JP2548227Y2 - 電子部品用リードフレームの押さえ装置 - Google Patents

電子部品用リードフレームの押さえ装置

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JP2548227Y2
JP2548227Y2 JP3781892U JP3781892U JP2548227Y2 JP 2548227 Y2 JP2548227 Y2 JP 2548227Y2 JP 3781892 U JP3781892 U JP 3781892U JP 3781892 U JP3781892 U JP 3781892U JP 2548227 Y2 JP2548227 Y2 JP 2548227Y2
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一馬 大石
誠一 吉本
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、IC又はトランジスタ
ー等の電子部品の製造に際して、リードフレームにダイ
ボンディングした半導体チップと、リードフレームにお
ける各リード端子との間を、細い金属線にてワイヤーボ
ンディングする場合において、前記リードフレームにお
ける各リード端子の部分を押さえるための押さえ装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術と考案が解決しようとする課題】一般に、
リードフレームにダイボンディングした半導体チップ
と、リードフレームにおける各リード端子との間を、細
い金属線にてワイヤーボンディングするに際しては、特
開昭55−71051号公報等に記載されているよう
に、リードフレームにおける各リード端子を、押さえ体
にて加熱盤等の支持盤の上面に対して押圧して、この押
圧した状態で、前記のワイヤーボンディングを行うよう
にしている。
【0003】しかし、従来における押さえ装置は、リー
ド端子に対する押さえ体を、その上下動機構に対して取
付けて、この押さえ体にてリードフレームを直接的に押
圧すると言う構成にしているために、この押さえ体のう
ちリードフレームに対して接当する平面部と、支持盤の
上面との間における平行度を調節することができず、従
って、加工誤差及び組立て誤差等によって、各リード端
子の各々を等しく押圧することができないから、ワイヤ
ーボンディングに際して、一部のリード端子が浮き上が
ることで、キャピラリーツールからの細い金属線の引き
出し量が変動したり、或いは、押圧不足のリード端子の
振れ動きによって、細い金属線が千切れたりすると言う
ように、ワイヤーボンディングミスが多発するのであっ
た。
【0004】本考案は、押さえ体のうちリードフレーム
に対して接当する平面部と、加熱盤等の支持盤の上面と
の間における平行度を容易に調節することができるよう
にして、ワイヤーボンディングミスの発生を確実に低減
できるようにした押さえ装置を提供することを技術的課
題とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本考案は、上面にリードフレームを載せた支持盤
の上方に、押さえ体を、当該押さえ体が前記支持盤に向
かって上下動するように配設して成るリードフレームの
押さえ装置において、前記押さえ体のうち前記支持盤の
上面の部分に、前記押さえ体と別体に構成した押圧体を
配設して、この押圧体に、前記リードフレームにおける
リード端子に対して接当する平面部を形成し、更に、こ
の押圧体の左右両側を、前記押さえ体に対して、軸線を
支持盤の上面と略直角とする止めねじにて締結する一
方、前記押さえ体には、前記両止めねじの左右両側の部
位に、前記押圧体を前記止めねじの締結方向と逆方向に
押圧するようにした左右一対の調節ねじを螺着する構成
にした。
【0006】
【作 用】このように構成すると、両止めねじを少し
緩めた状態でこの両止めねじの左右両側における各四本
の調節ねじを適宜回すことにより、押圧体の平面部にお
ける支持盤の上面に対する平行度を、いずれの方向に対
しても任意に調節することができるから、この四本の調
節ねじによって、押圧体の平面部が支持盤の上面に対し
て正しく平行になるように調節したのち、前記両止めね
じを締結することにより、前記押圧体を、その平面部が
支持盤の上面と正確に平行にした状態で、押さえ体に対
して固定できるのである。
【0007】すなわち、押さえ体に取付けた押圧体にお
ける平面部を、支持盤の上面に対して正しく平行になる
ように調節して、且つ、この調節状態に固定することが
できるのである。
【0008】
【考案の効果】従って、本考案によると、リードフレー
ムにおける各リード端子の各々を、支持盤の上面に対し
て押圧することができるから、ワイヤーボンディングに
際してミスが発生することを確実に低減できて、製品の
歩留り率を大幅に向上できる効果を有する。
【0009】
【実施例】以下、本考案の実施例を図面について説明す
る。図において符号1は機台を示し、この機台1には、
加熱ヒータを内蔵した加熱盤2が設けられ、この加熱盤
2の上面には、長手方向に沿って一定の間隔で形成した
各アイランド部3aに対して半導体チップ4をダイボン
ディングして成るリードフレーム3が載せられており、
このリードフレーム3における各アイランド部3aの箇
所には、複数本のリード端子3bが、アイランド部3a
に向かって延びるように形成されている。
【0010】符号5は、前記加熱盤2の上方に配設した
押さえ体を示し、この押さえ体5を、前記機台1に対し
て上下方向に摺動自在に支持される上下動杆6の先端に
取付ける一方、この上下動杆6を、これに設けたばね7
にて下向きに付勢して、その下端に取付けたコロ8を回
転軸9における偏芯カム10に対して接当することによ
り、回転軸9の回転にて、上下動するように構成する。
【0011】前記押さえ体5における先端部の下面側に
は、これと別体に構成した押圧体11を配設して、この
押圧体11に、前記リードフレーム3における半導体チ
ップ4が嵌まる貫通孔12を穿設すると共に、その下面
に、リードフレーム3におけるリード端子3bに対して
接当する平面部13を形成する。そして、前記押さえ体
5における先端部の左右両側には、ねじ孔14,15を
上下方向に延びるように穿設して、この両ねじ孔14,
15に対して上から下向きに挿入した止めねじ16,1
7を、前記押圧体11における左右両側に穿設した雌ね
じ孔18,19に螺合することにより、この両止めねじ
16,17にて前記押圧体11を押さえ体5に対して締
結するように構成する一方、前記押さえ体5には、前記
止めねじ16,17を挟む両側の部位に、各々雌ねじ孔
20a,20b、21a,21bを各々穿設して、これ
ら各雌ねじ孔20a,20b,21a,21bの各々に
螺合した調節ねじ22a,22b、23a,23bに
て、前記押圧体11を、前記両止めねじ16,17によ
る締結方向と逆方向に押圧するように構成する。
【0012】この構成において、押さえ体5に対して押
圧体11を締結するための両止めねじ16,17を少し
緩めた状態でこの両止めねじ16,17の左右両側にお
ける各四本の調節ねじ22a,22b,23a,23b
を適宜回すことにより、押圧体11の平面部13におけ
る加熱盤2の上面に対する平行度を、いずれの方向に対
しても任意に調節することができるから、この四本の調
節ねじ22a,22b,23a,23bによって、押圧
体11の平面部13が加熱盤2の上面に対して正しく平
行になるように調節することができる。
【0013】そして、この調節が終わると、前記両止め
ねじ16,17を強く締結することにより、前記押圧体
11を、その平面部13が加熱盤2の上面と正確に平行
にした状態で、押さえ体5に対して固定できるのであ
る。すなわち、押さえ体5に取付けた押圧体11におけ
る平面部13を、加熱盤2の上面に対して正しく平行に
なるように調節して、且つ、この調節状態に固定するこ
とができるから、前記押さえ体5が、回転軸9の回転に
伴い、ばね7にて下降動したとき、これに取付けた押圧
体11における平面部13にて、リードフレーム3にお
ける各リード端子3bの各々を、加熱盤2の上面に対し
て等しく押圧することができるのである。
【0014】なお、前記押さえ体5の先端に対して取付
けられる押圧体は、リードフレーム3の機種の変更に応
じて、図8に示すように、半導体チップ4が嵌まる貫通
孔12aを大きくした押圧体11aに取付け替えする
か、又は、図9に示すように、貫通孔12bを偏芯位置
に穿設した押圧体11bに取付け替えするか、或いは、
図10に示すように、二つの貫通孔12c,12c′を
穿設した押圧体11cに取付け替えするようにすること
ができるのである。
【0015】また、図11に示すように、一つの押さえ
体5に対して、二つの押圧体11d,11eを、その左
右両側における止めねじ16′,17′、16″,1
7″にして取付けする一方、この両押圧体11d,11
eの各々を、調節ねじ22a′,22b′,22a″,
22b″,23a′,23b′,23a″,23b″に
て調節するように構成することもできるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例装置の縦断正面図である。
【図2】図1のII−II視平面図である。
【図3】図1のIII −III 視平面図である。
【図4】図3のIV−IV視断面図である。
【図5】図3のV−V視断面図である。
【図6】図3のVI−VI視拡大断面図である。
【図7】分解した状態の斜視図である。
【図8】押圧体における別の例を示す斜視図である。
【図9】押圧体における別の例を示す斜視図である。
【図10】押圧体における更に別の例を示す斜視図であ
る。
【図11】本考案の別の実施例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 機台 2 加熱盤 3 リードフレーム 3a アイランド部 3b リード端子 4 半導体チップ 5 押さえ体 6 上下動杆 9 回転軸 10 偏芯カム 11 押圧体 12 貫通孔 13 平面部 16,17 止めねじ 22a,22b,23a,23b 調節ねじ

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】上面にリードフレームを載せた支持盤の上
    方に、押さえ体を、当該押さえ体が前記支持盤に向かっ
    て上下動するように配設して成るリードフレームの押さ
    え装置において、前記押さえ体のうち前記支持盤の上面
    の部分に、前記押さえ体と別体に構成した押圧体を配設
    して、この押圧体に、前記リードフレームにおけるリー
    ド端子に対して接当する平面部を形成し、更に、この押
    圧体の左右両側を、前記押さえ体に対して、軸線を支持
    盤の上面と略直角とする止めねじにて締結する一方、前
    記押さえ体には、前記両止めねじの左右両側の部位に、
    前記押圧体を前記止めねじの締結方向と逆方向に押圧す
    るようにした左右一対の調節ねじを螺着したことを特徴
    とする電子部品用リードフレームの押さえ装置。
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