遠心力
の変化によって緊締装置ならびに場合によってはこの緊
締装置を支持するロータのイ・ηかな変形を牛ぜしめ、
ごの変形に、−［って緊締装置をソーブレートと共にほ
んの少しだげ軸方向に変位させることができる。この場
合に、ロタの拡張につながる回転数上昇はソーブレード
をロータの方向に、つまりワークピースがら離れる方向
に移動させるのに対して、回転数の減速およびロータを
狭めることば逆方向の運動を生じる結果となる。したが
って、目標位置がらのソーブレートの振れが、生じる薄
板の方向に認められると、回転数を残少させることによ
ってこのずれを補償することができる。同様に、ワーク
ピースの方向での振れは回転数を高めることによって再
び補償され得る。

このような手段には次のような利点がある。すなわち、
この手段は特にマスタし易く、がっ存在する機械におい
てあまり手間をかけずに用いることができ、この場合こ
の機械はたいてい既に回転数を調整するための手段を有
しているが、またはこのような手段を容易に装備するこ
とができるだりに、なおさら手間をかりなくて済む。原
則的にこのような装置においては、適当な測定装置が存
在していれば、手動による方法実施も可能である。

しかしながら、この方法はコンピュータ制御されて実施
される方が有利であり、この場合には、中間接続された
調整要素を介して、測定された実際値が所定の目標値と
比較され、これによって得られた調整量が回転数調整の
ための制御インパルスに変換されるだけでよい。

前述の別の変法においても、調整動作が手動でなく、コ
ンピュータ制御を介して行なわれると有利である。この
場合、目標位置と実際位置との補償調整によって得られ
た測定信号は同様に、並進的な軸方向の相対運動を制御
する調整量に変換され、次いでこの調整量に応じてワー
クピースもしくは緊締装置の相応するシフトまたはこれ
ら両運動可能性の組合わせが、このために設けられた実
施機構を介して実施される。たとえば西ドイツ国特許出
願公開第３６４０６４５号明細書に記載のフルイドダイ
ナミンク力を用いるソーブレードの制御のような別の調
整手段が付加的に使用されるような実施態様も原則的に
は考えられる。さらに・、調整動作によってソーブレー
ドをもはや規定の許容範囲内に保持することができない
場合には、ソーブレードの周期的な後研摩を行なうごと
もできる。

この場合、本発明による方法は研摩作業をあまり必要と
せず、したがって従来の方法に比べてより高いソーブレ
ード可使時間をも可能にすることが判明した。

本発明による方法ならびにこの方法を実施するために適
した内周刃式ソーは、特に半導体材料から成るウェーハ
を極めて高いジオメトリ精度でスライス切断することを
可能にする。この場合、厚さむらおよびそり（「ワープ
」）のための好都合な値を得ることができるだけでなく
、規定の片側湾曲（「ハウ」）を有するウェーハを得る
こともでき、この場合殊に凸状または凹状の面がワーク
ピースに向けられているようなウェーハを意図的に分断
することもできる（所謂「ポジティブハウまたはネガテ
ィフバウ」）。ソーブレードが調整作用時に軸方向の力
に対して不安定な中心位置に位置しているのではなく、
ごれに比べて、Ｌり安定的な、振らされて、いわばプレ
ロードをかけられた位置に位置していることから、大き
な利点が得られる。これにより、より信頼性の良い正確
なソーブレード案内が容易になり、このことは最終的に
より高い切断精度となって現われる。

〔実施例〕

以下に、本発明を実施例につき詳しく説明する。

例１ 市販の内周刃式ソーは空気支承されたロータと、このロ
ータに固定された緊締装置とを備えており、この緊締装
置には約８６ｃｍの外径と約３０ｃｍの内孔直径とを有
する圧延された鋼薄板から成るソーブレードが緊締縁部
を介して、外周縁に沿ったねし締結によって緊締されて
いる。内周縁はニッケルマトリックスに埋め込まれたダ
イヤモンド粒子から成る切削被覆体を備えている。

単結晶のシリコンロンド（直径約１５ｃｍ、長さ約４０
ｃｍ）は切削補助手段として働くカーボン切削加工条片
に接着され、かつワークピーステーブルに設けられたワ
ークピース保持装置にアダプタ装置を用いてできるだけ
遊びなく、しっかりと押し込まれ、このワークピース保
持装置によってシリコンロットをそれぞれ所定の切断位
置に移動させることができる。

内周刃式ソー切断機は付加的に測定装置を有しており、
この測定装置は切削縁部の高さでかつワークピースの側
方でソーブレードの走入範囲と走出範囲とに配置されプ
こ２つの渦電流センサを有している。センサとソーブレ
ートとの間のギャップはそれぞれ約２ｍｍである。これ
によって、±１７ｍの感度で、切断過程の間に・ノーク
ビース内で出現する目標位置からの実際位置のずれを、
外部で測定されたソーブレードの位置変化を介して間接
的に検出することができる。

検出された測定信号は：１ンピュータによって受信され
て、目標位置からのすれに応じて回転数を制御する制御
信号に変換され、この制御信号は一ロータ回転数の」−
昇または低下を生せしめる。存在する装置において約１
０Ｏｒ、ｐ、ｍ、の回転数変化は約９７ｍのソーフレー
１”緊締平面の変位６、二相力していて、しかもこの変
位は減速時にはワークピースの方向に行なわれ、加速時
には薄板の方向に行なわれることが、前試験において確
認されている。

この場合、ソーブレードの実際位置が測定正確度内で目
標位置と合致するまで、回転数はそのつと変えられる。

各切断過程の前に、測定装置はゼ【コ調整される。

ずなわら、既に切断位置に送り込まれたワークピースの
上に位置するツーブレー１゛の回転数が約１．２５Ｏｒ
、ｐ９ｍ、の標準値に調節され、この場合に妨害を受け
てない回転時に生ぜしめられるツーブレーＩ・とセンサ
との間の距離が出発値としてコンピュータによって検出
される。

次に、送り装置によってシリコンロッ１−は゛１′−径
方向で切削縁部に近付けられ、実際の切断過程が開始す
る。つまり、最終的にウェーハが分断されるまで、ソー
ブレードは送り運動に相応して冷却潤滑剤の供給を受け
ながら徐々にワークピースを貫通して行く。分断された
ウェーハは取出し器によって取り出されて、収容装置に
導入される。

切断過１−７の間ｔこセンサが目標位置、つまりこの場
合には初めに調節されたゼロ位置からのソーブレードの
ずれを表示すると、コンピュータを介してロータ回転数
が変えられ、この場合これによって生ぜしめられる緊締
フレームの運動はソーブレードの振れ方向とは反対の方
向である。その結果測定正確度の範囲内で実際位置と目
標位置との間のずれをもはや確認することはできなくな
る。このような調整動作はウェーハが分断されるまでそ
のつと実施される。その後に、新たに０補償調整が行な
われ、次の切断過程を開始することができる。それぞれ
切断過程内で、ずれをさらに補償するために回転数を２
０Ｏｒ、ｐ、ｍ、よりも多く変化させなければならなか
った場合、ソーブレードは次の切断の前に硬質材料に短
時間導入されることによって後研摩される。

前記方法によって、複数のシリコンロッドが約８５０Ｉ
Ｉｍの厚さを有する合計２３０００よりも多いウェハに
スライス切断された。ウェーハ表面は清浄後に１Ｊ販の
検査器具を用いて、無接触式の容量測定法によりジオメ
トり晶質（バラもしくはワープ）を検査された。この場
合に、最も説得力のある特性量として、各ウェーハに対
してそり（「ワープ」）、つまりウェーハ表面を仕切る
理想的な中心線からのウェーハ表面のずれが記録された
。これに基づき、たとえば統計的に、得られたウェーハ
の９７．５％によって維持されたか、または下回られた
「ワープ」値につき切断法の能率または内周刃式ソーの
能率を求めることができる。この場合、相応する値が求
められて、記録された。

比較のために、標準法を用いる製造条件下で同じ大きさ
の「１ツドを内周刃式ソーでスライス切断することによ
って得られた［ワープ」値、つまり同じく統計的に同数
のウェーハの９７．５％によって維持されたか、または
下回られた「ワープ値」が利用された。この場合には、
ソーブレードのずれを補償するための本発明による調整
動作なしで作業されたが、しかしソーブレードだけは、
切断過程において、まだ許容しうるとみなされる限界値
よりも大きい値だけ出発位置からずれた場合に後２ 研摩された。

両方法で得られたデータの比較により、ウェーハの９７
．５％によって維持されたか、または下回られた「ワー
プ」値は回転数によって調整された切断法から得られた
ウェーハにおいて、調整されてない標準切断法から得ら
れた「ワープ値」よりも約１０ＪＩｍだけ下であること
が判明した。この標準値は最初に述べた方法から得られ
た全てのウェーハによって満たされた。

さらｔこ、この方法においては約５０％だけ少ない研摩
作業しか必要とされなかった。

例２ 約１５ｃｍの直径を有するシリコンロンドをスライス切
断するだめの別の試験シリーズにおいて、例１と同様に
構成されている内周刃式ソー切断機が使用されるが、し
かしこの内周刃式ソー切断機は次の点で変えられている
。すなわち、ワークピース保持装置はイ」加的に圧電式
の駆動ユニッ１−と接続されていて、この駆動ユニット
に対してバイアスをかけられているので、印加される電
圧の変化によってワークピースは極めて小さな並進的な
軸方向の運動をソーブレードに向かって、またはソーブ
レードから離れる方向に実施することができる。さらに
、測定センサとして磁気センサ（西ｌイツ国特許出願第
Ｐ３８２６６９８．９号明細書参照）が、設けられてお
り、この磁気センサはツーブレー「の内孔の頂点高さに
取り付けられている。この位置から切断過程の間にソー
ブレードの軌道を対角線上で、生じるウェーハを通じて
追跡することができる。例Ｉと同様にそれぞれ各切断の
前に妨害を受けてないソーブレードにおいて補償調整さ
れた、目標位置として切断過程の基礎を成すゼロ位置か
らのソーブレードのずれはセンサによって供給された測
定信号を介してコンピュータによって検出されて、制御
信号に変換される。この制御信号により、圧電式の駆動
ユニットに印加される電圧が変えられ、ひいてはワーク
ピースが所望の方向に運動させられる。

実際の切断過程は例１に記載した形式で実施される。す
なわち、ソーブレードの回転数は１２５Ｏｒ。

ｐ、ｍ、に調節される。センサ（測定正確度内±１−）
がソーブレードのずれを示すと、この測定正確度内でワ
ークピースの位置がソーブレードの位置に調整されるま
で、制御を介してそのっどずれと同じ方向に向けられた
ワークピースの並進的な軸方向の運動が実施される。ず
れを補償するために、ワークピースをそのつど２５ｐｍ
よりも多い量だけ追従させなければならなかった。場合
に、ソーブレードは次の切断過程の前に硬質材料に短時
間導入されることによって後研摩される。

上記方法により、さらに約８００μの厚さを有する２０
００個のウェーハがスライス切断された。清浄後に、「
ワープ」測定が行なわれた。統計による評価により、ウ
ェーハの９７．５％によって維持されたか、または下回
られた「ワープ」値は回転数調整によって得られた「ワ
ープ」値に相当しており、したがって、調整手段を有し
ない従来のスライス切断法において例１で得られた比較
値よりも、同じく約１０７ＩＩ＋だけ良好であった。

以下、本発明の好適な実施態様を例示する。

■）　ソーブレードの目標位置からのずれを、許容し得
るとみなされる許容値にまで補償する請求項１記載の方
法。

２）前記ずれを緊締装置の並進的な軸方向の運動によっ
て補償する請求項１または前項１記載の方法。

３）緊締装置の並進的な軸方向の運動を回転数の変化に
よって生ぜしめる前項２記載の方法。

４）前記ずれをワークピースの並進的な軸方向の運動に
よって補償する請求項１または前項ｌ記載の方法。

５）　ワークピースの並進的な軸方向の運動を圧電式の
駆動ユニットによって生ぜしめる前項４記載の方法。

６）　並進的な軸方向の運動を実施する手段として、ソ
ーブレード回転数の調整装置が設けられている請求項２
記載の内周刃式ソー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内周刃式ソーを用いてロッド状のワークピースを薄
   板にスライス切断する方法であって、外周縁で緊締装置
   に緊締された回転するソーブレードの切削粒子を備えた
   内周縁を半径方向で、ワークピース保持装置によって切
   断位置に保持された前記ワークピースに通して案内し、
   この場合切断過程において目標位置に対する前記ソーブ
   レードの実際位置のずれを検出して、このずれに影響を
   与える形式のものにおいて、前記ずれを緊締装置とワー
   クピースとの間の並進的な軸方向の相対運動によって少
   なくとも部分的に補償することを特徴とする、内周刃式
   ソーを用いてロッド状のワークピースを薄板にスライス
   切断する方法。 ２、請求項１記載の方法を実施する内周刃式ソーにおい
   て、 切断過程の間にワークピース内で回転するソーブレード
   の実際位置を直接的または間接的に検出する少なくとも
   １つの測定ユニットと、 緊締装置とワークピースとの間の並進的な軸方向の相対
   運動を実施する手段と、 回転するソーブレードの検出された実際位置が目標位置
   と比較されて、ずれに応じて並進的な軸方向の相対運動
   を制御する調整量に変換される制御ユニットとを有して
   いることを特徴とする内周刃式ソー。