JPS5834409A - カラ−モザイクフイルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は固体撮像素子に用いるカラーモザイクフィルタ
ーに関するものである。

最近半導体技術の急速な発展に伴ない、光画像を検出す
る素子として従来広く使用されてきた、ビシコン等の撮
像管に代シ、ＣＯＤの名称で代表される固体撮像素子が
実用化されて来ている。ＣＯＤの名称で代表される固体
撮像素子でカラー画像を撮像する場合には、基本的には
撮像管の場合と同じ＜Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（ｆ）の
三原色に対応させた色画像に応じて３板の固体撮像素子
を用いることになるが、近年撮像管において、ストライ
プフィルターを用いて撮像管の撮像面の多重化をおこな
い単一撮像管でカラー画像を撮像しようという試みがな
されているのと全く同様に、固体撮像素子においても、
ストライプフィルターに相当する色フィルターを固体撮
像ぷ子面上に設けることにより単一固体撮像素子でカラ
ー画像を撮像しようという試みがなされている。

ＣＯＤの名称で代表される固体撮像素子は、一般にはシ
リコン基板上に、絵素に相当する微小な光電変換部を多
数規則正しく配列して製作されているが、この固体撮像
素子上に撮保管におけるストライプフィルタート同様な
色フィルターを形成しようとする場合には、各絵素に相
当する位置に正しく対応させて、複数色の色フィルター
をモザイク状に配列する必要がある。この様に固体撮像
素子上に各絵素位置に対応してモザイク状の各色フィル
タ一部を設けるにあたっては、固体撮像素子の製作工程
中で各軟木上に色フィルターを形成する方法と、ガラス
等の透明基板上に、固体撮像素子の各絵素に対応するよ
うな大きさ、ピッチ、配列をもった微小色フィルターを
形成した所謂カラーモザイクフィルターを作製し、この
カラーモザイクフィルターを固体撮像素子に整合させた
上で接合させる方法とがある。

本発明はこの後者の方法を行なうのに適したカラーモザ
イクフィルターを提供することを目的とするもので、カ
ラーモディクフイル１’−１７）一部に比較的高反射物
質よりなるレジストレーションマークを付設しておくこ
とな％敵とする。従って固体ｉ像素子側に設けられたレ
ジストレーションマークに対してフィルター側のレジス
トレーションマークを合致させることによって固体撮像
索子の各絵素と、カラーモザイクフィルターの各色フィ
ルタ一部との整合を図ることになる。

なおこの場合において固体撮像素子側に設けられるレジ
ストレーションマークとしては後述の実施例に説明する
ように、高反射領域中に低反射部マークとするのが好適
であるが、要件としては光照射による反射光の観察によ
ってそのマークが確認できればよい。以下、本発明につ
き図面を参照しつつ詳述する。

第１図は本発明の一実施例を概念的に示す斜視図であり
、図中１は固体撮像素子のチップを示し、２は固体撮像
素子表面に形成された光電変換を行なう画素群のうち、
画像形成領域部を示している。また３はカラーモザイク
フィルターを示し、４はこのカラーモザイクフィルタ一
部を示している。この固体撮像（３） 素子のチツｆ１とカラーモザイクフィルター３を接合す
る場合固体撮像素子の各画素とカラーモザイクフィルタ
ーの各フィルターを正確に位置を合せて接合するのには
、固体撮像素子チップ上と、カラーモザイクフィルター
上に設けられたレジストレーションマーク５．６を合致
させて接合するのが、接合による位置精度を上げる上で
有利であるが、固体撮像素子１はシリコン等の光に対し
て不透過の基板上に形成されるので固体撮像素子１とカ
ラーモザイクフィルター３を接合する場合、各々に設置
　ラレタレジス）・レーションマーク５．６は顕微鏡等
を用いて反射光で見る必要があルタメ、このレジストレ
ーションマーク５．６は反射光で容易に確款出来る高反
射物質、例えば金属アルミ、金属クローム、ダイクロイ
ック膜等で形成しておくとレジストレージまた一般的に
固体撮像素子１の光電変換を（４） 行なう画素群２０周辺部は金属アルミ等による光のシー
ルドをほどこした領域となっているので、この部分を利
用し第２図に示す様に高反射率の金属アルミのシールド
部７の中にアルミの素抜は部分即ち低反射部分８を形成
し、固体撮像素子側のレジストレーションマークとして
は高反射物質のマークに相当した効果を持たせた形状に
し、カラーモザイクフィルターのレジストレーションマ
ークはフィルタ一部４０周辺部の透明部分（フィルター
はガラス基板上に形成するので、フィルターの周辺部は
透明である）即ち第３図で示す透明部分９に金属クロー
ムまたはダイクロイック膜等で高反射のレジストレーシ
ョンマーク１０を形成すると、固体撮像素子１とツ７ラ
ーモザイクフィルター３を接合する場合、カラーモザイ
クフィルターの透明部を通して固体ｍｆ＆　素子１側の
レジストレーションマークが探し易く、レジストレーシ
ョンマークを合致させた場合には、第４図に示す如く、
明るい部分子の中にある暗い部分（反射の少ない部分）
８の中に明るいレジストレーションマーク１０が表れる
ことによって正確なレジストレーションが容易におこな
える。特にカラーモザイクフィルター側のレジストレー
ションマーク６は、モザイクフィルターの一部ｔたは全
部をダイクロイック膜で形成する場合は、フィルターと
同じダイクロイック膜で形成することによシカラーモザ
イクフィルターの製作工程をレジストレーションマーク
のためにふやさなくてすむことが出来るので有利である
。

なお、固体撮像素子側のレジストレーションマークは、
これらの実施例のように高反射領域に素抜は部分として
形成することの他、周囲の反射とは異なると共にカラー
モザイクフィルター側のレジストレーションマークの反
射とも異なる反射特性を４つ部分として形成してもよい
。

以上に述べてきたように本発明は力２−モデイクフィル
ターの一部に比較的高反射物質からなるレジストレーシ
ョンマークを設け、固体撮像素子上にも形成された反射
光観察により確認可能なレゾストレージョンマークと共
にこれらからの反射光によって正確に位置合せできるよ
うにしたので、その作業を高能率化、高精度化できる。

まだこの目的に用いラレルレジストレーションマークは
固体撮像素子はもとよりカラーモザイクフィルターの製
造過程においても簡単に挿入できる付加工程でｓｂコス
ト的不利もほとんど伴なうことなく、本発明による効果
は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例を適用したカラーモザイクフィル
ターを固体撮像素子に適合させる工程の概念図である。 第２図は固体撮像素子上に設けられるレジストレーショ
ンマークの一例を示す平面図である。 第３図はカラーモザイクフィルターに設け（７） ラレルレジストレーションマークの一例ヲ示す平面図で
ある。 第４図はＭ２図及び第３図のレジストレーションマーク
を合致させた状態を示す平面図である。 １・・・固体撮像素子　２・・・画素群３・・・カラー
モザイクフィルター　４・・・フィルターｍｓ、ｓ・・
・レジストレージ日ンマーク７・・・高反射部　８・・
・低反射部　９・・・透明部１０・・・高反射部 出願人　　富士写真光機株式会社 （８）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 工、　カラーモザイクフィルターを構成する基板の透明
   部に反射率の高いレジストレーションマークを持つこと
   を特徴としたカラーモザイクフィルター。 ２、前記反射率の高いレゾストレーンヨ／マークを金属
   クロムで形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載のカラーモザイクフィルター。 ３、　　ｆｍ記反射率の高いレジストレーションマーク
   をダイクロイック膜で形成したことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項に記載のカラーモザイクフィルター。