KR100189392B1 - 공작물의 절단방법 및 장치 - Google Patents

공작물의 절단방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100189392B1
KR100189392B1 KR1019950031625A KR19950031625A KR100189392B1 KR 100189392 B1 KR100189392 B1 KR 100189392B1 KR 1019950031625 A KR1019950031625 A KR 1019950031625A KR 19950031625 A KR19950031625 A KR 19950031625A KR 100189392 B1 KR100189392 B1 KR 100189392B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
blade member
workpiece
cutting
cutting edge
relative movement
Prior art date
Application number
KR1019950031625A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960011552A (ko
Inventor
타스미 하마사키
요시로 타데라
유키노리 이마다
케이시 가와구치
Original Assignee
히사오카이데
도오요 에이테크 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 히사오카이데, 도오요 에이테크 가부시키가이샤 filed Critical 히사오카이데
Publication of KR960011552A publication Critical patent/KR960011552A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100189392B1 publication Critical patent/KR100189392B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
    • B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
    • B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
    • B28D5/028—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a ring blade having an inside cutting edge

Abstract

본 발명의 공작물절단장치는 내측원형절단엣지를 갖는 블레이드부재를 회전시키는 블레이드부재회전장치와, 공작물의 단부를 절단하기 위하여 블레이드부재의 반경방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 반경방향 이동장치와, 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물의 상대이동을 일으키는 축방향 이동장치와, 회전블레이드부재의 내측부의 축방향변위를 검출하는 변위검출기와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드의 회전속도를 제어하는 회전제어기와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위애 근거하여 블레이드부재와 공작뮬사이의 축방향상대이동을 제어하는 축방향이동제어기로 구성된다.

Description

공작물의 절단방법 및 장치
제1도는 본 발명에 따른 제 1구체예로서 슬라이싱장치의 전체구성을 나타내는 정면도.
제2도는 제1도의 선 II-II를 따라서 취한 단면도.
제3도는 제 1슬라이싱장치에 이용된 제어부의 구성을 보여주는 블럭도.
제4도는 슬라이싱동작중의 시간에 대한 블레이드부재의 변위의 편차를 보여주는 그래프.
제5도는 슬라이싱동작중의 시간에 대한 제 l슬라이싱장치에 설정된 공작물의 기준절단위치의 편차를 보여주는 그래프.
제6도는 본 발명에 따른 제 2구체예로서 슬라이싱장치의 전체구성을 보여주는 정면도.
제7도는 제 6도의 선 VII-VII를 따라서 취한 단면도.
제8도는 제 2슬라이싱장치에 이용된 제어부의 구성을 보여주는 블럭도.
제9a도는 웨이퍼의 양측면이 동일하게 휘어진 블레이드부재에 의해 절단되는 방식으로 종래의 슬라이싱장치에 의해 얇게 절단된 웨이퍼의 개략도.
제9b도는 웨이퍼의 일측면이 휘어진 블레이드부재에 의해 절단되고 타측면이 새로 드레싱된 블레이드부재에 의해 절단되는 방식으로 종래의 슬라이싱장치에 의해 얇게 절단된 다른 웨이퍼를 나타내는 개략도.
제10a도는 휘어지지 않은 상태의 블레이드 부재의 절단엣지가 절단하는 방식을 보여주는 단면도.
제10b도는 휘어진 상태의 블레이드부재의 절단엣지가 절단하는 방식을 보여주는 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 베이스 2 : 가이드레일
3 : 슬라이드 테이블 4 : 메인스핀들베이스
5 : 회전구동기 6 : 메인스핀들
7 : 벨트기구 8 : 스핀들구동모터
9 : 텐숀디스크 10 : 블레이드부재
11 : 내측절단엣지 12 : 볼스크류
13 : 절단공급모터 14 : 절단공급기
15 : 홀딩부재 16 : 볼스크류
17 : 홀딩부재구동모터 18 : 분할공급기
19 : 드레스장치 20 : 휨검출센서
22 : 증폭기 23 : 가이드레일
30 : 공작물 31 : 슬라이드베이스
40 : 제어부 41 : 변위계산기
42 : 회전수피이드백보정계산기 43 : 메인스핀들구동제어기
44 : 공작물공급피이드백보정계산기 45 : 홀딩부재구동제어기
46 : 방출압피이드백보정계산기 47 : 방출압제어기
52 : 절단공급모터제어장치
본 발명은 반도체 웨이퍼를 제조하기 위해 반도체인것같은 공작물을 얇게 절단하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
종래, 공작물이 블레이드부재의 축방향으로 내측절단엣지를 약간 넘도록 내주연에 내측절단엣지를 갖는 편평한 원형의 고리형 블레이드부재의 중심공속에 놓이고 회전블레이드부재의 반경방향으로 내측절단엣지에 대하여 이동되어 웨이퍼를 제조하기 위한 슬라이싱장치가 알려져 있다.
이런 슬라이스장치에 있어서, 블레이드부재는 절단동작중에 휘기 쉬우므로 가공정밀도를 저하시킨다. 이런 정밀도의 저하를 제거하기 위해 여러가지 슬라이싱장치가 제안되었다.
예를들어 일본국특허공보 제 1-l8201l호(미심사)는 블레이드부재의 휨방향과 휨량이 블레이드부재의 회전속도에 따라서 변한다는 사실을 감안하여 블레이드부재의 휨량이 검출되고 블레이드부재의 회전속도가 피이드백 제어되어 휨량을 줄이므로 블레이드부재의 훰을 억제하는 것을 제시한다.
일본국특허공보 제 4-211909호(미심사)는 압축공기를 블레이드부재의 면에 방출하기 위한 공기방출기가 제공되어 압축공기에 의해 블레이드부재의 흼을 억제하는 것을 제시한다.
일본국특허공보 제 1-275010호(미심사)는 공작물로부터 절단된 웨이퍼의 두께가 일정치로 유지되도록 절단동작중에 블레이드부재의 휨량이 검출되고 공작물이 필요에 따라서 블레이드부재의 회전축의 방향으로 이동되어 휨량을 줄이는 것을 제시 한다.
일본국특허공보 제 1-l82011호(미심사)에서는 블레이드부재의 회전속도를 제어함에 의해 블레이드부재의 휨이 억제된다. 그러나 블레이드부재의 회전속도가 변한 후에 블레이드부재의 휨량이 변할때까지 시간지체가 생긴다는 사실에 비추어 볼때 피이드백게인을 큰 값으로 설정하기가 어렵다. 따라서 이 피이드백제어는 높은 응답성을 제공할 수 없다. 이 피이드백제어는 불가피하게 약간의 편차, 즉 블레이드부재의 휨을 수반하며 따라서 공작물이 소정위치로부터 변위된 위치에서 절단되는 것을 방지할 수 없다.
블레이드부재가 슬라이싱동작중에 휠지라도 공작물로부터 각각의 웨이퍼를 얇게 절단할때 예를들어 제9a도에 도시한 바와 같이 볼록한 웨이펴(W)를 절단할 때 블레이드부재가 동일한 휨량으로 휘어지는 한 동일단면형태가 균일한 두께를 갖는 웨이퍼가 제조될 수 있음을 고려할 수 있다.
그러나 절단성능을 향상시키기 위해 블레이드부재의 내측절단엣지가 드레스 장치로 드레싱되고 슬라이싱동작이 드레싱된 블레이드부재에 의해 다시 실시될 때 절단성능이 향상되었기 때문에 블레이드부재의 휨량은 드레싱직후에는 감소할 것이며, 따라서 향상된 블레이드에 의해 절단된 웨이퍼면은 곧게 된다. 이곧은 면은 제9b도에 도시한 바와 같이 드레싱되지 않은 절단엣지에 의해 만들어진 웨이퍼의 다른 볼록면과는 다르다. 이 곧은 면과 볼록면으로 인해 웨이퍼의 두께차가 생긴다.
또한 제어가능한 회전속도가 제한되기 때문에 블레이드부재의 회전속도에 근거한 휨제어에는 한계가 있다. 회전속도가 제어가능한 속도를 초과할때는 블레이드부재의 휨이 감소될 수 없다.
이들 결점은 상술한 바와 같은 이유로 일본국특허공보 제 4-211909호(미심사)에 제시한 슬라이싱장치에 의해 제거될 수 없다.
일본국특허공보 제 1-275010호(미심사)에 제시된 슬라이싱장치에 있어서, 웨이퍼가 공작물로부터 절단되는 위치가 제어될 수 있다. 그러나 블레이드부재의 휨이 상당히 억제된 상태에서 슬라이싱동작이 수행되기 때문에 다음의 결점이 발생한다.
제10a도에 도시한 바와 같이, 블레이드부재(10)의 내측절단엣지(11)는 절단 엣지(l1)의 양측이 가장 뛰어난 절단성능을 보장하는 휘지 않은 상태에서 전체원주의 연삭점(P)과 접촉하는 방식으로 설계된다. 그러나 블레이드부재(10)가 제 10b도에 도시한 바와 같이 블레이드부재(10)의 축방향으로, 즉 우측으로 휘어질때는 블레이드부재(10)의 휨때문에 연삭점이 점(P)으로부터 점(P')으로 변위된다. 따라서 절단성능이 불량해지고 따라서 절단된 웨이퍼의 절단면을 손상시킨다.
또한 블레이드부재(10)가 더 크게 휘어질때는 블레이드부재(10)의 확장된 측면과 공작물(30)의 코너(30a)사이의 갭이 작아진다. 최악의 경우, 휘어진 블레이드부재(10)의 확장된 측면의 일부는 코너부(30a)와 접촉하므로 블레이드부재(10)을 손상시킨다.
본 발명의 목적은 종래기술에서 나타나는 결점을 극복하는 공작물의 절단방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 블레이드부재의 휨을 효과적으로 억제할 수 있는 공작물의 절단방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 공작물의 절단위치의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있는 공작물의 절단방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재를 원의 중심을 중심으로 회전시키는 단계와, 공작물의 단부가 블레이드부재의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경반향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 단계와, 기준위치에 대하여 회전블레이드부재의 내측부의 축방향변위를 검출하는 단계와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 회전속도를 제어하는 단계와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제 절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검츨된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 단계로 구성되는 공작물의 절단방법에 관한 것이다.
또한 본 발명은 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재를 원의 중심을 중심으로 회전시키는 단계와, 공작물의 단부가 블레이드부재의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경반향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 단계와, 기준위치에 대하여 회전블레이드부재의 내측부의 축방향변위를 검출하는 단계와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 측면에 유체를 방출하는 단계와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제 절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 단계로 구성되는 공작물의 절단방법에 관한 것이다.
또한 본 발명은 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재와, 내측절단엣지의 원의 중심을 중심으로 블레이드부재를 회전시키는 제 1구동기(시핀들구동모우터8)와, 공작물의 단부가 블레이드부재의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 제 2구동기(절단공급모우터13)와, 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물의 상대이동을 일으키는 제 3구동기(홀딩부재구동모터17)와, 기준위치에 대한 회전블레이드부재의 내측부의 축방향변위를 검출하는 변위계산기(41)와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드의 회전 속도를 제어하는 제1제어기(회전수피드백보정계산기, 42 및 메인스핀들구동제어기, 43)와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재와 공작물사이의 축방향상대이동으로 제어하는 제2제어기(홀딩부재구동제어기, 45)로 구성되는 공작물절단장치에 관한 것이다.
또한 본 발명은 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재(10)와, 내측절단엣지의 원의 중심을 중심으로 블레이드부재를 회전시키는 제 1구동기(42, 43)와, 공작물의 단부가 블레이드부재(10)의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경방향으로 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 상대이동을 일으키는 제2구동기와(45)와, 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물의 상대이동을 일으키는 제3구동기(홀딩부재구동모터, 17)와, 회전블레이드부재의 측면에 유체를 방출하는 유체방출기(즉, 공기방출기, 24)와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 유체방출을 제어하는 제 1제어기(42, 43)와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 축방향상대이동을 제어하는 제 2제어기(홀딩부재구동제어기, 45)로 구성되는 공작물절단장치에 관한 것이다. 소정의 절단기준위치는 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 반경방향 상대 이동에 따라서 연속적으로 변한다.
공작물(30)이 회전블레이드부재(10)에 의해 절단되는 동안 회전블레이드부재(10)의 축방향변위가 검출된다. 축방향변위를 줄이기 위하여 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재(10)의 회전속도와 블레이드부재로의 유체방출이 제어된다.
또한 공작물(30)에 대한 내측절단엣지의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 공작물(30)과 블레이드부재(10)사이의 상대축방향이동이 이루어진다. 이 상대축방향이동은 회전속도제어와 유체방출제어에 의해 보정될 수 없는 변위를 보정한다. 따라서 내측절단엣지의 절단위치가 적정위치에 유지되어 공작물의 정확한 절단을 보장한다.
또한 소정의 절단기준위치는 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 반경방향 상대이동에 따라서 연속적으르 변한다. 따라서 절단편에 원하는 형상의 표면을 매우 높은 정밀도로 형성할 수 있다.
블레이드부재(10)를 인위적으로 변위시키기 위해 블레이드부재(10)의 회전속도 또는 유체방출을 변화시키는 것에 의해서만 절단편의 표면에 원하는 형상을 형성하기는 매우 어렵다. 이는 블레이드부재(l0)의 회전속도 또는 유체방출이 변하더라도 블레이드부재의 원하는 변위가 신속히 얻어질 수 없다는 사실때문이다. 또한 블레이드부재(l0)의 왜곡 또는 변위는 내부절단엣지의 절단성능을 저하시킨다.
따라서 블레이드부재(l0)의 변위를 가능한 한 작게 제어하면서 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 공작물(30)과 블레이드부재(10)사이에 축방향상대이동을 일으킴에 의해 원하는 형상이 절단편의 표면에 매우 높은 정밀도로 용이하게 형성될 수 있다. 이 것은 블레이드부재(10)의 변위가 억제되고 따라서 내측절단엣지의 절단성능이 향상된다는 사실 때문이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 이점은 이후의 상세한 설명과 첨부도면으로부터 보다 명백해질 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 구체예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 제 1구체예를 제1도-제5도를 참고하여 설명한다. 제1도 및 제2도에 도시한 슬라이싱장치는 평행안내레일(2, 2)이 제공된 베이스(1)로 구성된다. 이들 가이드레일(2, 2)에는 슬라이드테이블(3)이 그 위에서 슬라이드할 수 있도록 장착된다.
슬라이드테이블(3)과 대향하는 위치의 베이스(1)에는 메인스핀들베이스(4)가 제공된다. 이 메인스핀들베이스(4)는 메인베어링(4a)을 지지한다. 메인베어링(4a)은 메인스핀들(6)의 일단부를 회전가능하게 지지한다. 메인스핀들(6)은 메인스핀들(6)의 일단부와 스핀들구동모터(8)의 출력축사이에 끼워진 벨트기구(7)를 통해 스핀들구동모터(8)에 의해 구동된다. 메인스핀들(6)의 타단부는 로터리텐숀디스크(9)에 연결된다. 메인스핀들(6) 벨트기구(7) 및 스핀들구동모터(8)를 포함하는 회전구동기(5)에 의해 구동되는 톈숀디스크(9)는 메인스핀들(6)을 중심으로 회전한다.
텐숀디스크(9)는 도너츠형상의 편평하고 원형의 고리형 블레이드부재(10)가 부착되는 원주를 갖는다. 이 블레이드부재(10)는 내주면에 고정된 내측절단엣지(11)를 갖는다. 내측절단엣지(l1)는 다이아몬드조각등의 재료로 만들어진다.
텐숀디스크(9)의 단위시간당 회전수 f(앞으로 간단히 회전수라고 한다)는 시간에 따라서 변화한다. 텐숀디스크(9)의 회전으로 블레이드부재(10)가 메인스핀들(6)의 축방향 또는 블레이드부재(10)의 축방향(앞으로 Z축방향이라고 한다)으로 변위하게 된다. 텐숀디스크(9)의 회전으로 텐숀디스크(9)의 원주에 작용하는 원심력이 작용한다. 원심력은 회전수 f에 비례한다. 따라서 회전수 f는 Z축방향으로의 변위크기 및 방향을 결정한다.
슬라이드테이블(3)은 홀딩부재(15)와 분할공급기(18)를 지지 한다. 홀딩부재(l5)는 블레이드부재(10)의 축방향으로 연장된 가이드레일(23)상에서 슬라이드 할 수 있으며 실리콘반도체인곳등의 재료로 만들어진 공작물(30)의 일단부를 지지한다. 분할공급기(18)는 볼스크류(16)와 이 볼스크류(16)를 회전시키기 위한 홀딩부재구동모터(17)를 구비한다. 이 분할공급기(18)에 의해, 공작물(30)의 일단부가 블레이드부재(10)의 전방측(10a)으로부터 후방측(10b)으로 블레이드부재(10)의 중앙공을 통해 약간 돌출하도록 홀딩부재(15)가 Z축방향으로 슬라이드 이동할 수 있다.
슬라이드테이블(3)은 드레스장치(19)를 지지한다. 드레스장치(19)는 내측절단엣지(11)를 드레스하기 위해 제공된다. 드레스장치(19)는 팁이 블레이드부재(10)의 내측절단엣지(l1)에 근접배치된 공구를 갖는다.
베이스(1)에는 볼스크류(12)와 볼스크류(l2)를 회전시키기 위한 절단공급모터(13)로 구성되는 절단공급기(14)가 제공된다. 이 절단공급기(14)에 의해, 슬라이드태이블(3)이 가이드레일(2, 2)상에서 메인스핀들(6)의 축과 수직교차하는 방향으로(즉 제1도에서 전방에서 후방으로 또는 후방에서 전방으로의 방향으로, 이하 X축방향이라 한다) 슬라이드할 수 있다. 따라서 이 슬라이드테이블(3)을 X축방향으로 이동시킴에 의해 공작물(30)이 블레이드부재(10)에 대하여 블레이드부재(10)의 반경방향으로(즉 제2도에서 화살표 A1방향으로) 이동된다. 공작물(30)은 블레이드부재(10)의 중앙공속에 배치된 후 회전블레이드부재(10)에 대하여 이동되어 블레이드부재(10)의 내측절단엣지(11)에 의해 공작물(30)의 일부가 절단되어 웨이퍼편이 만들어진다.
또한 공작물(30)에는 내측절단엣지(11)가 공작물(30)의 절단동작을 종료하는 최종절단부에서 카본등의 재료로 만들어진 슬라이스베이스(3l)가 견고히 부착된다. 이 최종절단부는 절단공급방향의 하류측의 공작물(30)의 외주연과 일치한다. 공작물(30)에 슬라이스베이스(31)를 부착하는 것은 블레이드부재(l0)에 작용하는 절단 저항이 공작물(30)의 절단동작의 종료시에 갑자기 해제되는 것을 방지하기 위함이다. 슬라이스베이스(31)에 의해 공작물(30)이 어떤 손상도 없이 최종절단될 수 있다.
블레이드부재(10)의 휨에 의해 Z축방향에 대하여 내측부에서 블레이드부재(10)의 변위를 검출하기 위해 블레이드부재(10)의 근처에 휨검출센서(20)가 제공된다. 이 휨검출센서(20)는 맴돌이전류형(즉 자성형)이다. 휨검출센서(20)는 절단 공급동작중에 공작물(30)이 이동하는 이동영역의 밖에 위치하며 블레이드부재(10)의 전방측(10a)의 내측부와 대향하는 위치에 배치된다.
제3도에 도시한 바와 같이, 휨검출센서(20)는 증폭기(22)에 이해 제어부(40)에 연결된다. 제어부(40)는 변위계산기(41), 회전수피이드백보정계산기(42), 메인스핀들구동제어기(43) 공작물공급피이드백보정계산기(44) 및 홀딩부재구동제어기(45)로구성된다. 회전수피이드백보정계산기(42)와 메인스핀들구동제어기(43)는 블레이드부재(10)의 회전을 제어 한다. 공작물공급피이드백보정계산기(44)와 홀딩부재구동제어기(45)는 Z축방향으로의 공작물(30)의 공급을 제어하기 위한 것이다.
변위계산기(41)는 절단동작이 개시되기 바로 전의 위치, 즉 공작물(30)이 블레이드부재(10)의 내측절단엣지(11)과 접측하기 바로 전의 위치까지 절단공급모터(13)에 의해 공작물(30)이 이동했을때 휨검출센서(20)에 의해 검출되는 블레이드부재(10)의 내측부의 위치를 기준위치로서 저장한다. 기준위치가 검출되었을때를 앞으로 기준시간이라고 한다. 공작물(30)이 내측절단엣지(11)와 접촉하기 바로 전의 위치를 앞으로 절단전위치라고 한다.
절단개시시에 변위계산기(41)는 기준위치와 특정간격으로 휨검출센서(20)에 위해 검출되는 블레이드부재(10)의 내측부의 위치의 차를 계산하여 계산된 자를 변위 D로서 출력한다.
공작물(30)이 절단전위치까지 이동되었음을 검출하는 것은 절단공급모터제어 장치(52)에 절단공급위치검출기를 제공하거나 그외의 방식으로 이루어진다.
회전수피이드백보정계산기(42)는 변위계산기(41)로부터 출력된 변위 D에 근거하여 블레이드부재(10)의 회전수를 보정하여 변위 D를 줄이기 위해 회전수피이드 백보정량 Δf을 계산한다. 회전수피이드백보정량 Δf은 다음식에 따라서 계산된다.
Δf = Kf·D
여기서, Kf는 블레이드부재의 회전수를 변화시키기 위해 사용된 소정피이드백게인을 나타내고, Δf의 양 또는 음은 블레이드부재(10)의 변위의 양 또는 음, 즉 Z축방향으로의 블레이드부재(10)의 변위방향에 근거하여 결정된다.
메인스핀들구동제어기(43)는 메인스핀들구동모터(8)에 제어신호를 출력하여 블레이드부재(10)의 회전수를 제어한다. 특히 메인스핀들구동제어기(43)는 메인스핀들구동모터(8)를 제어하여 블레이드부재(10)를 절단개시 바로 전에 소정의 기준회전수 f0로 회전시킨다. 절단개시시에 메인스핀들구동모터(8)가 구동되어 기준회전수 f0에 피이드백보정량 Δf을 더하여 얻어진 회전수, 즉 f = f0+Δf로 블레이드부재(10)를 회전시킨다. 다시 말해서 메인스핀들구동제어기(43)와 회전수피이드 백보정계산기(42)는 본 발명의 슬라이싱장치의 블레이드부재회전제어부를 구성한다.
메인스핀들구동제어기(43)에 의한 블레이드부재(10)의 회전수의 제어중에, 공작물공급피이드백보정계산기(44)는 변위계산기(41)로부터 츨력된 변위 D에 근거하여 Z축방향으로의 공작물(30)의 공급을 보정하기 위해 공작물공급피이드백보정량 ΔZ을 계산한다. 피이드백보정량 Z은 블레이드부재의 휨에 의해 기준절단위치까지 변위된 공작물(30)의 절단위치를 저장하기 위한 것이다. 피이드백보정량 ΔZ은 다음식에 따라서 계산된다.
ΔZ = Kz·D
여기서, Kz은 공작물을 공급하기 위해 사용되는 소정의 피이드백게인이다. 바람직하게는 피이드백게인 Kz은 경험에 근거한 것보다 약간 크게 설정된다. 피이드백보정량 Δf과 마찬가지로, 피이드백보정량 ΔZ의 양 또는 음은 Z축방향으로의 블레이드부재(10)의 변위방향의 양 또는 음에 근거하여 결정된다.
홀딩부재구동제어기(45)는 제어신호를 홀딩부재구동모터(17)에 출력하여 Z축 방향에 대하여 절단동작하의 공작물(30)의 위치를 제어한다. 특히 공작물(30)은 공작물(30)의 축방향으로의 절단개시 바로 전의 절단개시위치 Z0, 즉 공작믈(30)의 전방단부가 공작물(30)로부터 절단될 웨이퍼(W)의 두께에 해당하는 양만큼 블레이드부재(10)를 지난 위치로 진행된다.
절단개시시에 홀딩부재구동제어기(45)는 홀딩부재구동모터(17)를 제어하여 절단개시위치 Z0에 피이드백보정량 ΔZ을 더하여 얻어진 위치, 즉 Z = Z0+ΔZ까지 공작물(30)을 이동시킨다. 다시 말해서, 홀딩부재구동제어기(45)와 공작물공급피이드백보정계산기(44)는 본 발명의 슬라이싱장치의 공작물공급제어부를 구성한다.
다음으로 슬라이싱장치를 사용하여 공작물을 절단하는 방법을 설명한다.
제어부(40)는 회전구동기(5)내의 메인스핀들구동모터(8)를 작동시켜 텐숀디스크(9)를 기준회전수 F0로 회전시킨다. 동시에 제어부(40)가 분할공급기(18)내의 홀딩부재구동모터(17)를 작동시켜 공작물(30)을 홀딩부재(15)에 의해 지지하면서 Z축방향을 따라서 슬라이드 이동시킨다. 따라서 공작물(30)은 블레이드부재(10)의 전방측(10a)으로부터 블레이드부재(10)의 중앙공을 통해 후방측(10b)으로 진행하여 공작물(30)의 전방단부가 소정량만큼 블레이드부재(10)를 지난 절단개시위치 Z0에서 고정된다.
그 후, 제어부(40)가 절단공급기(14)내의 절단공급모터(13)를 작동시켜 공작물(30)을 블레이드부재(10)의 반경방향으로 특정 절단공급속도로 공급한다. 공작물(30)이 절단전위치에 도달했을때, 휨검출센서(20)는 블레이드부재(10)의 내측부의 위치를 검출하고, 변위계산기(41)는 검출된 위치를 기준위치로서 저장한다.
절단개시후에, 블레이드부재(10)는 절단저항때문에 휘어진 후 기준위치로부터 Z축방향으로 변위한다. Z축방향으로의 블레이드부재(10)의 변위 D는 특정간격으로 변위계산기(41)에 의해 계산된다. 피이드백보정계산기(42)는 변위 D에 근거하여 피이드백보정량 Δf를 계산하여 변위 D를 줄인다. 메인스핀들구동제어기(43)는 회전수 f가 식 f = f0+Δf에 의해 보정되도록 메인스핀들(8)을 제어구동한다.
절단동작중의 블레이드(l0)의 휨을 블레이드부재(10)의 회전수를 제어함에 의해 억제된다. 그러나 회전수 f가 보정된 후에 변위 D가 실제로 변할때까지 시간 주기가 생긴다. 이 시간주기는 응답시간지체로서 간주된다. 이 응답시간지체는 피이드백게인 Kf을 큰 레벨로 설정할 수 없게한다. 따라서 실제로는 편차, 즉 변위 D가 유지된다. 예를들어 절단개시시간 t1으로부터 절단종료시간 t2까지 계속되는 시간주기동안 회전수 f가 제어되지 않는 조건하에서 제4도에서 파선으로 도시한 바와 같이 변위 D가 변하는 경우, 변위 D는 회전수를 제어함에 의해 제4도의 실선으로 도시한 상태까지 감소된다. 그러나 실선으로 나타낸 바와 같이 여전히 변위량 D가 남게 된다. 따라서 회전수가 제어되더라도 변위 D가 남기 때문에 공작물(30)의 절단부(즉 웨이퍼 W의 절단부)는 왜곡을 가진다.
웨이펴(W)의 왜곡을 방지하기 위하여, 본 발명은 회전수를 제어할 뿐만 아니라 Z축방향으로 공작물공급제어를 수행한다. 특히 공작물(30)의 Z축방향으로의 공급을 보정하기 위한 보정량 ΔZ은 변위 D에 근거하여 계산되며, 블레이드부재(10)가 피이드백보정량 ΔZ만큼 변위됨에 따라서 공작물(30)이 Z축방향을 따라서 동일 방향으로 이동된다. 따라서 변위 D의 존재에도 불구하고 공작물(30)은 소정의 절단기준위치(즉 절단초기위치)로 복귀될 수 있다. 따라서 바람직하게 성형된 웨이퍼가 고정밀도로 얻어질 수 있다.
표1은 본 발명의 슬라이싱장치와 공작물이 고정상태로 유지되는 상태에서 블레이드부재의 회전수만을 제어할 수 있는 종래의 슬라이싱장치를 사용하여 직경 6인치를 갖는 웨이펴(W)를 절단하는 실험에 의해 얻어진 결과를 보여준다.
본 발명의 슬라이싱장치에 의해 얻어진 웨이퍼는 앞으로 본예라고 하고 종래의 슬라이싱장치에 의해 얻어진 웨이퍼는 종래예라고 한다. 표1의 왜곡은 웨이퍼(W)의 왜곡상태를 나타내는 지수이며 계산치는 웨이퍼(W)의 하측과 웨이퍼(W)가 자유롭게 놓이는 테스트벤치의 편평한 상면사이의 공간의 최대치이다.
[표 1]
표1에서 명확히 알 수 있듯이, 본예는 종래예에 비하여 웨이퍼의 중심부의 두께의 편차와 왜곡에서 뛰어난 감소를 보여주었다. 따라서 본 발명에 따라서 안정한 형상과 고정밀도를 갖는 웨이퍼가 얻어질 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 제 2구체예로서의 슬라이싱장치를 제6 - 제8도를 참고하여 설명한다.
제 1슬라이싱장치와 동리한 제 2슬라이싱장치의 부분들은 동일도면 부호로 지시함을 주목하여야 한다.
제 1슬라이싱장치는 블레이드부재(10)의 회전수를 제어함에 의해 블레이드부재(10)의 휨을 보정한다. 제 2슬라이싱장치에서는 블레이드부재에 가해지는 공기압을 제어함에 의해 블레이드부재(10)가 보정되도록 블레이드부재(10)의 표면에 압축공기가 방출된다.
보다 구체적으로 말하면, 블레이드부재(10)의 내측부의 측면과 대향하는 특정위치에 공기방츨기(24)가 제공된다. 도면에서 두개의 공기방출기가 서로 수직하게 분리되어 제공된다. 공기방출기(24)는 블레이드부재(10)의 내측부의 측면에 고압공기를 방출한다.
제8도에 도시한 바와 같이, 제 2슬라이싱장치의 제어부(40)에는 제 1슬라이싱장치에서의 회전수피이드백보정계산기(42)와 메인스핀들구동제어기(43)대신에 방출압력피이드백보정계산기(46)와 방출압력제어기(47)이 제공된다. 방출압력피이드백보정계산기(46)는 변위계산기(41)로부터 출력된 변위 D에 근거하여 공기방출압력을 보정하여 변위 D를 줄이기 위하여 방출압력피이드백보정량 Ap을 계산한다. 피이드백보정량 Ap는 다음식에 근거하여 계산된다.
Δp = Kp·D
여기서, Kp는 공기방출압력을 변화시키기 위해 사용된 소정의 피이드백게인이다. 피이드백보정량 Δp의 양 또는 음은 Z축방향으로의 블레이드부재의 변위방향에 근거하여 결정된다.
방출압력제어기(47)는 제어신호를 공기방출기(24)에 출력하여 공기방출압력을 제어한다. 구체적으로 말하여 방출압력제어기(47)는 공기방출기(24)를 제어하여 절단개시 바로 전에 공기를 소정의 기준압력 P0으로 블레이드부재(l0)의 내측부의 측면쪽으로 방출한다. 절단이 개시된 후, 공기방출기(24)가 제어되어 기준압력 P0에 피이드백보정량 Δp를 더해서 얻어진 압력, 즉 P = P0+Δp으로 공기를 방출한다. 다시 말해서 방출압력제어기(47)와 피이드백보정계산기(46)는 제 2슬라이싱장치의 유체방출압력제어부를 구성한다.
블레이드부재(10)의 측면의 방출될 유체는 공기에 한정되는 것은 아니고 공기 또는 물을 포함한 액체외의 기체가 블레이드부재(10)의 측면쪽으로 방출된다.
상기 구체예에 있어서, 블레이드부재(10)의 측면에 방출될 공기압은 변위 D에 근거하여 피이드백제어되므로 슬라이싱 동작중에 블레이드부재(10)의 휨을 최대로 억제하며, 공기방출압의 피이드백제어에 대응하여 시간지체로 여전히 남게 되는 변위 D는 Z축방향으로의 공작물(30)의 공급을 제어함에 의해 보상될 수 있다. 따라서 공작물(30)은 단면이 원하는 형상을 갖는 웨이퍼로 절단될 수 있다.
본 발명은 상기의 구체예에 한정되는 것은 아니고 다음과 같은 여러 변형예 에도 적용될 수 있다.
(1) 상기 구체예들에 있어서, Z축방향으로의 공작물(30)의 공급을 보정하기 위한 피이드백게인 Kz이 소정치로 고정된다. 그러나 피이드백게인 Kz은 절단엣지(11)의 절단성능에 따라서 변할 수 있다. 예를들어 새로 드레싱된 절단엣지(11)는 절단성능면에 있어서 오래 사용한 절단엣지(11)과는 다르다. 또한 절단개시 바로 후와 절단종료 바로 전사이에는 절단성능차이가 있다. 이 차이는 웨이퍼(W)의 직경 L(제2도 참조)이 큰 경우에는 상당히 크다. 따라서 이 때 피이드백게인 Kz을 변화시키는 것이 생각될 것이다.
또한 변위 D가 클 때 블레이드부재(10)의 절단성능은 변위 D가 작은 경우와 비교하여 저하하기 쉽다. 따라서 변위 D가 클 때 피이드백게인 Kz은 공작물(30)을 Z축방향으로 큰 량으로 이동시키기 위하여 비교적 큰 값으로 설정된다. 반면 변위 D가 작을 때는 공작물(30)이 크게 이동하는 것을 억제하기 위해 피이드백게인 Kz이 비교적 작은 값으로 설정된다.
(2) 웨이퍼가 이후의 제조공정에서 변형될 가능성을 고려하여 웨이퍼가 약간 왜곡된 상태로 절단되는 경우가 있을 수 있다. 이 경우, 제5도에 도시한 바와 같이 슬라이싱동작중에 기준절단위치 Z0는 시간에 따라서 변한다. 즉 Z0= f(t)이다. 따라서 바람직하게 성형된 절단면을 갖는 웨이퍼가 고정밀도로 제조될 수 있다.
이론적으로 슬라이싱동작중에 회전수 f 또는 공기방출압 P를 변화시킴에 의해 고의로 블레이드부재(10)를 훰에 의해 평탄한 절단면외의 절단면을 갖는 웨이퍼를 제조할 수 있다. 그러나 이 경우, 다음의 결점이 생긴다. 1) 변위 D는 회전수 f 도는 공기방출압력 P의 변화에 응답하여 양호하게 제어될 수 없다. 2) 블레이드부재(10)의 고의적인 휨 때문에 블레이드부재(10)의 절단성능이 악화된다. 그 결과 가공정밀도가 떨어진다,
한편, 본 발명에 따르면, 블레이드부재(10)의 변위 D를 억제하기 위하여 블레이드부재(10)의 회전수와 공기방출압의 제어외에도 공작물(30)이 Z축방향으로 제어공급되므로 바람직하게 성형된 면을 갖는 웨이퍼를 제조한다.
(3) 상기 구체예에 있어서, 자기센서를 포함한 휨검출센서(20)는 절단공급동작중에 공작물(30)이 이동하는 이동영역의 바깥에 위치하며 블레이드부재(10)의 전방면(10a)과 대향하는 위치에 배치된다. 그러나 센서(20)는 공작물(30)로부터 절단될 웨이퍼가 블레이드부재(10)와 센서(20)사이에 끼워지는 위치와 이동영역내에 위치할 수도 있다. 또한 슬라이싱동작중에 Z축방향으로 공작물(30)에 작용하는 압축력을 검출하여 검출된 압축력에 근거하여 블레이드부재(10)의 휨량을 계산하기 위하여 공작물(30)과 홀딩부재(15)사이에 부하전지를 제공할 수 있다.
(4) 제 2구체예에 있어서, 블레이드부재(10)의 휨방향에 따라서 공기방출압이 증가하거나 감소하는 방식으로 블레이드부재(10)의 일측면에 압측공기를 방출하기 위해 블레이드부재(10)의 일측에 하나의 공기방출기(24)가 정렬된다. 다른 방법으로서, 블레이드부재(10)의 휨방향에 따라서 블레이드부재(10)의 양측중의 일측에 압측공기를 절환방식으로 방출하기 위하여 블레이드부재(10)의 양측에 두개의 공기 방출기(24)가 제공될 수 있다.
(5) 블레이드부재(10)의 휨을 억제하기 위한 수단으로서 블레이드부재(10)의 회전속도의 피이드백제어와 유체방출압력의 피이드백제어를 모두 사용하는 것을 생각할 수 있다.
(6) 상기 구체예에 있어서, 블레이드부재(10)의 변위를 줄이기 위해 공작물(30)이 Z축방향으로 이동된다. 다른 방법으로서 텐숀디스크(9)를 Z축방향으로 이동시키는 것을 생각할 수 있다. 또한 절단을 위해 공작물(30)을 X축방향으로 공급하는 것 대신에 절단을 위해 텐손디스크(9)가 X축방향으로 이동될 수 있다.
이상 본 발명을 첨부도면을 참고하여 예로서 상세하게 설명하였지만 여러가지 변형예가 당업자에게 명백히 이해됨을 이해하여야 한다. 그러므로, 본 발명의 범위로부터 이탈한 변형에 및 수정예가 아니라면 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (8)

  1. 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재(10)를 원의 중심을 중심으로 회전시키는 단계와, 공작물(30)의 단부가 블레이드부재(10)의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 단계와, 기준위치에 대하여 회전블레이드부재(10)의 내측부의 축방향변위를 검출하는 단계와, 축방향변위를 즐이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재(10)의 회전속도를 제어하는 단계와, 공작물(30)에 대한 내측절단엣지의 실제 절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재(l0)와 공작물(30)사이의 상대이동을 일으키는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단방법.
  2. 제1항에 있어서, 소정의 절단기준위치는 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 반경방향 상대이동에 따라서 연속적으로 변하는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단방법.
  3. 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재(10)를 원의 중심을 중심으로 회전시키는 단계와, 공작물의 단부가 블레이드부재의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드 부재의 반경방향으로 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 상대이동을 일으키는 단계와, 기준위치에 대하여 회전블레이드부재(10)의 내측부의 축방향변위를 검출하는 단계와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재(l0)의 측면에 유체를 방출하는 단계와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제 절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 상대이동을 일으키는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단방법.
  4. 제3항에 있어서, 소정의 절단기준위치는 블레이드부재(10)와 공작물(30)사이의 반경방향 상대이동에 따라서 연속적으로 변하는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단방법.
  5. 원형태의 내측절단엣지(11)를 갖는 블레이드부재(10)와, 내측절단엣지의 원의 중심을 중심으로 블레이드부재를 회전시키는 제 1구동기와, 공작물의 단부가 블레이드부재(l0)의 내측절단엣지(11)에 의해 절단되도록 블레이드부재의 반경방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 제 2구동기와, 블레이드부재(10)의 축방향으로 블레이드부재와 공작물의 상대이동을 일으키는 제 3구동기와, 기준위치에 대한 회전블레이드부재(10)의 내측부의 축방향변위를 검출하는 변위검출기와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드(10)의 회전속도를 제어하는 제 1제어기와, 공작물에 대한 내측절단엣지(11)의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재의 공작물사이의 축방향상대이동을 제어하는 제 2제어기로 구성되는 것을 특징으로 하는 공작물절단장치.
  6. 제5항에 있어서, 소정의 절단기준위치는 블레이드부재와 공작물사이의 반경방향 상대이동에 따라서 연속적으로 변하는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단장치.
  7. 원형태의 내측절단엣지를 갖는 블레이드부재와, 내측절단엣지의 원의 중심을 중심으로 블레이드부재를 회전시키는 제 1구동기와, 공작물의 단부가 블레이드부재의 내측절단엣지에 의해 절단되도록 블레이드 부재의 반경방향으로 블레이드부재와 공작물사이의 상대이동을 일으키는 제 2구동기와, 블레이드부재의 축방향으로 블레이드부재와 공작물의 상대이동을 일으키는 제 3구동기와, 회전블레이드부재의 측면에 유체를 방출하는 유체방출기와, 축방향변위를 줄이기 위해 검출된 축방향변위에 근거하여 유체방출을 제어하는 제l제어기와, 공작물에 대한 내측절단엣지의 실제절단위치가 소정의 절단기준위치에 있도록 검출된 축방향변위에 근거하여 블레이드부재와 공작물사이의 축방향상대이동을 제어하는 제 2제어기로 구성되는 것을 특징으로 하는 공작물 절단장치.
  8. 제7항에 있어서, 소정의 절단기준위치는 블레이드부재와 공작물사이의 반경방향 상대이동에 따라서 연속적으로 변하는 것을 특징으로 하는 공작물의 절단장치.
KR1019950031625A 1994-09-28 1995-09-25 공작물의 절단방법 및 장치 KR100189392B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6-233593 1994-09-28
JP6233593A JP3053336B2 (ja) 1994-09-28 1994-09-28 スライシング方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960011552A KR960011552A (ko) 1996-04-20
KR100189392B1 true KR100189392B1 (ko) 1999-06-01

Family

ID=16957495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950031625A KR100189392B1 (ko) 1994-09-28 1995-09-25 공작물의 절단방법 및 장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5902171A (ko)
JP (1) JP3053336B2 (ko)
KR (1) KR100189392B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190026333A (ko) * 2017-09-05 2019-03-13 삼성중공업 주식회사 절삭툴 및 이를 포함하는 가공 장치

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19905750B4 (de) * 1999-02-11 2005-07-21 Siltronic Ag Innenlochsäge und Verfahren zum Schutz der Spannkante und zur Reinigung des Sägeblatts einer Innenlochsäge
JP4635617B2 (ja) * 2005-01-18 2011-02-23 株式会社Ｓｕｍｃｏ 切断装置及びその制御方法並びにシリコン単結晶の切断方法
JP5284700B2 (ja) 2007-11-09 2013-09-11 花王株式会社 発熱具
US8376809B2 (en) * 2009-02-25 2013-02-19 Sumco Corporation Cylindrical grinder and cylindrical grinding method of ingot
CN104075648A (zh) * 2014-07-01 2014-10-01 宁波狮球通风机电有限公司 铁冰冻电机机壳定子档相对轴孔同心度合格检测仪
KR101757732B1 (ko) * 2015-07-02 2017-07-26 주식회사 피플파이 훈증 및 아로마테라피 효과가 있는 핫팩
CN113787231B (zh) * 2021-08-23 2022-07-01 宁波韵升股份有限公司 一种能够保证加工垂直度的内圆切片机

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3640645A1 (de) * 1986-11-28 1988-06-09 Wacker Chemitronic Verfahren zum zersaegen von kristallstaeben oder -bloecken vermittels innenlochsaege in duenne scheiben
JP2655677B2 (ja) * 1988-04-26 1997-09-24 トーヨーエイテック株式会社 スライシングマシン
US5025593A (en) * 1988-01-18 1991-06-25 Mazda Motor Corporation Slicing machine and control method thereof
DE3906091A1 (de) * 1989-02-27 1990-08-30 Wacker Chemitronic Verfahren zum zersaegen von stabfoermigen werkstuecken in scheiben mittels innenlochsaege, sowie innenlochsaegen zu seiner durchfuehrung
JPH06106524A (ja) * 1992-09-24 1994-04-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd 半導体ウエハのスライシング方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190026333A (ko) * 2017-09-05 2019-03-13 삼성중공업 주식회사 절삭툴 및 이를 포함하는 가공 장치
KR102039663B1 (ko) * 2017-09-05 2019-11-01 삼성중공업 주식회사 절삭툴 및 이를 포함하는 가공 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR960011552A (ko) 1996-04-20
US5902171A (en) 1999-05-11
JPH0890551A (ja) 1996-04-09
JP3053336B2 (ja) 2000-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8900034B2 (en) Machine tool and machining method
JP2505930B2 (ja) スライシングマシンの切断方法
JP2805370B2 (ja) 内周刃式ソーを用いてロッド状のワークピースを薄板にスライス切断する方法
KR100189392B1 (ko) 공작물의 절단방법 및 장치
US5681204A (en) Device for detecting a displacement of a blade member of a slicing apparatus
US4881518A (en) Apparatus for manufacturing and handling thin wafers
JP2009078326A (ja) ウェーハ面取り装置、及びウェーハ面取り方法
EP0575757A1 (en) A method of slicing a semiconductor wafer and an apparatus therefor
JPH01146654A (ja) 自動研削装置
JP2823493B2 (ja) スライシング装置のブレード撓み検出方法及び装置並びにブレード撓み制御装置
JP2651845B2 (ja) スライシングマシンの切刃変位検出装置
JP2940435B2 (ja) 研削におけるリトラクション量調整法
JP2562507B2 (ja) ワークのスライシング装置
JP2615377B2 (ja) スライシングマシンの切断装置
JP3170779B2 (ja) 半導体ウエハの揺動スライシング方法
JPH0349906A (ja) スライシング装置
JPH0372442B2 (ko)
JPH05192856A (ja) 球面研削装置
JP2655756B2 (ja) スライシングマシンの切断方法
JP2965087B2 (ja) スライシングマシンの切断方法
JP2512753B2 (ja) 研削盤の送り制御装置
JPH06143004A (ja) 磁気軸受式スピンドル装置
JP2000084846A (ja) ウェーハ面取り装置
JPH04138212A (ja) スライシング装置
JPH07237216A (ja) スライシング加工方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20031205

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee