JPS58162181A - 固体撮像素子及びその位置合せ方法 - Google Patents
固体撮像素子及びその位置合せ方法Info
- Publication number
- JPS58162181A JPS58162181A JP57044551A JP4455182A JPS58162181A JP S58162181 A JPS58162181 A JP S58162181A JP 57044551 A JP57044551 A JP 57044551A JP 4455182 A JP4455182 A JP 4455182A JP S58162181 A JPS58162181 A JP S58162181A
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- Japan
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- solid
- state image
- image sensor
- state imaging
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- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
- H04N23/13—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths with multiple sensors
- H04N23/15—Image signal generation with circuitry for avoiding or correcting image misregistration
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発明は、特殊なマーカーをつけたことを特徴とする。
カラーテレビジョンカメラ用固体撮像素子に関するもの
である。
である。
近年、ＭＯＳ、ＣＯＤ等の固体撮像素子が実用化される
にしたがって、固体撮像素子を２枚又は３枚用いたカラ
ーカメラも実用化されて来ている。
にしたがって、固体撮像素子を２枚又は３枚用いたカラ
ーカメラも実用化されて来ている。
現在の製造技術では、固体撮像素子を形成する受光素子
（画素）の数は、あ１つ多く形成できず。
（画素）の数は、あ１つ多く形成できず。
集積度の高いものでも５００Ｘ４００＝２００，０００
画素程度である。この様に離散的な有限個の画素によっ
て、光学像を空間サンプリングする場合には。
画素程度である。この様に離散的な有限個の画素によっ
て、光学像を空間サンプリングする場合には。
輝度信号帯域は画素数によって制限されてし甘う。
限られた画素数の固体撮像素子を２枚又は３枚用いて、
カラー画像を形成する場合、輝度信号帯域を伸長する手
段として、空間画素補間方法と呼ばれる撮像方式が知ら
れているが、この場合、各固体撮像素子間の精密なレジ
ストレーション（位置合せ）が必要となる。
カラー画像を形成する場合、輝度信号帯域を伸長する手
段として、空間画素補間方法と呼ばれる撮像方式が知ら
れているが、この場合、各固体撮像素子間の精密なレジ
ストレーション（位置合せ）が必要となる。
本発明は、固体撮像索子の有効な画素領域外に。
１１
固体撮像素子を形成する画素のピッチのΣ又は百に相当
する変位量が検出可能な位置合せ用マーカーを設けるこ
とによって、特に空間画素補間撮像方法に適した精密な
レジストレーションがとれるようにした固体撮像素子を
提供するものである。
する変位量が検出可能な位置合せ用マーカーを設けるこ
とによって、特に空間画素補間撮像方法に適した精密な
レジストレーションがとれるようにした固体撮像素子を
提供するものである。
以下図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図はカラーテレビジョンカメラでよく用いられてい
る三色分解プリズムに固体撮像素子をとりつける場合の
配置を示す概念図で２図中１は撮像レンズ、２は色分解
プリズム、３は青チヤンネル用（以下Ｂ用という）固体
撮像素子、４は赤チヤンネル用（以下Ｒ用という）固体
撮像素子、５は緑チヤンネル用（以下Ｇ用という）固体
撮像素子をを示している。この各固体撮像素子３〜５を
空間画素補間（画素ずらし）と呼ばれる撮像方式にあわ
せて配置する場合には、第２図（ａｌに示す様に３枚の
固体撮像素子を水平方向に′”画素のピッチ１ 、。
る三色分解プリズムに固体撮像素子をとりつける場合の
配置を示す概念図で２図中１は撮像レンズ、２は色分解
プリズム、３は青チヤンネル用（以下Ｂ用という）固体
撮像素子、４は赤チヤンネル用（以下Ｒ用という）固体
撮像素子、５は緑チヤンネル用（以下Ｇ用という）固体
撮像素子をを示している。この各固体撮像素子３〜５を
空間画素補間（画素ずらし）と呼ばれる撮像方式にあわ
せて配置する場合には、第２図（ａｌに示す様に３枚の
固体撮像素子を水平方向に′”画素のピッチ１ 、。
のｉ −Ｘだけずらせて配置するか、または第２図（ｂ
ｌに示す様に３枚の固体撮像素子を水平方向に゛°画画
素ピッチの４−＝、 ｙだげすらせて配置しなければな
らない。
ｌに示す様に３枚の固体撮像素子を水平方向に゛°画画
素ピッチの４−＝、 ｙだげすらせて配置しなければな
らない。
この様に３枚の固体撮像素子の相対位置を画素１
のピッチのｉまたは百ずらせて配置する方法の一つとし
て、谷固体撮像素子を駆動してその出力。
て、谷固体撮像素子を駆動してその出力。
電気信号の位相差を測りながら固体撮像素子の位置を決
める方法もあるが、あ１つ量産的ではなく。
める方法もあるが、あ１つ量産的ではなく。
第３図に示す如く、３枚の固体撮像索子の位置を光学的
に検出し調整する方法が望ましい。
に検出し調整する方法が望ましい。
第３図は上記目的に適した固体撮像素子の位置を光学的
に検出し調整する方法に適した装置の概略を示すもので
２図中１１は結１象レンズ、１２は色分解プリズム、
１３ 、１４ 、１５は夫々Ｂ、 Ｒ，Ｇ用固体撮像
素子、 １６ 、１７は顕微鏡、１８は肉眼を示してお
り、結像レンズ１１によって、各固体撮像素子１３゜１
４．１５上に設けられた位置合わせ用マーカー１９′。
に検出し調整する方法に適した装置の概略を示すもので
２図中１１は結１象レンズ、１２は色分解プリズム、
１３ 、１４ 、１５は夫々Ｂ、 Ｒ，Ｇ用固体撮像
素子、 １６ 、１７は顕微鏡、１８は肉眼を示してお
り、結像レンズ１１によって、各固体撮像素子１３゜１
４．１５上に設けられた位置合わせ用マーカー１９′。
２０１１９″２０７１９′ｆ２０′？は結像レンズ１１
による結像面１０上の１９．２０の位置に各々結像し得
る様になっている。顕微鏡１６．１７は、結像レンズ１
１によるマーカーの像１９． ２０を拡大して正確にレ
ジストレー−ジョン（各素子の位置合わせ）を行なえる
様にしたものである。
による結像面１０上の１９．２０の位置に各々結像し得
る様になっている。顕微鏡１６．１７は、結像レンズ１
１によるマーカーの像１９． ２０を拡大して正確にレ
ジストレー−ジョン（各素子の位置合わせ）を行なえる
様にしたものである。
この様な光学装置を用いて、各固体撮像素子間の位置合
わせな行なう場合、前述の如く３枚の固体撮像索子１３
，１４．１５の相対位置を画素のピッチ］ わせ用マーカーとしては２画素のピッチのｉまたは↓に
相当する変位量を検出可能なものが必要となる。
わせな行なう場合、前述の如く３枚の固体撮像索子１３
，１４．１５の相対位置を画素のピッチ］ わせ用マーカーとしては２画素のピッチのｉまたは↓に
相当する変位量を検出可能なものが必要となる。
第４図はこの様な目的に適したマーカーの一例を示すも
のである。第４図（ａｌは固体撮像素子のチップ上に設
けたマーカーを示す一例で９図中３αよ固体撮像索子１
３〜１５のチップを示し、３１は受光素子の配列されて
いる有効な画素領域を示しており。
のである。第４図（ａｌは固体撮像素子のチップ上に設
けたマーカーを示す一例で９図中３αよ固体撮像索子１
３〜１５のチップを示し、３１は受光素子の配列されて
いる有効な画素領域を示しており。
３２は有効画素領域外の所定位置に設けたマーカーを示
している。このマーカー３２の一例を第４図（ｂ）。
している。このマーカー３２の一例を第４図（ｂ）。
第４図（ｃｌに示す。例えば第４図（ｂｌに示す如くマ
ーカー３２を三本の線→→、 Ｂ、 ０で形成し、中心
の線Ａを両端の線Ｂ、 Ｏに比べて長くしておき、各線
の中心部間隔を、固体撮像素子の画素のピッチΔの土と
しておくことにより、容易に１ピッチ空間画２ 素ずらしに適した谷固体撮像子の位置合せが可能となる
。第５図（ａｌは第４図（ｂｌの位置合せマーカー３２
を使用し、第２同幅）に示す相対位置に固体撮像素子１
３〜１５を調整配置した場合に、第３図の結像面１０上
に結像するマーカー像１９．２０を示したもので、Ｇ用
固体撮像素子１５のマーカー線’ＡＧ、ＢＧ、ＣＧを基
準とし、Ｂ用、Ｒ用固体撮像素子１３．１４のマーカー
線ＡＢ、 ＡＲ，ＢＢ、 ＢＲ，ＯＢ、 ＯＲが図の如
く重なるよ５に調整することにより、各固体撮像素子１
３〜１５の委ピッチ空間画素ずらしに適した正確な位置
合せができる。また４図（ｃ）に示す様なパターンＡ、
Ｂ、０のマーカー３２を一組として、パターンＢは上部
横線を歌ず、パターンＣは下部横線を持たない様なパタ
ーンとし、各パターンＡ、 Ｂ、 ０の中心部間隔を固
体撮像素子の画素のピッチΔの土としておくごとにより
、第５図（ｂｌに示す如く。
ーカー３２を三本の線→→、 Ｂ、 ０で形成し、中心
の線Ａを両端の線Ｂ、 Ｏに比べて長くしておき、各線
の中心部間隔を、固体撮像素子の画素のピッチΔの土と
しておくことにより、容易に１ピッチ空間画２ 素ずらしに適した谷固体撮像子の位置合せが可能となる
。第５図（ａｌは第４図（ｂｌの位置合せマーカー３２
を使用し、第２同幅）に示す相対位置に固体撮像素子１
３〜１５を調整配置した場合に、第３図の結像面１０上
に結像するマーカー像１９．２０を示したもので、Ｇ用
固体撮像素子１５のマーカー線’ＡＧ、ＢＧ、ＣＧを基
準とし、Ｂ用、Ｒ用固体撮像素子１３．１４のマーカー
線ＡＢ、 ＡＲ，ＢＢ、 ＢＲ，ＯＢ、 ＯＲが図の如
く重なるよ５に調整することにより、各固体撮像素子１
３〜１５の委ピッチ空間画素ずらしに適した正確な位置
合せができる。また４図（ｃ）に示す様なパターンＡ、
Ｂ、０のマーカー３２を一組として、パターンＢは上部
横線を歌ず、パターンＣは下部横線を持たない様なパタ
ーンとし、各パターンＡ、 Ｂ、 ０の中心部間隔を固
体撮像素子の画素のピッチΔの土としておくごとにより
、第５図（ｂｌに示す如く。
Ｇ用固体撮像素子１５のマーカーパターンＡＧヲ基準に
、Ｒ用固体撮像素子１４のマーカーパターンＯＲを重ね
ることにより、このＲ用固体撮像素子１４は１ 百画素ピッチだけ位相を早める位置に設置出来ることに
なり、またマーカーパターンＡＧを基準にＢ用固体撮像
素子１３のマーカーパターンＢＢを重ねることにより、
このＢ用固体撮像素子１３は百画素ピッチだけ位相を遅
らせる位置に設置出来ることに１ 。
、Ｒ用固体撮像素子１４のマーカーパターンＯＲを重ね
ることにより、このＲ用固体撮像素子１４は１ 百画素ピッチだけ位相を早める位置に設置出来ることに
なり、またマーカーパターンＡＧを基準にＢ用固体撮像
素子１３のマーカーパターンＢＢを重ねることにより、
このＢ用固体撮像素子１３は百画素ピッチだけ位相を遅
らせる位置に設置出来ることに１ 。
なり、第２図（ｂ）に示す百ヒツチ空間画素ずらしに適
した正確な位置合せができる。
した正確な位置合せができる。
この様に固体撮像素子を形成する画素のピッチ】
］ の百または百に相当する変位量が検出可能な位置合わせ
用マーカーを固体撮像素子の有効な画素領域外に設ける
ことにより、光学的調整手段で、空間画素ずらしに適し
た固体撮像素子の位置調整が可能となりこの実用的価値
は非常に高いものとなる。上記説明は水平方向に空間画
素補間する撮像方式を例として説明して米だが、垂直方
向又は水平・垂直方向（斜め方向）に空間画素補間する
ことも有り得る。この場合は１例えば前述の様なマーカ
ーの水平配列を垂直方向又は水平・垂直方向（斜め方向
）に配列した様なマーカーとすればよいことは云う１で
もない。
］ の百または百に相当する変位量が検出可能な位置合わせ
用マーカーを固体撮像素子の有効な画素領域外に設ける
ことにより、光学的調整手段で、空間画素ずらしに適し
た固体撮像素子の位置調整が可能となりこの実用的価値
は非常に高いものとなる。上記説明は水平方向に空間画
素補間する撮像方式を例として説明して米だが、垂直方
向又は水平・垂直方向（斜め方向）に空間画素補間する
ことも有り得る。この場合は１例えば前述の様なマーカ
ーの水平配列を垂直方向又は水平・垂直方向（斜め方向
）に配列した様なマーカーとすればよいことは云う１で
もない。
なお２本実施例では空間画素補間撮像方式における固体
撮像素子の位置合せについて説明したが。
撮像素子の位置合せについて説明したが。
本発明は通常の撮１象方式における固体撮像素子の位置
合せにも適用できる。
合せにも適用できる。
以上説明した如く、不発明によれば特に空間画素補間撮
［象方式に適した精密な固体撮像素子の位置合せが容易
にできる。
［象方式に適した精密な固体撮像素子の位置合せが容易
にできる。
第１図は三板式固体撮像装置の光学系部分を主に示す構
成図、第２図（ａＬ （ｂｌは空間画素補間撮像方式に
おける固体撮像素子の光学的位置関係を示す模式図、第
３図は本発明の固体撮像素子の位置合せに使用する固体
撮像素子位置検出装置の構成図、第４図（ａｔは本発明
の固体撮像素子を示す構成図、第４図（ｂｌ、 （ｃｌ
は本発明の位置合せ用マーカーの一例を示す構成図、第
５図（ａｌ、 （ｂｌはこの位置合せ用マーカーを用い
て位置合せを行った場合の位置合せ用マーカーの重なり
配列を示す構成図である。 １１：結像レンズ、１２：色分解プリズム、 １３ 、
１４ 。 １５：それぞれＢ、 Ｒ，Ｇ用固体撮像素子、 １６
、１７は顕微鏡、１９，２０：マーカー像、１９′、
１９″、１９″′、２０′。 ２０７２０“７３２：位置合せ用マーカー。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸 ７、第１図 第２図 （Ｑ） （ｂ）第 第 ３図 合図 第 （Ｑ） ［３，Ａ尺 ５図 （ｂ） Ｖ回回回ｈ ＢＨＢＱ Ａｃｔ ＣＱ Ｃ８ ＡＦ？ＣＲＡ８ Ｂ
成図、第２図（ａＬ （ｂｌは空間画素補間撮像方式に
おける固体撮像素子の光学的位置関係を示す模式図、第
３図は本発明の固体撮像素子の位置合せに使用する固体
撮像素子位置検出装置の構成図、第４図（ａｔは本発明
の固体撮像素子を示す構成図、第４図（ｂｌ、 （ｃｌ
は本発明の位置合せ用マーカーの一例を示す構成図、第
５図（ａｌ、 （ｂｌはこの位置合せ用マーカーを用い
て位置合せを行った場合の位置合せ用マーカーの重なり
配列を示す構成図である。 １１：結像レンズ、１２：色分解プリズム、 １３ 、
１４ 。 １５：それぞれＢ、 Ｒ，Ｇ用固体撮像素子、 １６
、１７は顕微鏡、１９，２０：マーカー像、１９′、
１９″、１９″′、２０′。 ２０７２０“７３２：位置合せ用マーカー。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸 ７、第１図 第２図 （Ｑ） （ｂ）第 第 ３図 合図 第 （Ｑ） ［３，Ａ尺 ５図 （ｂ） Ｖ回回回ｈ ＢＨＢＱ Ａｃｔ ＣＱ Ｃ８ ＡＦ？ＣＲＡ８ Ｂ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）固体撮像索子の有効な画素領域外の所定位置に、該
固体撮像素子を形成する画素のピッチの−又は」に相当
するビッヂで配列された位置合３ せ用マーカーを有することを特徴とした固体撮像素子。 ２）各々の固体撮像素子の有効な画素領域外の所定位置
に、該固体撮像索子を形成する画素のピ１ ッチのｐ又は百に相当するピッチで配列された位置合せ
用マーカーを有する多板式固体撮像装置において１色分
解光学系の後端に取付けられている上記各固体撮像素子
の位置合せ用マーカーを、結像光学系を介して拡大検出
し、上記各固体撮像素子の位置合せ用マーカーが所定配
列で重なり検出されるよう、上記各固体撮像素子の位置
合せをすることを特徴とする固体撮像素子の位置合せ方
法、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57044551A JPS58162181A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 固体撮像素子及びその位置合せ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57044551A JPS58162181A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 固体撮像素子及びその位置合せ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162181A true JPS58162181A (ja) | 1983-09-26 |
Family
ID=12694630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57044551A Pending JPS58162181A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 固体撮像素子及びその位置合せ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162181A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986007660A1 (en) * | 1985-06-17 | 1986-12-31 | Sony Corporation | Apparatus and method of adjusting registration of solid-state image pickup elements |
| JPS6333070A (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-12 | Konica Corp | Ｔｔｌフアインダ光学系 |
| JPH0591519A (ja) * | 1991-02-26 | 1993-04-09 | Samsung Electron Co Ltd | 補間画素間挿方法及びその装置 |
| EP0614313A1 (en) * | 1993-03-01 | 1994-09-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Alignment of image sensors |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP57044551A patent/JPS58162181A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986007660A1 (en) * | 1985-06-17 | 1986-12-31 | Sony Corporation | Apparatus and method of adjusting registration of solid-state image pickup elements |
| US4761685A (en) * | 1985-06-17 | 1988-08-02 | Sony Corporation | Apparatus and method for solid-state image sensor element registration adjustment |
| JPS6333070A (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-12 | Konica Corp | Ｔｔｌフアインダ光学系 |
| JPH0591519A (ja) * | 1991-02-26 | 1993-04-09 | Samsung Electron Co Ltd | 補間画素間挿方法及びその装置 |
| EP0614313A1 (en) * | 1993-03-01 | 1994-09-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Alignment of image sensors |
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