JP2552937Y2 - 磁気式酸素分析装置 - Google Patents
磁気式酸素分析装置Info
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- JP2552937Y2 JP2552937Y2 JP1991044674U JP4467491U JP2552937Y2 JP 2552937 Y2 JP2552937 Y2 JP 2552937Y2 JP 1991044674 U JP1991044674 U JP 1991044674U JP 4467491 U JP4467491 U JP 4467491U JP 2552937 Y2 JP2552937 Y2 JP 2552937Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、磁気式酸素分析装置、
特に、界面圧力差方式の磁気式酸素分析装置の改良に関
する。
特に、界面圧力差方式の磁気式酸素分析装置の改良に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の磁気式酸素分析装置として、例
えば実公昭５９−２５２２号公報や実公平２−８２０９
号公報に示されるものがあり、図２および図３はこれら
公報に開示された分析計をそれぞれ示している。
えば実公昭５９−２５２２号公報や実公平２−８２０９
号公報に示されるものがあり、図２および図３はこれら
公報に開示された分析計をそれぞれ示している。
【０００３】すなわち、図２および図３において、１は
非磁性材料よりなる壁に囲まれた測定室で、その内部に
は適宜の間隔をおいて２組の測定極２，３が設けられて
いる。これらの測定極２，３は、それぞれ適宜の間隔を
おいて対向配置された２つの磁極片２Ａ，２Ｂ、３Ａ，
３Ｂよりなる。そして、図示してないが、各組の測定極
２，３における対向する磁極片２Ａ，２Ｂ、３Ａ，３Ｂ
は継鉄によって磁気的閉ループを構成するようにしてあ
ると共に、前記継鉄にはそれぞれコイルが巻設してあっ
て、両コイルを交互に通電することにより測定極２，３
を交互に励磁し、磁極片２Ａ，２Ｂ間、磁極片３Ａ，３
Ｂ間に磁界が交互に生ずるようにしてある。
非磁性材料よりなる壁に囲まれた測定室で、その内部に
は適宜の間隔をおいて２組の測定極２，３が設けられて
いる。これらの測定極２，３は、それぞれ適宜の間隔を
おいて対向配置された２つの磁極片２Ａ，２Ｂ、３Ａ，
３Ｂよりなる。そして、図示してないが、各組の測定極
２，３における対向する磁極片２Ａ，２Ｂ、３Ａ，３Ｂ
は継鉄によって磁気的閉ループを構成するようにしてあ
ると共に、前記継鉄にはそれぞれコイルが巻設してあっ
て、両コイルを交互に通電することにより測定極２，３
を交互に励磁し、磁極片２Ａ，２Ｂ間、磁極片３Ａ，３
Ｂ間に磁界が交互に生ずるようにしてある。
【０００４】４は図外の測定ガス源に接続された測定ガ
ス供給路で、ポンプ５，調圧器６を備え、その下流側に
おいては測定室１内に測定ガスＳを導入するための２つ
の測定ガス導入路７，８に分岐されている。各測定ガス
導入路７，８は、それぞれ流量調整器としてのキャピラ
リ９，１０を備えると共に、測定室１に開設された開口
１ａ，１ｂに接続されている。
ス供給路で、ポンプ５，調圧器６を備え、その下流側に
おいては測定室１内に測定ガスＳを導入するための２つ
の測定ガス導入路７，８に分岐されている。各測定ガス
導入路７，８は、それぞれ流量調整器としてのキャピラ
リ９，１０を備えると共に、測定室１に開設された開口
１ａ，１ｂに接続されている。
【０００５】１１，１２は互いに独立した圧力伝達路
で、それぞれ流量調整器としてのキャピラリ１３，１４
を備えると共に、一端側は前記磁極片２Ａ，３Ａに開設
された開口２ａ，３ａにそれぞれ連なり、他端側はコン
デンサマイクロフォン検出器１５の可動隔膜１５Ａによ
って仕切られた検出室１５Ｂ，１５Ｃとそれぞれ接続さ
れている。各圧力伝達路１１，１２には、分岐供給路１
６，１７を介してそれぞれ比較ガスＲを供給するための
比較ガス供給路１８が接続されている。
で、それぞれ流量調整器としてのキャピラリ１３，１４
を備えると共に、一端側は前記磁極片２Ａ，３Ａに開設
された開口２ａ，３ａにそれぞれ連なり、他端側はコン
デンサマイクロフォン検出器１５の可動隔膜１５Ａによ
って仕切られた検出室１５Ｂ，１５Ｃとそれぞれ接続さ
れている。各圧力伝達路１１，１２には、分岐供給路１
６，１７を介してそれぞれ比較ガスＲを供給するための
比較ガス供給路１８が接続されている。
【０００６】すなわち、図２に示す比較ガス供給路１８
は、純粋な窒素ガスを収容した窒素ガスボンベ１９と制
御弁２０と調圧器２１とを直列に接続して構成してあっ
て、窒素ガスを比較ガスＲとして用いるようにしてあ
り、また、図３に示す比較ガス供給路１８は、大気に連
なり、大気中の不純物を除去するフィルタ２２，ポンプ
２３，シリカゲルなどの除湿剤を充填した除湿器２４，
調圧器２５を直列に接続して構成してあって、エヤーＡ
を適宜乾燥して比較ガスＲとして用いるようにしてあ
る。
は、純粋な窒素ガスを収容した窒素ガスボンベ１９と制
御弁２０と調圧器２１とを直列に接続して構成してあっ
て、窒素ガスを比較ガスＲとして用いるようにしてあ
り、また、図３に示す比較ガス供給路１８は、大気に連
なり、大気中の不純物を除去するフィルタ２２，ポンプ
２３，シリカゲルなどの除湿剤を充填した除湿器２４，
調圧器２５を直列に接続して構成してあって、エヤーＡ
を適宜乾燥して比較ガスＲとして用いるようにしてあ
る。
【０００７】再び両図において、１５Ｄは可動隔膜１５
Ａに対向して一方の検出室１５Ｃ内に設けられる固定極
で、この固定極１５Ｄによって取り出される出力はプリ
アンプ２６を介して図外の信号処理回路に入力されるよ
うにしてある。また、２７は測定室１に開設された開口
１ｃに連なるガス排出路である。
Ａに対向して一方の検出室１５Ｃ内に設けられる固定極
で、この固定極１５Ｄによって取り出される出力はプリ
アンプ２６を介して図外の信号処理回路に入力されるよ
うにしてある。また、２７は測定室１に開設された開口
１ｃに連なるガス排出路である。
【０００８】而して、上記図２および図３に示す磁気式
酸素分析装置においては、測定極２，３を交互に励磁し
ている状態において、測定室１内に、開口１ａ，１ｂを
介してポンプ５で加圧した測定ガスＳを導入すると共
に、開口２ａ，３ａを介して比較ガスＲを導入すると、
磁極片２Ａ，２Ｂ間，磁極片３Ａ，３Ｂ間には、測定ガ
スＳおよび比較ガスＲのそれぞれの磁化率の差に比例し
た界面圧力が交互に発生する。この界面圧力は、圧力伝
達路１１，１２を経てコンデンサマイクロフォン検出器
１５の検出室１５Ｂ，１５Ｃに伝達され、可動隔膜１５
Ａを押圧しこれを変位させる。この結果、前記界面圧力
は、可動隔膜１５Ａと固定極１５Ｄとの間の静電容量の
変化として固定極１５Ｄから出力され、所定の増幅およ
び変換処理を経た後、図外の表示部において酸素濃度と
して表示されるのである。
酸素分析装置においては、測定極２，３を交互に励磁し
ている状態において、測定室１内に、開口１ａ，１ｂを
介してポンプ５で加圧した測定ガスＳを導入すると共
に、開口２ａ，３ａを介して比較ガスＲを導入すると、
磁極片２Ａ，２Ｂ間，磁極片３Ａ，３Ｂ間には、測定ガ
スＳおよび比較ガスＲのそれぞれの磁化率の差に比例し
た界面圧力が交互に発生する。この界面圧力は、圧力伝
達路１１，１２を経てコンデンサマイクロフォン検出器
１５の検出室１５Ｂ，１５Ｃに伝達され、可動隔膜１５
Ａを押圧しこれを変位させる。この結果、前記界面圧力
は、可動隔膜１５Ａと固定極１５Ｄとの間の静電容量の
変化として固定極１５Ｄから出力され、所定の増幅およ
び変換処理を経た後、図外の表示部において酸素濃度と
して表示されるのである。
【０００９】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
２に示した磁気式酸素分析装置においては、酸素濃度の
測定に際しては純粋な窒素ガスが必要であり、それだけ
ランニングコストが嵩む他、窒素ガスボンベ１９内の窒
素ガスの残量を監視したり、ボンベ交換を行うなどの作
業が必要であるといった問題点がある。
２に示した磁気式酸素分析装置においては、酸素濃度の
測定に際しては純粋な窒素ガスが必要であり、それだけ
ランニングコストが嵩む他、窒素ガスボンベ１９内の窒
素ガスの残量を監視したり、ボンベ交換を行うなどの作
業が必要であるといった問題点がある。
【００１０】また、図３に示した磁気式酸素分析装置に
おいては、高価な窒素ガスを用いないからランニングコ
ストは嵩まないものの、測定ガスＳの供給用のポンプ５
の他に、比較ガスＲの供給用のポンプ２３や調圧器２５
が必要となり、それだけ構成が複雑で、設備コストが嵩
むといった問題点がある。
おいては、高価な窒素ガスを用いないからランニングコ
ストは嵩まないものの、測定ガスＳの供給用のポンプ５
の他に、比較ガスＲの供給用のポンプ２３や調圧器２５
が必要となり、それだけ構成が複雑で、設備コストが嵩
むといった問題点がある。
【００１１】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、構成が簡単で、しか
も、設備コストやランニングコストが安価な磁気式酸素
分析装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、構成が簡単で、しか
も、設備コストやランニングコストが安価な磁気式酸素
分析装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、測定室内にそれぞれ適宜の間隔
をおいて対向配置された２つの磁極片からなる２組の測
定極を適宜の間隔をおいて設け、これらの測定極を交互
に励磁して前記磁極片間に交互に磁界を発生させるとと
もに、これら磁極片間に測定ガスと比較ガスとを流し、
磁化率の差に基づいて発生する界面圧力を圧力伝達路を
介してコンデンサマイクロフォン検出器の可動隔膜によ
って仕切られた２つの検出室に導入して、前記可動隔膜
と固定電極との間の静電容量の変化に基づいて測定ガス
における酸素濃度を検出するようにした磁気式酸素分析
装置において、前記比較ガスとして乾燥したエヤーを用
いると共に、前記測定室に接続されたガス排気路に減圧
ポンプおよび圧力調整装置を前記減圧ポンプが下流側に
位置するように設けてこのガス排気路を減圧するように
構成し、更に、前記圧力調整装置を前記ガス排出路の脈
動を防止するためのバッファタンクと圧力コントロール
を行う減圧弁とから構成している。
め、本考案においては、測定室内にそれぞれ適宜の間隔
をおいて対向配置された２つの磁極片からなる２組の測
定極を適宜の間隔をおいて設け、これらの測定極を交互
に励磁して前記磁極片間に交互に磁界を発生させるとと
もに、これら磁極片間に測定ガスと比較ガスとを流し、
磁化率の差に基づいて発生する界面圧力を圧力伝達路を
介してコンデンサマイクロフォン検出器の可動隔膜によ
って仕切られた２つの検出室に導入して、前記可動隔膜
と固定電極との間の静電容量の変化に基づいて測定ガス
における酸素濃度を検出するようにした磁気式酸素分析
装置において、前記比較ガスとして乾燥したエヤーを用
いると共に、前記測定室に接続されたガス排気路に減圧
ポンプおよび圧力調整装置を前記減圧ポンプが下流側に
位置するように設けてこのガス排気路を減圧するように
構成し、更に、前記圧力調整装置を前記ガス排出路の脈
動を防止するためのバッファタンクと圧力コントロール
を行う減圧弁とから構成している。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、測定室に接続されたガス排
気路によって測定室内が減圧されるので、測定ガスおよ
び比較ガスを加圧しなくても測定室内に導入することが
でき、設備コストを低減できる。また、比較ガスとして
乾燥したエヤーを用いているので、ランニングコストを
低減できると共に、比較ガス内の酸素密度の変化が防止
されるので、精度の高い測定が可能になる。更に、バッ
ファタンクでガス排出路の脈動を防止できる上に、減圧
弁で常時調圧できるので、測定室内を流れるガスも含め
てガスの流れをスムーズにでき、よって、指示値におけ
る変動は大きくならず、振動による指示影響を低減でき
る。
気路によって測定室内が減圧されるので、測定ガスおよ
び比較ガスを加圧しなくても測定室内に導入することが
でき、設備コストを低減できる。また、比較ガスとして
乾燥したエヤーを用いているので、ランニングコストを
低減できると共に、比較ガス内の酸素密度の変化が防止
されるので、精度の高い測定が可能になる。更に、バッ
ファタンクでガス排出路の脈動を防止できる上に、減圧
弁で常時調圧できるので、測定室内を流れるガスも含め
てガスの流れをスムーズにでき、よって、指示値におけ
る変動は大きくならず、振動による指示影響を低減でき
る。
【００１４】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１５】図１は、本考案に係る磁気式酸素分析装置
の一例を示し、この図において、図２および図３におけ
る符号と同一の符号は同一物または相当物を示す。
の一例を示し、この図において、図２および図３におけ
る符号と同一の符号は同一物または相当物を示す。
【００１６】さて、この図１において、２８は図外の測
定ガス源に接続された測定ガス供給路で、この測定ガス
供給路２８は、図２および図３に示した測定ガス供給路
と異なり、ポンプや調圧器を備えていない。２９は比較
ガス供給路で、大気に連なり大気中の不純物を除去する
フィルタ３０、このフィルタ３０を経て比較ガス供給路
２９内に導入されるエヤーＡを適宜除湿してその水分量
の変化を抑えるためのシリカゲルなどの除湿剤を充填し
た除湿器３１、この除湿器３１を経たエヤーＡ中に含ま
れるシリカゲルなどの微粉を除去するチップフィルタ３
２が直列に接続して介装されており、このチップフィル
タ３２の下流側は２つの比較ガス導入路３３，３４に分
岐されている。
定ガス源に接続された測定ガス供給路で、この測定ガス
供給路２８は、図２および図３に示した測定ガス供給路
と異なり、ポンプや調圧器を備えていない。２９は比較
ガス供給路で、大気に連なり大気中の不純物を除去する
フィルタ３０、このフィルタ３０を経て比較ガス供給路
２９内に導入されるエヤーＡを適宜除湿してその水分量
の変化を抑えるためのシリカゲルなどの除湿剤を充填し
た除湿器３１、この除湿器３１を経たエヤーＡ中に含ま
れるシリカゲルなどの微粉を除去するチップフィルタ３
２が直列に接続して介装されており、このチップフィル
タ３２の下流側は２つの比較ガス導入路３３，３４に分
岐されている。
【００１７】各比較ガス導入路３３，３４は、それぞれ
流量調整器としてのキャピラリ３５，３６を備えると共
に、コンデンサマイクロフォン検出器１５の検出室１５
Ｂ，１５Ｃとそれぞれ接続されている。そして、この実
施例においては、各検出室１５Ｂ，１５Ｃは、圧力伝達
路３７，３８を介してそれぞれ磁極片２Ａ，３Ａに開設
された開口２ａ，３ａに接続されている。
流量調整器としてのキャピラリ３５，３６を備えると共
に、コンデンサマイクロフォン検出器１５の検出室１５
Ｂ，１５Ｃとそれぞれ接続されている。そして、この実
施例においては、各検出室１５Ｂ，１５Ｃは、圧力伝達
路３７，３８を介してそれぞれ磁極片２Ａ，３Ａに開設
された開口２ａ，３ａに接続されている。
【００１８】３９は測定室１に開設された開口１ｃに連
なるガス排出路で、このガス排出路３９を減圧するため
の減圧ポンプ４０と、ガス排出路３９の脈動を防止する
ためのバッファタンク４１と減圧弁４２とからなる圧力
調整装置４３とを、減圧ポンプ４０が下流側に位置する
ように設けてある。
なるガス排出路で、このガス排出路３９を減圧するため
の減圧ポンプ４０と、ガス排出路３９の脈動を防止する
ためのバッファタンク４１と減圧弁４２とからなる圧力
調整装置４３とを、減圧ポンプ４０が下流側に位置する
ように設けてある。
【００１９】而して、上記構成の磁気式酸素分析装置に
おいては、減圧ポンプ４０と減圧弁４２の働きにより、
ガス排出路３９を減圧することにより、測定室１内が例
えば−０．１気圧程度になり、これによって、測定ガス
Ｓおよび比較ガスＲがそれぞれキャピラリ９，１０およ
び３５，３６によって定量された状態で測定室１内に導
入される。このとき、比較ガスＲとして用いられるエヤ
ーＡは、シリカゲルなどの除湿剤を充填した除湿器３１
において適宜除湿されてその水分量の変化が抑えられ、
その酸素密度の変化が防止されるので、このような比較
ガスＲを用いて測定を行った場合、その測定精度が高く
なるといった利点がある。
おいては、減圧ポンプ４０と減圧弁４２の働きにより、
ガス排出路３９を減圧することにより、測定室１内が例
えば−０．１気圧程度になり、これによって、測定ガス
Ｓおよび比較ガスＲがそれぞれキャピラリ９，１０およ
び３５，３６によって定量された状態で測定室１内に導
入される。このとき、比較ガスＲとして用いられるエヤ
ーＡは、シリカゲルなどの除湿剤を充填した除湿器３１
において適宜除湿されてその水分量の変化が抑えられ、
その酸素密度の変化が防止されるので、このような比較
ガスＲを用いて測定を行った場合、その測定精度が高く
なるといった利点がある。
【００２０】しかも、本考案では、測定室１に接続され
たガス排気路３９に減圧ポンプ４０および圧力調整装置
４３を減圧ポンプ４０が下流側に位置するように設けて
このガス排気路３９を減圧するように構成し、更に、圧
力調整装置４３をガス排出路３９の脈動を防止するため
のバッファタンク４１と圧力コントロールを行う減圧弁
４２とから構成したので、バッファタンク４１でガス排
出路３９の脈動を防止できる上に、以下に示す特有の利
点を有する。 すなわち、図１において、測定ガスＳは測
定室１の左右両端に開設された開口１ａ，１ｂから室内
に導入され、測定室１のほぼ中央に開設された開口１ｃ
から比較ガスＲとともに排出されるから、同図の左方
（キャピラリ９側）から流れてくる測定ガスＳと右方
（キャピラ１０側）から流れてくる測定ガスＳとが前記
中央開口１ｃにおいて混じり合う際、測定室１内にガス
境界面が発生し、このガス境界面は設置場所における外
部要因によって測定室１が振動することにより揺れ動
き、その結果、コンデンサマイクロフォン検出器１５に
は、本来測定すべき界面圧力の差の他に、測定室１内に
発生する前記ガス境界面の揺れによる圧力が加わること
になり、これが原因で指示値における変動が大きくなる
のを効果的に防止できる。つまり、減圧弁４２を設置し
ない場合には、測定室１内に測定ガスＳを導入した際測
定室１内にガス境界面が発生した状態で、２組の測定極
２，３の磁極片２Ａ，２Ｂ間、磁極片３Ａ，３Ｂ間をそ
れぞれ通過した測定ガスＳは、比較ガスＲととともに中
央開口１ｃを経て測定室１からガス排出路３９に排出さ
れてガスの流れがスムーズでないのに対し、本考案で
は、減圧弁４２で常時調圧できるので、測定室１内を流
れるガスも含めてガスの流れをスムーズにでき、よっ
て、指示値における変動は大きくならず、振動による指
示影響を低減できる。
たガス排気路３９に減圧ポンプ４０および圧力調整装置
４３を減圧ポンプ４０が下流側に位置するように設けて
このガス排気路３９を減圧するように構成し、更に、圧
力調整装置４３をガス排出路３９の脈動を防止するため
のバッファタンク４１と圧力コントロールを行う減圧弁
４２とから構成したので、バッファタンク４１でガス排
出路３９の脈動を防止できる上に、以下に示す特有の利
点を有する。 すなわち、図１において、測定ガスＳは測
定室１の左右両端に開設された開口１ａ，１ｂから室内
に導入され、測定室１のほぼ中央に開設された開口１ｃ
から比較ガスＲとともに排出されるから、同図の左方
（キャピラリ９側）から流れてくる測定ガスＳと右方
（キャピラ１０側）から流れてくる測定ガスＳとが前記
中央開口１ｃにおいて混じり合う際、測定室１内にガス
境界面が発生し、このガス境界面は設置場所における外
部要因によって測定室１が振動することにより揺れ動
き、その結果、コンデンサマイクロフォン検出器１５に
は、本来測定すべき界面圧力の差の他に、測定室１内に
発生する前記ガス境界面の揺れによる圧力が加わること
になり、これが原因で指示値における変動が大きくなる
のを効果的に防止できる。つまり、減圧弁４２を設置し
ない場合には、測定室１内に測定ガスＳを導入した際測
定室１内にガス境界面が発生した状態で、２組の測定極
２，３の磁極片２Ａ，２Ｂ間、磁極片３Ａ，３Ｂ間をそ
れぞれ通過した測定ガスＳは、比較ガスＲととともに中
央開口１ｃを経て測定室１からガス排出路３９に排出さ
れてガスの流れがスムーズでないのに対し、本考案で
は、減圧弁４２で常時調圧できるので、測定室１内を流
れるガスも含めてガスの流れをスムーズにでき、よっ
て、指示値における変動は大きくならず、振動による指
示影響を低減できる。
【００２１】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
測定室に対して測定ガスや比較ガスを導入する機構が簡
単になると共に、設備コストが低減できる。また、比較
ガスとして乾燥した空気を用いているので、ランニング
コストが低減できると共に、比較ガス中の酸素密度の変
化が防止されるので、精度の高い測定を行うことができ
る。特に、本考案では、測定室に接続されたガス排気路
に減圧ポンプおよび圧力調整装置を前記減圧ポンプが下
流側に位置するように設けてこのガス排気路を減圧する
ように構成し、更に、前記圧力調整装置を前記ガス排出
路の脈動を防止するためのバッファタンクと圧力コント
ロールを行う減圧弁とから構成したので、バッファタン
クでガス排出路の脈動を防止できる上に、以下に示す利
点を有する。すなわち、減圧弁で常時調圧できるので、
減圧弁を設置しない場合に比して測定室内を流れるガス
も含めてガスの流れをスムーズにでき、よって、指示値
における変動は大きくならず、振動による指示影響を低
減できる。
測定室に対して測定ガスや比較ガスを導入する機構が簡
単になると共に、設備コストが低減できる。また、比較
ガスとして乾燥した空気を用いているので、ランニング
コストが低減できると共に、比較ガス中の酸素密度の変
化が防止されるので、精度の高い測定を行うことができ
る。特に、本考案では、測定室に接続されたガス排気路
に減圧ポンプおよび圧力調整装置を前記減圧ポンプが下
流側に位置するように設けてこのガス排気路を減圧する
ように構成し、更に、前記圧力調整装置を前記ガス排出
路の脈動を防止するためのバッファタンクと圧力コント
ロールを行う減圧弁とから構成したので、バッファタン
クでガス排出路の脈動を防止できる上に、以下に示す利
点を有する。すなわち、減圧弁で常時調圧できるので、
減圧弁を設置しない場合に比して測定室内を流れるガス
も含めてガスの流れをスムーズにでき、よって、指示値
における変動は大きくならず、振動による指示影響を低
減できる。
【図１】本考案に係る磁気式酸素分析装置の一例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】従来の磁気式酸素分析装置を示す構成図であ
る。
る。
【図３】従来の磁気式酸素分析装置を示す構成図であ
る。
る。
１…測定室、１ａ，１ｂ，１ｃ…開口、２，３…測定
極、２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ…磁極片、１５…コンデン
サマイクロフォン検出器、１５Ａ…可動隔膜、１５Ｂ，
１５Ｃ…検出室、３７，３８…圧力伝達路、３９…ガス
排気路、４０…減圧ポンプ、４１…バッファタンク、４
２…減圧弁、４３…圧力調整装置、Ｓ…測定ガス、Ｒ…
比較ガス、Ａ…エヤー。
極、２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ…磁極片、１５…コンデン
サマイクロフォン検出器、１５Ａ…可動隔膜、１５Ｂ，
１５Ｃ…検出室、３７，３８…圧力伝達路、３９…ガス
排気路、４０…減圧ポンプ、４１…バッファタンク、４
２…減圧弁、４３…圧力調整装置、Ｓ…測定ガス、Ｒ…
比較ガス、Ａ…エヤー。
Claims (1)
- 【請求項１】 測定室内にそれぞれ適宜の間隔をおいて
対向配置された２つの磁極片からなる２組の測定極を適
宜の間隔をおいて設け、これらの測定極を交互に励磁し
て前記磁極片間に交互に磁界を発生させるとともに、こ
れら磁極片間に測定ガスと比較ガスとを流し、磁化率の
差に基づいて発生する界面圧力を圧力伝達路を介してコ
ンデンサマイクロフォン検出器の可動隔膜によって仕切
られた２つの検出室に導入して、前記可動隔膜と固定電
極との間の静電容量の変化に基づいて測定ガスにおける
酸素濃度を検出するようにした磁気式酸素分析装置にお
いて、前記比較ガスとして乾燥したエヤーを用いると共
に、前記測定室に接続されたガス排気路に減圧ポンプお
よび圧力調整装置を前記減圧ポンプが下流側に位置する
ように設けてこのガス排気路を減圧するように構成し、
更に、前記圧力調整装置を前記ガス排出路の脈動を防止
するためのバッファタンクと圧力コントロールを行う減
圧弁とから構成したことを特徴とする磁気式酸素分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991044674U JP2552937Y2 (ja) | 1991-05-18 | 1991-05-18 | 磁気式酸素分析装置 |
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| JP1991044674U JP2552937Y2 (ja) | 1991-05-18 | 1991-05-18 | 磁気式酸素分析装置 |
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|---|---|---|---|---|
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1991
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04130066U (ja) | 1992-11-30 |
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