JPH09243537A - ガス測定装置 - Google Patents
ガス測定装置Info
- Publication number
- JPH09243537A JPH09243537A JP5169496A JP5169496A JPH09243537A JP H09243537 A JPH09243537 A JP H09243537A JP 5169496 A JP5169496 A JP 5169496A JP 5169496 A JP5169496 A JP 5169496A JP H09243537 A JPH09243537 A JP H09243537A
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- JP
- Japan
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- gas
- humidity
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- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成が簡単で湿度ドリフトによる測定誤差の
ないガス測定装置を実現する。 【解決手段】 被測定ガスの濃度を測定するガス測定装
置において、被測定成分及び妨害成分を含まない乾燥ガ
スを加湿する加湿器と、センサセルと、センサセル内に
設置されセンサセル内のガスの湿度を測定する湿度セン
サと、センサセル内に設置されセンサセル内のガスの濃
度を測定するガスセンサと、乾燥ガス、加湿器の出力ガ
ス及び被測定ガスを混合すると共に湿度センサの出力に
基づき混合ガスの湿度を調整してセンサセルに供給する
湿度調整手段とを設ける。
ないガス測定装置を実現する。 【解決手段】 被測定ガスの濃度を測定するガス測定装
置において、被測定成分及び妨害成分を含まない乾燥ガ
スを加湿する加湿器と、センサセルと、センサセル内に
設置されセンサセル内のガスの湿度を測定する湿度セン
サと、センサセル内に設置されセンサセル内のガスの濃
度を測定するガスセンサと、乾燥ガス、加湿器の出力ガ
ス及び被測定ガスを混合すると共に湿度センサの出力に
基づき混合ガスの湿度を調整してセンサセルに供給する
湿度調整手段とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は気体中の匂い物質等
の濃度を測定するガス測定装置に関し、特に匂いセンサ
等のガスセンサの湿度ドリフトによる測定誤差を改善し
たガス測定装置に関する。
の濃度を測定するガス測定装置に関し、特に匂いセンサ
等のガスセンサの湿度ドリフトによる測定誤差を改善し
たガス測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガス測定装置は被測定ガスを測定
するために標準ガスによりゼロ校正及びスパン校正等を
行っている。但し、一般に前記被測定ガスと前記標準ガ
スとの湿度は異なるので湿度ドリフトによる測定誤差が
生じてしまう。
するために標準ガスによりゼロ校正及びスパン校正等を
行っている。但し、一般に前記被測定ガスと前記標準ガ
スとの湿度は異なるので湿度ドリフトによる測定誤差が
生じてしまう。
【０００３】そこで、本願出願人の出願に係る「特開平
７−１７４６７４号」において前記被測定ガスの湿度と
同じ湿度の標準ガスを発生させる校正用標準ガス発生装
置を用いることにより前記問題点を改善している。
７−１７４６７４号」において前記被測定ガスの湿度と
同じ湿度の標準ガスを発生させる校正用標準ガス発生装
置を用いることにより前記問題点を改善している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記被測定ガ
スの湿度は一般に変動するものであり、校正時点及び測
定時点における前記被測定ガスの湿度が互いに異なる場
合には湿度ドリフトにより測定誤差が生じてしまう。
スの湿度は一般に変動するものであり、校正時点及び測
定時点における前記被測定ガスの湿度が互いに異なる場
合には湿度ドリフトにより測定誤差が生じてしまう。
【０００５】また、前記「特開平７−１７４６７４号」
では被測定ガス用の湿度センサと標準ガス用の湿度セン
サの２つの湿度センサが必要であり、両湿度センサの特
性を補正演算等により合わせ込む必要があった。
では被測定ガス用の湿度センサと標準ガス用の湿度セン
サの２つの湿度センサが必要であり、両湿度センサの特
性を補正演算等により合わせ込む必要があった。
【０００６】さらに、１つの湿度センサで構成するため
には被測定ガスと標準ガスの流路を切り換える流路切換
手段が別途必要になると言った問題点があった。従って
本発明が解決しようとする課題は、構成が簡単で湿度ド
リフトによる測定誤差のないガス測定装置を実現するこ
とにある。
には被測定ガスと標準ガスの流路を切り換える流路切換
手段が別途必要になると言った問題点があった。従って
本発明が解決しようとする課題は、構成が簡単で湿度ド
リフトによる測定誤差のないガス測定装置を実現するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明では、被測定ガスの濃度を測定するガ
ス測定装置において、被測定成分及び妨害成分を含まな
い乾燥ガスを加湿する加湿器と、センサセルと、前記セ
ンサセル内に設置され前記センサセル内のガスの湿度を
測定する湿度センサと、前記センサセル内に設置され前
記センサセル内のガスの濃度を測定するガスセンサと、
前記乾燥ガス、前記加湿器の出力ガス及び前記被測定ガ
スを混合すると共に前記湿度センサの出力に基づき混合
ガスの湿度を調整して前記センサセルに供給する湿度調
整手段とを備えたことを特徴とするものである。
るために、本発明では、被測定ガスの濃度を測定するガ
ス測定装置において、被測定成分及び妨害成分を含まな
い乾燥ガスを加湿する加湿器と、センサセルと、前記セ
ンサセル内に設置され前記センサセル内のガスの湿度を
測定する湿度センサと、前記センサセル内に設置され前
記センサセル内のガスの濃度を測定するガスセンサと、
前記乾燥ガス、前記加湿器の出力ガス及び前記被測定ガ
スを混合すると共に前記湿度センサの出力に基づき混合
ガスの湿度を調整して前記センサセルに供給する湿度調
整手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係るガス測定装置の一実施例
を示す構成ブロック図である。
説明する。図１は本発明に係るガス測定装置の一実施例
を示す構成ブロック図である。
【０００９】図１において１は加湿器、２，３及び４は
流量制御器、５はセンサセル、６は湿度センサ、７は匂
いセンサ等のガスセンサ、８は制御回路、１００は被測
定成分や妨害成分を含まない乾燥ガスの供給口、１０１
は被測定ガスの供給口、１０２は排気口、１０３は出力
信号である。また、２〜４及び８は湿度調整手段５０を
構成している。
流量制御器、５はセンサセル、６は湿度センサ、７は匂
いセンサ等のガスセンサ、８は制御回路、１００は被測
定成分や妨害成分を含まない乾燥ガスの供給口、１０１
は被測定ガスの供給口、１０２は排気口、１０３は出力
信号である。また、２〜４及び８は湿度調整手段５０を
構成している。
【００１０】供給口１００は加湿器１及び流量制御器３
に接続され、加湿器１の出力ガスは流量制御器２に供給
される。また、供給口１０１は流量制御器４に接続され
る。
に接続され、加湿器１の出力ガスは流量制御器２に供給
される。また、供給口１０１は流量制御器４に接続され
る。
【００１１】流量制御器２，３及び４の出力ガスは互い
に混合されてセンサセル５に供給され、センサセル５か
らの排気ガスは排気口１０２から排気される。また、セ
ンサセル５内には湿度センサ６及びガスセンサ７がそれ
ぞれ設置される。
に混合されてセンサセル５に供給され、センサセル５か
らの排気ガスは排気口１０２から排気される。また、セ
ンサセル５内には湿度センサ６及びガスセンサ７がそれ
ぞれ設置される。
【００１２】湿度センサ６の出力は制御回路８に接続さ
れ、制御回路８の制御信号はそれぞれ流量制御器２，３
及び４に接続される。また、ガスセンサ７の出力は出力
信号１０３として出力される。
れ、制御回路８の制御信号はそれぞれ流量制御器２，３
及び４に接続される。また、ガスセンサ７の出力は出力
信号１０３として出力される。
【００１３】ここで、図１に示す実施例の動作を説明す
る。先ず第１にセンサセル５中のガスの湿度、導入流量
及び希釈率を設定する。
る。先ず第１にセンサセル５中のガスの湿度、導入流量
及び希釈率を設定する。
【００１４】例えば、ガスの湿度、導入流量及び被測定
ガス希釈率をそれぞれ”５０％ＲＨ”、”１Ｌ／ｍｉ
ｎ”及び”１／２”とし、また、供給口１００から供給
される乾燥ガスの湿度を”０％ＲＨ”、加湿器１の出力
ガス湿度を”１００％ＲＨ”として説明する。
ガス希釈率をそれぞれ”５０％ＲＨ”、”１Ｌ／ｍｉ
ｎ”及び”１／２”とし、また、供給口１００から供給
される乾燥ガスの湿度を”０％ＲＨ”、加湿器１の出力
ガス湿度を”１００％ＲＨ”として説明する。
【００１５】制御回路８は流量制御器４の流量を”「０
Ｌ／ｍｉｎ”に制御すると共に、流量制御器２及び３の
流量の和が”１Ｌ／ｍｉｎ”となり、湿度センサ６の出
力が”５０％ＲＨ”になるように流量制御器２及び３を
制御する。
Ｌ／ｍｉｎ”に制御すると共に、流量制御器２及び３の
流量の和が”１Ｌ／ｍｉｎ”となり、湿度センサ６の出
力が”５０％ＲＨ”になるように流量制御器２及び３を
制御する。
【００１６】例えば、理想的には流量制御器２及び３の
出力流量をそれぞれ”５００ｍＬ／ｍｉｎ”に制御すれ
ば良いことになる。
出力流量をそれぞれ”５００ｍＬ／ｍｉｎ”に制御すれ
ば良いことになる。
【００１７】この状態でセンサセル５内のガスの湿度
は”５０％ＲＨ”及び導入流量は”１Ｌ／ｍｉｎ”であ
り、被測定成分や妨害成分を含まない標準ガスが満たさ
れているので、ガスセンサ７のゼロ点校正を行なう。
は”５０％ＲＨ”及び導入流量は”１Ｌ／ｍｉｎ”であ
り、被測定成分や妨害成分を含まない標準ガスが満たさ
れているので、ガスセンサ７のゼロ点校正を行なう。
【００１８】測定状態において、制御回路８は流量制御
器４の流量を”５００ｍＬ／ｍｉｎ”に制御すると共
に、流量制御器２及び３の流量の和が”５００ｍＬ／ｍ
ｉｎ”となり、湿度センサ６の出力が”５０％ＲＨ”に
なるように流量制御器２及び３を制御する。
器４の流量を”５００ｍＬ／ｍｉｎ”に制御すると共
に、流量制御器２及び３の流量の和が”５００ｍＬ／ｍ
ｉｎ”となり、湿度センサ６の出力が”５０％ＲＨ”に
なるように流量制御器２及び３を制御する。
【００１９】例えば、被測定ガスの湿度が”０％ＲＨ”
の場合、理想的には流量制御器２及び３の流量を”５０
０ｍＬ／ｍｉｎ”及び”０Ｌ／ｍｉｎ”にそれぞれ制御
すれば良く、また、被測定ガスの湿度が”１００％Ｒ
Ｈ”の場合、流量制御器２及び３の流量を”０Ｌ／ｍｉ
ｎ”及び”５００ｍＬ／ｍｉｎ”にそれぞれ制御すれば
良い。
の場合、理想的には流量制御器２及び３の流量を”５０
０ｍＬ／ｍｉｎ”及び”０Ｌ／ｍｉｎ”にそれぞれ制御
すれば良く、また、被測定ガスの湿度が”１００％Ｒ
Ｈ”の場合、流量制御器２及び３の流量を”０Ｌ／ｍｉ
ｎ”及び”５００ｍＬ／ｍｉｎ”にそれぞれ制御すれば
良い。
【００２０】この状態でセンサセル５内のガスの湿度
は”５０％ＲＨ”、導入流量は”１Ｌ／ｍｉｎ”及び被
測定ガス希釈率は”１／２”であり、この条件下で被測
定ガスの測定を行なう。
は”５０％ＲＨ”、導入流量は”１Ｌ／ｍｉｎ”及び被
測定ガス希釈率は”１／２”であり、この条件下で被測
定ガスの測定を行なう。
【００２１】すなわち、被測定ガス希釈率を”１／２”
以上にすれば常にセンサセル５に供給されるガスの湿度
を常に”５０％ＲＨ”に保つことが原理的に可能であ
る。
以上にすれば常にセンサセル５に供給されるガスの湿度
を常に”５０％ＲＨ”に保つことが原理的に可能であ
る。
【００２２】従って、上記操作を繰り返すことにより、
ガスセンサ７に供給されるガスの湿度を”５０％ＲＨ”
に保ちながら、ゼロ点校正及び被測定ガスの測定ができ
るので湿度ドリフトによる測定誤差がなくなる。
ガスセンサ７に供給されるガスの湿度を”５０％ＲＨ”
に保ちながら、ゼロ点校正及び被測定ガスの測定ができ
るので湿度ドリフトによる測定誤差がなくなる。
【００２３】この結果、湿度を制御されたゼロ点校正用
ガスで被測定ガスを希釈して一定湿度に制御した被測定
ガスを測定することにより、構成が簡単で湿度ドリフト
による測定誤差がなくなる。
ガスで被測定ガスを希釈して一定湿度に制御した被測定
ガスを測定することにより、構成が簡単で湿度ドリフト
による測定誤差がなくなる。
【００２４】なお、流量制御器２〜４としてはマスフロ
ーコントローラ等を用いれば良く、加湿器１としてはバ
ブリングボトル等を用いれば良い。
ーコントローラ等を用いれば良く、加湿器１としてはバ
ブリングボトル等を用いれば良い。
【００２５】また、マスフローコントローラの代わりに
電磁弁等を用い、その開閉時間の比率を制御することに
よって混合や希釈を行なうことができる。
電磁弁等を用い、その開閉時間の比率を制御することに
よって混合や希釈を行なうことができる。
【００２６】また、ガスセンサ７の出力を制御回路８に
入力して、前記ガスセンサ７の出力が一定値になるよう
に被測定ガス希釈率を制御して、前記被測定ガスの希釈
率を出力することにより、ガスセンサ７の非線形性やダ
イナミックレンジの狭さを改善することもできる。
入力して、前記ガスセンサ７の出力が一定値になるよう
に被測定ガス希釈率を制御して、前記被測定ガスの希釈
率を出力することにより、ガスセンサ７の非線形性やダ
イナミックレンジの狭さを改善することもできる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。湿度を制御され
たゼロ点校正用ガスで被測定ガスを希釈して一定湿度に
制御した被測定ガスを測定することにより、構成が簡単
で湿度ドリフトによる測定誤差のないガス測定装置が実
現できる。
本発明によれば次のような効果がある。湿度を制御され
たゼロ点校正用ガスで被測定ガスを希釈して一定湿度に
制御した被測定ガスを測定することにより、構成が簡単
で湿度ドリフトによる測定誤差のないガス測定装置が実
現できる。
【００２８】
【図１】本発明に係るガス測定装置の一実施例を示す構
成ブロック図である。
成ブロック図である。
１ 加湿器 ２，３，４ 流量制御器 ５ センサセル ６ 湿度センサ ７ ガスセンサ ８ 制御回路 ５０ 湿度調整手段 １００，１０１ 供給口 １０２ 排気口 １０３ 出力信号
Claims (1)
- 【請求項１】被測定ガスの濃度を測定するガス測定装置
において、 被測定成分及び妨害成分を含まない乾燥ガスを加湿する
加湿器と、 センサセルと、 前記センサセル内に設置され前記センサセル内のガスの
湿度を測定する湿度センサと、 前記センサセル内に設置され前記センサセル内のガスの
濃度を測定するガスセンサと、 前記乾燥ガス、前記加湿器の出力ガス及び前記被測定ガ
スを混合すると共に前記湿度センサの出力に基づき混合
ガスの湿度を調整して前記センサセルに供給する湿度調
整手段とを備えたことを特徴とするガス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05169496A JP3230431B2 (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ガス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05169496A JP3230431B2 (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ガス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243537A true JPH09243537A (ja) | 1997-09-19 |
| JP3230431B2 JP3230431B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=12894017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05169496A Expired - Fee Related JP3230431B2 (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ガス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3230431B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11295196A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-29 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 供給対象ガスの成分濃度安定化方法、この方法に用いられる微量水分含有供給対象ガス |
| JP2006030167A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-02-02 | Seiko Instruments Inc | マイクロチップシステム |
| JP2008020208A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-31 | Ogawa & Co Ltd | 嗅覚計および相互作用測定装置 |
| JP2008157729A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Ogawa & Co Ltd | 相互作用測定装置及び相互作用測定方法 |
| CN106645587A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-10 | 清华大学 | 一种气体传感器评测与校准系统 |
| JP2019184571A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-24 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガス成分計測装置 |
| WO2020054455A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 味の素株式会社 | 食品サンプルアロマの分析方法、分析装置及び分析ガス調製装置 |
| WO2020065982A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日本電気株式会社 | 測定装置、および測定方法 |
| WO2020065981A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日本電気株式会社 | データ処理装置、測定システム、データ処理方法、測定方法、およびプログラム |
-
1996
- 1996-03-08 JP JP05169496A patent/JP3230431B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11295196A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-29 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 供給対象ガスの成分濃度安定化方法、この方法に用いられる微量水分含有供給対象ガス |
| JP2006030167A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-02-02 | Seiko Instruments Inc | マイクロチップシステム |
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| CN106645587B (zh) * | 2017-01-16 | 2024-03-12 | 清华大学 | 一种气体传感器评测与校准系统 |
| CN106645587A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-10 | 清华大学 | 一种气体传感器评测与校准系统 |
| JP2019184571A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-24 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガス成分計測装置 |
| WO2020054455A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 味の素株式会社 | 食品サンプルアロマの分析方法、分析装置及び分析ガス調製装置 |
| JPWO2020054455A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2021-08-30 | 味の素株式会社 | 食品サンプルアロマの分析方法、分析装置及び分析ガス調製装置 |
| WO2020065981A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日本電気株式会社 | データ処理装置、測定システム、データ処理方法、測定方法、およびプログラム |
| JPWO2020065981A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-08-30 | 日本電気株式会社 | データ処理装置、測定システム、データ処理方法、測定方法、およびプログラム |
| JPWO2020065982A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-09-24 | 日本電気株式会社 | 測定装置、および測定方法 |
| WO2020065982A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日本電気株式会社 | 測定装置、および測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3230431B2 (ja) | 2001-11-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |