JP2546300B2 - カラーフィルター用基板 - Google Patents
カラーフィルター用基板Info
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- JP2546300B2 JP2546300B2 JP30271487A JP30271487A JP2546300B2 JP 2546300 B2 JP2546300 B2 JP 2546300B2 JP 30271487 A JP30271487 A JP 30271487A JP 30271487 A JP30271487 A JP 30271487A JP 2546300 B2 JP2546300 B2 JP 2546300B2
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- Japan
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- alignment mark
- color filter
- substrate
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、位置合せ（アラインメント）ミスを防止で
きるカラーフィルター用基板に関する。
きるカラーフィルター用基板に関する。
（従来の技術） カラーフィルター（色分解フィルター）は、カラー写
真、カラー印刷、カラーテレビなどで、被写体あるいは
原稿から２つ以上の原色について、明暗を表す画像をつ
くるために用いるフィルターであって、一般に赤、緑及
び青の３色フィルターが用いられる。
真、カラー印刷、カラーテレビなどで、被写体あるいは
原稿から２つ以上の原色について、明暗を表す画像をつ
くるために用いるフィルターであって、一般に赤、緑及
び青の３色フィルターが用いられる。
ところでカラーフィルターには、フィルター部とそう
でないところとのコントラストを向上するため、フィル
ター部以外に遮光層が設けられている。遮光層はフィル
ター部の性質の劣化を防止するため、フィルター部形成
の前に設けられ、その後上記３色のフィルター部を形成
する。
でないところとのコントラストを向上するため、フィル
ター部以外に遮光層が設けられている。遮光層はフィル
ター部の性質の劣化を防止するため、フィルター部形成
の前に設けられ、その後上記３色のフィルター部を形成
する。
ところでフィルター部を形成するためには、フィルタ
ー部を位置合せしなければならないが、従来は遮光層に
用いる遮光性金属をカラーフィルター用基板の全面に成
膜した後、遮光性金属をパターニングして遮光層を形成
する際、基板のフィルター形成箇所以外の箇所にアライ
ンメントマーク部を同時に形成し、アラインメントマー
ク部からの反射光を用いて各色のフィルター部を位置合
せし、カラーフィルターを形成していた。
ー部を位置合せしなければならないが、従来は遮光層に
用いる遮光性金属をカラーフィルター用基板の全面に成
膜した後、遮光性金属をパターニングして遮光層を形成
する際、基板のフィルター形成箇所以外の箇所にアライ
ンメントマーク部を同時に形成し、アラインメントマー
ク部からの反射光を用いて各色のフィルター部を位置合
せし、カラーフィルターを形成していた。
（発明が解決しようとする問題点） しかし、遮光性金属は本来遮光層用のものであるた
め、反射率60％以下の金属を用いる。従ってCrO等のよ
うに20％程度反射率しかない遮光性金属を用いる場合
は、アラインメントマークの認識することができず、位
置合せに困難があった。
め、反射率60％以下の金属を用いる。従ってCrO等のよ
うに20％程度反射率しかない遮光性金属を用いる場合
は、アラインメントマークの認識することができず、位
置合せに困難があった。
（問題点を解決するための手段） 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、カ
ラーフィルター用基板において、アラインメントマーク
部の表層を反射率の高い金属膜で形成することを特徴と
する。
ラーフィルター用基板において、アラインメントマーク
部の表層を反射率の高い金属膜で形成することを特徴と
する。
（作用） 本発明によれば、カラーフィルター用基板のフィルタ
ー形成箇所以外の箇所に設けるアラインメントマーク部
の表層に反射率の高い金属膜を形成するため、遮光層の
遮光性には何ら関係なく、アラインメントマーク部から
の十分な反射光を基に位置合せミスを防ぐことができ
る。
ー形成箇所以外の箇所に設けるアラインメントマーク部
の表層に反射率の高い金属膜を形成するため、遮光層の
遮光性には何ら関係なく、アラインメントマーク部から
の十分な反射光を基に位置合せミスを防ぐことができ
る。
（実施例） 以下添附図面を参照して、本発明の実施例を説明す
る。
る。
実施例１ 第３図に示すように、ガラス基板６の全面にCrO層
８、Cr層10、及びCrO層12の順で真空蒸着し,3層からな
る薄膜14を形成する。次いでCrO層12上にパターニング
用のポジレジストAZを塗布した後、第５図及び第２図に
示す個別パターン31内の周縁部32、画素33の間34、及び
スクライブライン35、並びにアラインメントマーク部18
を除く基板周縁部39（アラインメントマーク部18の十字
形の箇所を含む）をマスクして露光する。次いで露光し
たガラス基板６を現像、エッチングする。その結果第５
図に示す個別パターン31内の周縁部32、画素33の間34、
及びスクライブライン35、並びにアラインメントマーク
部18を除く周縁部39に薄膜14が残る。アラインメントマ
ーク部18の中でも十字形の箇所20には薄膜14が残ってい
る。
８、Cr層10、及びCrO層12の順で真空蒸着し,3層からな
る薄膜14を形成する。次いでCrO層12上にパターニング
用のポジレジストAZを塗布した後、第５図及び第２図に
示す個別パターン31内の周縁部32、画素33の間34、及び
スクライブライン35、並びにアラインメントマーク部18
を除く基板周縁部39（アラインメントマーク部18の十字
形の箇所を含む）をマスクして露光する。次いで露光し
たガラス基板６を現像、エッチングする。その結果第５
図に示す個別パターン31内の周縁部32、画素33の間34、
及びスクライブライン35、並びにアラインメントマーク
部18を除く周縁部39に薄膜14が残る。アラインメントマ
ーク部18の中でも十字形の箇所20には薄膜14が残ってい
る。
次に十字形の箇所20にCrO層12だけを選択的にエッチ
ングするエッチング液を滴下する。その結果第１図に示
すように、十字形の箇所20にCr層10が露出する。CrO層
の反射率は約20％、Cr層のそれは約60％なので、アライ
ンメントマーク部に反射率の高い金属膜が形成されたこ
とになる。
ングするエッチング液を滴下する。その結果第１図に示
すように、十字形の箇所20にCr層10が露出する。CrO層
の反射率は約20％、Cr層のそれは約60％なので、アライ
ンメントマーク部に反射率の高い金属膜が形成されたこ
とになる。
こうしてアラインメントマーク部からの反射光が従来
より格段に強いものが得られため、各色のフィルター部
形成の際のアラインメントに要する時間を従来より節減
でき、かつアラインメントずれが全くなかった。
より格段に強いものが得られため、各色のフィルター部
形成の際のアラインメントに要する時間を従来より節減
でき、かつアラインメントずれが全くなかった。
実施例２ 第４図に示すように、実施例１と同じ透明なガラス基
板６の全面に、CrO層８及びCr層10の順で薄膜を積層す
る。次いでアラインメントマーク部18を遮光する治具22
でマスクした後、アラインメントマーク部以外の箇所24
にCrO層12を蒸着する。最後に治具22を取り外して実施
例１と同じようにアラインメントマーク部18に十字形の
反射率の高いCr膜を露出させた。
板６の全面に、CrO層８及びCr層10の順で薄膜を積層す
る。次いでアラインメントマーク部18を遮光する治具22
でマスクした後、アラインメントマーク部以外の箇所24
にCrO層12を蒸着する。最後に治具22を取り外して実施
例１と同じようにアラインメントマーク部18に十字形の
反射率の高いCr膜を露出させた。
このカラーフィルター用基板を位置合せしたところ、
実施例１と同様にアラインメント効率の向上及びアライ
ンメントずれの防止について成果があった。
実施例１と同様にアラインメント効率の向上及びアライ
ンメントずれの防止について成果があった。
なお上記実施例においては、反射率の高い金属膜及び
その金属酸化物膜としてそれぞれCr及びCrOを用いた
が、これらに限られるものではなく、Al、Ag、Au又はTi
及びこれらの酸化物であってもよい。
その金属酸化物膜としてそれぞれCr及びCrOを用いた
が、これらに限られるものではなく、Al、Ag、Au又はTi
及びこれらの酸化物であってもよい。
（発明の効果） 本発明によればアラインメントずれのないカラーフィ
ルター用基板が得られ、またアラインメント効率を高め
ることができる。
ルター用基板が得られ、またアラインメント効率を高め
ることができる。
第１図は本発明の一実施例に係るカラーフィルター用基
板のアラインメントマーク部の平面拡大図、第２図は同
カラーフィルター用基板の平面図、第３図は同カラーフ
ィルター用基板のアラインメントマーク部の断面図、第
４図は本発明の他の実施例に係るカラーフィルター用基
板のアラインメントマーク部の断面図、及び第５図はフ
ィルター部の拡大平面図である。 ６……ガラス基板、８……CrO層、10……Cr層、12……C
rO層、18……アラインメントマーク部、20……十字形の
箇所。
板のアラインメントマーク部の平面拡大図、第２図は同
カラーフィルター用基板の平面図、第３図は同カラーフ
ィルター用基板のアラインメントマーク部の断面図、第
４図は本発明の他の実施例に係るカラーフィルター用基
板のアラインメントマーク部の断面図、及び第５図はフ
ィルター部の拡大平面図である。 ６……ガラス基板、８……CrO層、10……Cr層、12……C
rO層、18……アラインメントマーク部、20……十字形の
箇所。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 慎次 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版 印刷株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−14102（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−34409（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−295504（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−85601（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】CrO層及びCr層の順に積層された２層膜か
らなるアラインメントマーク部と、CrO層、Cr層、及びC
rO層の順に積層された３層膜からなる遮光層とを含むカ
ラーフィルター用基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30271487A JP2546300B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラーフィルター用基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30271487A JP2546300B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラーフィルター用基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142701A JPH01142701A (ja) | 1989-06-05 |
| JP2546300B2 true JP2546300B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=17912294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30271487A Expired - Fee Related JP2546300B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラーフィルター用基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2546300B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2519523Y2 (ja) * | 1989-09-22 | 1996-12-04 | カシオ計算機株式会社 | 液晶表示装置 |
| JPH0380414U (ja) * | 1989-12-01 | 1991-08-19 | ||
| US7615404B2 (en) * | 2006-10-31 | 2009-11-10 | Intel Corporation | High-contrast laser mark on substrate surfaces |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834409A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-02-28 | Fuji Photo Optical Co Ltd | カラ−モザイクフイルタ− |
| JPS61295504A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS6214102A (ja) * | 1985-07-11 | 1987-01-22 | Seikosha Co Ltd | カラーフイルタ製造用フオトマスク |
| JPS6385601A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Minolta Camera Co Ltd | カラ−フイルタ−を有する受光素子の製造方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP30271487A patent/JP2546300B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01142701A (ja) | 1989-06-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |