JP2545705Y2 - クリーンルーム用除電器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体製造工場のクリ
ーンルーム等において用いられる静電気除去用のクリー
ンルーム用除電器に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、クリーンルームにおいては、図
３に示すように、例えば、ダウンフロー型のクリーンル
ームで説明すると、天井にフィルターユニット１を所定
間隔に列設し、フィルターユニットの後部に設けられた
ファン（図示せず）で、天井側のダクトの空気をフィル
ターユニットのフィルタ２に送給し、室内３に清浄空気
を吹出すようにしている。そして、室内に放出された空
気は、格子状の床４（グレーティング）を経てリターン
エア５となり、再び、ファンによりフィルタ２に送給さ
れて循環させられる。

【０００３】このような、クリーンルームにおいては、
一般に、除電器が設けられている。このクリーンルーム
用除電器は、空気中を浮遊する微小なダストが静電気の
帯電している物に付着しやすいという点に着目し、室内
空気をイオン化して帯電物の静電気を除去することによ
りダストの付着率を低下させるものである。

【０００４】従来、クリーンルーム用除電器は、例え
ば、図４に示すように、棒状の一対の放電電極５を断面
かまぼこ型に形成したプラスチック製の除電器本体６に
突出させて保持したもので、この一対の放電電極５に正
負の電圧をそれぞれ印加し、正負イオンを連続的に発生
させるようにしている。

【０００５】上述したフィルタユニット１は、例えば、
図４に示すように、枠体７にフィルタ２を嵌挿させてお
り、天井に支持棒８を介して吊下された支持板９上に上
記枠体７を支承することにより、天井に取付けられてい
る。また、クリーンルーム用除電器は、支持棒８を介し
て天井に吊下された支持板９の室内側面に、該除電器本
体６の底部を固定させて取付けられている。なお、符号
９ａはフィルタに対向して設けられ空気が通過可能なパ
ンチング板である。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】ところで、この従来の
クリーンルーム用除電器の取付けにあっては、天井に支
持棒８を介して吊下されフィルタユニット１を支承した
支持板９の室内側面に除電器本体６の底部を取付けてい
るので、除電器本体６がフィルタユニット１の空気吹出
し面１ａから室内側に突出して段差ができてしまい、そ
のため、吹出した清浄空気流が除電器本体６に当たって
乱れ、局部的に乱流が生じ、この乱流により室内の清浄
作用が低下するという問題があった。

【０００７】また、放電電極５から多数の空気イオン
（正イオン及び負イオン）が発生されるが、乱流のため
に、イオンの再結合が生じ、除電能力が低下するという
問題があった。また、突出した除電器本体６に空気中の
微細な浮遊塵や放電電極の放電による微細な分解塵等が
付着し易くなり、一度付着が始まるとこれが連鎖的に生
長してかたまりになってしまい、ついには落下してしま
うことがあり、この落下塵が悪影響を及ぼすことがある
という問題があった。

【０００８】そこで、本考案の課題は、除電器本体がフ
ィルタユニットの空気吹出し面から突出しないようにし
て、清浄作用の低下を防止し、除電器の除電能力の低下
を防止するとともに、微細塵の付着を抑止する点にあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため本考案は、クリーンルームの天井に設けられ空気
が通過する平面状の空気吹出し面を有したフィルタユニ
ットに隣接して設けられるとともに、放電電極が突設さ
れて室内側に露出する室内側面を有した除電器本体を備
えたクリーンルーム用除電器において、 上記除電器本体
の室内側面を平面状に形成し、上記フィルタユニットの
空気吹出し面から吹き出された空気流が乱流にならない
ように、上記平面状の室内側面を上記フィルタユニット
の平面状の空気吹出し面に対して同一の面に位置させて
当該除電器本体を上記フィルタユニットとともに支持す
る支持部を備えた構成としている。 また、上記除電器本
体の室内側面を平面状に形成し、上記フィルタユニット
の空気吹出し面から吹き出された空気流が乱流にならな
いように、上記平面状の室内側面を上記フィルタユニッ
トの平面状の空気吹出し面に対しておよそ同一の面に位
置させて当該除電器本体を上記フィルタユニットととも
に支持する支持部を備えた構成としている。 そして、必
要に応じ、上記支持部を、上記除電基本体をその室内側
面を露出させて保持する保持部材で構成し、該保持部材
に、上記フィルタユニットを支承する支承部を設けると
ともに、天井に吊下するための支持棒の先端部に設けら
れた連結体が係合する係合部を設けた構成としている。

【００１０】

【作用】このように構成されたクリーンルーム用除電器
によれば、このクリーンルーム用除電器及びフィルタユ
ニットの使用時には、フィルタユニットから清浄空気が
室内に吹き出されるとともに、除電器の放電電極の先端
部でコロナ放電が行なわれ空気がイオン化されていく。
この場合、フィルタから室内に吹き出される空気流は除
電器側へも拡散していくが、除電器本体の室内側面とフ
ィルタユニットの空気吹出し面とが、フィルタユニット
の空気吹出し面から吹き出された空気流が乱流にならな
いように、同一の面もしくはおよそ同一の面に位置させ
られているので、空気流が除電器本体に衝突して乱流に
なる事態がなくなる。また、放電電極近傍で乱流が生じ
ないことから、放電電極から発生する多数の空気イオン
が再結合しにくくなる。更に、除電器本体が突出しない
ので、塵の付着が防止される。

【００１１】

【実施例】以下、本考案の実施例に係るクリーンルーム
用除電器を図面を参照して説明する。クリーンルーム用
除電器は、クリーンルームの天井に設けられ空気が通過
する平面状の空気吹出し面を有したフィルタユニットに
隣接して設けられる。

【００１２】図１は第一の実施例に係るクリーンルーム
用除電器を、フィルタユニットの取付け状態とともに示
す断面図である。上記と同様、フィルタユニット１は、
枠体７に嵌挿されたフィルタ２と、フィルタ２の後部に
設けられたファン（図示せず）を覆うカバー７ａとを備
えて構成されている。

【００１３】第一の実施例に係るクリーンルーム用除電
器１０は、除電器本体１１と、正負の電圧がそれぞれ印
加される一対あるいは複数対の放電電極１２（イオンエ
ミッタ）とを備えている。除電器本体１１は、断面略矩
形のプラスチック製の直状部材であり、その室内側面１
１ａは平面状に形成されている。また、放電電極１２
は、その先端部が除電器本体１１の室内側面１１ａから
突出するように除電器本体１１に差し込み保持されてい
るとともに、長手方向に沿って列設されている（図では
一個表わしてある）。

【００１４】１３は支持部であって、除電器本体１１の
室内側面１１ａと上記フィルタユニット１のフィルタ２
の空気吹出し面１ａとが同一の面になるように該フィル
タユニット１を支持するものである。即ち、支持部１３
は、フィルタユニット１の空気吹出し面１ａから吹き出
された空気流が乱流にならないように、平面状の室内側
面１１ａをフィルタユニット１の平面状の空気吹出し面
１ａに対して同一の面に位置させて当該除電器本体１１
を上記フィルタユニット１とともに支持する。 詳しく
は、支持部１３は、両側から除電器本体１１を挾持する
一対の保持部材１４で構成され、両保持部材１４の側面
がフィルタユニット１の枠体７が接する接面１５として
形成されているとともに、両保持部材１４の上面がフィ
ルタユニット１を固定具１７を介して支承する平面状の
支承部１６として形成されている。固定具１７は枠体７
上部に沿って設けられる断面Ｌ字形の部材であり、枠体
７から外側に突出し上記支持部１３の支承部１６に支承
される被支承部１７ａを備えている。この固定具１７
は、フィルタユニット１のカバー７ａ外側にボルト１９
固定された取付け金具１８にボルト２０，ナット２１に
よって固定されている。

【００１５】また、一対の保持部材１４の上部内側に
は、長手方向に沿って互いに対向し、天井に支持棒２２
を介して吊下された板状の連結体２３が嵌合して係合す
る溝状の係合部２４が設けられている。そして、保持部
材１４は支持板２３及び支持棒２２を介して天井に吊下
される。

【００１６】従って、この第一の実施例に係るクリーン
ルーム用除電器１０及びフィルタユニット１を天井に取
付けるときは、クリーンルーム用除電器１０の保持部材
１４の係合部２４に連結体２３を嵌合させて、支持棒２
２を天井に取付け、クリーンルーム用除電器１０を吊下
するとともに、クリーンルーム用除電器１０の支持部１
３の支承部１６にフィルタユニット１に取付けた固定具
１７を支承し、フィルタユニット１をクリーンルーム用
除電器１０に隣接させて設置する。この状態では、除電
器本体１１の室内側面１１ａとフィルタユニット１のフ
ィルタ２の空気吹出し面１ａとが同一の面になる。

【００１７】また、このクリーンルーム用除電器１０及
びフィルタユニット１の使用時には、フィルタユニット
１のファンの駆動によってフィルタ２から清浄空気が室
内に吹き出されるとともに、除電器の放電電極１２の先
端部でコロナ放電が行なわれ、この先端部付近の空気が
イオン化されていく。

【００１８】この場合、フィルタ２から室内に吹き出さ
れる空気流Ｑは除電器側へも拡散していくが、除電器本
体１１の室内側面１１ａとフィルタユニット１の空気吹
出し面１ａとが同一の面になっているので、空気流が除
電器本体１１に衝突して乱流になる現象がなく、それだ
け、清浄作用が低下する事態がなくなる。

【００１９】また、放電電極１２近傍で乱流が生じない
ことから、放電電極１２から発生する多数の空気イオン
（正イオン及び負イオン）が、再結合しにくくなり、除
電能力が低下する事態が防止される。更に、除電器本体
１１の室内側面１１ａとフィルタユニット１の空気吹出
し面１ａとが同一の面になっているので、除電器本体１
１に空気中の微細な浮遊塵や放電電極１２の放電による
微細な分解塵等が付着しにくくなり、そのため、付着塵
が生長して落下してしまう事態が防止される。

【００２０】図２は第二の実施例に係るクリーンルーム
用除電器３０を、フィルタユニット１の取付け状態とと
もに示す断面図である。フィルタユニット１は、上記と
同様に枠体７にフィルタ２を嵌挿してある。

【００２１】第二の実施例に係るクリーンルーム用除電
器３０は、上記と同様に、正負の電圧がそれぞれ印加さ
れる一対あるいは複数対の放電電極３２を、断面略矩形
のプラスチック製除電器本体３１に差し込み保持してい
る。

【００２２】３３は支持部材であって、フィルタユニッ
ト１の空気吹出し面１ａから吹き出された空気流が乱流
にならないように、平面状の室内側面３１ａをフィルタ
ユニット１の平面状の空気吹出し面１ａに対しておよそ
同一の面に位置させて当該除電器本体３１をフィルタユ
ニット１とともに支持するものである。この支持部３３
は、除電器本体３１をその室内側面３１ａを露出させて
保持する断面コ字状の保持部材３４を備えている。この
保持部材３４の下端部両側には、室内側面３１ａに沿っ
て突出しフィルタユニット１の枠体７を支承する支承部
３５が一体形成されている。

【００２３】また、保持部材３４の上部には、天井に支
持棒３６を介して吊下された連結体３７が係合する係合
部３８が設けられている。支持棒３６は雄ネジになって
おり、一対のナット３９により連結体３７を締め付け保
持している。そして、保持部材３４は連結体３７及び支
持棒３６を介して天井に吊下される。

【００２４】従って、この第二の実施例に係るクリーン
ルーム用除電器３０及びフィルタユニット１を天井に取
付けるときは、クリーンルーム用除電器３０の保持部材
３４の係合部３８に連結具３７を係合させて、支持棒３
６を天井に取付け、クリーンルーム用除電器３０を吊下
するとともに、クリーンルーム用除電器３０の支持部３
３の支承部３５にフィルタユニット１の枠体７を支承
し、フィルタユニット１をクリーンルーム用除電器３０
に隣接させて設置する。この状態では、除電器本体３１
の室内側面３１ａとフィルタユニット１のフィルタ２の
空気吹出し面１ａとが、フィルタユニット１の空気吹出
し面１ａから吹き出された空気流が乱流にならないよう
に、およそ同一の面に位置する。

【００２５】そのため、このクリーンルーム用除電器３
０及びフィルタユニット１の使用時には、上記と同様
に、空気流Ｑが除電器本体３１に衝突して乱流になる現
象がなく、それだけ、清浄作用が低下する事態がなくな
る。また、乱流が生じないことから、空気イオンの再結
合が抑止されるとともに、除電器本体３１への付着塵の
発生も防止される。

【００２６】なお、上記実施例において、支持部１３，
３３の構造は上述したものに限られるものではなく、適
宜変更して良い。また、フィルタユニット１の構成も上
述したものに限られない。更に、除電器においては、放
電電極に正負の電圧をそれぞれ印加して正負イオンを連
続的に発生させる方法、印加する電圧をパルス状にして
正負のイオン群を交互に発生させる方法等各種の方法を
用いて良い。

【００２７】

【考案の効果】以上説明したように、本考案のクリーン
ルーム用除電器によれば、フィルタユニットの空気吹出
し面から吹き出された空気流が乱流にならないように、
平面状の室内側面をフィルタユニットの平面状の空気吹
出し面に対して同一の面あるいは、およそ同一の面に位
置させるので、フィルタユニットから吹き出される空気
流が除電器本体に衝突して乱流になる現象がなく、それ
だけ、空気流による清浄作用の低下を防止することがで
きる。

【００２８】また、放電電極近傍で乱流が生じないこと
から、放電電極から発生する多数の空気イオンが再結合
しにくくなり、それだけ、除電能力を向上させることが
できる。

【００２９】更に、除電器本体がフィルタユニットの空
気吹出し面から突出しないかほとん ど突出しないことか
ら、除電器本体に空気中の微細な浮遊塵や放電電極の放
電による微細な分解塵等が付着しにくくなり、そのた
め、付着塵が生長して落下してしまう事態を防止でき、
それだけ、クリーンルームの清浄度を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第一の実施例に係るクリーンルーム用
除電器をその取付け及びフィルタユニットの取付け状態
とともに示す示す断面図である。

【図２】本考案の第二の実施例に係るクリーンルーム用
除電器をその取付け及びフィルタユニットの取付け状態
とともに示す示す断面図である。

【図３】本考案の実施例に係るクリーンルーム用除電器
が設けられるクリーンルームの空気の流れの概略を示す
断面図である。

【図４】従来のクリーンルーム用除電器の一例をその取
付け及びフィルタユニットの取付け状態とともに示す示
す断面図である。

【符号の説明】

１ フィルタユニット １ａ 空気吹出し面 ２ フィルタ ７ 枠体 １０ クリーンルーム用除電器 １１ 除電器本体 １２ 放電電極 １３ 支持部１４ 保持部材 １６ 支承部 １７ 固定具２３ 連結体 ２４ 係合部 ３０ クリーンルーム用除電器 ３１ 除電器本体 ３２ 放電電極 ３３ 支持部３４ 保持部材 ３５ 支承部３７ 連結体 ３８ 係合部

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの天井に設けられ空気が
   通過する平面状の空気吹出し面を有したフィルタユニッ
   トに隣接して設けられるとともに、放電電極が突設され
   て室内側に露出する室内側面を有した除電器本体を備え
   たクリーンルーム用除電器において、 上記除電器本体の室内側面を平面状に形成し、上記フィ
   ルタユニットの空気吹出し面から吹き出された空気流が
   乱流にならないように、上記平面状の室内側面を上記フ
   ィルタユニットの平面状の空気吹出し面に対して同一の
   面に位置させて当該除電器本体を上記フィルタユニット
   とともに支持する支持部を備えた ことを特徴とするクリ
   ーンルーム用除電器。
2. 【請求項２】 クリーンルームの天井に設けられ空気が
   通過する平面状の空気吹出し面を有したフィルタユニッ
   トに隣接して設けられるとともに、放電電極が突設され
   て室内側に露出する室内側面を有した除電器本体を備え
   たクリーンルーム用除電器において、 上記除電器本体の室内側面を平面状に形成し、上記フィ
   ルタユニットの空気吹出し面から吹き出された空気流が
   乱流にならないように、上記平面状の室内側面を上記フ
   ィルタユニットの平面状の空気吹出し面に対しておよそ
   同一の面に位置させて当該除電器本体を上記フィルタユ
   ニットとともに支持する支持部を備えたことを特徴とす
   るクリーンルーム用除電器。
3. 【請求項３】 上記支持部を、上記除電基本体をその室
   内側面を露出させて保持する保持部材で構成し、該保持
   部材に、上記フィルタユニットを支承する支承部を設け
   るとともに、天井に吊下するための支持棒の先端部に設
   けられた連結体が係合する係合部を設けたことを特徴と
   する請求項１または２記載のクリーンルーム用除電器。