JP2551185B2

JP2551185B2 - 平面型表示装置およびその制御電極の製造方法および平面型テレビジョン装置

Info

Publication number: JP2551185B2
Application number: JP2022768A
Authority: JP
Inventors: 正人斉藤; 量鈴木; 敬二福山; 卓也大平; 勁二渡部; 小林　　実; 進星之内; 義式畑中
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-02-01
Filing date: 1990-02-01
Publication date: 1996-11-06
Anticipated expiration: 2011-11-06
Also published as: JPH03226949A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は電子ビームを利用した平面型表示装置に関
するものである。

［従来の技術］第５図は例えば特開昭63−184239号公報に示されるよ
うな従来の平面型表示装置の一部を示す斜視図であり、
（１）は支持体に接続され通電することによって電子を
放射する電子放射源としての線状熱陰極、（２）はこの
線状熱陰極（１）の上面を覆う断面楕円形状の有孔カバ
ー電極である。この有孔カバー電極（２）は電子を通過
させるための多数の小孔（３）を有しており、適当な電
位を印加することで上記線状熱陰極（１）から電子が引
き出される。（４）はこの有孔カバー電極（２）によっ
て引き出された電子により励起されて赤、緑、青に発光
する３種の蛍光体（５）が内面側にドット状に塗膜さ
れ、さらにその上に導電性を持たせるためのアルミ膜
（図示せず）が形成された前面ガラスであり、このアル
ミ膜に10〜30KV程度の電圧を印加することにより電子が
加速され、蛍光体（５）を励起し発光させる。（６）は
この前面ガラス（４）と上記線状熱陰極（１）との間に
介在し、上記有孔カバー電極（２）によって引き出さ
れ、前面ガラス（４）へ向かう電子を通過あるいは遮断
する制御電極部であり、第６図（ａ）にその分解構成図
を示すように、前面ガラス（４）上の画素に対応する電
子通過孔（７）を有する絶縁基板（８）と、その絶縁基
板（８）の下面に画素の１列ずつに対応して配列され、
電子通過部（9b）を有する短冊状の金属電極（9a）から
なる第１の制御電極群（９）と、同様に電子通過部（10
b）を有して絶縁基板（８）の上面に画素の１行ずつに
対応して配列された短冊状の金属電極（10a）からなる
第２の制御電極群（10）とから構成される。これら第
１、第２の制御電極群（９）、（10）の各金属電極はそ
れぞれ短冊状の金属からなり、その電子通過部（9b）、
（10b）は第４図（ｂ）に拡大図を示したように、上記
絶縁基板（８）の電子通過孔（７）に対応する部分に多
数の小穴（11）をあけてメッシュ状に形成したものであ
る。

次に動作について説明する。線状熱陰極（１）から放
出された熱電子は有孔カバー電極（２）によって引き出
され、さらに線状熱陰極（１）と直交する方向に配設さ
れた金属電極（9a）からなる第１の制御電極群（９）の
うちの一本に線状熱陰極（１）の電位に対して約20〜40
Vのプラス電位を印加することにより、熱電子はこの電
極に引き寄せられ、制御電極部（６）に達する。ここ
で、有孔カバー電極（２）の楕円柱形状、第１の制御電
極群（９）の位置、およびそれぞれの金属電極（9a）へ
の印加電圧を調整することにより、上記第１の制御電極
群（９）の任意の一本の金属電極（9a）前面での電子流
密度がほぼ均一になるようになっている。

制御電極部（６）の動作については上記特開昭63−18
4239号公報には説明されていないが、例えば特開昭62−
172642号公報および特開平１−126688号公報などに記載
されているような一般のマトリクス型ディスプレイと類
似であり、以下の通りである。即ち、上記のように第１
の制御電極群（９）のうち１本の金属電極（9a）のみプ
ラス電位となり他は0Vまたはマイナス電位となっていれ
ば、線状熱陰極（１）から放出された熱電子はこのプラ
ス電位の１本の金属電極（9a）にのみ引き寄せられ、そ
の金属電極（9a）の各電子通過部（9b）を通って絶縁基
板（８）の電子通過孔（７）に入っていく。そしてこの
電子通過孔（７）に入った電子はそのまま全てが前面ガ
ラス（４）側へ通過するのではなく、電子通過孔（７）
上部に配置された第２の制御電極群（10）のうち例えば
40〜100Vの電位が印加されている金属電極（10a）の電
子通過部（10b）のみ電子が通過し、他の0Vまたはマイ
ナス電位となっている金属電極（10a）の電子通過部（1
0b）は通過せず、電子通過孔（７）内に止まる。従っ
て、第１の制御電極群（９）のうちプラス電位の印加さ
れたオン状態の１本の金属電極（9a）と、第２の制御電
極群（10）のうちプラス電位が印加されている金属電極
（10a）との交点の電子通過孔（７）のみで電子が通過
する。そして、その通過電子によりその電子通過孔
（７）に対応する画素の位置の蛍光体（５）が発光し、
画面表示が行われる。よって、上記交点が所望の位置に
対応するように各金属電極（9a）、（10a）への電位印
加が制御することにより、所望の画像表示が行える。

なお、第６図（ｂ）に示すように、絶縁基板（８）の
電子通過孔（７）に対応する各制御電極（９）、（10）
の電子通過部（9b）、（10b）は多数の小穴（11）をあ
けてメッシュ状に形成してなるものであるが、これは、
電子を通過させない状態（オフ状態）にしたときに、電
子通過部（9b）、（10b）全体的に電子を遮断する電位
を生じさせる必要があり、各制御電極（９）、（10）に
0Vから数10Vの小さいマイナス電位を印加すれば電子の
通過を遮断できるようにするためものである。

［発明が解決しようとする課題］以上のような従来の平面型表示装置では、第１の制御
電極群（９）および第２の制御電極群（10）が各列、各
行に配設される短冊状電極で形成されているので、この
短冊状電極の加工精度に限界があることからこの平面型
表示装置の高精細化が制限され、また短冊状電極を分離
して固定、保持するなど製作上の困難性が大であり、さ
らに短冊状電極の電子通過部を多数の小穴を設けたメッ
シュ構造としていることから、電子を通過させる場合で
も電極の網部に電子があたり電子の通過率の低下は避け
られず、この平面型表示装置の輝度が低下するなどの問
題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、構造が平易で加工性に優れ、電極動作の信
頼性を高め、かつ輝度向上、高精細化を可能にする平面
型表示装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］この発明に係る平面型表示装置は、密閉容器内に設け
られた発光体に電子を放射する電子放射源と、この電子
放射源、上記発光体間に介在する制御電極を備え、この
制御電極を、複数の電子通過孔を有する表面絶縁性基板
に通過電子制御電位が印加される導電膜を複数に分離し
て被膜することにより構成し、電子通過孔の内側壁面を
上記導電膜と表面絶縁性基板露出部とで構成するととも
に、この内側壁面の導電膜を、電子通過孔の孔径の1/4
以上の深さに渡って被膜したものである。

また、このときの電子通過率の向上には、電子通過孔
の内側壁面に表面絶縁性基板の表面絶縁部より大きい二
次電子放出能を有する部材を被膜するとよい。

さらに、制御電極を通過した電子を収束するために、
発光体、制御電極間に収束電極を設けることが好まし
い。

そして、加工をより容易に行うには表面絶縁性基板
を、表面に絶縁層を形成した金属性基板により構成する
とよく、このとき金属性基板の材質を、室温から約500
度までの線膨脹係数が３×10^-5/deg以下のものとすれ
ば、温度変化による劣化を防げる。

また、制御電極の製造方法としては、内部孔部が形成
される部分を残して絶縁基板に上記表面孔部を形成し、
その基板に通過電子制御電位印加導電膜を被膜形成し、
さらに絶縁基板の表面孔部から上記残した部分を貫通し
て上記内部孔部を形成する製造方法がある。

そして、この平面型表示装置により平面型テレビジョ
ン装置を実現するには、テレビジョン電波を受信する受
信手段と、この受信手段による受信信号に基づき平面型
表示装置に表示を行う表示制御手段とを設ければよい。

［作用］この発明の平面型表示装置においては、電子放射源か
ら放出された電子は、制御電極の複数の導電膜のうち所
定の電位が印加された導電膜の近傍の電子通過孔を通過
し、他の電子通過孔は通過せず、通過した電子が発光体
を発光させるので、制御電極の導電膜への電位印加によ
って自由に表示制御が行えるとともに、この制御電極
を、電子通過孔を有する表面絶縁性基板に、通過電子制
御電位が印加される導電膜複数に分離して被膜すること
により構成したので、短冊状電極を用いる場合に比べ、
小さい孔径、孔ピッチの電子通過孔を設けた微細な構造
を有する制御電極が製作でき、さらに電子通過孔を微細
な孔径で実現できることから電子通過孔にメッシュ状の
導電体を設けなくとも電子を遮断できるので電子通過率
の低下が防止される。さらに、電子通過孔内側壁面に導
電膜を設け、この導電膜を電子通過孔の孔径の1/4以上
の深さに渡って被膜したので、電子通過孔内に充分な電
界を生ぜしめることができる。

また、電子通過孔の内側壁面に表面絶縁性基板の表面
絶縁部より大きい二次電子放出能を有する部材を被膜す
れば、電子通過率が向上する。

さらに、発光体、制御電極間に設けられた収束電極に
より、制御電極を通過した電子が収束され、画質が向上
する。

そして、表面絶縁性基板を表面に絶縁層を形成した金
属性基板により構成すればより容易に加工ができ、この
とき金属性基板の材質を、室温から約500度までの線膨
脹係数が３×10^-5/deg以下のものとすれば、製造時、使
用時等の温度変化による劣化を防げる。

また、内部孔部が形成される部分を残して絶縁基板に
上記表面孔部を形成し、その基板に通過電子制御電位印
加導電膜を被膜形成し、さらに絶縁基板の表面孔部から
上記残した部分を貫通して上記内部孔部を形成する製造
方法により制御電極を製造できる。

さらに、テレビジョン電波を受信する受信手段と、こ
の受信手段による受信信号に基づきこの平面型表示装置
に表示を行う表示制御手段とを設ければ、薄い形状の平
面型テレビジョン装置が実現できる。

［実施例］以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。第
１図はこの発明の一実施例による平面型表示装置の一部
分の斜視図であり、（１）〜（５）は上記従来例と同様
のものである。（11）は前面ガラス（４）と上記線状熱
陰極（１）との間に介在する制御電極部であり、画面の
各画素に対応する多数の電子通過孔（12）を有し、上記
有孔カバー電極（２）によって引き出され、前面ガラス
（４）へ向かう電子を通過あるいは遮断する。この制御
電極部（11）を一部分断面として示す拡大斜視図を第２
図（ａ）（ｂ）に示す。第２図（ａ）は上方、第２図
（ｂ）は下方から見たものである。（13）は電子が通過
するための貫通した電子通過孔（12）を有し、ステンレ
スあるいはアルミニウムなどで形成された導電性基板、
（14）はこの導電性基板（13）の電子通過孔（12）の内
側壁面を含む全表面に形成されたアルミナ、シリカなど
の絶縁膜であり、これらにより表面絶縁性基板（15）が
構成される。（16）はこの表面絶縁性基板（15）の下面
に、基板露出部（16b）を形成しながら電子通過孔（1
2）の１列ずつに対応するように複数に分割して被膜さ
れたニッケルなどの導電性物質からなる導電膜（16a）
からなる第１の制御導電膜群、（17）は同様に表面絶縁
性基板（15）の上面に、基板露出部（17b）を形成しな
がら電子通過孔（12）の１行ずつに対応するように複数
に分割されて被膜された導電膜（17a）からなる第２の
制御導電膜群である。これら第１、第２の制御導電膜群
（16）、（17）の導電膜（16a）、（17a）はいずれも電
子通過孔（12）の内側壁面まで被膜されている。そし
て、第１、第２の制御導電膜群（16）、（17）の間は導
電膜が切れて絶縁膜（14）が露出した基板露出部（18）
が形成されて電気的に分離されており、かつ上述の如
く、第１、第２の制御導電膜群（16）、（17）それぞれ
の導電膜（16a）、（17a）においてはいずれも隣り合っ
た各列もしくは各行間が基板露出部（16b）、（17b）に
より電気的に分離されており、このような構成により、
各導電膜（16a）、（17a）に対し、各列もしくは各行毎
独立に別の電位が印加できるようになっている。

なお、この制御電極部（11）の製作には、導電性基板
（13）として肉厚0.5mmのアルミニウム板を用い、例え
ばエッチング法を用いて0.4mm角の電子通過孔（12）を
形成する。その後、絶縁膜（14）として例えば陽極酸化
法を用いて厚み30μｍ程度のアルマイト層を形成する。
その後、例えば無電解メッキ法とマスキング法などの手
法を用いて、基板露出部（16b）、（17b）、（18）を保
持しながら、厚さ10μｍ程度のニッケル金属膜からなる
導電膜を形成し、第１、第２の制御導電膜群（16）、
（17）を構成する。この時、電子通過孔（12）内の側壁
面に被膜する導電膜の深さは、第１、第２の制御導電膜
群（16）（17）ともに0.2mmとし基板露出部（18）の幅
は0.1mmを保持した。

また、前面ガラス（４）の蛍光体（５）のドット、ピ
ッチは制御電極部（11）の電子通過孔（12）に対応させ
て形成されている。

そして、第１図には示していないが、上記前面ガラス
（４）、制御電極部（11）間に、制御電極（11）を通過
した電子を収束する収束電極板（19）を配設した。この
収束電極板（19）は、制御電極（11）の第２の制御導電
膜群（17）上に重ねて設けられ、上記導電性基板（13）
の電子通過孔（12）と同ピッチで配列された0.45mm角の
孔を有する厚さ0.45mmのステンレス板からなり、エッチ
ング等の方法で作成されるものである。なお、この収束
電極板（19）の下面、制御電極（11）の第２の制御導電
膜群（17）に接する面は、ポリイミド樹脂などの絶縁層
で被覆し、第２の制御導電膜群（17）と異なる電位を印
加できるようになっている。

このような構成の平面型表示装置においては、上記従
来例と同様に、第１、第２の制御導電膜群（16）、（1
7）に電子の通過を制御する電位を印加することによ
り、各画素単位で蛍光体（５）の発光を制御し所望の画
像を表示することができる。第１、第２の制御導電膜群
（16）、（17）に印加する電圧を上記従来例と同レベル
としてそのオン−オフ動作の確認を行ない、蛍光体の発
光状態を観察比較した結果、十分な表示機能が確認され
た。

特に、オフ状態を確実に行なうためには電子通過孔
（12）に電子を通過させないような充分な電界を生ぜし
めることが必要であるが、上述のように導電膜を電子通
過孔（12）内側壁面に被膜することが容易にこのような
電界を生ぜしめることに効果的であり、電子通過孔（1
2）内側壁面に被膜する導電膜の深さを電子通過孔（1
2）の径の1/4以上、特に1/2以上とすることが望ましか
った。

上記説明では電子通過孔（12）が四角形状の場合を例
に説明したが、丸孔など他の形状においても同様の効果
がある。

なお、上記実施例では第１、第２の制御導電膜群（1
6）、（17）の導電膜（16a）、（17a）を電子通過孔（1
2）の内側壁面まで被膜したものを示したが、導電膜（1
6a）、（17a）を電子通過孔（12）の上面および下面に
のみ被膜してもよい。このとき、通過電子のオン−オフ
制御を容易に行うようにするには、導電膜（16a）、（1
7a）を印刷法等の方法により厚膜として形成し、その厚
さは電子通過孔（12）の孔径の1/4以上とすることが好
ましい。例えば、電子通過孔（12）の形状が長方形であ
る場合は長方形の短辺の1/4以上の厚さとすればよく、
円形の場合はその直径の1/4以上の厚さとすればよい。

なお、上記実施例では表面絶縁性基板（15）としてア
ルミニウムからなる導電性基板（13）の表面にアルマイ
ト層からなる絶縁膜（14）を形成したものを用いた場合
を説明したが、この表面絶縁性基板（15）は、アルミニ
ウム以外の金属板上に例えば蒸着法により酸化物、窒化
物、あるいはポリイミドなどの樹脂などの絶縁層を形成
して構成してもよく、さらに表面絶縁性基板（15）を絶
縁性のガラスあるいはセラミックで構成してもよい。し
かしながら、加工性や性能面を鑑みると、表面絶縁性基
板としては絶縁層を形成した金属性基板から構成したも
のが最も適している。その理由は、電子通過孔（12）の
孔加工において金属性基板は加工が容易であり、またこ
の金属性基板と絶縁層の材料を選択することにより、こ
の平面型表示装置の製造工程における加熱処理時、ある
いは装置の動作時の電子ビームによる温度上昇時に、絶
縁層の剥離現象を防止できるからである。さらに、電子
通過孔内での電子付着現象（チャージアップ）の防止に
も効果がある。

上記絶縁膜の剥離現象の防止には、上記金属性基板の
室温から約500℃までの線膨脹係数が３×10^-5/deg以下
であることが好ましく、より望ましくは、１×10^-5/deg
以下であればよい。またその金属性基板に望ましい材料
としては、ニオビウム、クロム、イリジウム、タンタ
ル、白金、タングステンなどがあり、これらの金属性基
板を用いれば絶縁性に特に優れた酸化アルミ、酸化ケイ
素、酸化マクセネシウムなどの絶縁膜を形成しても、剥
離現象の防止ができる。

また上記実施例においては、第２の制御導電膜群（1
7）が電子通過孔（12）の内側壁面まで被膜されている
ので電磁レンズが電子通過孔内部側（深さ方向）に形成
され、これにより電子通過孔（12）を通過した電子が発
散する作用を受けるが、上述のように前面ガラス
（４）、制御電極部（11）間に、制御電極（11）を通過
した電子を収束する収束電極板（19）を配設しており、
これにより電子が収束され所定外のところへ飛んでいく
ことが防止されるものであり、この収束電極板（19）の
配設はコントラストなど画質向上に有効である。

さらに、電子通過孔（12）内の基板露出部（18）の少
なくとも一部に二次電子放出率の高い材料、例えば酸化
マグネシウム、ベリリウム、銅などを被着形成すること
により、チャージアップの防止、あるいは蛍光体（５）
に照射する電子ビーム量を増加させて輝度向上を実現す
ることができる。

次に、上述のものとは異なる制御電極部（11）の構造
および製造方法の一例を説明する。第３図はその制御電
極部（11）の製造方法を示す説明図である。この場合、
表面絶縁性基板としては快削性セラミック基板（20）を
用いる。まず、この快削性セラミック基板（20）に両面
から電子通過孔（12）孔開け加工する。ただし、この孔
開け加工は快削性セラミック基板（20）を貫通させない
よう中間部を残して、途中でとめる（工程Ｂ）。次に、
第１、第２の制御導電膜群（16）、（17）の各導電膜を
各列、各行毎に電気的に分離形成するためのレジスト層
（21）を形成する（工程Ｃ）。そして、例えば銅などの
金属を蒸着などの方法で被着させ、厚さ数ミクロン程度
の金属膜（22）を形成する（工程Ｄ）。次にレジスト除
去を行うことにより、導電膜（16a）、（17a）、および
露出部（17b）が形成される（工程Ｅ）。次に、例えば
電子ビーム孔開け、あるいはレーザー孔開け、あるいは
機械加工の方法により、工程Ｂであけた孔よりも小なる
孔径を有する孔をその工程Ｂで残した部分にあけて貫通
させ、表面孔部（23）とこの表面孔部（23）より小さい
孔径を有する内部孔部（24）とからなる電子通過孔（1
2）の形成が完成する（工程Ｆ）。

このように、表面孔部（23）とこの表面孔部（23）よ
り小さい孔径を有し表面孔部（23）から基板内部側に設
けられた内部孔部（24）とにより電子通過孔（12）を形
成することにより、電子の通過を極力妨げず、その上、
下面の導電膜（16a）、と上面の導電膜（17a）とを電気
的に分離しながら内側壁面まで被膜した電子通過孔（1
2）を、信頼性高く実現できる。特に、一旦孔径の大な
る表面孔部（23）のみを孔開け加工し、次に導電膜を形
成し、その後孔径の小なる内部孔部（24）の孔開け加工
を行うことにより、導電膜の形成、孔開け加工が極めて
加工性良く実施でき、さらに絶縁性、および電子のオン
オフ制御の信頼性が高い制御電極部（11）の提供が可能
となる。

次に、このような平面型表示装置を用いたテレビジョ
ン装置について説明する。第４図はその構成を示す分解
構成図である。平面型表示装置（25）は上記実施例で示
したものと同様のもので構成されるものであり、一部が
前面ガラス（４）となり内部を真空密閉状態に保つ密閉
容器（26）、この密閉容器（26）内部に配設された背面
電極（27）、線状熱陰極（１）、有孔カバー電極
（２）、制御電極部（11）、収束電極板（19）から構成
される。そしてこれらにはそれぞれ電源部（図示せず）
から適当な電圧が印加され、背面電極（27）、線状熱陰
極（１）、有孔カバー電極（２）、前面ガラス（４）の
内面側に形成されたアルミ膜にそれぞれ印加された電圧
により、線状熱陰極（１）から電子が引き出され、また
有孔カバー電極（２）に印加された電圧により線状熱陰
極（１）からの電子が均一にされ、収束電極板（19）に
印加された電圧により、制御電極部（11）を通過した電
子が収束される。そして制御電極部（11）には、蛍光体
（５）に照射する電子ビーム量を、表示する画像に対応
するように制御する制御電圧が表示制御手段（28）から
印加される。この表示制御手段（28）は、テレビジョン
電波を受信する受信手段としての映像・音声受信回路
（29）から受信信号を入力し、輝度信号を含む色信号を
再生する色信号再生回路（30）と、この色信号再生回路
（30）からの色信号に基づいて制御電極部（11）の各導
電膜（16a）、（17a）にパルス状の制御電圧を印加する
駆動回路（31）とからなる。また映像・音声受信回路
（29）からの信号により音声回路（32）が音声を再生す
る。

このような構成のテレビジョン装置においては、映像
・音声受信回路（29）によりテレビジョン電波が受信さ
れ、色信号再生回路（30）によりその受信信号から輝度
信号を含む色信号が再生され、その色信号に基づいて駆
動回路（31）が制御電極部（11）の各導電膜（16a）、
（17a）に制御電圧を印加する。この制御電圧の印加の
しかたは、例えば所定値のパルス状電圧を各列の導電膜
（16a）に順に印加して走査していき、その電圧が印加
されている各列において蛍光体を発光させる画素に対応
する行の導電膜（16b）に所定電圧を印加する。このよ
うにすればテレビジョン画像が再生される。以上のよう
な構成により薄型のテレビジョン装置が得られる。

［発明の効果］以上述べてきたように、この発明によれば、密閉容器
内に設けられた発光体に電子を放射する電子放射源と、
この電子放射源、上記発光体間に介在する制御電極を備
え、この制御電極を、複数の電子通過孔を有する表面絶
縁性基板に通過電子制御電位が印加される導電膜を複数
に分離して被膜することにより構成し、電子通過孔の内
側壁面を導電膜と表面絶縁性基板露出部とで構成すると
ともに、この導電膜を電子通過孔の孔径の1/4以上の深
さに渡って被膜したので、小さい孔径、孔ピッチで信頼
性の高い制御電極の形成が容易であり、輝度を低下させ
ることなく高精細な平面型表示装置が得られるという効
果がある。また、内側壁面の導電膜によりオン−オフ動
作が確実になり、高精細な表示が得られる効果がある。

また、電子通過孔の内側壁面に表面絶縁性基板の表面
絶縁部より大きい二次電子放出能を有する部材を被膜す
れば、電子通過率が向上し表示輝度を向上することがで
きる。

さらに、発光体、制御電極間に設けられた収束電極に
より、制御電極を通過した電子が収束され、コントラス
ト等の画質が向上する。

また、内部孔部が形成される部分を残して絶縁基板に
上記表面孔部を形成し、その基板に通過電子制御電位印
加導電膜を被膜形成し、さらに絶縁基板の表面孔部から
上記残した部分を貫通して上記内部孔部を形成する製造
方法により容易に制御電極を製造できる。

また、テレビジョン電波を受信する受信手段と、この
受信手段による受信信号に基づきこの平面型表示装置に
表示を行う表示制御手段とを設ければ、薄型で置き場所
を取らない平面型テレビジョン装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による平面型表示装置の一
部分の斜視図、第２図はその装置の制御電極部を一部分
断面として示す拡大斜視図、第３図は制御電極部の製造
方法を示す説明図、第４図はこの発明による平面型テレ
ビジョン装置の一実施例を示す分解構成図、第５図は従
来の平面型表示装置の部分斜視図、第６図（ａ）はその
装置の制御電極部の部分斜視図、第６図（ｂ）はその制
御電極部の部分拡大図である。図において、（１）は線状熱陰極、（４）は前面ガラ
ス、（５）は蛍光体、（11）は制御電極部、（12）は電
子通過孔、（13）は導電性基板、（14）は絶縁膜、（1
5）は表面絶縁性基板、（16）は第１の制御導電膜群、
（16a）は導電膜、（16b）は基板露出部、（17）は第２
の制御導電膜群、（17a）は導電膜、（17b）、（18）は
基板露出部、（25）は平面型表示装置、（26）は密閉容
器、（28）は表示制御手段、（29）は映像・音声受信回
路である。なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大平卓也神奈川県鎌倉市大船２丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者渡部勁二神奈川県鎌倉市大船２丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者小林実兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者星之内進兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者畑中義式静岡県浜松市広沢１丁目22番６号 (56)参考文献特開昭54−18668（ＪＰ，Ａ) 特開昭52−44154（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】密閉容器内に設けられた発光体に電子を放
射する電子放射源、この電子放射源と上記発光体間に介
在し、複数の電子通過孔が設けられた表面絶縁性基板、
及びこの表面絶縁性基板に複数に分離して被膜され、通
過電子制御電位が印加される導電膜からなる制御電極を
備え、上記電子通過孔の内側壁面を上記導電膜と表面絶
縁性基板露出部とで構成するとともに、上記電子通過孔
の内側壁面を構成する導電膜を、上記電子通過孔の孔径
の1/4以上の深さに渡って被膜したことを特徴とする平
面型表示装置。
【請求項２】上記表面絶縁性基板の電子通過孔の内側壁
面に、上記表面絶縁性基板の表面絶縁部より大きい二次
電子放出能を有する部材を被膜したことを特徴とする請
求項１記載の平面型表示装置。
【請求項３】上記発光体と上記制御電極間に、制御電極
を通過した電子を収束する収束電極を設けたことを特徴
とする請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項４】上記表面絶縁性基板を、表面に絶縁層を形
成した金属性基板により構成したことを特徴とする請求
項１記載の平面型表示装置。
【請求項５】室温から約500度までの線膨張係数が、３
×10^-5/deg以下の金属性基板により上記表面絶縁性基板
を構成したことを特徴とする請求項４記載の平面型表示
装置。
【請求項６】上記電子通過孔が、表面孔部とこの表面孔
部より小さい孔径を有し表面孔部から基板内部側に設け
られた内部孔部とにより形成されたことを特徴とする請
求項１記載の平面型表示装置。
【請求項７】内部孔部が形成される部分を残して絶縁性
基板に上記表面孔部を形成し、その基板に通過電子制御
電位印加導電膜を被膜形成し、さらに絶縁性基板の表面
孔部から上記残した部分を貫通して上記内部孔部を形成
することを特徴をする請求項６記載の平面型表示装置の
制御電極部の製造方法。
【請求項８】テレビジョン電波を受信する受信手段、こ
の受信手段による受信信号に基づき請求項１記載の平面
型表示装置に表示を行う表示制御手段を備えたことを特
徴とするテレビジョン装置。